微細形状スキャニングプローブ搭載画像測定機 MiSCAN Vision System

微細形状スキャニングプローブ搭載画像測定機 画 像 測 定 機 Catalog No.14024 (7)

微細形状測定を知り尽くした最適な測定機 画像測定ヘッドとスキャニングプローブ（MPP-NANO、SP25M）を搭載した理想的なハイブリッド機です。 目視による測定が難しい狭小部位でも画像ヘッドで正確な位置決めを行い、狙い込み測定が可能です。 サラブレッド 画像で正確に位置決め MPP-NANOスタイラスで測定 MPP-NANOスタイラス用観察ユニットをオプションに設定しました。ø0.125ｍｍの極小スタイラスでも モニターで確認しながら測定位置にアプローチ可能なため安心して操作ができます。 微細領域から大きめのワークに対応する高精度3Dスキャニング 最小径125umのスタイラスを搭載可能な新開発「MPP-NANO」プローブが微細領域での3Dスキャニング測定を実現しました。 観察カメラを搭載し、ワークの汚れ・キズの有無を確認しながら容易にアプローチできます。 スキャニング測定で高い実績を誇るSP25Mへも対応していますので大きめのワークへの汎用性も兼ね備えています。 マグネット方式によるキネマティックジョイントの採用により、異なるスタイラスへの交換が容易に行 高レベルでのパフォーマンスを持つ画像測定機能 えます。 スタイラス交換工具（MPP-NANOスタイラスツールセット）を標準装備。 画像測定機のベストセラーQuick Vision シリーズと同じ画像ヘッドを採用しました。 MPP-NANOスタイラス Quick Visionと同じ光学系と多彩な照明機能に強力なソフトウェアが加わって、 画像測定においても高いパフォーマンスを発揮します。 こちらから動画を ご覧いただけます 1 2

自動車電動化や、自動運転技術に不可欠なセンシング技術など、近年急速に微細加工技術が高まってまい りました。一方でこれらの微細形状を高精度、高スループットで測定することが求められています。 弊社ではいち早く超微細形状測定機UMAP Vision Systemを販売してまいりましたが、昨今の生産性向上の 要求から、高効率に微細形状が測定可能な”MiSCAN Vision System”と小径倣いプローブ”MPP-NANO”を開 発致しました。 MiSCAN Vision System ＋ MPP-NANOが実現する微細形状測定例 精密微細歯車 精密機構部品 MiSCAN Vision System + MPP-NANOであれば、これまで評価が困難であったモジュール1以下の精密微細歯車を高効率なスキャニング測定に MiSCAN Vision System + MPP-NANOは小型化、高精度化が進む産業機械等の機構部品の寸法測定を高効率、高精度に測定可能です。 よって評価可能です。 歯車評価ソフト”GEARPAK”により諸元値を入力するだけで歯形誤差、歯すじ誤差も簡単に評価可能です。 モジュール0.8　マスターギア測定例 MPP-NANO ø0.125mmスタイラス測定例 GEARPAK-Cylindrical解析例 精密機構部品（直動ガイド） スタイラス観察カメラユニットによる観察画像 FORMTRACEPAK-APによる形状解析例 レンズ/レンズ鏡筒 微細孔形状測定 MiSCAN Vision System + MPP-NANOは小型化、複雑形状化が進むレンズ及びレンズ鏡筒の高精度、高効率測定 を可能にします。車載カメラや監 MiSCAN Vision System ＋ MPP-NANOは従来破壊検査でしか測定できなかったノズルや線引きダイスなどの内径形状も、高アスペクト比最大 視カメラなどの急傾斜の非球面形状もMPP-NANOであれば高精度に測定可能です。 17のスタイラスによってスキャニング測定が可能となります。 レンズ鏡筒 MPP-NANOによる非球面形状スキャニング測定 SCANPAKによる形状解析例 最大アスペクト比17（R500-125-85の場合） MPP-NANOによる微細孔形状測定 FORMTRACEPAK-APによる解析結果 精密金型 微細表面形状 MiSCAN Vision System + MPP-NANOは従来の三次元測定機で困難な精密パンチ・ダイなどの微細部位を、ø0.125mmからラインアップする極小ス 微細V溝、微細矩形溝形状などをCAT1000（S オプション）を用いてCADデータから設計断面を生成し、設計値倣いおよび形状評価が可能です。 タイラスによるスキャニング測定を実現可能にします。 MPP-NANOによる金型のスキャニング測定 スタイラス観察カメラユニットによる観察画像 SCANPAKによる形状解析例 微細V溝形状 CADデータから設計断面生成（CAT1000S） SCANPAKによる設計値照合 3 4

MPP-NANO MVS-H302用 世界最高水準の極小・高精度スキャニングプローブ ● 最小径ø0.125mmからのスタイラスラインナップにより微細形状のスキャニング測定が 可能です。 ● 最大アスペクト比17（ø500L8.5）で深溝、深穴部位の測定にも適応可能です。 ● 繰返し精度σ≦0.05µm（MVS-H302）を実現、高精度な形状測定が可能です。 ● 約1mNと低測定力のため軟質物でも傷がつきにくく、測定物の変形を最小限に抑えま す。 ● マグネットジョイント方式のスタイラスで簡単にスタイラス交換が可能です。 ● スタイラス観察ユニット（オプション）により狭小部も観察しながら測定可能です。 仕様 MPP-NANO MPP-NANO MPP-NANO MPP-NANO 品名 スタイラス スタイラス スタイラス スタイラス ø125L2 ø300L4 ø500L4.5 ø500L8.5 型式 R125-85-20 R300-85-40 R500-85-45 R500-125-85 チップ呼び径 125 µm 300 µm 500 µm 500 µm スタイラス呼び長さ 2 mm 4 mm 4.5 mm 8.5 mm シャフト径 0.08 mm 0.2 mm 0.3 mm 0.3 mm アスペクト比 16 13.3 9 17 チップ材質 ルビー ルビー ルビー ルビー R125-85-20 R300-85-40 R500-85-45 R500-125-85 仕様 名称 MVS Hyper302 MVS Hyper404 MVS 404Apex 0.6 符号 MVS-H302P1L-D MVS-H404P1L-D MVS-X404P1L-D 0.6 画像 300x200x200ｍｍ 400x400x250mm 0.2 0.08 0.3 0.3 測定範囲 MPP-NANO/SP25M 175x200x200mm 275x400x250mm 最小分解能/測長ユニット 0.02µm/リニアエンコーダ 0.1µm/リニアエンコーダ ø0.125 ø0.3 ø0.5 撮像素子 B&W CCDカメラ× ø0.5 観察装置 パワータレット（1x-2x-6x) 照明装置 落射、透過、PRL照明 接触式プローブ MPP-NANO/SP25M SP25Mのみ E1X, E1Y 0.8+2L/1000 1.5+3L/1000 画像※1 E1Z 1.5+2L/1000 1.5+4L/1000 測定精度 [µm] E2XY 1.4+3L/1000 2.0+4L/1000 SP25M MPP-NANO E0MPE 1.9+4L/1000 ー SP25M E0MPE 1.9+4L/1000 2.5+6L/1000 小型高精度スキャニングプローブ MPP-NANO 0.6 ー ● 三次元測定機で実績の高い小型高精度スキャニングプローブ” スキャニング精度 [µm] P SP25M”も搭載可能です。 Form.Sph.Scan:PP:Tact,MPE 2.5 2.7 SP25M ● スタイラスチェンジャー ”Sph.Scan:PP:Tact,MPL 50s FCR25（” オプション）で横向きスタイラスなど複数のスタイラス MPP-NANO 0.6 ー を自動交換可能です。 プロービング精度 [µm] SP25 PForm.Sph.1×25:SS:Tact,MPE 1.9 2.2 ● 高精度ポイント測定や求心ポイント測定（オプション）で測定対象を確実に捉えます。 繰り返し精度σ[µm] MPP-NANO 0.05 ー 環境温度 18～23℃ 精度保証温度 温度変化 0.5℃/1Hかつ1℃/24H 載物ガラスの大きさ 399x271mm 493x551mm 測定物の最大質量※2 15kg 30kg 40kg 本体外観寸法 859x951x1609mm 1407x1027x1778mm 本体質量（設置台含む） 360kg 579kg ※1 画像の精度は対物レンズQV-HR2.5x+チューブ2xの光学条件の場合の精度です。 ※2 極端な変化中、集中荷重は除く ※ ISO10360-7:2011精度保証対応機も対応可能です。 お願い：本カタログに掲載されている CNC画像測定機には、想定外の振動が加えられた場合や、移動が行われた場合に本機の操作を禁止する本体起動システム（移設検知システム）が組込まれています。 ご購入後、本機を移動される場合は、お手数ですが必ず本機を移動される前に、弊社営業所（本カタログ裏表紙をご参照ください）までご連絡をお願い致します。 5 6 2 6.5 8.5 4 4.5 8.5 4.5 4 8.5 8.5 4 12.5

非接触測定（画像測定） 接触測定・スキャニング測定 MiSCAN Vision Systemには弊社製画像測定機 “クイック MiSCAN Vision Systemは三次元測定を知り尽くした本体 ビジョン”の観察光学系と照明ユニットを搭載。 コントローラとソフトウエアを採用、高次元の座標測 画像測定機としても高いレベルで威力を発揮します。 定技術を提供いたします。 VISIONPAK-PRO（必須オプション） MCOSMOS（必須オプション） 画像測定によるエッジ検出を簡単に行える"ワンクリックツール"や、最適な照明光量を自動で認識する 三次元測定を知り尽くしたMCOSMOSは寸法測定のほか線の輪郭度、面の輪郭度 "デュアルエリアコントラストツール"、エッジ検出を確実に実行する各種フィルター（モフォロジーフィルタ）など など幾何公差評価にも威力を発揮します。 高機能画像測定機能を網羅しました。 ワンクリック円弧ツール デュアルエリアコントラストツール 高精度画像測定 モフォロジーフィルター イメージセンサが得られた画像から高精度エッジ検出が可能です。 MCOSMOS MCOSMOS平面度作図 プログラム制御パワータレット 観察ユニットには倍率再現性が高く、解像度 SCANPAK（必須オプション） CAT1000S（オプション） の高いプログラム制御パワータレット を採用 しました。 MiSCAN Vision Systemで取得した輪郭データからの要素演算のほか設計値照 3DCADデータから設計値倣いの断面抽出や線の輪郭度や面の輪郭度の評価が 画像オートフォーカス 合やベストフィット照合などが可能です。 可能です。 画像オートフォーカスは非接触で高精度高さ測定 を実現します。また透明体や鏡面でもフォーカス 可能なパターンフォーカスも装備しています。 1× 2× FORMTRACEPAK-AP（オプション） 6× MiSCAN Vision Systemで取得したデータから設計値照合やオーバーピン径測定や任意深さの幅測定など高度な解析を行う事が可能です。 プログラム制御リング照明 最高水準の照射角度、照射方向の制御可能なプログラム制御リング照明を標準装備しています。 垂直落射照明 プログラム制御リング照明 載物ガラス 透過照明 7 8

主要オプション 対物レンズ 抜群の信頼性 ~国家標準へのトレーサビリティ~ 国家標準にトレーサブルな基準器を使用 国立研究開発法人 お客様の信頼を獲得するため、国家標準にトレーサブルに測定したい。 産業技術総合研究所 計量標準総合センター ・ミツトヨでは日本の国家標準にトレーサブルな長さ標準器を保有し、 協定世界時に同期した原子時計 211 44 67 211 44 67 測定機器の校正に使用する標準器の校正を行うことにより、各種測定 機器のトレーサビリティ確立と維持を行っています。 ・当社の校正事業者は、ILACのMRA（相互承認協定）により国際的に認め ミツトヨ 計量標準キャリブレーション課 られた認定機関であるIAJapanよりJCSSの認定を受けており、海外の校 （JCSS認定事業者 №0067） 対物レンズ QV-SL0.5×※1,2 112 57.5 55.5 QV-HR1× QV-SL1× QV-1H1R22.557×.5 55Q.5V-SL2.5× QV-HR5× QV-5× QV-HR10×※2 QV-10×※2 QV-25×※2 正機関と同等の測定技術能力を有することが認められています。 基準周波数発振器 （光周波数コム装置の基準器として使用） 作動距離 30.5mm 40.6mm 52.5mm 40.6mm 60mm 20.0mm 33.5mm 20mm 30.5mm 13mm PRO機 タレット1× 12.54×9.4 6.27×4.7 2.49×1.86 1,25×0.94 0.2612×1 0.4744 67 0.25×0.18 ミツトヨ 撮像視野 タレット2× 6.27×4.7 3.13×2.35 1.24×0.93 0.62×0.47 0.31×0.23 0.12×0.09 計量標準キャリブレーション課 ［（H）mm×（V）mm］タレット6× 2.09×1.56 1.04×0.78 0.41×0.31 0.20×0.15 0.10×0.07 0.04×0.03 （JCSS認定事業者 №0067） 長さ用633 nmよう素分子吸収線 ※1：「 QV-SL0.5×」は、MPP-NANOとのオフセットキャリブレーションに対応していませんので、MPP-NANOとの併用はできません。 波長安定化He-Neレーザ装置 ※2：対物レンズ「 QV-SL0.5×」、「QV-HR10×」、「QV-10×」、「QV-25×」を使用する場合は、被検物によっては照度不足など一部制限が発生する場合があります。 175 225 175 221572 322 172 322 112 57.5 55.5 ミツトヨ 宇都宮キャリブレーションセンタ （JCSS認定事業者 №0031） 長さ用633 nm実用波長安定化He-Neレーザ装置 ミツトヨ　川崎工場 85 44 145 85 44 145 基準スケール 175 225 172 322 画像測定機 83.5 57.5 34 83.5 57.5 34 ・MPP-NANO用スタイラス観察カメラユニット ・FCR25 SP25M用 ・マスターボールø4 ・マスターボールø16 85 44 145 安心のサポート体制 ・キャリブレーションゲージ ・キャリブレーションゲージ 世界トップクラスのグローバルネットワーク 1963年（昭和38年）、販売会社MTI社（米国）設立以来、全世界にそのマーケットを拡大しているミツトヨ。 125 175 12 外観寸法図・測定テーブル 835.5 57.5 31475 125 275 125 275 現在、29カ国に研究開発・製造・販売・技術サービス拠点と80数カ国の代理店網を構築しています。 50 300 50 50 300 47 50 47 47 47 各地域・社会に合わせたサービスで、 世界のトップメーカとしての地位を不動のものとしています。 1200 1200 本社 125 175 125 275 50 300 50 47 47 550 339 ■ 販売 662 550 339 755 859 2500 951 1027 2700 1407 ■ 研究開発 MVS-H302 86 44 M14V5 S-X44074/MVS-X404 86 44 145 47 83.5 57.5 34 50 83.5 57.5 34 50 86 44 145 47 画像・接触式プローブ共通測定範囲 接触式プローブ測定範囲 画像測定範囲 125 225 125 83.5 57.5 34 50 125 232252 125 322 50 300 50 47 50 304000 50 47 47 400 47 Mitutoyo Europe GmbH Mitutoyo（UK）L.td. Mitutoyo France Mitutoyo America Mitutoyo Italiana S.r.l. Mitutoyo Asia Pacific Pte. MITUTOYO SUL AMERICANA ステージサイズMVS-H302 接触式プローブ（MPP-NANO / SP-25M） ステージサイズMVS-X404 接触式プローブ（SP-25M） Corporation Head Office Ltd. Regional Headquarters Ltda. 9 10 125 225 125 322 50 300 50 47 400 47 1609 800.5 200 32 55 113 36 60.5 55 84.5 36 36 36 200 680 32 55 113 200 400 200 32 55 113 1777.5 36 60.5 55 84.5 36 804 36 36 200 32 55 113 36 60.5 55 84.5 36 36 36 32 55 113 200 32 55 113 400 127 186.5 86.5 400 127 186.5 86.5 127 186.5 86.5 51 400 101 51 400 101 680 127 186.5 86.5 127 186.5 86.5 127 186.5 86.5 127 186.5 86.5 51 400 101 51 400 101 127 186.5 86.5 127 186.5 86.5 51 400 101 51 400 101

座標測定機 画像測定機 形状測定機 光学機器 精密センサ 試験・計測機器 スケールユニット 測定工具、測定基準器、計測システム 仙台営業所 仙台市若林区卸町東1-7-30 〒984-0002 電話 (022)231-6881 ファクス(022)231-6884 M3 Solution Center…商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。 郡山営業所 仙台市若林区卸町東1-7-30（※1） 〒984-0002 電話 (024)931-4331 ファクス(022)231-6884 UTSUNOMIYA 宇都宮市下栗町 2200 〒321-0923 電話 (028) 656-1607 ファクス (028) 656-9624 宇都宮営業所 宇都宮市平松本町796-1 〒321-0932 電話 (028)660-6240 ファクス(028)660-6248 TOKYO 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-1611 ファクス (044) 813-1610 水戸営業所 水戸市元吉田町260-3 〒310-0836 電話 (029)303-5371 ファクス(029)303-5372 SUWA 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830 伊勢崎営業所 伊勢崎市宮子町3463-13 〒372-0801 電話 (0270)21-5471 ファクス(0270)21-5613 ANJO 安城市住吉町 5-19-5 〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761 さいたま営業所 さいたま市北区宮原町3-429-1 〒331-0812 電話 (048)667-1431 ファクス(048)667-1434 OSAKA 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817 新潟営業所 新潟市中央区新和1-6-10 リファーレ新和 1F-B 〒950-0972 電話 (025)281-4360 ファクス(025)281-4367 HIROSHIMA 呉市広古新開 6-8-20 〒737-0112 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163 川崎営業所 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044)813-1611 ファクス(044)813-1610 計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。 詳細は弊社営業所にご連絡ください。 東京営業所 川崎市高津区坂戸1-20-1（※1） 〒213-8533 電話 (03)3452-0481 ファクス(044)813-1610 厚木営業所 厚木市中町2-6-10 東武太朋ビル2F 〒 ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000 243-0018 電話 (046)259-6400 ファクス(046)259-6404 富士駐在所 電話 (0545)55-1677 キャリブレーションセンタ…商品の検査・校正・保守・修理をお受けしています。 諏訪営業所 諏訪市中洲582-2 〒392-0015 電話 (0266)53-6414 ファクス(0266)58-1830 宇都宮 宇都宮市下栗町2200 〒321-0923 電話 (028) 656-1432 ファクス (028) 656-8443 上田駐在所 電話 (0268)26-4531 川崎 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-8214 ファクス (044) 813-8223 浜松営業所 浜松市東区和田町587-1 〒435-0016 電話 (053)464-1451 ファクス(053)464-1683 広島 呉市郷原町一ノ松光山10626番62 〒737-0161 電話 (0823) 70-3820 ファクス (0823) 70-3833 安城営業所 安城市住吉町5-19-5 〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761 中部オートモーティブ営業所 安城市住吉町5-19-5 〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761 カスタマーサポートセンタ…商品に関しての各種のお問合せ、ご相談をお受けしています。 名古屋営業所 名古屋市昭和区鶴舞4-14-26 〒466-0064 電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921 電話 (0570) 073214 ファクス (044) 813-1691 金沢営業所 金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田 〒920-0057 電話 (076)222-1160 ファクス(076)222-1161 大阪営業所 大阪市住之江区南港北1-4-34 〒559-0034 電話 (06)6613-8801 ファクス(06)6613-8817 神戸営業所 神戸市西区丸塚1-25-15 〒651-2143 電話 (078)924-4560 ファクス (078)924-4562 京滋営業所 草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F 〒525-0032 電話 (077)569-4171 ファクス(077)569-4172 岡山営業所 岡山市北区田中134-107 〒700-0951 電話 (086)242-5625 ファクス(086)242-5653 広島営業所 東広島市八本松東2-15-20 〒739-0142 電話 (082)427-1161 ファクス(082)427-1163 福岡営業所 福岡市博多区博多駅南4-16-37 〒812-0016 電話 (092)411-2911 ファクス(092)473-1470 センシング営業課 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044)813-8236 ファクス(044)822-8140 地震機器課 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044)455-5021 ファクス(044)822-8140 （※1）営業所の業務につきましては記載の住所にて行っております。 最寄りの営業所をご確認いただけます。 お求めは当店で̶ https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/japan/#sale 弊社商品は外国為替及び外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合が あります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 https://www.mitutoyo.co.jp ●仕様、価格、デザイン(外観)ならびにサービス内容などは、予告なしに変更することがあります。あらかじめご了承ください。 ●本カタログに掲載されている仕様は2022年11月現在のものです。 064 2211(7)B-(PA)NE144