超高精度CNC三次元測定機 LEGEXシリーズ

座 標 測 定 機 Catalog No.16012(7)

ミツトヨの技術を結晶化。 世界が認める精密測定テクノロジー。 LEGEX 574 世界最高峰の高精度 E0,MPE=0.28+L/1000 を達成 LEGEX 776 LEGEX 9106 1 2

進化する技術 徹底的な誤差要因の分析と排除 その 1 本体ベース設計 ベースと一体化した Y軸ガイドレール 高剛性、高減衰性 Y軸ガイドレールとベースの一体化構造 LEGEXの本体ベースは、球状黒鉛鋳鉄（ダクタイル鋳鉄）*に 剛性および熱的安定性の更なる向上を図るため、Y軸ガイド よる密閉化構造を採用することで、高剛性、高減衰性を実現 レールと本体ベースが一体化構造です。 しています。 さらに、FEM構造解析シミュレーションを駆使した徹底的 各軸スライド部分にセラミックス–プラズマ溶射 な応力分析により、荷重変動などによる変形を最小限に抑 え、優れた幾何学的な運動精度を確保しています。 Y軸ガイドレール、X軸ビーム、Z軸スピンドルのスライド部分 はセラミックス–プラズマ溶射処理され、エアベアリング摺動 に最適な表面が形成されています。 FEM 構造解析シミュレーション また耐錆性・耐食性にも優れています。 0.6 0.08s ζ=0.028 高減衰性　超高精度倣い測定の実現 0.4 LEGEXの本体構造は、移動時の残留振動を素早く減衰さ 0.2 せ、振動によるバラツキ幅を大幅に軽減します。また外 *球状黒鉛鋳鉄（ダクタイル鋳鉄） -0 部振動に対して除振装置の効果をより有効的に働きか 鋳鉄は、炭素・ケイ素・マンガン・リン・硫黄などを含 け、除振性能を向上させます。 む鉄合金で、特に炭素が黒鉛として析出していることによ -0.2 これらにより、倣い測定時の振動を抑え、超高精度倣い り、特徴的な性質を示します。 -0.4 測定を実現します。 ダクタイル鋳鉄は、溶湯にマグネシ ウム合金を添加させることで、析出 -0.6 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 させる黒鉛を球状化させたもので、 Time (s) 普通鋳鉄に比べて、高い引張強さと 比較的大きな靱性を示し、かつよい 切削性と良好な耐摩耗性を有してい るため、自動車部品など様々な機械 部品に利用されています。 LEGEXでは、ダクタイル鋳鉄FCD600が 採用されており、また0.1ｍｍ以上の 巣やピンホール（欠陥）のない製法で 作られた鋳鉄を使用しています。 3 4 m/s2

進化する技術 徹底的な誤差要因の分析と排除 その 2 振動対策 外部振動対策 設置場所の床振動は、測定値にバラツキとなって影響しま す。LEGEXは、専用の高機能オートレベリング空気圧式除振 装置を標準装備しています。測定テーブルの移動や測定物 門固定・テーブル移動構造 による荷重変動をセンサでキャッチし、すばやく本体を水平 復帰させることが可能です。 門移動構造 ブリッジ 門固定・テーブル移動構造 門移動形三次元測定機における X軸移動による荷重変動例 ピッチング・ヨーイング誤差の排除 門移動構造のCNC三次元測定機の多くは片側下部に配置さ れた駆動系によってのみ門移動（Y軸移動）を行なうため、 移動時にピッチング誤差・ヨーイング誤差が生じてしまい ます。駆動系を門中央重心付近に配置する方式もあります が、X軸が左右に動く時に当然重心も移動するため、それら の誤差は排除できません。 除振台配置 LEGEXは、「門移動によって誤差が発生するなら、門を動かさ 高い運動精度 なければいい」という逆転の発想で、アッベ誤差を極力抑える ために門固定・テーブル移動構造を採用しています。 内部振動対策 X軸運動とY軸運動の独立 駆動は、ボールスクリュ＋D Cサーボモータによって行なわ 門移動構造の場合、例えば X軸が移動するとY軸ガイド（エア れます。ボールスクリュ軸回りのコニカル運動や軸に垂直な ベアリング）に荷重変動が起こり、測定空間に幾何学的変形 面における振れを吸収するため、ナット部にフローティング が発生してしまいます。 機構を有する特殊ボールスクリュを採用しています。 LEGEXは特にX軸とY軸が完全に独立した構造になっており、 Z軸スピンドル 駆動軸 これによって、ボールスクリュの振れが運動精度に影響する X軸の移動がY軸ガイドに与える影響は全くありません。 ことなく、高速駆動が可能です。 エアベアリング よって、それぞれの軸の精度追求が行ないやすく、高精度を また、従来比の5分の1に振動を抑えたミツトヨ独自の高剛 長期にわたって維持することができます。 性低振動エアベアリングや、各軸案内レールに特殊な振動 オートレベリング空気圧式除振台 駆動軸 減衰機構を装備するなど、様々な内部振動対策が施されて 完全重心駆動 います。 各軸の駆動系は、各移動部の重心に配置されており、駆動軸 ボールスクリュ パルスジェネレータ 回りの慣性モーメントが抑えられ加減速時の構造体変形が サーボモータ ほとんどありません。 X軸ビーム また、例えばX軸案内にはX軸ビーム全面にミツトヨ独自の フローティング機構 ガイドブロック 高剛性エアベアリングを配置したオリジナル構造を採用し、 ナット 高速・高加減速駆動を可能にしています。 フローティング機構付ボールスクリュー構造図 5 6

進化する技術 プローブ 徹底的な誤差要因の分析と排除 その 3 PH10MQ 超高精度測長ユニット 温度補正機能 線膨張係数 “≒ゼロ” の高精度 18～22 ℃の温度範囲で精度を保証 ガラススケール 従来の超高精度三次元測定機では、レベルの高い恒温室ク SurfaceMeasure201FS LEGEX には、新開発の線膨張係数 0.01×10－6/ ℃というほと ラスの設置環境が必要でしたが、LEGEXは、FEM構造解析 TP7M SurfaceMeasure1110 非接触レーザプローブ 高精度 SurfaceMeasure403 非接触ライン によって熱的対称構造を実現し、その結果、温度変化による MPP-310Q SP80 タッチトリガープローブ 非接触ライン んど熱膨張しない超高精度結晶化ガラススケールと、同じ レーザプローブ 高精度・低測定力 ロングスタイライス対応 レーザプローブ 高精度 く新開発の最小分解能 1/100 µmの高性能反射形リニヤエン 測定空間のひずみを抑え、サブミクロンの測定精度でありな スキャニングプローブ SP25M スキャニングプローブ 小型・高精度 コーダの組合せによる、超高精度測長ユニットが搭載されて がら20±2 ℃という幅広い温度環境下での測定を可能にし スキャニングプローブ QVP クイックビジョン プローブ います。 ています。また、測定物の温度をリアルタイムに測定し、20 また、このスケールは独自の固定方式によって、取付面と ℃時の寸法に換算した結果を出力することができます。 の熱膨張率の違いによって生じるヒステリシス誤差を最小 限に抑えています。 最新の制御技術の採用 自社開発の制御装置を一新。新アルゴリズムの適用による高度 な制御技術を採用しています。そして新開発の高分解能リニア MPP-310Q SP80 スキャニングプローブ QVP エンコーダを搭載し、さらなる高精度化を実現しています。 超高精度結晶化 ガラススケール MRT240（ロータリーテーブル） Status Monitor（ステータスモニタ） 回転体系の測定物（歯車、円筒カム、インペラ等）を効率的に 測定機の稼働状況を遠隔地で監視可能 測定します。 倣いプローブによる回転同期倣い測定にも対応しています。 20∞C 25∞C 0 15∞C 20∞C サーバ ● 稼働状況のデータ収集と見える化を実現 ＜ゼロガラス・特殊固定＞ ● MT Connect通信に対応 0 50 100 150 200 250 300 350 400 450 500 位置 (mm) MeasurLink（メジャーリンク） 15∞C 20∞C-1 0 20∞C-2 仕様 「品質の見える化」で不良品発生を抑制 20∞C-3 最小表示 25∞C 0.00005°(0.18”) 30∞C 割出精度 ±0.00025°(0.9”） 精度 回転軸の半径方向振れ 1 µm 回転軸の軸方向振れ 0.5 µm 測定物最大質量 40 kg テーブル 直径 ＜汎用スケール・通常固定＞ ø240 mm 高さ 105 mm 0 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1000 位置 (mm) 従来スケールと結晶化ガラススケールのヒステリシス比較 7 8 誤差 (mm) 誤差 (mm)

仕 様 測定テーブル表面 符号 項目 LEGEX 574 LEGEX 774 LEGEX 776 LEGEX 9106 X 軸 500 mm 700 mm 900 mm 測定範囲 Y 軸 700 mm 1000 mm Z 軸 450 mm 600 mm 測長方式 リニアエンコーダ 最大駆動速度 200 mm/s 最大駆動加速度 980 mm/s2 最小表示量 0.00001 mm 案内方式 エアベアリング 測定テーブル 材質 鋳鉄 大きさ 550×750 mm 750×750 mm 950×1050 mm 測定物 最大高さ 700 mm 850 mm 最大積載質量 250 kg 500 kg 800 kg 機械の質量（除振台、コントローラ含む/ワーク含まず） 3500 kg 5000 kg 5100 kg 6500 kg 空気使用条件 使用空気圧 0.5 MPa 空気消費量 （標準状態において） 120 L/min（ 空気源としては160 L/min以上） ●LEGEXシリーズ 本体精度 ●LEGEXシリーズ 設置温度環境 標準仕様：セラミックコーティング 特注仕様：きさげ加工 温度環境1 温度環境 使用プローブ 長さ測定誤差 2 E0,MPE 温度範囲 19～21 ℃ 18～22 ℃ MPP310Q（ø4×18） （0.28+L/1000）µm（温度環境1） 温度変化 0.5 ℃/h （0.30+L/1000）µm（温度環境2） 温度分布 1.0 ℃/m SP25M（ø4×50） （0.38＋L/1000）µm（温度環境1） LEGEX12128のご紹介 （0.40＋L/1000）µm（温度環境2） ※L＝任意測定長（単位：mm） ※温度環境1および2については右の表をご参照ください。 外観寸法図 主な仕様 単位：mm 符号 項目 LEGEX12128 X 軸 1200 mm 測定範囲 Y 軸 1200 mm Z 軸 800 mm 最小表示量 0.00001 mm 案内方式 エアベアリング 長さ測定誤差 E0,MP（E 温度環境2） 使用プローブ：MPP-310Q（ø4×18） （0.6+1.5L/1000）µm ※L＝任意測定長（単位: mm） ※本商品は特注品対応となります。 ※温度環境2は、P9のLEGEXシリーズ 設置温度環境を参照ください。 X Y 測定範囲 測定範囲 A A B W D 符号 LEGEX574 LEGEX774 LEGEX776 LEGEX9106 W 1470 1670 1870 H 2630 2930 3050 D 2430 3030 A 445 550 660 B 1390 1410 1795 お願い：本カタログに掲載されているCNC三次元測定機には、想定外の振動が加えられた場合や、移動が行われた場合に本機の操作を禁止する本体起動システム（移設検知システム）が組み込まれています。 C 745 895 ご購入後、本機を移動される場合は、お手数ですが必ず本機を移動される前に、弊社営業所までご連絡をお願いいたします。 E 600 720 F 1311 1461 9 10 H E F 251 Z C

座標測定機 画像測定機 形状測定機 光学機器 精密センサ 試験・計測機器 スケールユニット 測定工具、測定基準器、計測システム 仙台営業所 仙台市若林区卸町東1-7-30 〒984-0002 電話 (022)231-6881 ファクス(022)231-6884 M3 Solution Center…商品の実演を通して最新の計測技術をご提案しています。事前に弊社営業所にご連絡ください。 郡山営業所 仙台市若林区卸町東1-7-30（※1） 〒984-0002 電話 (024)931-4331 ファクス(022)231-6884 UTSUNOMIYA 宇都宮市下栗町 2200 〒321-0923 電話 (028) 656-1607 ファクス (028) 656-9624 宇都宮営業所 宇都宮市平松本町796-1 〒321-0932 電話 (028)660-6240 ファクス(028)660-6248 TOKYO 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-1623 ファクス (044) 813-5433 つくば営業所 宇都宮市平松本町796-1（※1） 〒321-0932 電話 (029)839-9139 ファクス(028)660-6248 SUWA 諏訪市中洲 582-2 〒392-0015 電話 (0266) 53-6414 ファクス (0266) 58-1830 伊勢崎営業所 伊勢崎市宮子町3463-13 〒372-0801 電話 (0270)21-5471 ファクス(0270)21-5613 ANJO 安城市住吉町 5-19-5 〒446-0072 電話 (0566) 98-7070 ファクス (0566) 98-6761 さいたま営業所 さいたま市北区宮原町3-429-1 〒331-0812 電話 (048)667-1431 ファクス(048)667-1434 OSAKA 大阪市住之江区南港北 1-4-34 〒559-0034 電話 (06) 6613-8801 ファクス (06) 6613-8817 新潟営業所 新潟市中央区新和1-6-10 リファーレ新和 1F-B 〒950-0972 電話 (025)281-4360 ファクス(025)281-4367 HIROSHIMA 呉市広古新開 6-8-20 〒737-0112 電話 (082) 427-1161 ファクス (082) 427-1163 川崎営業所 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044)813-1611 ファクス(044)813-1610 計測技術者養成機関…各種のコースが開催されています。 詳細は弊社営業所にご連絡ください。 東京営業所 川崎市高津区坂戸1-20-1（※1） 〒213-8533 電話 (03)3452-0481 ファクス(044)813-1610 厚木営業所 厚木市岡田 ミツトヨ計測学院 川崎市高津区坂戸 1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 822-4124 ファクス (044) 822-4000 1-7-1 ヴェルドミールSUZUKI 105 〒243-0021 電話 (046)226-1020 ファクス(046)229-5450 八王子駐在所 電話 (042)620-5380 富士駐在所 電話 (0545)55-1677 キャリブレーションセンタ…商品の検査・校正・保守・修理をお受けしています。 諏訪営業所 諏訪市中洲582-2 〒392-0015 電話 (0266)53-6414 ファクス(0266)58-1830 宇都宮 宇都宮市下栗町2200 〒321-0923 電話 (028) 656-1432 ファクス (028) 656-8443 上田駐在所 電話 (0268)26-4531 川崎 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044) 813-8214 ファクス (044) 813-8223 浜松営業所 浜松市東区和田町587-1 〒435-0016 電話 (053)464-1451 ファクス(053)464-1683 広島 呉市郷原町一ノ松光山10626番62 〒737-0161 電話 (0823) 70-3820 ファクス (0823) 70-3833 安城営業所 安城市住吉町5-19-5 〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761 中部オートモーティブ営業所 安城市住吉町5-19-5 〒446-0072 電話 (0566)98-7070 ファクス(0566)98-6761 カスタマーサポートセンタ…商品に関しての各種のお問合せ、ご相談をお受けしています。 名古屋営業所 名古屋市昭和区鶴舞4-14-26 〒466-0064 電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921 電話 (0570) 073214 ファクス (044) 813-1691 岐阜営業所 名古屋市昭和区鶴舞4-14-26 〒466-0064 電話 (052)741-0382 ファクス(052)733-0921 金沢営業所 金沢市桜田町1-26 ドマーニ桜田 〒920-0057 電話 (076)222-1160 ファクス(076)222-1161 大阪営業所 大阪市住之江区南港北1-4-34 〒559-0034 電話 (06)6613-8801 ファクス(06)6613-8817 神戸営業所 大阪市住之江区南港北1-4-34（※1） 〒559-0034 電話 (078)924-4560 ファクス(06)6613-8817 京滋営業所 草津市大路2-13-27 辻第3ビル1F 〒525-0032 電話 (077)569-4171 ファクス(077)569-4172 岡山営業所 岡山市北区田中134-107 〒700-0951 電話 (086)242-5625 ファクス(086)242-5653 広島営業所 東広島市八本松東2-15-20 〒739-0142 電話 (082)427-1161 ファクス(082)427-1163 福岡営業所 福岡市博多区博多駅南4-16-37 〒812-0016 電話 (092)411-2911 ファクス(092)473-1470 センシング営業課 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044)813-8236 ファクス(044)822-8140 地震機器課 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 電話 (044)455-5021 ファクス(044)822-8140 （※1）営業所の業務につきましては記載の住所にて行っております。 最寄りの営業所をご確認いただけます。 お求めは当店で̶ https://www.mitutoyo.co.jp/corporate/network/domestic/list.html#sale 弊社商品は外国為替及び外国貿易法に基づき、日本政府の輸出許可の取得を必要とする場合が 川崎市高津区坂戸1-20-1 〒213-8533 あります。製品の輸出や技術情報を非居住者に提供する場合は最寄りの営業所へご相談ください。 https://www.mitutoyo.co.jp ●仕様、価格、デザイン(外観)ならびにサービス内容などは、予告なしに変更することがあります。あらかじめご了承ください。 ●本カタログに掲載されている仕様は2021年7月現在のものです。 154 2107(7)B-(CH)P139