超高精度CNC画像測定機 クイックビジョンウルトラ

超高精度CNC画像測定機 クイックビジョンウルトラ 画 像 測 定 機 Catalog No.14002(3)

高速化、高精度化により進化を遂げた 究極のフラグシップマシン 超高精度機を支えるテクノロジー FEM解析による最適構造設計 高精度機に適した本体構造 トラッキングオートフォーカス（TAF） FEM解析を用いた最適構造設計によ QV ULTRAに採用した固定ブリッジ 測定物の高さ変化に合わせて、連続的にフォーカスす り、各構造体のリブの位置や重量配分 テーブル移動構造は、X軸とY軸を る機能です。 を行っています。その結果、極めて剛 完全に独立させた構造で、お互いの 表面のうねり・そり（Z軸高さ方向）に自動追従するこ 性の高い本体構造を実現しています。 運動精度に影響されにくい特長を とで、測定スルー 持っています。またX軸、Y軸のガイ プットの向上を実 Z軸自動追従 ドには、耐摩耗性に優れ、熱安定性 現します。また、 の高いグラナイトを採用しています。 手動測定におい ても、面倒なピン 同焦点 ト合わせが減るこ 同焦点 自己吸引型エアパッド ボールねじフローティング機構 とで、測定作業者 測定物の表面 の負担が軽減さ Y軸に通常のエアパッドを使用した場合、適正な剛性を得るた QV ULTRAでは信頼性の高いボールネジを採用しています。 れます。 めステージの質量を大きくする必要があります。QV ULTRAで 真直度など運動性能に影響を及ぼす軸周りの振れについては、 注）変位の連続測定は行えません。 は、自己吸引型と呼ばれる特殊なエアパッドを使用し、圧縮空 フローティング機構を設けることで、誤差を最小限に抑え且つ 気によりエアパッドを浮かせると同時に、中央部に負圧による 駆動速度の向上を図っています。 レーザ光源 半導体レーザ ピーク波長690 nm 真空領域を設けることで吸着力を発生しています。これによ レーザ安全性 Class2（JIS C6802:2014, EN/IEC60825-1:2014+A11:2021）に準拠 ボールスクリュ パルスジェネレータ り、 オートフォーカス方式 対物レンズ同軸方式（ナイフエッジ法） Y軸の高剛性化とステージの軽量化を同時に実現し、安 適用対物レンズ QV-HR1x QV-SL1x QV-HR2.5x QV-SL2.5x QV-5x 定したステージ駆動を可能にしま サーボモータ トラッキングレンジ※ 6.3 mm 6.3 mm 1 mm 1 mm 0.25 mm した。 （±3.15 mm）（±3.15 mm） （±0.5 mm） （±0.5 mm）（±0.125 mm） フローティング機構 ※ トラッキングオートフォーカスをおこなう際は、ワークとの衝突を防止するた ガイドブロック め、必ず上下限ソフトウェアリミットの設定をおこなって下さい。 トラッキン グレンジは、ワークの表面性状や反射率によって異なります。 ナット 圧縮空気 圧縮空気 吸 ガイド面 引 高精度高分解能スケール エアパッド 各軸の基準となる測長系には、当社が独自に開発した、最小表 示量0.01 µmの高分解能リニアエンコーダシステムを搭載してい ます。また材質として、熱膨張係数がほぼゼロの結晶化ガラスを 真空吸引領域 使用しているため、温度変化によるスケールの伸縮を最小限に 抑え、より信頼性の高いデータを提供します。 温度補正機能 エアサーバー 本体内部に搭載した温度計ユニットにより、各軸の温度を読み 供給するエアの温度が、測定機の構 取り本体の伸縮量を計算して補正を行います。これにより、19 造に影響を及ぼすのを避けるため、 ～23℃という広範囲での精度保証が可能となります。 エアサーバーにより常に一定の温度 また測定物の温度も2本のセンサでリアルタイムに測定を行 に保たれたエアを供給します。 い、20℃時の寸法に換算した結果を出力します。 1 2

PERFORMANCE SOFTWARE 高性能画像オートフォーカス QVPAK クイックビジョンの画像オートフォーカスは、機械加工面やプラスチック成形品など鏡面から粗面まで、あらゆる条件で高精度、高速に高さ測定が可能です。 クイックビジョンの画像データからXYZの位置情報を検出し座標値、寸法値を即時に演算処理します。 演算機能の一例 ICパッケージ 点測定 線測定 円測定 面測定 球測定 段付円筒 円筒測定円錐測定 バッファ 角度 距離 交点 交線 中点 中線 パターンフォーカス マルチポイントオートフォーカス 電子半導体部品に広く用いられるガラス表面やフィルム表面、鏡面加工などのコントラ マルチポイントオートフォーカスは複数のフォーカス位置やサイズ、角度を任意に設定 ストの得られにくい表面でも、光路内に配置されたパターンを投射してオートフォーカ できます。1回のフォーカス動作で複数点の高さ情報が得られ、高効率に高さ測定や平 スが可能です。 面度測定が可能です。 高機能照明ユニット ・ クイックビジョンでは透過・垂直落射・プログラム制御リング照明の全光源にLED光源 垂直落射照明 を採用しています。 ・ 照明の一定性を高レベルで達成しており、複数のQV間でのパートプログラム互換性に 優れています。 ・ LED光源は応答性に優れているため、測定スループットが向上します。 ・ ハロゲン光源と比べて長寿命なため光量変動が少なく、光量変化によるエラー発生を プログラム制御リング照明 OPTION SOFTWARE 最小限に抑えます。 FORMTRACEPAK-AP フォームトレースパックAP QV3DCAD QV3DCAD 載物ガラス 形状評価・解析ソフト 輪郭照合機能 3DCADモデルを利用してQVPAKのパートプログラム生成が行えます。 透過照明 垂直落射照明 プログラム制御リング照明 透過照明 ・設計データの作成： CADデータ変換、マスタワーク変換、関数指定、 最新バージョンではQVシステムと同期させて実際のワークを見ながらティー テキストファイルの変換、非球面設計値作成 チングするオンラインモードと、本体と接続されていないパソコンでもパートプ ・設計値照合： 法線方向照合、軸方向照合、ベストフィット照合 ログラムの生成が出来るオフラインモードの両方をサポートしました。 プログラム制御リング照明（PRL） ・結果表示： 結果一覧表示、誤差線図、誤差展開図、誤差座標値表示機能、 2つの曲面ミラーの位置を変更する事により、リング照明の照射角度を30°～80°の範囲で 解析結果表示 任意に設定が可能で、傾斜面や微細段差のエッジ強調に効果をもたらします。 さらにPRL照明は前後左右それぞれ独立して光量の設定が可能で、測定箇所に合わせた 微細形状解析 報告書作成機能 バリエーションの高い照明設定が可能です。 ・解析項目： 点測定、線測定、円測 ・測定結果、誤差線図、誤差展開図 定、距離測定、交点測定、角度測 定、原点設定、軸回転 プログラム制御パワータレット QV-HR2.5x使用時 ・演算項目： 最大値、最小値、平均 その他機能 値、標準偏差、面積向 ・ 解析手順の記録 /実行 ・ 外部出力機能クイックビジョンのプログラム制御パワータレットは倍率再現性に優れており高精度測定 CSV形式出力、テキスト出力、 に適しています。標準仕様は、1x、2x、6xの3段階の倍率変更が可能※です。0.5倍から25 DXF/IGES形式出力 倍までの幅広い対物レンズとの組み合わせにより測定対象物に合わせて最適な光学系 ・ フェアリング処理 を選択できます。対物レンズは本体導入後でも追加購入可能です。 ・ 二次曲線あてはめ機能 オフラインティーチングモード ※：特注仕様にて、1x、2x、4x、6xの4段階に変更することも可能です。 ・ 疑似粗さ解析機能 タレット1x　視野2.49×1.86 mm タレット2x　視野1.24×0.93 mm デジタル変倍機能 NEW プログラム制御パワータレットの6xにデジタル変倍の12xが加わり、4段階の倍率変更が 可能になります。さらに、特注仕様のタレット1x、2x、4x、6x仕様では、デジタル変倍は8xと オンラインティーチングモード 12xが加わり、計6段階の倍率変更が可能です。 タレット6x　視野0.41×0.31 mm デジタル変倍12x　視野0.20×0.15 mm 3 4

PFF（Points From Focus）機能 PF（F Points From Focus）はクイックビジョンシリーズの画像コントラストを用いて非接触三次元形状測定が可能なアプリケーションです。 弊社検査方法によりZ方向繰返し精度を保証していますので高精度な形状測定が行えます。 LINE-UP QV3D機能（オプション）による PFFの原理 QV光学系 画像の連続取得 コントラスト 三次元形状データの合成 PFFの測定性能 スキャン PFFは弊社検査方法により Z方向 繰返し精度を保証します。 QV ULTRA Z方向繰返し精度 2σ≦0.7 µm 精度保証 QV-5× 光学倍率 + QV-U404P1L-E PT2× ワーク：クラウンギア ※PFF機能を使用される場合は、QV3DPAK およびPFF対応対物レンズをお求めくだ 仕様 PFFの測定例 モールド品のパーテーションライン ICパッケージBGA さい（詳細はお問い合わせください）。 名称 QV ULTRA 符号 QV-U404P1L-E QV-U404T1L-E 本体部　寸法・質量 測定範囲（X × Y × Z） [mm] 400×400×200 外観寸法（幅 × 奥行 × 高さ）（専用設置台を含む） [mm] 1172×1736×1910 積載ガラス（幅 × 奥行） [mm] 493×551 本体質量（専用設置台を含む） [kg] 2150 EUX / EUY, MPE ①（0.35 + 1.3 L / 1000） / ②（0.35 + 1.8 L / 1000） 画像測定精度 [µm]※1 画像 EUXY, MPE ①（0.5 + 2 L / 1000） / ②（0.5 + 2.5 L / 1000） EUZ, MPE ①（1.5 + 2 L / 1000） / ②（1.5 + 3.5 L / 1000） 精度保証光学倍率 5倍対物レンズ（QV-HR5x または QV-5x）＋ 中倍チューブレンズ スケール分解能 [µm] 0.01 精度保証温度 環境温度※2 ①20±2 ℃ / ②19～24 ℃ OPTION 温度変化 0.5 ℃ / 1 H かつ 1 ℃ / 24 H 最大測定物質量 [kg]※3 40 撮像素子 B&W CMOSデジタルカメラ 透過照明 白色LED 照明装置 垂直落射照明 白色LED プログラム制御リング照明 白色LED 観察装置※4 プログラム制御パワータレット　1x、2x、6x（、12x）系※5 トラッキングオートフォーカス装置 ̶ ○ 空気使用条件 使用空気圧 0.4 MPa※6 必要空気流量 300 L / min（ANR） 温度補正機能 自動温度補正 ※1 Lは任意の測定長さ（単位：mm）　 ※2 環境温度によって保証精度が異なる。　 ※3 極端な偏荷重、集中荷重は除く。 QV対物レンズ ※4 プ ログラム制御パワータレット1x、2x、4x、6xモデルは特注にて対応可能。また1x、2x、4x、6xに加え、デジタル変倍機能による8x、12xで計6段階の倍率変更が可能です。 ※5（　）はデジタル変倍。　 対物レンズ ※6 空気源元圧は、0.5～0.9 MPaが必要。 QV-SL0.5x※1 QV-HR1x QV-SL1x QV-HR2.5x QV-SL2.5x QV-HR5x QV-5x QV-HR10x※1 QV-10x※1 QV-25x※1 パーツNo. 02AKT199 02AKT250 02ALA150 02AKT300 02ALA170 02AWD010 02ALA420 02AKT650 02ALG010 02ALG020 PFF対応対物レンズセット ー ー ー 02AKX895B ー 02AXA915B 02AKX900B 02AKX905B ー 02AKX910B 作動距離 [mm] 30.5 40.6 52.5 40.6 60.0 20.0 33.5 20.0 30.5 13.0 タレット1x 12.54x9.4 6.27x4.7 2.49x1.86 1.24x0.93 0.62x0.47 0.25x0.18 視野 タレット2x 6.27x4.7 3.13x2.35 1.24x0.93 0.62x0.47 0.31x0.23 0.12x0.09 (H) mmx(V) mm※2 タレット6x 2.09x1.56 1.04x0.78 0.41x0.31 0.20x0.15 0.10x0.07 0.04x0.03 外観寸法 単位：mm デジタル変倍12x 1.04x0.78 0.52x0.39 0.20x0.15 0.10x0.07 0.05x0.03 0.02x0.01 11.5 111 276 111 11.5 24-M6 深さ12　 ※1 対物レンズQV-SL0.5x、QV-HR10x、QV-10x、QV-25xを使用する場合は測定物によっては照明の明るさ不足など一部制限が発生する場合があります。 7.5 90 50 88 50 88 50 90 7.5 治具固定用 ※2 視野は代表値であり、保証値ではございません。 1200 校正用チャート QV補正用チャート コラム コラム 測定範囲 撮像素子のピクセルサイズ補正や変倍装置 光学系が持つ画面内の歪を補正するための｢画面内補正｣ PPTの各倍率時のオートフォーカス精度と光 と被写体のパターンやテクスチャの違いで生ずるオート 軸オフセット補正に使用します。 フォーカスのバラツキを低減する｢オートフォーカス補正｣ 200 200 200 200 200 を行うためのガラスチャートです。 243 325 325 279 331 850 555 注） レンズによっては、機能の使用制限があります。 1172 1736 詳しくは、弊社営業へお問合せください 2750 注） レンズによっては、機能の使用制限があります。 60.5 400 60.5 13 495 13 8-ø7 詳しくは、弊社営業へお問合せください 33.5 521 33.5 ガラスレベル調整用 588（コラム間の寸法） 測定範囲 ガラス面 コラム コラム 治具取付面 5 6 1910 889 700 46.5 124 308 124 46.5 42.5 103 50 104 50 104 50 103 42.5 5～7 200 92.5 400 156.5 48 553 48 649

座標測定機 画像測定機 形状測定機 光学機器 精密センサ 試験・計測機器 スケールユニット 測定工具、測定基準器、計測システム 仙台営業所 仙台市若林区卸町東1-7-30 〒984-0002 電話 (022)231-6881 ファクス(022)231-6884 M3 Solution Center…商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。 郡山営業所 仙台市若林区卸町東1-7-30（※1） 〒984-0002 電話 (024)931-4331 ファクス(022)231-6884 UTSUNOMIYA 宇都宮市下栗町 2200 〒321-0923 電話 (028) 656-1607 ファクス (028) 656-9624 宇都宮営業所 宇都宮市平松本町796-1 〒321-0932 電話 (028)660-6240 ファクス(028)660-6248 TOKYO 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-1611 ファクス (044) 813-1610 水戸営業所 水戸市元吉田町260-3 〒310-0836 電話 (029)303-5371 ファクス(029)303-5372 SUWA 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830 伊勢崎営業所 伊勢崎市宮子町3463-13 〒372-0801 電話 (0270)21-5471 ファクス(0270)21-5613 ANJO 安城市住吉町 5-19-5 〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761 さいたま営業所 さいたま市北区宮原町3-429-1 〒331-0812 電話 (048)667-1431 ファクス(048)667-1434 OSAKA 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817 新潟営業所 新潟市中央区新和1-6-10 リファーレ新和 1F-B 〒950-0972 電話 (025)281-4360 ファクス(025)281-4367 HIROSHIMA 呉市広古新開 6-8-20 〒737-0112 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163 川崎営業所 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044)813-1611 ファクス(044)813-1610 計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。 詳細は弊社営業所にご連絡ください。 東京営業所 川崎市高津区坂戸1-20-1（※1） 〒213-8533 電話 (03)3452-0481 ファクス(044)813-1610 厚木営業所 厚木市中町2-6-10 東武太朋ビル2F 〒 ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000 243-0018 電話 (046)259-6400 ファクス(046)259-6404 富士駐在所 電話 (0545)55-1677 キャリブレーションセンタ…商品の検査・校正・保守・修理をお受けしています。 諏訪営業所 諏訪市中洲582-2 〒392-0015 電話 (0266)53-6414 ファクス(0266)58-1830 宇都宮 宇都宮市下栗町2200 〒321-0923 電話 (028) 656-1432 ファクス (028) 656-8443 上田駐在所 電話 (0268)26-4531 川崎 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-8214 ファクス (044) 813-8223 浜松営業所 浜松市東区和田町587-1 〒435-0016 電話 (053)464-1451 ファクス(053)464-1683 広島 呉市郷原町一ノ松光山10626番62 〒737-0161 電話 (0823) 70-3820 ファクス (0823) 70-3833 安城営業所 安城市住吉町5-19-5 〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761 中部オートモーティブ営業所 安城市住吉町5-19-5 〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761 カスタマーサポートセンタ…商品に関しての各種のお問合せ、ご相談をお受けしています。 名古屋営業所 名古屋市昭和区鶴舞4-14-26 〒466-0064 電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921 電話 (0570) 073214 ファクス (044) 813-1691 金沢営業所 金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田 〒920-0057 電話 (076)222-1160 ファクス(076)222-1161 大阪営業所 大阪市住之江区南港北1-4-34 〒559-0034 電話 (06)6613-8801 ファクス(06)6613-8817 神戸営業所 神戸市西区丸塚1-25-15 〒651-2143 電話 (078)924-4560 ファクス (078)924-4562 京滋営業所 草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F 〒525-0032 電話 (077)569-4171 ファクス(077)569-4172 岡山営業所 岡山市北区田中134-107 〒700-0951 電話 (086)242-5625 ファクス(086)242-5653 広島営業所 東広島市八本松東2-15-20 〒739-0142 電話 (082)427-1161 ファクス(082)427-1163 福岡営業所 福岡市博多区博多駅南4-16-37 〒812-0016 電話 (092)411-2911 ファクス(092)473-1470 センシング営業課 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044)813-8236 ファクス(044)822-8140 地震機器課 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044)455-5021 ファクス(044)822-8140 （※1）営業所の業務につきましては記載の住所にて行っております。 最寄りの営業所をご確認いただけます。 お求めは当店で̶ https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/japan/#sale 弊社商品は外国為替及び外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合が あります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 https://www.mitutoyo.co.jp ●仕様、価格、デザイン(外観)ならびにサービス内容などは、予告なしに変更することがあります。あらかじめご了承ください。 ●本カタログに掲載されている仕様は2023年5月現在のものです。 2305(3)B-(CH)NE144