非接触3D計測システム クイックビジョンWLI Proシリーズ

非接触3D計測システム クイックビジョン 画 WLI Proシリーズ 像 測 定 機 Catalog No.14001(8)

座標寸法測定と3 D形状の非接触測定を 1台で実現！ 白色光干渉計（White L ight Interferometer）WLI光学ヘッドを搭載した 先進の高精度デュアルヘッド測定システム 高精度高分解能の非接触2D・3D測定 様々な測定表面に対応 画像測定機に白色光干渉計（WLI光学ヘッド）を用いる 3DCADモデルを用いたオンラインのプログラミングに ことで、2Dの座標・寸法測定から微細領域における表 加え、オフラインでの画像およびタッチプローブのプロ 面解析や小径穴の深さ、基板の配線寸法などの高精 グラム生成ができ、クイックビジョンPro本体の稼働率 度3D測定に威力を発揮します。 向上によるリードタイムの短縮を図ることができます。 画像光学ヘッド WLI光学ヘッド 金属 樹脂 WLI測定原理 白色光を、干渉対物レンズ内の参照ミラーと測定サンプルへの光束に二分割させます。 干渉対物レンズをZ方向に走査すると、測定サンプルにピントが合っている箇所にのみ、白色の干渉縞が発生します。 この干渉縞強度のピーク位置を、CCDカメラの各ピクセル位置で検出することで、測定物の三次元形状を算出してい ます。 CCDカメラ 干渉縞 Z軸スキャン 白色光 ビームスプリッタ 干渉対物レンズ 参照ミラー ビームスプリッタ 測定物 測定物 WLIの光学系ヘッド 干渉縞と強度イメージ 1 2

PERFORMANCE APPLICATION 進化し続ける画像測定機能と先進のW L I光学ヘッドが 半導体パッケージ基板 半導体パッケージ基板 織り成す最高のパフォーマンス 一台二役による高効率測定の実現 画像測定 3D測定 座標・寸法測定は、実績のあるクイックビジョンProの画像測定機 座標、ピッチ、径、幅、角度など 表面解析、断面寸法 能を、全て継承しています。 段差、輪郭照合など 画像測定に引き続き、段取り替えなしに3D測定へ移行できます。 これらの連続測定は、クイックビジョンProの自動制御により、シー 表面解析 断面形状測定 ムレスな自動測定が可能です。 半導体パッケージ基板 金属薄膜 測定ターゲットへの容易な狙いこみ 内径、深さ測定 表面解析、段差測定 BtoBコネクタ BtoBコネクタ 画像光学ヘッドとWLI光学ヘッドのオフセット量は、高精度にキャリブレーション されています。 低倍率・広視野の画像光学ヘッドで位置決めを行えば、高倍率のWLI光学ヘッド に切り換えても、ターゲット部位を見失わない効率的な測定が可能です。 ミツトヨの高精度化技術を結集させた先進のプラットフォーム 大型ステージかつ高精度を誇る本体構造は、高精度化に有利なX軸とY軸が互 断面形状測定 座標位置、外径、高さ測定 いに独立した固定ブリッジ・ステージ移動構造を採用しています。 更に、安定した測定のために、エアー式オートレべリング除振台を標準装備して 微細精密加工部品 3D表面性状解析 います。 クイックビジョンWLI Proリーズ専用の設計により、卓越した除振性能を誇ります。 大判ワークの長寸法から微細形状まで、様々な測定において、高精度測定を実現 します。 エアー式 オートレべリング除振台 断面形状測定 表面解析、段差、断面形状測定 3 4

SOFTWARE QV3D機能（ オプション） 干渉縞画像から三次元形状データを合成し、形状の表示や点群データの外部出力を行います。 この点群データは、QVPAKによって、面の生成や高さ、内外径などの結果出力に利用できます。　 また、3Dデータを形状・評価解析ソフトウェア（オプション）へ転送することで、形状測定や表面解析が可能となります。 アプリケーション 不確かな目視測定から、自動演算による正確な測定へ 水平断面抽出 からの円測定 深さ 測定イメージ 断面抽出イメージ 3Dデータ合成処理 システム制御用メインソフトウェア QV3D機能 QVPAK 段差 QVPAK 測定イメージ 高機能と汎用性を備えた画像測定機用ソフトウェアQVPAKに、干渉縞画像取得の機能を追加しています。 ZX（YZ）断面抽出からの輪郭形状解析 3Dデータからの表面解析 QVPAKで作成する測定手順プログラムは、画像測定の座標・寸法やWLI測定の3Dデータ合成、データ出力、 FORMTRACEPAK-AP（オプション）使用 FORMTRACEPAK-PRO（オプション）使用 形状・評価解析ソフトウェア（オプション）を自動制御し、高効率の測定システムをご提供いたします。 演算機能の一例 3Dプロファイルスティッチング 1視野の測定では測定対象エリアをカバーできない場合、複数視野の三次元形状データを連結することができます。 3Dプロファイルスティッチングは、高分解能を維持したままで広範囲の測定や解析を可能にします。 点測定 線測定 円測定 面測定 球測定 段付円筒 円筒測定 円錐測定 バッファ 角度 距離 交点 交線 中点 中線 充実の画像測定機能 MSURF-I エムサーフ アイ 円ツール 線ツール オートトレースツール パターンサーチツール QVH1 Pro / QVH4 ProやQVWLI Proなどで取得した3D形状表面の点群データから、幾何要素の抽出、自由曲面および断面 の評価、マスターデータとの比較照合が可能です。 ※MSURF-Iの解析には別途PCが必要です。 AI照明ツール（光量自動補正） マルチポイントAF 各種フィルタ 幾何偏差作図 5 6

OPTION SOFT WARE FORMTRACEPAK-AP フォームトレースパックAP OPTION 形状評価・解析ソフト 輪郭照合機能 報告書作成機能 ・設計データの作成： CADデータ変換、マスタワーク変換、関数指定、 ・測定結果、誤差線図、誤差展開図 テキストファイルの変換、非球面設計値作成 ・設計値照合： 法線方向照合、軸方向照合、ベストフィット照合 ・結果表示： 結果一覧表示、誤差線図、誤差展開図、誤差座標値表示機能、解 析結果表示 その他機能 ・ 解析手順の記録 /実行 ・ フェアリング処理 ・ 外部出力機能 ・ 二次曲線あてはめ機能 QV対物レンズ 微細形状解析 CSV形式出力、テキスト出力、 ・ 疑似粗さ解析機能 対物レンズ QV-SL0.5x※1 QV-HR1x QV-SL1x QV-HR2.5x QV-SL2.5x QV-HR5x QV-5x QV-HR10x※1 QV-10x※1 QV-25x※1 パーツNo. 02AKT199 02AKT250 02ALA150 02AKT300 02ALA170 02AWD010 02ALA420 02AKT650 02ALG010 02ALG020 ・解析項目： 点測定、線測定、円測定、距離測定、交点測定、角度測定、原点設 DXF/IGES形式出力 PFF対応対物レンズセット ー ー ー 02AKX895B ー 02AXA915B 02AKX900B 02AKX905B ー 02AKX910B 定、軸回転 作動距離 [mm] 30.5 40.6 52.5 40.6 60.0 20.0 33.5 20.0 30.5 13.0 ・演算項目： 最大値、最小値、平均値、標準偏差、面積向 タレット1x 12.54x9.4 6.27x4.7 2.49x1.86 1.24x0.93 0.62x0.47 0.25x0.18 視野 タレット (H) mmx(V) mm※2 2x 6.27x4.7 3.13x2.35 1.24x0.93 0.62x0.47 0.31x0.23 0.12x0.09 タレット6x 2.09x1.56 1.04x0.78 0.41x0.31 0.20x0.15 0.10x0.07 0.04x0.03 デジタル変倍12x 1.04x0.78 0.52x0.39 0.20x0.15 0.10x0.07 0.05x0.03 0.02x0.01 ※1 対物レンズQV-SL0.5x、QV-HR10x、QV-10x、QV-25xを使用する場合は測定物によっては照明の明るさ不足など一部制限が発生する場合があります。 ※2 視野は代表値であり、保証値ではございません。 WLI干渉対物レンズ 対物レンズ パーツNo. 干渉方式 モニタ倍率 視野※1 作動距離 （mm） （mm） QV WLI A-5x 02ALY400 ミロー 270x 0.64 x 0.48 13.2 QV WLI A-10x 02ALT630 ミロー 540x 0.32 x 0.24 12.6 QV WLI A-25x 02ALT670 ミロー 1350x 0.13 x 0.10 4.7 QV WLI A-50x 02AWB150 ミロー 2700x 0.064 x 0.048 2.4 モニタ倍率は、24型液晶モニタ（解像度WUXGA）の場合です。 ※1：結像レンズ2xを標準装備しています。視野およびモニタ倍率は代表値であり、保証値ではござ いません。 MCubeMap エムキューブマップ キャリブレーション関連 3D表面性状解析ソフトウェア WLI光学ヘッド傾斜校正用治具 干渉縞調整治具 多彩なグラフィック技術により、解析したデータを鮮明にイメージ化します。 本製品を使用し、W L I干渉対物レンズ焦点位置と干渉縞発生位置を一致させ 最新の ISO25178-2/JIS B 0681-2の表面性状パラメータ規格に対応し、SaやSq 本製品を使用し、W L I光学ヘッドの るための調整を行います。 などの高さ、関数、空間、複合、体積などのパラメータ解析が可能です。 傾斜校正を行います。 尚、校正用チャートと組み合わせて使用します。 解析結果を自由にレイアウトした、グラフィカルなレポートを簡単に作成で 本調整により、WLI光学ヘッドの傾 きます。 斜誤差を補正し、高精度の測定が 実現可能となります。 干渉縞調整治具 衝突検知ユニット QVWLI に搭載する衝突防止センサです。 校正用チャート QV WLI A-25xおよびQV WLI A-50x に使 用できます。衝突防止センサがステー その他クイックビジョン用オプションソフトが使用可能です。 ジまたはワークに接触し、Z軸移動を緊 詳しくは、Catalog No.14028 クイックビジョンProシリーズ も併せて、ご覧ください。 急停止させることで、WLI干渉対物レン ズの破損を防止します。 豊富なデータ操作と解析機能 校正用チャート QV補正用チャート レべリング、非測定点処理、形状除去、負荷曲線、ピーク分布、ツイスト解析※、 撮像素子のピクセルサイズ補正や変倍装置 PPTの各 光学系が持つ画面内の歪みを補正するための｢画面 フラクタル解析、穴部 /突起部の体積、性状の方向など 倍率時のオートフォーカス精度と光軸オフセット補正 内補正｣ と被写体のパターンやテクスチャの違いで に使用します。 生ずるオートフォーカスのバラツキを低減する｢オー 注） レンズによっては、機能の使用制限があります。 トフォーカス補正｣を行うためのガラスチャートです。 詳しくは、弊社営業へお問合せください 注） レンズによっては、機能の使用制限があります。 詳しくは、弊社営業へお問合せください 7 8

外観寸法図 LINE-UP 単位：mm QVWLI HYPER 404 Pro 1200 1200 ø60 ø60 ø60 ø60 145.5 827 145.5 227.5 1075 123.5 1118 1426 2542 24-M6 深さ12 （ （ジグ固定用タップ） 7） 92 50 86 50 86 50 92 （7） ø60 ø60 ø60 ø60 12445-M.56 深さ12 （78）27 92 50 86 51045.856 50 92 （7） 227.5 1075 123.5 （ジグ固定用タップ） 1118 1426 2542 コラム コラム コラム コラム QVWLI HYPER 404 Pro QVWLI HYPER 606 Pro 16～17 315（WLI可動範囲） （ジグ取付面からガラス上面まで） （60） 400（画像測定範囲） （60） （13） 494（載物ガラスはめ込み部） （13） 仕様 （30） 520 （30） 16～17 5830（15（コWラLムI可間動の範寸囲法）） 1200 （ジグ取付面からガラス上面まで） （60） 400（画像測定範囲） （60） （13） 494（載物ガラスはめ込み部） （13） （30） 520 （30） 580（コラム間の寸法） 名称 QVWLI HYPER 404 Pro QVWLI HYPER 606 Pro QVWLI HYPER 606 Pro 符号 QVW-H404P1L-E QVW-H606P1L-E 本体部　寸法・質量 1200 測定範囲（X × Y × Z） [mm] 400 × 400 × 240 600 × 650 × 220 画像・WLI共通測定範囲 （X軸 × Y軸 × Z軸） 315 × 400 × 240 515 × 650 × 220 [mm] 70 290 680 290 70 79.5 392.5 1075 392.5 54.5 外観寸法（幅 × 奥行 × 高さ） （専用設置台を含む） 1118 × 1426 × 1781 1400 × 1994 × 1794 1400 1994 [mm] 2815 積載ガラス（幅 × 奥行） [mm] 493 × 551 697 × 758 本体質量（専用設置台を含む） [kg] 1205 2275 EUX / EUY, MPE （0.8 + 2L / 1000） 画像 EUXY, MPE （1.4 + 3L / 1000） 12-M6 深さ10 （ジグ固定用タ7ッ0プ） 290 680 290 70 79.5 392.5 1075 392.5 54.5 画像測定精度 [µm]※1 EUZ, MPE （1.5 + 2L / 1000） （7.5） 201 50 79 （7.5） 12-M6 深さ12 79 145000 201 50 1994 2815 ストリーム※2 E1X, E1Y （1.5 + 3L / 1000） （ジグ固定用タップ） （オプション） E2XY （2.0 + 4L / 1000） 12-M6 深さ10 （ジグ固定用タップ） 精度保証光学倍率 2.5倍対物レンズ（QV-HR2.5x または QV-SL2.5x）＋ 中倍チューブレンズ （7.5） 79 50 201 50 201 50 79 （7.5） 12-M6 深さ12 WLI繰り返し精度 [µm]※2 2σ≦0.08 （ジグ固定用タップ） スケール分解能 [µm] 0.01 環境温度 精度保証温度 20 ± 1 ℃ 温度変化 0.5℃ / 1H かつ 1℃ / 24 H 精度保証環境 音圧レベル 70 dB以下 最大測定物質量 [kg]※3 25 35 画像 撮像装置 B&W CMOSデジタルカメラ コラム 観察装置 WLI CCD カメラ コラム パワーターレット※4 プログラム制御パワーターレット　1x、2x、6x（、12x）系※5 透過照明 白色 LED コラム 垂直落射照明（画像） 白色 照明装置 LED コラム 垂直落射照明（WLI） ハロゲン プログラム制御リング照明 白色 LED 16～17 空気使用条件 使用空気圧 0.4 MPa※6 515（WLI可動範囲） （ジグ取付面からガラス上面まで） （62.5） 601.5（画像測定範囲） （61） 18～19 ※1 Lは任意の測定長さ（単位：mm）　※2 当社検査方法による。　※3 極端な偏荷重、集中荷重は除く。　 （13.5） 698（載物ガラスはめ込み部） （13.5） 35 ※4 プ ログラム制御パワーターレット1x、2x、4x、6xモデルは特注にて対応可能。また1x、2x、4x、6xに加え、デジタル変倍機能による8x、12xで計6段階の倍率変更が可能です。 （32.5） 725 （32.5） 16～17 ※5（ 　）はデジタル変倍。　※6 空気源元圧は、0.45～0.7 MPaが必要。 7950（15（コWラLムI可間動の範寸囲法）） （ジグ取付面からガラス上面まで） （62.5） 601.5（画像測定範囲） （61） 18～19 （13.5） 698（載物ガラスはめ込み部） （13.5） 35 （32.5） 725 （32.5） 790（コラム間の寸法） 9 10 1794 1794 1781 1781 222 1527222 1572 400 1348010 1381 26 131.5 50 165 50 175 50 121.5 （26） 635 635 （12） 96 50 86 50 86 50 146 （12） 414 414 26 131.5 50 165 50 175 50 121.5 （26） （12） 96 50 86 50 86 50 146 （12） 51 40（0 画像測定範囲/WLI可動範囲） 101 51 40（0 1画8像測定範囲5/5W2（LI可載動物範ガ囲ラ）スは10め1 込み部） （18） 18 552（載物ガラスはめ込み部58）8 （18） 588 700 700 39 650（画像測定範囲/WLI可動範囲） (39) 39 650（画像測定範囲/WLI可動範85囲4） (39) 700 700 854 7 33.5 728 33.5 （52） 7 33.5 728 33.5 （52）

座標測定機 画像測定機 形状測定機 光学機器 精密センサ 試験・計測機器 スケールユニット 測定工具、測定基準器、計測システム 仙台営業所 仙台市若林区卸町東1-7-30 〒984-0002 電話 (022)231-6881 ファクス(022)231-6884 M3 Solution Center…商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。 郡山営業所 仙台市若林区卸町東1-7-30（※1） 〒984-0002 電話 (024)931-4331 ファクス(022)231-6884 UTSUNOMIYA 宇都宮市下栗町 2200 〒321-0923 電話 (028) 656-1607 ファクス (028) 656-9624 宇都宮営業所 宇都宮市平松本町796-1 〒321-0932 電話 (028)660-6240 ファクス(028)660-6248 TOKYO 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-1611 ファクス (044) 813-1610 水戸営業所 水戸市元吉田町260-3 〒310-0836 電話 (029)303-5371 ファクス(029)303-5372 SUWA 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830 伊勢崎営業所 伊勢崎市宮子町3463-13 〒372-0801 電話 (0270)21-5471 ファクス(0270)21-5613 ANJO 安城市住吉町 5-19-5 〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761 さいたま営業所 さいたま市北区宮原町3-429-1 〒331-0812 電話 (048)667-1431 ファクス(048)667-1434 OSAKA 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817 新潟営業所 新潟市中央区新和1-6-10 リファーレ新和 1F-B 〒950-0972 電話 (025)281-4360 ファクス(025)281-4367 HIROSHIMA 呉市広古新開 6-8-20 〒737-0112 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163 川崎営業所 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044)813-1611 ファクス(044)813-1610 計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。 詳細は弊社営業所にご連絡ください。 東京営業所 川崎市高津区坂戸1-20-1（※1） 〒213-8533 電話 (03)3452-0481 ファクス(044)813-1610 厚木営業所 厚木市中町2-6-10 東武太朋ビル2F 〒 ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000 243-0018 電話 (046)259-6400 ファクス(046)259-6404 富士駐在所 電話 (0545)55-1677 キャリブレーションセンタ…商品の検査・校正・保守・修理をお受けしています。 諏訪営業所 諏訪市中洲582-2 〒392-0015 電話 (0266)53-6414 ファクス(0266)58-1830 宇都宮 宇都宮市下栗町2200 〒321-0923 電話 (028) 656-1432 ファクス (028) 656-8443 上田駐在所 電話 (0268)26-4531 川崎 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-8214 ファクス (044) 813-8223 浜松営業所 浜松市東区和田町587-1 〒435-0016 電話 (053)464-1451 ファクス(053)464-1683 広島 呉市郷原町一ノ松光山10626番62 〒737-0161 電話 (0823) 70-3820 ファクス (0823) 70-3833 安城営業所 安城市住吉町5-19-5 〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761 中部オートモーティブ営業所 安城市住吉町5-19-5 〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761 カスタマーサポートセンタ…商品に関しての各種のお問合せ、ご相談をお受けしています。 名古屋営業所 名古屋市昭和区鶴舞4-14-26 〒466-0064 電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921 電話 (0570) 073214 ファクス (044) 813-1691 金沢営業所 金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田 〒920-0057 電話 (076)222-1160 ファクス(076)222-1161 大阪営業所 大阪市住之江区南港北1-4-34 〒559-0034 電話 (06)6613-8801 ファクス(06)6613-8817 神戸営業所 神戸市西区丸塚1-25-15 〒651-2143 電話 (078)924-4560 ファクス (078)924-4562 京滋営業所 草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F 〒525-0032 電話 (077)569-4171 ファクス(077)569-4172 岡山営業所 岡山市北区田中134-107 〒700-0951 電話 (086)242-5625 ファクス(086)242-5653 広島営業所 東広島市八本松東2-15-20 〒739-0142 電話 (082)427-1161 ファクス(082)427-1163 福岡営業所 福岡市博多区博多駅南4-16-37 〒812-0016 電話 (092)411-2911 ファクス(092)473-1470 センシング営業課 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044)813-8236 ファクス(044)822-8140 地震機器課 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044)455-5021 ファクス(044)822-8140 （※1）営業所の業務につきましては記載の住所にて行っております。 最寄りの営業所をご確認いただけます。 お求めは当店で̶ https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/japan/#sale 弊社商品は外国為替及び外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合が あります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 https://www.mitutoyo.co.jp ●仕様、価格、デザイン(外観)ならびにサービス内容などは、予告なしに変更することがあります。あらかじめご了承ください。 ●本カタログに掲載されている仕様は2023年12月現在のものです。 144