CNC画像測定機 クイックビジョン/クイックビジョンProシリーズ

CNC画像測定機 クイックビジョン 画 Proシリーズ 像 測 クイックビジョンシリーズ 定 機 Catalog No.14028(7)

Evolutionary Advance 非接触測定の高度な進化形 画像測定機に求められる あらゆる高スループット測定を可能に 高精度測定に対応した本体構造とオートフォーカス機能。 融合されたハイパフォーマンスな技術が実現する、3Dによる非接触測定。 近年、私達の生活を取り巻く環境は大きな変化期を迎え、自動車の電動化や5G クイックビジョン Proは、進化を究め続ける CNC画像測定機です。 通信、IoT技術の日々なるアップデートと技術革新はこれまでになく目まぐるしい スピードで進化を続けています。 クイックビジョン Proは、これらの技術革新や産業構造のスピードに対応出来るよ うに、画像測定機に求められるあらゆる高速化に取り組みました。 ミツトヨが提供する高スループット非接触測定をご体感ください。 こちらから動画をご覧いただけます 2024年 日刊工業新聞社 第54回 機械工業デザイン賞 IDEA 「日本デザイン振興会」受賞 1 2

MEDICAL ミツトヨならではの3つの高い信頼性　《 医 療 》 超微小 厳密な精度が求められる医療機器 人々の健康や生命に深く関わる医療機器。使われるパーツの一つ ひとつには厳密さが求められ、たとえば内視鏡先端部のレンズや 鉗子は、最小で直径3 mm以下の装着口に配置されます。クイック ビジョン Proは、最大4,300倍の高倍率な光学レンズ、多彩なオート フォーカス、エッジ検出による高分解能により、こうした微小な精度 を要する測定物を非接触で測定。繰り返し精度も向上し、測定技術 能力もグローバル基準と同等に認められています。 医療用バルブの測定例 緊急時医療の逼迫の経験から、さらなる拡充が望まれる医療機器。 ミツトヨは、その製造における計測技術の向上を通じて医療の発展 に貢献します。 微細形状寸法の測定に最適な光学系 高精度な3D測定が可能 10種類の対物レンズと本体内結像レンズの組み合わせにより 単焦点の高解像度映像による高精度の高さ測定に 光学倍率最大150倍（モニタ倍率4,300倍）まで拡大。医療機器 加え、PF（F Points From Focus）などによって測定対象の 部品をはじめとする微細なパーツも確実に測定可能です。 形状を3Dでとらえることが可能。測定可能項目がさ らに広がります。 医療鉗子の画像による測定例 PFFで取得した3D形状解析　MCubeMap 3 4

AUTOMOBILE ミツトヨならではの3つの高い信頼性　《 自 動 車 》 最先端 電気自動車の最新パーツも自在に測定 温室効果ガスの排出量削減の動きに連動して、自動車生産はガソ リン車・ディーゼル車から電気自動車にシフトし、それに伴い自動 車部品の主役もモーター・バッテリー・半導体などへと変化する動 きが加速しています。クイックビジョン Proは、たとえば薄さにより 接触測定が困難なモーターコアの積層前単品、微小な凹凸形状の 超低速測定を求められる燃料電池セパレータ、微細な形状の高速 設計値照合例 測定を要するインバーターの半導体部品などの製造工程に、その 特長を活かします。 自動車業界の厳しい品質管理に 3DCADモデルを用いた お応えします オンラインプログラミングが可能 CASE対応により自動車業界での電子・半導体部品の需 3DCADモデルを用いたオンラインのプログラミングに加え、オフラ 要は今後さらに高まってきます。クイックビジョンProは インでの画像及びタッチプローブのプログラム生成ができ、クイッ 接触、非接触の両方に対応してこれからの自動車業界の クビジョンPro本体の稼働率向上によるリードタイムの短縮を図る 品質管理を支えます。 ことができます。 エンジンコントロールユニットの測定例 3DCADモデルを用いたオンラインプログラミング 5 6

ELECTRONIC PARTS ミツトヨならではの3つの高い信頼性　《 半 導 体 》 完全自動化 量産体制にもノンストップ測定で対応 電気自動車への生産シフト、5G実用化によるさまざまなサービス 拡大、データセンターへの設備投資の回復などが影響し、回復の兆 しをみせている半導体市場。その成長はさらなる伸びが予想され、 需要拡大に向けた量産が求められています。クイックビジョン Pro は、本体の駆動と測定カメラのストロボ同期による高速測定で、半 導体製造の向上に貢献。たとえば半導体製造に欠かせないシャ ワーヘッドの多数穴の寸法や異物混入を、ステージを停止すること こちらから動画をご覧いただけます なく測定し、大幅な時短を実現します。 量産品の不良発生を マルチセンサで 欠陥検査ソフトウエア 未然に防止 3D計測を可能に DDPAK-QV ノンストップ測定が可能なストリーム機能や瞬時に 画像測定に加え、非接触変位センサ、PF（F Points From 欠陥検査ソフトウエアDDPAK-QVの導入により、寸法 フォーカスを合わせられるTAFが高速測定を実現。 Focus）、WL（I 白色光干渉計）を併用し、表面性状や 測定に加えゴミ・バリ・欠けなどの欠陥検査機能を 測定ｎ数を増やすことで、量産品の不良発生を未然 断面形状などの解析を可能にします。 簡便に追加が可能。従来の寸法測定では把握でき に防ぎます。 なかった製品欠陥を検出することができます。 穴異物検査例 7 8

APPLICATION ストリーム機能によるノンストップ測定例 微細 3 D 形状寸法測定例 チップ 銅配線 クイックビジョンProのハイスループット測定は、FO-PLPなど半導体パッケージ製造工程内 クイックビジョンはPFF,WLI,CPSなどの多彩なセン での、ダイ搭載位置（Die Shift）の高速・高精度測定に適しています。また IOソフト（オプ シング技術により、微細な形状寸法を2D/3Dで取得 ション）も充実しており、スカラロボットなどによるワーク自動搬送などシステム化が容易 が可能です。多層基板の測定事例を挙げると、配 に行えます。 線ライン&スペースやビア径、表面粗さ測定には、 ソルダーレジスト 白色光干渉計 WLIを用いて3D形状から測定、 解析が可能です。 誘電体 理想位置 角度偏差量θ ハンダボール Core substrate コア基材 実際位置 ダイ位置情報 Y方向位置偏差 フリップチップ FO-PLP ICパッケージ基板 ダイボンダー 半導体製造装置 X方向位置偏差 Via径測定 銅配線のライン＆スペース測定 3D粗さ測定 Z 軸追従ハイスループット測定例 医療機器部品測定例 クイックビジョン Proは新開発のストロボスナップ機能により、高速・高効率でエッジ検出が Z軸自動追従 対物レンズ 微細な寸法で高信頼性が求められる医療部品 可能です。また、TAF(トラッキングオートフォーカス )との併用により、高さ方向に変動する クイックビジョンProは豊富な対物レンズバリエーションから微細な測定物で効果を発揮し エッジも自動追従して高速測定が可能です。 ます。また従来の接触式測定機では困難な微細な輪郭形状も、画像コントラストで3D測定 するPFFやCP（S 非接触変位センサ）で測定可能です。 同焦点 同焦点 測定物の表面 医療鉗子 EV用モータコアの輪郭形状測定 こちらから動画を ご覧いただけます 内視鏡部品 PFFによる3D形状測定 設計値照合例 9 10

4 3 5 TECHNOLOGY 圧倒的な機能による多様な測定を実現 クイックビジョン Proは、ミツトヨが培ってきた測定技術の高度な融合を実現。 標準装備の対物レンズと専用ソフトウエア（QVPAK）、さらにオプションとの組 2 み合わせで圧倒的な機能を発揮し、多様な測定を実現します。その機能は、今 後もますます高度化する測定環境に伴って進化し、お客様の課題解決を強力 にサポートします。 1 1 ス トロボスナップ 2 立体物を動かさずに測定 あらゆる測定物の形状に対応 タッチトリガープローブ トラッキングオートフォーカス（TAF） 光学レンズでとらえた拡大映像を、PC画面に再生。エッジ検出やオートフォーカス タッチトリガープローブとの併用で、測定物を回転させず 対物レンズからのレーザ照射による自動焦点。測定物の形状に応じて焦 など多彩な機能による寸法測定が可能です（全機種共通）。 に任意の高さで側面も測定でき、従来は困難であった立 点が自動追従するため、ピント作業が省けて測定のスループットが向上 体物の測定も可能です。 します。 Z軸自動追従 対物レンズ 同焦点 同焦点 測定物の表面 3 急角度や透明体も非接触で測定可能 4 白 色光の干渉で3D形状の微細データを取得 5 複数の断面画像により3D形状を測定 微小段差や曲面形状を高速・非接触で測定 測定の工程を簡略化 クロマチックポイントセンサ 白色光干涉計 PFF（Points From Focus） レーザ変位センサ QVインデックス 白色光源の焦点距離差を応用し、急角度でも測定が可能。また、測定物の2点の面高さ 測定物との間に生じる白色光の干渉を応用し、微細 対物レンズの位置を上げて測定物をスキャンし、 測定物の色などの影響を受けにくいレーザの合焦点方式 測定物を回転させることで、1回の段取りで多面 を同時検出することで、薄物透明体の厚さ測定にも対応します。 領域における表面解析（粗さなど）や形状（数 µ mの 高さが異なる複数の断面画像（画像コントラスト） を採用。センサで測定物をスキャンし、その表面の形状 の自動測定を可能にします。 凹凸など）の高精度な3D測定が可能です。 から得た情報で3D形状のデータを取得します。 データを非接触で取得します。 11 12

クイックビジョン Pro ハイスループット測定を実現するコア機能 高機能照明ユニット クイックビジョンProは観察ユニット、照明ユニットをリニューアルし、測定スループットを従来比約40％アップしました。さらに ・ クイックビジョンProでは透過／垂直落射／プログラム制御リング照明の全光源にLED 垂直落射照明 2つのモードの測定プログラミングで、あらゆる測定サンプルのハイスループット測定を可能としました。TAFや高速画像オート 光源を採用しています。 フォーカスにより高さの変化がある測定サンプルでも、驚異のハイスループットを実現します。 ・ 照明の一定性を高レベルで達成しており、複数のQV間でのパートプログラム互換性に 優れています。 ストロボスナップ NEW ・ LED光源は応答性に優れているため、測定スループットが向上します。 ・ ハロゲン光源と比べて長寿命なため光量変動が少なく、光量変化によるエラー発生を プログラム制御リング照明 クイックビジョンPro全機種にストロボ照明を搭載しており、新開発の画像測定機能“ストロボスナップ”により、ハイスループット 最小限に抑えます。 測定と高精度測定を両立しました。測定位置の連続性に関わらずほとんどの測定サンプルで約35~45％測定時間を短縮できま 約35 す。またパートプログラムの互換性も高く、簡単な操作で高速測定のパートプログラムを作成できます。 ～45％ 測 定 短縮 載物ガラス 時 間 こちらから動画を ご覧いただけます 透過照明 従来の ストロボ 垂直落射照明 プログラム制御リング照明 透過照明 測定イメージ 測定 スナップ ※当社デモサンプルによる プログラム制御リング照明（PRL） 　旧仕様との比較 ストリーム機能 2つの曲面ミラーの位置を変更する事により、リング照明の照 NEW 射角度を30°～80°の範囲で任意に設定が可能で、傾斜面や微 ストリーム機能は本体駆動とストロボ照明を同期させたノンストップ測定で驚異のハイスループットを実現します。 細段差のエッジ強調に効果をもたらします。 下図の測定イメージの様な連続要素測定でストロボスナップよりさらに測定時間を短縮させることができます。 さらにPRL照明は前後左右それぞれ独立して光量の設定が可 クイックビジョンProはHYPER機も含めオプションでストリーム機能をアップグレード可能です。 能で、測定箇所に合わせたバリエーションの高い照明設定が 測 定 可能です。 時 間 約80％ 短縮 こちらから動画を XY=0.2mmピッチ ,626個 白色LED照明　/　カラーLED照明 NEW ご覧いただけます 視野0.62 x 0.47mmで測定 クイックビジョンProは落射照明とリング照明に白色 LED照明またはカラー LED照明を選べます。 ストリーム測定　36秒 測定イメージ 従来の ストリーム 測定 機能 カラーLEDモデルは照射光色を変更する事により、エッジコントラストを強調させることができます。 ※当社デモサンプルによる 　旧仕様との比較 トラッキングフォーカス（TAF） 測定物の高さ変化をレーザを用いて瞬時にZ軸のトラッキングが可能です。ストロボスナップやストリーム機能で更に効果的に 働き測定スループットを大幅に高めます。 疑似カラー画像表示機能を用いて、RGBそれぞれの照射画像から色再現性の高いカラー観察画像 を生成します。 こちらから動画を ご覧いただけます 高さが 薄物で 一定でない 変形しやすい こちらから動画を 測定個所 測定イメージ 形状 ご覧いただけます ※カラー LED照明モデルのイメージです。 プログラム制御パワータレット QV-HR2.5x使用時 高性能画像オートフォーカス NEW クイックビジョンProのプログラム制御パワータレットは倍率 クイックビジョン 再現性に優れており高精度測定に適しています。標準仕様は、 Proの画像オートフォーカスは、機械加工面やプラスチック成形品など鏡面から粗面まで、あらゆる条件で高精度、 高速に高さ測定が可能です。画像オートフォーカススピードを従来機から約30％向上しました。 1x、2x、6xの3段階の倍率変更が可能※です。0.5倍から25倍ま 約30％ 短縮 での幅広い対物レンズとの組み合わせにより測定対象物に合 測 わせて最適な光学系を選択できます。対物レンズは本体導入後 ICパッケージ 定 時 でも追加購入可能です。 間 ※：特注仕様にて、1x、2x、4x、6xの4段階に変更することも可能です。 タレット1x　視野2.49×1.86 mm タレット2x　視野1.24×0.93 mm 従来の QV-Pro デジタル変倍機能 測定 パターンフォーカス マルチポイントオートフォーカス ※当社デモサンプルによる プログラム制御パワータレットの6xにデジタル変倍の12xが 電子半導体部品に広く用いられるガラス表面やフィルム表面、鏡面加 マルチポイントオートフォーカスは複数のフォーカス位置やサイズ、角 　旧仕様との比較 加わり、4段階の倍率変更が可能になります。さらに、特注仕様の 工などのコントラストの得られにくい表面でも、光路内に配置された 度を任意に設定できます。1回のフォーカス動作で複数点の高さ情報 タレット1x、2x、4x、6x仕様では、デジタル変倍は8xと12xが パターンを投射してオートフォーカスが可能です。 が得られ、高効率に高さ測定や平面度測定が可能です。 加わり、計6段階の倍率変更が可能です。 タレット6x　視野0.41×0.31 mm デジタル変倍12x　視野0.20×0.15 mm 13 14

高精度測定に適した構造 本体部基本構造に固定ブリッジYテーブル移動型構造を採用しています。 各軸の移動による構造体の変形量が少ない構造のため、空間的な座標の歪みが生じにくく 高精度な測定が可能な構造です。 （QV ACCELを除く） LINE-UP 温度補正機能を搭載 クイックビジョンProは全機種に温度補正機能を搭載しています。 　APEX 手動温度補正　ソフトウエアから入力 多様なバリエーションとシステム。 　HYPER　自動温度補正　XYZ各軸スケールと測定物温度センサからリアルタイム自動入力 測定の用途を拡げ、あらゆる品質管理に貢献。 精度保証温度　①20±2℃　②19～24℃　と広範囲域の温度条件で精度保証が可能です。 温度補正センサ クイックビジョン Proは、さまざまな測定範囲ならびに測定精度のバリエーションをラインアップ。 精度保証値は検査不確かさを含んだMPE表記に対応 医療や自動車、電子・半導体などあらゆる産業の品質管理に対応します。 QV APEX Pro / QV HYPER Pro また、光学レンズで測定対象を拡大する画像計測システムをはじめ、非接触センサ、タッチプローブや QVTP APEX Pro / QVTP HYPER Pro QVH4 APEX Pro / QVH4 HYPER Pro 白色光干渉計などのマルチセンサの組み合わせにより、測定の応用をさらに広げます。 QVH1 APEX Pro / QVH1 HYPER Pro QVWLI Pro QV ULTRA さらに ISO10360-7:2011 JIS B 7440-7:2015 にも対応（オプション） 超高精度 ISO10360-7 / JIS B 7440-7 の精度保証に対応します。 画像測定でもタッチプローブ測定でも、高さを含む空間位置寸法も安心して測定可能です。 タッチプローブ 対象機種は、各機種のスペックP.17～21 を参照下さい。 0.235μm 白色光干渉レンズ TP20、TP200 高精度 精度保証項目 0.8μm ・長さ測定誤差 E U,MPE QVWLI Pro ・プロービング誤差　P F2D,MPE QVTP Pro 長さ測定誤差E U,MPE 非接触変位センサ 大型 Li-H CPS プローブ プローブ 真のトレーサビリティとは 国家標準 国立研究開発法人 産業技術総合研究所 計量標準総合センター【 1.5μm NMIJ, AIST】 協定世界時に同期した原子時計 国家標準にトレーサブルな基準器を使用 ミツトヨ 標準管理課【JCSS 認定事業者 №0067】 お客様の信頼を獲得するため、国家標準にトレーサブルに測定したい。 基準周波数発振器（光周波数コム装置の基準器として使用） ・ ミツトヨでは日本の国家標準にトレーサブルな長さ標準器を保有 QVH1 Pro QVH4 Pro し、測定機器の校正に使用する標準器の校正を行うことにより、各 二次標準 ミツトヨ 標準管理課【JCSS 認定事業者 №0067】 長さ用633 nmよう素分子吸収線波長安定化He-Neレーザ装置 種測定機器のトレーサビリティ確立と維持を行っています。 ・ 当社の校正事業者は、ILACのMRA（相互承認協定）により国際的に ミツトヨ宇都宮キャリブレーションセンタ【JCSS 認定事業者 №0031】 認められた認定機関である IAJapanよりJCSSの認定を受けており、 長さ用633 nm実用波長安定化He-Neレーザ装置 海外の校正機関と同等の測定技術能力を有することが認められて います。 実用標準 基準スケール ※右図は画像測定機のトレーサビリティの概略を示したものです。 画像測定機 15 16

マークの見方 搭載機種を設定 特注対応 組み合わせ不可 カラーLED カラーLED カラーLED QV APEX Pro QVTP Pro スタンダード CNC画像測定機 タッチトリガープローブ搭載 CNC画像測定機 ISO ISO 白色LED カラーLED B&Wカメラ ストロボ STREAM TAF TP Type1 Type4 PFF WLI ISO対応 白色LED カラーLED B&Wカメラ ストロボ STREAM TAF TP Type1 Type4 PFF WLI ISO対応 ● ストロボスナップ機能が標準搭載され、高速測定が ● XY本体駆動とストロボ照明を同期させることにより、 ●1 台で非接触測定と接触測定が可能。クイックビジョン ● プローブモジュールチェンジラックを使用すれば、一連 可能となったクイックビジョンの上位モデルです。 ステージが停止しないノンストップ画像測定を行い、 TP Proは画像測定機能とタッチトリガープローブによる の自動測定中に画像測定とタッチトリガープローブ ● 測定物に瞬時にピント合わせが可能なトラッキング 圧倒的に測定時間を短縮できるストリーム機能を 接触測定が可能です。 測定の切り替えが可能です。 オートフォーカス搭載モデルを設定、大幅なスルー 装備することが可能です。 ● 立体的なワーク測定に対応可能。プレス成型品や樹脂 プット向上が可能です。 QV APEX 302 Pro 成型品、切削加工品などこれまで画像処理だけでは 測定できなかった立体的な測定が可能となります。 QVTP HYPER 404 Pro 名称 QV APEX 302 Pro QV APEX 404 Pro QV APEX 606 Pro 符号 QV-X302P1L-E QV-X302T1L-E QV-X302P1C-E QV-X302T1C-E QV-X404P1L-E QV-X404T1L-E QV-X404P1C-E QV-X404T1C-E QV-X606P1L-E QV-X606T1L-E QV-X606P1C-E QV-X606T1C-E 名称 QVTP APEX 302 Pro QVTP APEX 404 Pro QVTP APEX 606 Pro 測定範囲 [mm] 300 × 200 × 200 400 × 400 × 250 600 × 650 × 250 符号 QVT1-X302P1L-E QVT1-X302T1L-E QVT1-X302P1C-E QVT1-X302T1C-E QVT1-X404P1L-E QVT1-X404T1L-E QVT1-X404P1C-E QVT1-X404T1C-E QVT1-X606P1L-E QVT1-X606T1L-E QVT1-X606P1C-E QVT1-X606T1C-E 観察装置※1 プログラム制御パワータレット　1x、2x、6x（、12x）系※2 測定範囲 画像 300 × 200 × 200 400 × 400 × 250 600 × 650 × 250 トラッキングオートフォーカス装置 ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ [mm] 画像タッチプローブ共通 234 × 200 × 200 334 × 400 × 250 534 × 650 × 250 透過照明 白色 LED 観察装置※1 プログラム制御パワータレット　1x、2x、6x（、12x）系※2 照明装置 垂直落射照明 白色 LED カラー LED 白色 LED カラー LED 白色 LED カラー LED トラッキングオートフォーカス装置 ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ プログラム制御リング照明 白色 LED カラー LED 白色 LED カラー LED 白色 LED カラー LED 透過照明 白色 LED スケール分解能 [µm] 0.1 照明装置 垂直落射照明 白色 LED カラー LED 白色 LED カラー LED 白色 LED カラー LED E UX/E UY,MPE （1.5 + 3L/1000） 画像測定精度 プログラム制御リング照明 白色 LED カラー LED 白色 LED カラー LED 白色 LED カラー LED [µm] E UXY,MPE （2.0 + 4L/1000） スケール分解能 [µm] 0.1 E UZ, MPE （1.5 + 4L/1000） E UX/E UY,MPE （1.5 + 3L/1000） レーザオートフォーカス繰り返し精度 [µm] ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 画像測定精度 温度補正機能 手動温度補正 [µm] E UXY,MPE （2.0 + 4L/1000） E UZ, MPE （1.5 + 4L/1000） ※1 プログラム制御パワータレット1x、2x、4x、6x モデルは特注にて対応可能。また1x、2x、4x、6xに加え、デジタル変倍機能による8x、12xで計6段階の倍率変更が可能です。　 TP測定精度 ※2（ 　）はデジタル変倍。 [µm] E X,MPE/E Y,MPE/E Z,MPE （1.8 + 3L/1000） レーザオートフォーカス繰り返し精度 [µm] ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 温度補正機能 手動温度補正 ※1 プログラム制御パワータレット1x、2x、4x、6x モデルは特注にて対応可能。また1x、2x、4x、6xに加え、デジタル変倍機能による8x、12xで計6段階の倍率変更が可能です。　 QV HYPER Pro ※2（ 　）はデジタル変倍。 名称 QVTP HYPER 302 Pro QVTP HYPER 404 Pro QVTP HYPER 606 Pro 高精度 CNC画像測定機 符号 QVT1-H302P1L-E QVT1-H302T1L-E QVT1-H302P1C-E QVT1-H302T1C-E QVT1-H404P1L-E QVT1-H404T1L-E QVT1-H404P1C-E QVT1-H404T1C-E QVT1-H606P1L-E QVT1-H606T1L-E QVT1-H606P1C-E QVT1-H606T1C-E トラッキングオートフォーカス装置 ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ ISO スケール分解能 [µm] 0.02 白色LED カラーLED B&Wカメラ ストロボ STREAM TAF TP Type1 Type4 PFF WLI ISO対応 E UX/E UY,MPE （0.8 + 2L/1000） 画像測定精度 E UXY,MPE （1.4 + 3L/1000） ● 高分解能、高精度スケールを搭載した高精度モデル ● XY本体駆動とストロボ照明を同期させることにより、 [µm] E UZ, MPE （1.5 + 2L/1000） です。 ステージが停止しないノンストップ画像測定を行い、 TP測定精度 ● 測定物に瞬時にピント合わせが可能なトラッキング 圧倒的に測定時間を短縮できるストリーム機能を [µm] E X,MPE/E Y,MPE/E Z,MPE （1.7 + 3L/1000） オートフォーカス搭載モデルを設定、大幅なスルー 装備することが可能です。 レーザオートフォーカス繰り返し精度 [µm] ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 温度補正機能 自動温度補正 プット向上が可能です。 ● 汎用性の高い白色 LED照明モデルとエッジ検出能力 その他の仕様はQVTP APEX Proと同様です。 を高めたRGBカラーLED照明をラインアップしました。 ● 測定機本体温度センサと測定物温度センサを用いた QV HYPER 302 Pro 自動温度補正機能を標準搭載しています。 名称 QV HYPER 302 Pro QV HYPER 404 Pro QV HYPER 606 Pro 符号 QV-H302P1L-E QV-H302T1L-E QV-H302P1C-E QV-H302T1C-E QV-H404P1L-E QV-H404T1L-E QV-H404P1C-E QV-H404T1C-E QV-H606P1L-E QV-H606T1L-E QV-H606P1C-E QV-H606T1C-E 測定範囲 [mm] 300 × 200 × 200 400 × 400 × 250 600 × 650 × 250 観察装置※1 プログラム制御パワータレット　1x、2x、6x（、12x）系※2 トラッキングオートフォーカス装置 ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ ̶ ○ 透過照明 白色 LED 照明装置 垂直落射照明 白色 LED カラー LED 白色 LED カラー LED 白色 LED カラー LED プログラム制御リング照明 白色 LED カラー LED 白色 LED カラー LED 白色 LED カラー LED スケール分解能 [µm] 0.02 E UX/E UY,MPE （0.8 + 2L/1000） 画像測定精度 [µm] E UXY,MPE （1.4 + 3L/1000） E UZ, MPE （1.5 + 2L/1000） レーザオートフォーカス繰り返し精度 [µm] ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 ̶ σ≦0.8 温度補正機能 自動温度補正 ※1 プログラム制御パワータレット1x、2x、4x、6x モデルは特注にて対応可能。また1x、2x、4x、6xに加え、デジタル変倍機能による8x、12xで計6段階の倍率変更が可能です。　 ※2（ 　）はデジタル変倍。 17 18

QVH4 Pro QVH1 Pro 非接触変位センサ搭載CNC画像測定機 非接触変位センサ搭載 CNC画像測定機 ISO ISO 白色LED カラーLED B&Wカメラ ストロボ レーザ STREAM TAF TP Type1 Type4 PFF WLI ISO対応 白色LED カラーLED B&Wカメラ ストロボ 半導体 STREAM TAF TP Type1 Type4 PFF WLI ISO対応 フォトダイオードB ピンホール（縦ピン） ● 非接触変位センサを搭載しスキャニング機能により微細段差や3D ● 非接触変位センサを搭載しスキャニング機能に ビームスプリッタ ピンホール（横ピン） 形状測定を可能にした複合測定機です。 より微細段差や3D形状測定を可能にした複合 フォトダイオードA ● 波長コンフォーカル方式の非接触変位センサ（クロマチックポイント 測定機です。 センサ）を搭載しています。 ● 変位センサの検出方式にダブルピンホール方式 コリメートレンズ スケール ● & 変位センサの光源にLEDを使用し、光源の自動調光機能により反射率 を採用しました。ナイフエッジ式や三角測量 レンズ駆動部 の異なる材質でも連続して測定が可能です。 方式と比較して指向性のない測定が可能です。 対物レンズ QVH4 HYPER 606 Pro QVH1 HYPER 404 Pro ● レーザスポット径が約2 µmと小さいため微細 な形状測定が可能です。 名称 QVH4 APEX 302 Pro QVH4 APEX 404 Pro QVH4 APEX 606 Pro 本製品は、欧州RoHS指令に非適合のため、当面の間はEU加盟国およびイギリスでは販売できません。 符号 QVH4A-X302P1L-E QVH4A-X404P1L-E QVH4A-X606P1L-E 名称 QVH1 APEX 302 Pro QVH1 APEX 404 Pro QVH1 APEX 606 Pro QVH1 HYPER 302 Pro QVH1 HYPER 404 Pro QVH1 HYPER 606 Pro 本体部　寸法・質量 符号 QVH1-X302P1L-E QVH1-X404P1L-E QVH1-X606P1L-E QVH1-H302P1L-E QVH1-H404P1L-E QVH1-H606P1L-E 測定範囲 画像 300 × 200 × 200 400 × 400 × 250 600 × 650 × 250 本体部　寸法・質量 [mm] 画像非接触変位センサ共通 176 × 200 × 200 276 × 400 × 250 476 × 650 × 250 測定範囲 画像 300×200×200 400×400×250 600×650×250 300×200×200 400×400×250 600×650×250 観察装置※1 プログラム制御パワータレット　1x、2x、6x（、12x）系※2 [mm] 画像変位センサ共通 180×200×200 280×400×250 480×650×250 180×200×200 280×400×250 480×650×250 透過照明 白色 LED 観察装置※1 プログラム制御パワータレット　1x、2x、6x（、12x）系※2 照明装置 垂直落射照明 白色 LED 透過照明 白色 LED プログラム制御リング照明 白色 LED 照明装置 垂直落射照明 白色 LED スケール分解能 [µm] 0.1 プログラム制御リング照明 白色 LED E UX/E UY,MPE （1.5 + 3L/1000） スケール分解能 [µm] 0.1 0.02 画像測定精度 ） [µm] E UXY,MPE （2.0 + 4L/1000 画像測定精度 E UX/E UY,MPE （1.5 + 3L/1000） （0.8 + 2L/1000） E UZ, MPE （1.5 + 4L/1000） [µm]※3 E UXY,MPE （2.0 + 4L/1000） （1.4 + 3L/1000） 変位センサ E UZ, MPE （1.5 + 4L/1000） （1.5 + 2L/1000） 測定精度 [µm]※3 E 1Z （1.5 + 4L/1000） 変位センサ 測定精度 [µm] E 1Z （1.5 + 4L/1000） （1.5 + 2L/1000） 温度補正機能 手動温度補正 ※ 補正 自動温度補正 1 プログラム制御パワータレット1x、2x、4x、6x モデルは特注にて対応可能。また1x、2x、4x、6xに加え、デジタル変倍機能による8x、12xで計6段階の倍率変更が可能です。　 温度補正機能 手動温度 ※2（ 　）はデジタル変倍。　※3 当社検査方法による。 ※1 プログラム制御パワータレット1x、2x、4x、6x モデルは特注にて対応可能。また1x、2x、4x、6xに加え、デジタル変倍機能による8x、12xで計6段階の倍率変更が可能です。　 ※2（ 　）はデジタル変倍。　※3 当社検査方法による。 名称 QVH4 HYPER 302 Pro QVH4 HYPER 404 Pro QVH4 HYPER 606 Pro 符号 QVH4A-H302P1L-E QVH4A-H404P1L-E QVH4A-H606P1L-E QVWLI Pro スケール分解能 [µm] 0.02 E UX/E UY,MPE （0.8 + 2L/1000） 画像測定精度 非接触3D計測システム [µm] E UXY,MPE （1.4 + 3L/1000） E UZ, MPE （1.5 + 2L/1000） ISO 変位センサ 白色LED カラーLED B&Wカメラ ストロボ STREAM TAF TP Type1 Type4 PFF WLI ISO対応 CCDカメラ 測定精度 [µm]※1 E 1Z （1.5 + 2L/1000） Z軸スキャン 干渉縞 温度補正機能 自動温度補正 白色光 ● QVWLI ProはQVに白色光干渉計を搭載した複合型の高 その他の仕様はQVH4 APEX Proと同様です。 ビームスプリッタ ※1 当社検査方法による。 精度3D計測システムです。 ● WLI光学系で取得した3Dデータから三次元表面性状解析 / 干渉対物レンズ 三次元粗さ解析が可能です。 参照ミラー QVWLI Pro 606 ビームスプリッタ 分光器 ま た3Dデータから指定高さでの寸法測定や断面形状の 分光器 測定物 λk 測定が可能です。 測定物 WLIの光学系ヘッド 干渉縞と強度イメージ ピンホール リニアセンサ ワークの高さが変わると 4 QVWLI Pro 606 回折格子 ピークの位置が変わる 名称 QVWLI Pro 40 白色光源 Ⅰ 符号 QVW-H404P1L-E QVW-H606P1L-E 本体部　寸法・質量 λ 測定範囲 画像測定 400×400×240 600×650×220 λ1 λk λn [mm] WLI測定 315×400×240 515×650×220 クロマティックレンズ ピンホール h₂ 観察装置※1 プログラム制御パワータレット　1x、2x、6x（、12x）系※2 λ 透過照明 白色 LED 1 垂直落射照明 白色 測定対象物表面 λk 照明装置 LED プログラム制御リング照明 白色 LED λn WLI光学ヘッド ハロゲン スケール分解能 [µm] 0.01 E UX/E UY,MPE （0.8 + 2L/1000） 画像測定精度 E UXY,MPE （1.4 + 3L/1000） [µm]※3 E UZ, MPE （1.5 + 2L/1000） 精度保証光学条件 2.5倍対物レンズ（QV-HR2.5xまたはQV-SL2.5x）+中倍チューブレンズ WLI　最大 Z測定範囲 QVWLI A-5xおよびQVWLI A-10x: 6.3 mm, QVWLI A-25x: 3.2 mm, QVWLI A-50x: 1.0 mm WLI　Z軸繰り返し精度 [µm]※3 2σ≦0.08 ※1 プログラム制御パワータレット1x、2x、4x、6x モデルは特注にて対応可能。また1x、2x、4x、6xに加え、デジタル変倍機能による8x、12xで計6段階の倍率変更が可能です。　 ※2（ 　）はデジタル変倍。　※3 当社検査方法による。 19 20

QV ACCEL 大型CNC画像測定機 ISO 白色LED カラーLED B&Wカメラ カラーカメラ STREAM TAF TP Type1 Type4 PFF WLI ISO対応 OPTION ● 本体構造に門移動を採用した大物測定用の画像測定機です。 ● 門移動構造はステージが移動しないためワークの固定方法を簡素化 でき軽薄短小ワークに適しています。 ● QV ACCEL 1212（測定範囲 :1250×1250×100 mm）、QV ACCEL 1517 （測定範囲 :1500×1750×100 mm）は特注にて対応可能です。 QV ACCEL 808 名称 QV ACCEL 808 QV ACCEL 1010 符号 QV-A808P1L-D QV-A1010P1L-D 測定範囲 [mm] 800×800×150 1000×1000×150 観察装置※1 プログラム制御パワータレット　1x、2x、6x 透過照明 白色 LED 照明装置 垂直落射照明 白色 LED プログラム制御リング照明 白色 LED スケール分解能 [µm] 0.1 E 1X,E 1Y （1.5 + 3L/1000） 画像測定精度 [µm]※2 E 1Z （1.5 + 4L/1000） E 2XY （2.5 + 4L/1000） 繰り返し精度 短寸法 [µm]※ X・Y軸 3σ≦0.2 2 長寸法 3σ≦0.7 ※1 プログラム制御パワータレット1x、2x、4xモデル　及び　1x、2x、4x、6xモデルは特注にて対応可能　　※2 当社検査方法による。 短寸法＝1画面内繰り返し、長寸法＝移動を伴う繰り返し QV対物レンズ QV ULTRA 対物レンズ QV-SL0.5x※1 QV-HR1x QV-SL1x QV-HR2.5x QV-SL2.5x QV-HR5x QV-5x QV-HR10x※1 QV-10x※1 QV-25x※1 パーツNo. 02AKT199 02AKT250 02ALA150 02AKT300 02ALA170 02AWD010 02ALA420 02AKT650 02ALG010 02ALG020 PFF対応対物レンズセット ー ー ー 02AKX895B ー 02AKX915B 02AKX900B 02AKX905B ー 02AKX910B 超高精度 CNC画像測定機 作動距離 [mm] 30.5 40.6 52.5 40.6 60.0 20.0 33.5 20.0 30.5 13.0 タレット1x 12.54x9.4 6.27x4.7 2.49x1.86 1.24x0.93 0.62x0.47 0.25x0.18 ISO 視野(H) mmx(V) mm※ タレット 2 2x 6.27x4.7 3.13x2.35 1.24x0.93 0.62x0.47 0.31x0.23 0.12x0.09 白色LED カラーLED B&Wカメラ STREAM TAF TP Type1 Type4 PFF WLI ISO対応 タレット6x 2.09x1.56 1.04x0.78 0.41x0.31 0.20x0.15 0.10x0.07 0.04x0.03 デジタル変倍12x 1.04x0.78 0.52x0.39 0.20x0.15 0.10x0.07 0.05x0.03 0.02x0.01 ● 測定精度E ※1 対物レンズQV-SL0.5x、QV-HR10x、QV-10x、QV-25xを使用する場合は測定物によっては照明の明るさ不足など一部制限が発生する場合があります。 UX・E UY,MPE = 0.35 + 1.3L/1000 µmを実現した超高精度CNC画像 ※2 視野は代表値であり、保証値ではございません。 測定機です。 ● X・Y・Z各軸に自社開発の高分解能（0.01 µm）、高精度の低膨張ガラス モニタ倍率※1※2 15x 30x 60x 75x 90x 150x 180x 360x 450x 900x 視野 [mm]※3 スケールを使用しています。 12.54x9.40 6.27x4.70 3.13x2.35 2.49x1.86 2.09x1.56 1.24x0.93 1.04x0.78 0.52x0.39 0.41x0.31 0.20x0.15 対物レンズ0.5倍 ● ● ● ● ● 高剛性の固定ブリッジY軸テーブル移動構造を採用、ベースには経年 QV ULTRA 404 対物レンズ1倍 ● ● ● ● 変化の少ないグラナイトを使用しています。 対物レンズ2.5倍 ● ● ● ● モニタ倍率※1※2 名称 QV ULTRA 150x 300x 600x 750x 900x 1500x 1800x 3600x 4500x 9000x 符号 QV-U404P1L-E QV-U404T1L-E 視野 [mm]※3 1.24x0.93 0.62x0.47 0.31x0.23 0.25x0.18 0.20x0.15 0.12x0.09 0.10x0.07 0.05x0.03 0.04x0.03 0.02x0.01 本体部　寸法・質量 対物レンズ5倍 ● ● ● ● 測定範囲 [mm] 400×400×200 対物レンズ10倍 ● ● ● ● 観察装置※1 プログラム制御パワータレット　1x、2x、6x（、12x）系※2 対物レンズ25倍 ● ● ● ● トラッキングオートフォーカス装置 ー ○ ※1 モニタ倍率は24型ワイド液晶モニタに等倍表示した場合の目安です。QVPAK Ver10以降はビデオウィンドウのサイズを変更する事が可能です。 透過照明 白色 LED ※2 各対物レンズ別の最大のモニタ倍率は、デジタル変倍12×における倍率です。 ※3 視野は代表値であり、保証値ではございません。 照明装置 垂直落射照明 白色 LED プログラム制御リング照明 白色 LED スケール分解能 [µm] 0.01 E UX/E UY,MPE （0.35 + 1.3L/1000） 画像測定精度 校正用チャート&QV補正用チャート [µm]※2 E UXY,MPE （0.5 + 2L/1000） E UZ, MPE （1.5 + 2L/1000） レーザオートフォーカス繰り返し精度 [µm] ー σ≦0.8 校正用チャート QV補正用チャート ※1 プログラム制御パワータレット1x、2x、4x、6x モデルは特注にて対応可能。また1x、2x、4x、6xに加え、デジタル変倍機能による8x、12xで計6段階の倍率変更が可能です。　 撮像素子のピクセルサイズ補正や変倍装置 光学系が持つ画面内の歪みを補正するための｢画面内補正｣ ※2（ 　）はデジタル変倍。　※3 当社検査方法による。 PPTの各倍率時のオートフォーカス精度と光 と被写体のパターンやテクスチャの違いで生ずるオート 軸オフセット補正に使用します。 フォーカスのバラツキを低減する｢オートフォーカス補正｣ 注） を行うためのガラスチャートです。 レンズによっては、機能の使用制限があります。 詳しくは、弊社営業へお問い合わせください。 注） レンズによっては、機能の使用制限があります。 詳しくは、弊社営業へお問い合わせください。 21 22

充実の測定機能 1 ワンクリックツール 2 AI照明ツール 3 マルチポイントオートフォーカス SOFTWARE 測定項目（円・線など）の選択後、測定したいエッジ 手順作成時に最適な光量調整が可能なデュアルエ オートフォーカスツールを細分化したり、複数のオー をワンクリックするだけで、習熟レベルに依存しな リアコントラストツールと、プログラム作成時の光量 トフォーカスツールを任意の大きさ、位置、角度で い高精度な測定が可能です。 に自動補正するブライトネスツールがあります。 配置が可能です。 また、異常点除去機能が、バリやゴミ等の影響を自 リピート測定時の光量安定化が可能で、エッジ検出 動で取り除きます。 の再現性を高め、光量変化に伴うエッジ検出エラー の発生を抑えます。 機能と操作性を両立した アプリケーションソフトウエア デュアルエリアコントラストツール ブライトネスツール 高性能画像測定機能に加え、非接触変位センサの形状解析や測定 プログラムの自動生成など豊富なアプリケーションソフトをライン 4 QVグラフィックス　 アップ。簡単な測定から複雑な測定までお客様のあらゆる測定課 測定結果のレポートとして利用できる 4 題を解決します。 ほか、図形をマウス選択することによ り要素間演算や PCD測定などの高度 1 な演算が可能です。 またグラフィック機能を有効に使うこ とで簡単にパートプログラム編集を行 2 えるほか、現在の測定物座標系の確 認や測定忘れのチェックなどに役立ち ます。 3 5 QV Easyエディター 6 MiCATレポーター　 QV Easyエディターはオペレータの操作をつぶさに記録でき、簡単な操 QVPAKの測定結果からレポートを作成する機能を標準装備しました。 作で編集が可能です。 PDFにダイレクトで出力でき、医療部品など信頼性を求められる報告書 またプログラムリストにはエラーアイコンが表示され、素早く修正箇所 の作成に対応できます。 を見つけることができます。 エッジ検出エラーアイコン 公差外判定アイコン 要素測定エラーアイコン 23 24

OPT ION SOFT WARE FORMTRACEPAK-AP フォームトレースパックAP EASYPAG-PRO イージーパグプロ DXF IGES ガーバデータ 形状評価・解析ソフト オフラインティーチングソフト QVのオートトレースツールや非接触変位センサ、QVWLI Pro、PFFで取得した形状データから設計値照合及び形状解析を行います。 2DCADモデルを用いてオフラインでQVPAKのパート 輪郭照合機能 プログラムを生成可能です。 ・ 設計データの作成 パートプログラム作成工数を低減しリードタイム短縮 CADデータ変換、マスタワーク変換、関数指定、テキストファイルの変換、 が可能です。 非球面設計値作成 ・ 設計値照合 法線方向照合、軸方向照合、ベストフィット照合 微細形状解析 ・解析項目： 点測定、線測定、円測定、距離測定、交点測定、角度測定、 オフラインティーチング操作画面 原点設定、軸回転 点と線の距離測定 ・ 演算項目：最大値、最小値、平均値、標準偏差、面積 設計値照合例 報告書作成機能 ・測定結果、誤差線図、誤差展開図 QV3DCAD その他機能 3DCADモデルを利用してQVPAKのパートプログラム生成が行え ・解析手順の記録 /実行 ます。 ・ 外部出力機能 QVシステムと同期させて実際のワークを見ながらティーチングする CSV形式出力、テキスト出力、DXF/IGES形式出力 QVWLI Proによる オンラインモードと、本体と接続されていないパソコンでもパート プリント基板のライン&スペース及び導体厚測定例 プログラムの生成ができるオフラインモードの両方をサポートして います。 MCubeMap エムキューブマップ 3D表面性状解析ソフト オフラインティーチングモード オンラインティーチングモード QVWLI Proで取得した3DデータからJIS B681-2:2018(ISO25178-6:2010)に準拠したSa、 Sqなどの高さパラメータ及び、空間、複合、機能と関連する三次元粗さパラメータの 解析が可能です。 MSURF-I エムサーフ アイ またPFF、QVH1 Pro、QVH4 Proで取得した3Dデータからも2D形状や体積計算などが 可能です。 QVH1 Pro、QVH4 Pro、QVWLI ProやPFFなどで取得した3D形状データ から、3DCADモデルなどの設計データと比較照合が可能です。 ※MSURF-Iの解析には別途PCが必要です。 PFFによるSMD端子高さ測定例 QV3D機能 FORMTRACEPAK-PRO フォームトレースパックプロ 形状評価・解析ソフト QV3D機能はPF（F Points From Focus）やWL（I 白色光干渉計）から三次元 形状を生成するソフトウエアです。 QVWLI Proで取得した3Dデータから3D表面粗さ、表面性状解析が可能です。 またPFF、QVH1 Pro、QVH4 Proの非接触変位センサで取得した3D形状の表示解析が 可能です。 主な機能 ・ 三次元表示 ワイヤーフレーム、シェーディング、等高線、等高線塗り潰し ・ トレンド補正、フィルタ処理 平面、球面、円筒面、多面体によるトレンド補正 プロファイル毎の一次元デジタルフィルタ、二次元デジタルフィルタ PFFによる ・ 豊富な表面性状の数値化、デジタル化 モールド部品測定例 相対負荷曲線や面積分布曲線で摩耗や油溜りの評価が可能です。 スペクトル解析、切断面積や体積の解析、山頂や谷底の傾斜角産出・谷数のヒスト グラム算出が可能です。 QVH4 Proによるアクリルレンズアレイ測定例 ・ 測定データからの特徴抽出機能 任意断面の抽出、スロープ強調、切断面の山部・谷部同時解析が可能です。 25 26

SMART FACTORY 状態管理から予知保全まで。 「見える化」で始まる、スマートファクトリー。 ミツトヨはネットワークにより製造工程の情報を一元管理する機能を実現。MeasurL inkは測定機の データをリアルタイムで収集・分析することで不良品発生を予測します。また、測定機の稼働状態を 示すステータスモニタ（SMS:Smart Measur ing System）によりお客様の生産性の向上に寄与致します。 QVEio QVイーアイオー Status Monitor ステータスモニタ MeasurLink メジャーリンク スマートファクトリーを具現化する IOアプリケーション 測定機の稼働状況を遠隔地で監視可能 「品質の見える化」で不良品発生を抑制 QVEio-PLC対応事例 測定機QV QV用PC 操作盤 QVPAK 測定起動指令 etc. 搬送ロボット QVEio-PLC 測定結果判定 etc. 制御用PLC QV本体 ストッカー 位置決め治具 非常停止回路 サーバ ● 稼働状況のデータ収集と見える化を実現 ● MT Connect通信に対応 安全柵 27 28

INSPECTION DDPAK-QV クイックビジョン用欠陥検査ソフトウエア こちらから動画を ご覧いただけます 欠陥検査と高精度測定を両立させる、 ■特長 ● クイックビジョンシリーズで取得した画像データをDDPAK-QVに転送するシームレスな欠陥検査システムを構築し、欠陥の座標位置データの出力や画像の自動保存 クイックビジョンシリーズ用 が可能です。 ● 欠陥の寸法計測や形状解析が可能です。欠陥の座標位置やサイズ、深さ・高さなどの数値を解析することで、欠陥の原因分析や欠陥発生の予防・生産工程の改善 に役立てられます。 ソフトウエア “DDPAK-QV” ● お客様がご使用中のクイックビジョンにも欠陥検査ソフトウエアDDPAK-QVを追加することができます。検査機能の追加により、既設クイックビジョンの活用範囲を 広げることができます。 DDPAK-QVは、クイックビジョン用の欠陥検査ソフトウエア。 ■欠陥検出イメージ ■検査対象例 刃物のチッピング 電子部品の印刷にじみ 鏡面上のスクラッチ 測定時に使用することで、ゴミ・バリ・欠けなどの欠陥検査と 高精度な非接触測定を同時に実行することができます。 欠陥検出箇所を赤色表示 メイン画面 ■プラグイン機能 お客様が保有／開発する画像処理アルゴリズムやAI推論モデルをDDPAK-QVに組み込んで、欠陥検査に使用することができます。 み け 物 凹 欠 異 傷 市販ライブラリや オープンソースライブラリの QVPAK 利用も可能 画像取得 プラグイン バリ 画像読み込み HALCON DLL OpenCV DDPAK-QV アルゴリズム 検査実行 MATLAB ONNX 読み込み HALCONは、MVTec Software GmbHの登録商標です。 OpenCVは、米国およびその他の国における Intel Corporationの商標または登録商標です。 MATLABは、The MathWorks, Inc. の登録商標です。 ONNXは、LF Projects, LLC の登録商標です。 ■EDOF※機能 Z方向にカメラを動かしながら複数枚の画像を取得し、全焦点画像を合成します。 通常画像では一部がぼやけてしまう高低差のあるワークを想定した機能です。 ※EDOF：Extended Depth of Focu（s 拡張焦点深度） 通常画像イメージ 全焦点画像イメージ 異なる深さの穴異物 欠陥検査 高精度測定 EDOF機能はQV Activeでは動作できません。 29 30

座標測定機 画像測定機 形状測定機 光学機器 精密センサ 試験・計測機器 スケールユニット 測定工具、測定基準器、計測システム 海外拠点 国内営業 ･サービス拠点 営業所・事務所 営業所・事務所・M3 Solution Center 拠点 代理店ネットワーク 30ヵ国・地域 60ヵ国以上 こちらからすべての拠点をご確認いただけます。 https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/ お求めは当店で̶ 最寄りの営業所をご確認いただけます。 https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/japan/#sale 当社商品は外国為替および外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合が あります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。 ●当社商品は製造現場での使用を前提とした、工業用商品として設計、製造、販売されています。 ●本カタログで使用される当社商品名、サービス名およびロゴマークは、日本およびその他の国における株式会 　社ミツトヨの登録商標または商標です。また、その他の会社名および商品名等は、各社の登録商標または商標で 　ある場合があります。 〒213-8533 川崎市高津区坂戸1-20 -1 ●仕様、価格、デザイン（外観）ならびにサービス内容などは、予告なく変更することがあります。ご了承ください。 https://www.mitutoyo.co.jp ●本カタログに掲載されている仕様は2024年11月現在のものです。 148