三次元測定機用プローブ・アクセサリー

三次元測定機用プローブ・アクセサリー 座 標 測 定 機 Catalog No.16005(16)

多種多様な測定ワークを高精度、 高効率測定するミツトヨプローブ ページ 三次元測定機用プローブ 3 – 34 スキャニングプローブ プローブヘッド 5軸制御システム タッチトリガー タッチトリガー プローブ装着例 プローブ装着例 高精度・低測定力 高精度スキャニングプローブ 小型・高精度 高精度 モータライズ・ 高速5軸制御 5軸制御 スキャニングプローブ （ロングスタイラス対応） スキャニングプローブ スキャニングプローブ プローブヘッド 固定式プローブヘッド マニュアル プローブヘッド スキャニングヘッド タッチトリガーシステム MPP-310Q SP80 SP25M SP600Q PH10M/PH10MQ PH6M PH1 REVO-2 PH20 ページ 3 – 4 ページ 5 – 6 ページ 7 – 8 ページ 9 – 10 ページ 27 – 28 ページ 29 ページ 30 ページ 31 ページ 32 非接触プローブ 特殊用途用プローブ プローブチェンジャー CNC三次元測定機用ロータリーテーブル 非接触 測定機用 粗さ測定用 ラインレーザープローブ クイックビジョンプローブ 三次元 心出し顕微鏡 プローブ オートプローブチェンジャー ロータリーテーブル SurfaceMeasure QVP CF20 SURFTEST PROBE ACR3 MRT240/MRT320/QS600/800 ページ 11 – 12 ページ 13 – 14 ページ 15 – 16 ページ 17 – 18 ページ 33 ページ 34 ページ タッチトリガープローブ スタイラスの豆知識 35 三次元測定機用スタイラスの品名判別方法 37 スタイラス 38 取付工具類、スタイラスセット 58 高精度 小型・高精度 小型 マニュアルプローブヘッド付 タッチトリガープローブ タッチトリガープローブ タッチトリガープローブ タッチトリガープローブ スタイラスクリーナ 60 TP7M TP200 TP20 MH20i セラミックマスターボール、オプション 61 ページ 19 – 20 ページ 21 – 22 ページ 23 – 24 ページ 25 – 26 ジョイスティックボックス、セーフティレーザスキャナ 62 1 2

1回目 2回目 3回目 規格値 1回目 2回目 3回目 規格値 E04 E150 - 1.50 1.50 1.00 0.23+0.7L/1000 1.00 0.33+0.7L/1000 0.50 0.50 0.00 0.00 -0.50 -0.50 -1.00 -1.00 -1.50 -1.50 0 200 400 600 800 1000 1200 0 200 400 600 800 1000 1200 E07 E150 + 1.50 1.50 1.00 1.00 0.50 0.50 0.00 0.00 -0.50 -0.50 -1.00 -1.00 -1.50 -1.50 0 200 400 600 800 1000 1200 0 200 400 600 800 1000 1200 高精度・低測定力スキャニングプローブ MPP-310Q CW 高精度・低測定力スキャニングプローブ MPP-310Q 寸 法 図 22. 505 □96 □82 135‒ 22. 504 45‒ 22. 503 高精度スキャニングプローブ MPP-310Qは、スキャニング測定【測定物に接触した状態で移動しながら、 22. 502 大量の座標値を収集する測定方法。】をV2≦0.3 µm（LEGEX搭載時の参考 180‒ 0‒ 値）で行える他、超高精度ポイント測定（σ≦0.1 µm：LEGEX搭載時）や、求心 ポイント測定によるデータ収集も可能なCNC三次元測定機用の多機能プロ ーブです。 Z 225‒ 315‒ 方向性のないスキャニングを実現 Y 270‒ MPP-310Qの内部にはX、Y、Z各軸方向に最小表示量0.01 µmの超高精度スケ [mm] 倍 率 : 18228 ールが組込まれており、スタイラスの変位量を読みとります。 ø46 各軸のスライド部分にはエアベアリングを採用し、方向性の極めて小さなプ ø88 LEGEX 匠/MPP-310Qによるリングゲージのスキャニング測定例 ロービングを実現しています。 ø96 単位 : mm 低測定力 セット構成例 タッチトリガープローブは、実際にスタイラスが測定物に接触した瞬間のトリ ガーを発生させる力は小さくても、その後の押し込み時に数十～数百グラム ユニット 照番 名称 パーツNo. 数量 備考 の力がかかります。また、他社のスキャニングプローブには、ロングスタイラ 1 MPP-310Qプローブ本体 ̶ 1 スタイラスマウントアセンブリ1個を含む MPP-310Q（N） 2 ダンピングオイル 02AQD090 1 シリコンオイル（2000CS） スへの対応などのために、モータドライブによって強制的にプロービング位 プローブセット 3 六角レンチ 呼び2/GXL-20 A731-006 1 置を指定する構造となっているものがあり、どうしても実際の測定力が大きく 02AQG610 4 六角レンチ 呼び3/GXL-30 A731-007 1 5 格納箱 なってしまいます。 02AQG220 1 MPP-310Q格納用木箱 MPP-310Qは測定力を最小0.03 Nまで落とすことができ、 6 MS4-4R13.5-S 06ABK816 1 樹脂などの弾性体でも傷つけることなく測定することができます。 7 MS4-4R33-S 06ABT110 5 8 MS4-EXT30C 06ABN848 2 M4-M4セラミック製 エクステンション L=30 mm 高速スキャニング 9 MS4-EXT50C 06ABN849 1 M4-M4セラミック製 エクステンション L=50 mm MPP-310Q 10 MS4-EXT100C 06ABN850 1 M4-M4セラミック製 エクステンション L=100 mm スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方 システムセット 11 MS4-スタイラスナックル 06AAD460 1 法（未知形状スキャニング）と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法 セットNo. 12 MS4-スタイラスセンタ 06ABH817 1 06AEE096 13 スタイラスツール 181279 2 M4スタイラス脱着用 （既知形状スキャニング）とがあります。既知形状スキャニングでは、最大 14 MPP-310Q取扱説明書（和文） 99MCA919J 1 120 mm/sでの高速スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要 15 EXT CONTOUR cable A 06ABP411 1 素測定は、ポイント測定で評価することが普通でしたが、超精密加工におけ 16 EXT CONTOUR short cable 06AEC620 1 17 3極オスメスACケーブル 06ACV587 1 日本国内向け る平面度や真円度評価については、より多くの測定点で評価することが、測 クランプユニット 18 MPP-310クランプユニット 02AQG231 1 デスクトップユニット（CMM本体により異なる） 定結果の信頼性を向上させることになります。しかし、 ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 これをタッチトリガープローブで1点1点測定するとなる ＊ 搭載する本体によってパーツNo.が異なる場合もあります。 と、非常に時間がかかります。MPP-310Qであれば、例え 1 16 ばø100 mmの内径を1000点測定する場合でも数秒で測 2 5 8 30 13 定が完了します。必要とする測定精度に応じて、スキャ 9 50 ニング速度を変え、より効率的に測定をすすめることが 17 求心ポイント測定 できます。 10 100 3 14 オプション 7 11 15 ロータリーテーブルを使った同期スキャニングやオートスタイラスチェンジ 4 6 システムなどのオプションも用意しています。 12 Sø4ルビー球 Sø4ルビー球 18 MPP-310Q 仕様 MPP-310Q ポイント測定の繰返し精度 ±0.5 µm オプション オートスタイラスチェンジャー 測定方向 ±X、±Y、±Z 測定力 約 寸 法 図 単位 : mm 明　細 0.2 N/mm クランプ機能 各軸独立 測定範囲 ユニット 照番 名称 パーツNo. 数量 備考 ストローク ±1 mm 33 1 オートスタイラスチェンジラック 06ABG597 1 交換用ポート4個付属 最大スタイラス長さ 200 mm※ 600 115 オート 2 スタイラスマウントアセンブリ 02AQD042 3 スタイラス 80 60 80 60 80 60 80 28 20 チェンジ 3 補助板 06ABG598 1 三次元測定機のベースにラック 最大スタイラス質量 75 g を取付けるための補助板 使用温度 10～30 ℃ システムセット 4 MS4-4R13.5-S 06ABK816 3 空気流量 30 NL/min以下 No.06ABU500 5 MS4-スタイラスセンタ 06ABH817 3 新ラック 6 再キャリブレーション用基準球 06ABH818 1 再キャリブレーション用基準棒 供給空気圧力 0.4 MPa 5 6 スタイラス取付方法 M4ネジ 単位 : mm 20 1 2 プローブ固定方法 クイルアダプタ 5 最大許容球面スキャニング形状誤差PForm.Sph.Scan：PP：Tact,MPE 三次元測定機本体による ø50 ø50 28 M4 110 ※ スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 測定範囲 90 3 108 720 3 4 （175.5） 200 18 42 217.5 50

ロングスタイラス対応の高精度スキャニングプローブ SP80 ロングスタイラス対応の高精度スキャニングプローブ SP80 ロングスタイラス対応の高精度スキャニングプローブ 寸 法 図 80 80 SP80は、高精度と最大500 mm（水平・垂直方向とも）のロングスタイラス搭載 LED を可能にしたスキャニングプローブです。スキャニング測定（測定物に接触 した状態で移動しながら、大量の座標値を収集する測定方法）の他、高精度 ポイント測定や、求心ポイント測定によるデータ収集も可能なCNC三次元測 定機用の多機能プローブです。 SP80 高速スキャニング SH80 スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方法 （未知形状スキャニング）と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法（既知 形状スキャニング）とがあります。既知形状スキャニングでは、最大120 mm/sで の高速スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要素測定は、 測定子 ポイント測定で評価することが普通でしたが、超精密加工における平面度や 22 22 真円度評価については、より多くの測定点で評価することが、測定結果の信頼 性を向上させることになります。しかし、これをタッチトリガープローブで1点 1点測定するとなると、非常に時間がかかります。SP80であれば、例えばø100 単位 : mm mmの内径を1000点測定する場合でも数秒で測定が完了します。必要とする 測定精度に応じて、スキャニング速度を変え、より効率 セット構成例 的に測定をすすめることができます。 SP80本体 オプション 品名 パーツNo. 質量（kg） 備考 ロータリーテーブルMRT320を使った同期スキャニング SP80プローブキット#1 06ABT513 2.6 SP80本体、SH80、KM80、ø8×60 mmスタイラス　各1 求心ポイント測定 やオートスタイラスチェンジシステムなどのオプション SP80本体 も用意しています。 品名 数量 SP80 プローブ 1 SH80 1 六角棒スパナ呼び2 1 六角棒スパナ呼び2.5 1 M5 スタイラスツール 1 S10 1 SH取り外し工具 1 Stylu（s ø8×L60） 1 ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 ＊ 搭載する本体によってパーツNo.が異なる場合もあります。 オプション オートスタイラスチェンジャー MRS SP80スタイラスチェンジセット1（600 mmRail仕様）/06ABT766 品名 パーツ No. 数量 SP80 仕様 MRS kit #2 06ABN607 1 SH80 06ABT523 1 SP80 分解能 0.02 µm SCP80 06ABT524 2 スプリングレイト 1.8 N/mm（X、Y、Z） 補助板 06ABG598 1 本体： 質量 860 g ACR3取付ねじ 06ABP467 1 スタイラスホルダ：185 g 測定子 M5タイプ　SH80に5方向取付可能 チェンジラック SCP80によるSH80の自動交換が可能 SP80スタイラスチェンジセット2（1000 mmRail仕様）/06ABT767 最長取付可能測定子 500 mm SCP80 品名 パーツ No. 数量 最大測定子質量 500 g MRS kit #3 06ABT530 1 SP80 装着時の精度仕様 三次元測定機本体による SCP80 SH80 06ABT523 3 使用温度範囲 ＋15 ℃～＋30 ℃ 34 mm SCP80 06ABT524 4 湿度 最大80％ 補助板 06ABG598 1 高度 2000 ｍまで ACR3取付ねじ 06ABP467 1 最大許容球面スキャニング形状誤差P Form.Sph.Scan：PP：Tact,MPE 三次元測定機本体による 230 mm 128 mm 5 6 50 156 41 106 11 61

小型・高精度スキャニングプローブ SP25M 小型・高精度スキャニングプローブ SP25M 寸 法 図 SP25M 単位 : mm TM25-20 SM25-1 SM25-2 SM25-3 SM25-4 SM25-5 小型・高精度スキャニングプローブ ø25 SP25Mは外径ø25 mmの小型高精度スキャニングプローブです。スキャニング測 ø13.25 定（測定物に接触した状態で移動しながら、大量の座標値を収集する測定方法） の他、高精度ポイント測定や、求心ポイント測定によるデータ収集も可能なCNC 三次元測定機用の多機能プローブです。 ø4 高速スキャニング TP20 module ø5.5 スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方法（未 知形状スキャニング）と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法（既知形状 スキャニング）とがあります。既知形状スキャニングでは、最大120 mm/sでの高速 スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要素測定は、ポイント測 定で評価することが普通でしたが、超精密加工における平面度や真円度評価に ついては、より多くの測定点で評価することが、測定結果の信頼性を向上させるこ とになります。しかし、これをタッチトリガープローブで1点1点測定するとなると、 非常に時間がかかります。 SP25Mであれば、例えばø100 mmの内径を1000点測 定する場合でも数秒で測定が完了します。必要とする測定精度に応じて、スキャ ニング速度を変え、より効率的に測定をすすめることができます。 構　成 品名 パーツ No. 備考 姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化 SP25Mフルコンビネーションキット※ 06ABS969 SP25M・SM25-1/2/3・SH25-1/2/3・TM25-20のセット SP25Mプローブキット#1　 06ABS970 SP25M・SM25-1・SH25-1のセット SP25MはPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装着 SP25Mプローブキット#2 06ABS971 SP25M・SM25-2・SH25-2のセット することができますので、下向き固定タイプのスキャニングプローブと比較する SP25Mプローブキット#3 06ABS972 SP25M・SM25-3・SH25-3のセット SP25Mプローブキットと、圧倒的に測定準備時間および測定時間が短縮できます。また、プローブチェ #4 06AFT263 SP25M・SM25-4・SH25-4のセット SP25Mプローブキット#5 06AFT264 SP25M・SM25-5・SH25-5のセット ンジシステムによる他プローブとのコラボレーションにより、様々な形状部品測 SM25Mモジュールキット#1 06ABS452 SM25-1・SH25-1のセット 定の全自動化も可能となります。 SM25Mモジュールキット#2 06ABS453 SM25-2・SH25-2のセット SM25Mモジュールキット#3 06ABS454 SM25-3・SH25-3のセット オプション SM25Mモジュールキット#4 06AFT095 SM25-4・SH25-4のセット SM25Mモジュールキット#5 06AFB013 SM25-5・SH25-5のセット オートスタイラスチェンジシステムを用意しています。 SH25-1スタイラスホルダー 06ABS455 SH25-2スタイラスホルダー 06ABS456 SH25-3スタイラスホルダー 06ABS457 SH25-4スタイラスホルダー 06AFD965 求心ポイント測定 SH25-5スタイラスホルダー 06AFT097 TM25-20 TP20アダプタキット 06ABS475 TP20スタンダードフォースモジュールとTM25-20のセット TM25-20 TP20アダプタ 06ABS473 ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 ＊ TTPモジュール（ TP20module）は、MCOSMOS V2.4以降のサポートです。 ＊ TP20moduleはオプションです。 オプション オートモジュールチェンジャー／オートスタイラスチェンジャー 39.5 mm FCR25 SP25M 仕様 35 mm 113.8 mm 74 .5 mm SP25M 取付 オートジョイント PA25-20 PA25-5H 測定子 M3 219.5 mm 測定範囲 ±0.5 mm 113.8 mm オーバートラベル量 X、Y方向 ±2.0 mm Z方向 ＋1.7 mm −1.2 mm スプリングレート 0.2 N/mm～0.6 N/mm 最大許容球面スキャニング形状誤差P Form.Sph.Scan：PP：Tact,MPE 三次元測定機本体による FCR25-L6 (6 PORT) ＊SP25Mは内部に高出力LED光源を使用しています。 FCR25-L3 ＊MRSラックに搭載することもできます。 　取扱説明書に準じ、取扱いにはご注意ください。 7 8 45.55 62.50 166 mm 28 mm 16.95 取付可能スタイラス 20～50 74.05 取付可能スタイラス 20～75 26.25 （スタイラス全長50～105） 111.65 166 mm 取付可能スタイラス 33.85 20～100 （スタイラス全長120～200） 195.85 取付可能スタイラス 48.05 20～200 （スタイラス全長220～400） 310.85 63.05 取付可能スタイラス 20～100 86.7 38.8 21.6 mm

高精度スキャニングプローブ SP600Q 高精度スキャニングプローブ SP600Q 小形・高精度スキャニングプローブ 寸 法 図 SP600Qは、CRYSTA-Apex V500シリーズに搭載可能な高精度スキャニングプ ローブです。 スキャニング測定（測定物に接触した状態で移動しながら、大量の座標値を 収集する測定方法）のほか、高精度ポイント測定などが可能です。 CRYSTA-Apex V500シリーズのＺスピンドルに直付けすることにより、測定空間 をより有効に利用することができます。 高速スキャニング スキャニング測定には、未知形状を自動追尾しながらスキャニングする方法 （未知形状スキャニング）と軌跡を事前に与えてスキャニングさせる方法（既知 形状スキャニング）とがあります。既知形状スキャニングでは、最大120 mm/sで の高速スキャニングが可能です。従来、線や円などの幾何形状要素測定は、 ポイント測定で評価することが普通でしたが、超精密加工における平面度や 真円度評価については、より多くの測定点で評価することが、測定結果の信 頼性を向上させることになります。しかし、これをタッチトリガープローブで1 点1点測定するとなると、非常に時間がかかります。 SP600Qであれば、例えば ø100 mmの内径を1000点測定する場合でも数秒で測定が完了します。必要と する測定精度に応じて、スキャニング速度を変え、より効率的に測定をすすめ セット品構成例（No.06ADV933） ることができます。 CRYSTA-Apex Vシリーズの場合 オプション 品名 パーツNo. 数量 オートスタイラスチェンジシステムを用意しています。 SP600Qプローブ・キット 06ADV597 1 SP600Q用スペーサA 06ADU577 1 SP600Q用スペーサB 06ADU578 1 SP600Qヘッド・ケーブル 06ADU687 1 SP600 IFケーブル 06AAS624A 1 ø4L50スライラス（MS4-4R33C） 06ABQ149 1 L50エクステンション（MS4-EXT50C） 06ABN849 1 スタイラスセンタ（MS4-スタイラスセンタ） 06ABN857 1 ナックルジョイント（MS4-スタイラスナックル） 06AAD460 1 SP600Q取扱い説明書 99MCA562J 1 オプション スタイラスチャンジャーSCR600 SP600Q 仕様 235 mm SP600Q 測定範囲 ±1 mm（X,Y,Z） 最小基準変位量 0.15 mm スプリングレート 1.2 N/mm 測定力 0.17～1.18 N（ 18～120 gf）プローブ変位量により変化 最大スタイラス重量 最大20 g※ 最大スタイラス長さ 最大 31.50 mm 200 mm※ スタイラス取付 M4ねじ プローブヘッド 不要 最大許容球面スキャニング形状誤差P Form.Sph.Scan：PP：Tact,MPE 三次元測定機本体による ※スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 225 mm ø55 mm 9 10

非接触ラインレーザプローブ SurfaceMeasure 非接触ラインレーザープローブ SurfaceMeasure MSURF-S/MSURF-I スキャニング (MSURF-S) スキャニングパスの指定は、スキャニング開始点、スキャン 非接触のメリット 長さ、スキャン幅の３点を定義するだけです。これら３点の 非接触なので、接触式では変形してしまうような樹脂や肉薄部品などの弾性 指定はカメラプレビューを確認しながらCMMをマニュアル 体でも測定がすることができます。 で操作することで容易に行えます。 超高速データ収集 SurfaceMeasure 1110は高速かつ高密度に3D形状データを取得します。測 定幅が110mm、測定できる深さが100ｍｍあるため、奥行きのある形状も1回 のスキャンで測定できます。 ●MSURF-PLANNER（オプション） パウダーレス測定 MSURF-PLANNERは、3D CADデータからラインレーザプローブ用の測定マクロ （面形状、要素形状）を自動生成するソフトウェアです。 SurfaceMeasure 201FSでは、フライングスポット方式を採用することでエッ 測定パスは最適化（移動経路、プローブヘッド回転回数など）された内容のため、 ジ部分などの測定でも高い形状再現性を実現しました。 お客様の生産性の向上に貢献いたします。 また、レーザ強度の調整を自動で行いますので、色が混在するものや反射率 の異なる物体でも、安定した形状データを取得することができます。 評価事例 MSURF-PLANNERによる測定マクロの自動生成 収集した点群データは、各種編集・面生成・CADデータとの比較照合・CADデ ータ化など、豊富なオプションソフトウェアによって様々な用途に活用してい MCOSMO（S 接触式データ処理）から非接触用スキャニングソフトウェアを起動できますので ただくことができます。 接触式測定/非接触測定の融合した自動測定が可能になります。 SurfaceMeasure 1110 SurfaceMeasure 201FS カラーサンプル板の測定 光沢物の測定 ＊MCOSMOSで作成した座標系を利用する場合には点群処理ソフトでの位置合わせは必要ありません。 ＊ACRを利用しない場合、プローブは 手動で交換します。 SurfaceMeasure インスペクション (MSURF-I) ●面形状の比較 SurfaceMeasure 1110 SurfaceMeasure 201FS 点群またはメッシュデータとCADデータを比較し、面形状の誤差をカラーマップで表示します。 レーザ照射方式 ビームエクスパンド フライングスポット 測定幅 110 mm 最大23 mm 測定深さ 100 mm 15 mm ワーキングディスタンス 155 mm 57.5 mm スキャニング誤差※（1 1σ） 9 µm 1.8 µm スキャニング誤差※（2 95%） P 36 µm 8.0 µm form.Sph.D95%:Tr:ODS データ取得速度 300,000点 /秒 25,000点/秒 質量 440 g 500 g EN/IEC Class2 [ IEC60825-1:2014,EN60825-1:2014+A11:2021 ] レーザクラス JIS Class2 [ JIS C 6802 : 2014 ] 誤差のカラーマップ 肉厚のカラーマップ 段差/隙間の評価 媒体 半導体レーザ 測定用レーザ 波長 660 nm 670 nm 出力 2.5 mW 1 mW ●断面形状の比較 ●フィーチャ単位での比較 ※1：弊社指定の検査方法による。（1σ/球測定）、プローブ単体誤差 点群またはメッシュとCADデータを指定した位置で切断し、 点群またはメッシュデータから、様々なフィーチャを検出し、 ※2：ISO 10360-8:2013の検査方法による。プローブ単体誤差 断面形状を比較・計算することができます。 設計データと比較することが可能です。 403 606 610 1010 1116006T 201FS TDS-H 汎用測定 汎用測定 深物測定 大物測定 汎深用物測・定板金測定 高感度・汎用測定 高感度・汎用測定 57.5 50 15 140 （68） 170 40 60 60 各種要素計算 断面評価（寸法計算） 60 100 110 60 11 12 183 66 30 51 240 123 60 93 282 165 100 115 282 165 100 115 267.5 156.5289 203.5 100 106.5 65 171 147.5 286

クイックビジョンプローブ QVP クイックビジョンプローブ QVP QVP 寸法図 オプション 対物レンズ ML 1×（ 375-036-2） ø70 対物レンズ ML 5×（ 375-034-1） 三次元測定機に画像測定機能を追加 対物レンズ ML10×（ 375-039） QVPは、接触式プローブでは測定不可能な微小形状や、わずかな測定力で変 形するような弾性体を画像処理によって測定可能にするプローブです。三次 50 66 元測定機に心出し顕微鏡をつけて顕微鏡的測定を行う手法は、三次元測定 ø25 26 40 機が世の中に登場した当初から利用されていましたが、位置を検出する作業 は人間の目に頼ることとなるため、測定誤差を含みやすいという欠点があり 校正ゲージ（ 02AQC310） ました。また、CNC三次元測定機であっても、心出し顕微鏡装着時には手動測 ・QVPと接触式プローブと座標を共 有させるためのゲージです。 定をせざるを得ませんでした。QVPは、CNC三次元測定機における画像測定 の全自動化を可能にするため、ミツトヨが画像測定機で長年培ってきた技術 をベースに開発された三次元測定機用の画像プローブです。 エッジの自動検出 QVPで取り込まれた画像は、専用ソフトウェアVISIONPAK-PROによって様々な 自動エッジ検出を行い、さらに汎用測定プログラム 校正用チャート Geopakによって、各種演 算処理（寸法計算・幾何偏差計算等）を行います。 QVP-AA （02AKN020） (オートジョイントタイプ） ・QVP単体の校正を行うための ゲージです。 白色 LED照明を標準装備 単位 : mm QVPは、レンズ系を通る垂直落射照明と、明るさと長寿命に定評のある白色 LEDリング照明を標準装備していますので、従来のような外部補助照明は必 演算処理部 要ありません。光量は0～100%まで1%単位で自由に設定できます。 • 画像測定ソフトウェアVISIONPAK-PRO オートプローブチェンジャーへの搭載 VISIONPAK-PROは、QVPで得られた画像を処理して測定物 のエッジを自動検出し測定点を取得するソフトウェアで QVPはオートプローブチェンジャーへの搭載も可能ですので、接触式プローブ す。従来のVISIONPAKと比べ測定スピードが大幅に向上、 との組合せによる接触・非接触混在の全自動測定が可能になります。 最大83%の測定時間短縮を実現しました。 • 多彩な画像処理機能 画像測定で重要なエッジ検出を簡単に行える“ワンクリッ クツール”を標準装備。さらにVISIONPAK-PROでは“ロバス トエッジ検出機能”と“モフォロジーフィルタ”を新たに搭 載、エッジ検出能力が大幅に向上しました。 • 異常点除去機能 微小形状の測定においては、測定物のバリやほこりの 除去が難しく、測定誤差を生じる要因にもなりますが、 VISIONPAK-PROでは、それらを「異常点」として認識し、 回避することもできます。 VISIONPAK-PRO画像処理ツールの一例 QVP 仕様 シンプルツール マニュアルツール QVP本体 CCDサイズ 1/3インチ 鏡筒倍率 0.375× 矢印上のエッジ1点を検出するツールで マウスで指示（クリック）した任意の位置 照明 落射 白色LED光源（内蔵）：消費電力5 W以下 す。 を検出するツールです。 リング 白色LED光源：消費電力10 W以下 質量 オートジョイントタイプ：315 g シャンクタイプ：390 g 光学倍率 0.375× 1.125× 1.815× 3.75× 観察範囲（mm） 9.6×12.8 3.2×4.3 1.9×2.6 1×1.3 ボックスツール エリアセントロイドツール 作動距離（mm） 61 72.3 61 51 対物レンズ 倍率 ML1× ML3× ML5× ML10× ボックス内のエッジを多点で線測定する 任意の形状における重心点を検出する オプション 標準 オプション オプション ツールです。バリやほこりを回避してデー ツールです。 開口数N.A. 0.03 0.09 0.13 0.21 タを取ることもできます。 焦点深度（µm） 306 34 16.3 6.2 質量 80 g 55 g 60 g 95 g 電源電圧 AC100～240 V サークルツール エッジ自律倣いツール QVP I/F BOX 周波数 50/60 Hz 電源容量 30 W 円状のエッジを多点で円測定するツール 開始点とピッチを指定するだけで、未知形 質量 3800 g です。ボックスツールと同様、バリやほこり 状を自律倣いしながらエッジ検出を行う を回避してデータを取ることもできます。 ツールです。 13 14 W.D.=72.3 37.7 113 32 182.7

三次元測定機用心出し顕微鏡 CF20 三次元測定機用心出し顕微鏡 CF20 三次元測定機を大形顕微鏡として使用 対物レンズ（オプション） CF20は、タッチトリガープローブでは測定が困難な、小穴や弾性体の測定を CF 1× CF 3 CF 10 単位 : mm 可能にする心出し顕微鏡です。CF20を搭載することによって、三次元測定機 × × を大形顕微鏡として使用することができます。 様々な評価を可能にするオプション 36.3 73.7 32.2 77.8 66 44 （作動距離） （作動距離） （作動距離） 観察・測定する対象の大きさや形状に応じて、各種倍率のレンズや、形状比較 5 110 5 110 8 110 （同焦距離） （同焦距離） （同焦距離） をするための各種レチクルが用意されています。 CF 2× CF 5× CMM計測用TVシステム（オプション） CF20に取付けるCCDカメラ（オプション）です。専用ソフトウェアをインストー 18 92 49 61 ルしたPCのモニタの映像を映せます。 （作動距離） （作動距離） 顕微鏡を覗く作業が長時間になる作業は作業者の目に大きな負担となりま 12 110 10 110 （同焦距離） （同焦距離） すので、その負担を軽減することができます。 ※同焦距離は、設計値となります。 品名 コードNo. 開口数 作動距離 分解能 対物レンズ単体の 実視野（mm） N.A. W.D（. mm） R（µm） 焦点深度 質量 ±D.F（. µm） ø24接眼 1/2型 カメラ（縦×横） （g） CF 1× 375-031 0.03 73.7 9.2 306 24 4.8×6.4 45 CF 2× 375-032 0.06 92.0 4.6 76 12 2.4×3.2 35 CMM計測用TVシステム（オプション） CF 3× 375-033 0.07 77.8 3.9 56 8 1.6×2.1 35 CF 5× 375-034-1 0.13 61.0 2.12 16.3 4.8 0.96×1.28 75 Eyepiece CF-20単眼セット寸法図 CF 10× 375-035 0.18 44.0 1.5 8 2.4 0.48×0.64 100 ＊ 上記仕様欄の分解能及び対物レンズ単体の焦点深度は、基準波長（λ＝0.55 µm）をもとに算出した値になります。 ø14 mm 0.2 0.2 接眼レンズ 211 mm ø18 60º （十字線付同心円） （十字線） （90°/60°鎖線） CF20本体 単眼装置 No. 375-021 No. 375-022 No. 375-023 10倍接眼レンズ A 10倍接眼レンズ B 10倍接眼レンズ C 対物レンズ （オプション） 照明装置 CMM計測用カラーTVシステム【コードNo.320-055】 CF20単眼セット（375-201） CF20双眼セット（375-202） 照明装置（375-071） ①カメラシステム（CC-1000V） シャンク（ø14 mm） シャンク（ø14 mm） 単眼装置 双眼装置 375-041 375-042 本 体 部 本 体 部 ランプハウス 939080 ドングル 電源 ソフト（CD） BOX 02AKD500 取扱説明書 CF20本体 CF20 カメラ USBケーブル (長さ5 m） 品名 仕様 対物レンズ 付属品 CF20単眼セット 10×接眼レンズA　視野数 1.照明装置（375-071） 22 ②Ｃマウントアダプタ（Ｃ） PC モニタ （375-201） 十字線付同心円レチクル － 2.スペアランプ（162151） 3.レンズキャップ 4.工具類 CF20用CMM計測用TVシステム 5.電源ケーブル CF20双眼セット 10×接眼レンズA　視野数22　　眼幅調節51～76 mm （375-202） 十字線付同心円レチクル（右） － 6.取扱説明書 照番 品名 数量 7.格納箱 1 カメラシステム 1 2 Cマウントアダプタ（C） 1 ＊ CF20型板セットのみ対物レンズが付属されています。 15 16 51 mm 30˚ 22.5 mm 117 mm 50 mm ø30 ø30 ø22 ø26 ø25 ø25 ø30 ø30 ø17 ø25 ø25 ø28 ø30 ø25

粗さ測定用プローブ SURFTEST PROBE 粗さ測定用プローブ SURFTEST PROBE CNC三次元測定機に粗さ測定機能を追加 寸 法 図 SURFTEST PROBEは、CNC三次元測定機上で粗さ計測が可能な、粗さ測定用 プローブです。 プローブはスキッド式の粗さ検出器を採用し、プローブ内部の駆動機構によ 単位 : mm り粗さ測定を行うことが可能です。粗さ測定および粗さ解析には、専用ソフト ウェアSURFPAK-SPを使用します。 寸法計測から粗さ計測まで一括実行 三次元測定機上でワークの段取りを替えることなく、接触式粗さ計測が可能 です。PH10M/PH10MQに装着し、プローブ姿勢を変更することで様々な傾斜面 の粗さ測定も可能です。また、他のCMMプローブとの共存も可能で、オートプ ローブチェンジャACR3等を使うことにより、寸法計測から粗さ計測まで全自 動で計測が可能です。 31 121.5 (1.45) (26.4) オプション 165 (193) ハンディータイプ粗さ測定機、SJシリーズで培ったノウハウを活かし、対象物 に合せた多様な検出器を用意しています。 更に、クリーニングユニット（オプション）を使用し、クーラントなどの水分が付 着した粗さ検出器を清掃することで、粗さ測定の信頼性を向上させることが 構　成 可能です。 品名 パーツNo. 数量 SURFTEST PROBE セット SURFTEST PROBE本体 02AQJ081 1 格納箱 SURFTEST PROBEインターフェイスユニット 02AUS030 1 USB CBL 06AGT522 1 ハードウェアガイド 99MBB479J 1 オプション 必須オプション ①粗さ検出器 178-270（0.75 mN, 60º R2 µm） 71.5 71.2 質量：7.8 g 61 (10.5) 質量：7.6 g 60.7 (10.5) 178-280（4 mN, 90º R5 µm） 16.4 16.2 ②粗さ標準片 178-601（mm） 178-602（inch/mm） 3.5 1.5 3.5 1.2 4.8 4.5 SURFPAK-SP オプション 粗さ検出器（178-270/178-280/178-281） 小穴用検出器（178-272/178-282） SURFPAK-SPは、表面粗さ解析を行う三次元測定機用粗さ パーツ番号 品名 178-270 粗さ検出器（0.75 mN, 60º R2 µm） 70.8 71.5 プローブ「SURFTEST PROBE」専用のソフトウエアです。 質量：8.2 g 60.3 (10.5) 質量：8.3 g 61 (10.5) 178-280 粗さ検出器（4 mN, 90º R5 µm） 12.8 16.4 ISO、JIS、ANSI、VDAなどの規格に準拠した表面粗さの解析 178-281 粗さ検出器（4 mN, 90º R10 µm） が可能です。MCOSMOSと連携することで、寸法測定と表 ø2.4 178-272 小穴用検出器（0.75 mN, 60º R2 µm） 0.8 面粗さ測定を全自動で行うことができます。 1.6 178-282 小穴用検出器（4 mN, 90º R5 µm） 2 1.5 3.5 4.8 178-273 極小穴用検出器（0.75 mN, 60º R2 µm） 極小穴用検出器（178-273/178-283） 深溝用検出器（178-274/178-284） 178-283 極小穴用検出器（4 mN, 90º R5 µm） 70.6 178-274 深溝用検出器（0.75 mN, 60º R2 µm） 質量：8.2 g 60.1 (10.5) 12.6 178-284 深溝用検出器（4 mN, 90º R5 µm） 178-275 歯面用検出器（0.75 mN, 60º R2µm） 60º 178-285 歯面用検出器（4 mN, 90º R5 µm） ø2.4 0.6 1.4 SURFTEST PROBE 仕様 歯面用検出器（178-275/178-285） 特別付属品 SURFTEST PROBE 測定範囲 AUTO, 40, 100, 360 µm パーツ番号 品名 駆動範囲 16 mm 02AQJ101 クリーニングユニット 測定速度 0.25, 0.5, 0.75 mm/s 02AQJ207 校正用台 触針先端半径 2 µm 02AQJ210 サポートマグネット（ACR3） 測定力 0.75 mN 17 18 26.5 41 (1.1) 22 R40 R40 ø6 0.9 R40 0.4 1.8 0.4 1.8 2.4 ø9 ø9 ø9 11.5 ø6.6 ø6.6 ø6.6 28 ø25 59.7 9 ø13.6 ø3.8 R40 R40 10 ø9 ø9 ø6.6 ø6.6

高精度タッチトリガープローブ TP7M 高精度タッチトリガープローブ TP7M 高精度タッチトリガープローブ 仕様 繰り返し精度（2σ≦0.25 µm）を可能にした高精度タッチトリガープローブです。 TP7M 測定方向 ±Ｘ、±Ｙ、±Ｚ 標準スタイラス ø4×18 姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化 繰返し精度（2σ） 0.25 µm以下（標準スタイラス使用時） TP7MはPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装 （ トリガー発生力 XY 0.02N 50 mmスタイラス） 着することができますので、下向き固定タイプのプローブシステムと比較す Z 0.15 N（50 mmスタイラス） ると、圧倒的に測定準備時間および測定時間が短縮できます。また、プローブ オーバートラベル量 XY XY±16 ° チェンジシステムによる他プローブとのコラボレーションにより、様々な形状 Z ±5 mm 部品測定の全自動化も可能となります。 オーバートラベル力 XY 0.78 N（50 mmスタイラス） Z 11.75 N（50 mmスタイラス） ロングスタイラス対応 最大スタイラス長さ 150mm※ スタイラス取付方法 M4ねじ TP7Mには、最大150 mmのスタイラス※が装着できます。PH10M/PH10MQの 最長プローブエクステンション200 mmと組み合わせれば、最大350 mmの位 単体質量 85 g 置に到達させることができます。 耐久性 1000万回 プローブヘッド 必須 PH10M/PH10MQ ＊搭載する三次元測定機本体やスタイラス材質／径などの条件によって変わります。 対応機種 CNC三次元測定機 ※ スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 寸 法 図 TP7Mセット【コードNo.06ABL429】 ø25 mm 照番 名称 パーツNo. 数量 1 TP7M本体 06ABL430 1 2 ジョイントキーS10 174748 1 3 M4スタイラスツール 181279 2 ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 Sø4 mm 19 20 3 mm 18 mm 50 mm

小型・高精度タッチトリガープローブ TP200 小型・高精度タッチトリガープローブ TP200 小型高精度タッチトリガープローブ 寸 法 図 外径ø13.5 mmと非常にコンパクトで、入り組んだ部位へのプロービングに便 ø13.5 mm M8 利なタッチトリガープローブです。また、プローブエクステンションを併用す ることで、深い位置へのプロービングも可能となります。 プローブ本体 姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化 TP200はPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装 着することができますので、下向き固定タイプのプローブシステムと比較す ると、圧倒的に測定準備時間および測定時間が短縮できます。 スタイラス自動交換 スタイラスモジュール 姿勢変更だけでは測定ができないような場合（例えば、異径スタイラスや特 殊形状スタイラスに交換しなければ測定ができないような場合）でも、スタイ ラスチェンジシステムによるスタイラス自動交換で途中中断することなく全 自動測定が可能です。さらに、プローブチェンジシステムによる他プローブと M2X0.4 のコラボレーションにより、様々な形状部品測定の全自動化も可能となりま す。 Sø4 mm セット構成【コードNo.06AAL268】 40 ユニット 照番 名称 パーツNo. 数量 備考 1 10 1 TP200プローブ ̶ 1 50 TP200 2 スタイラスモジュール（標準）06AAL254 1 標準測定力（オーバートラベル時） 2 11 プローブ 3 清掃用具 06AAL256 1 スタイラスモジュール清掃用 1式 4 ツインエンディッドスパナ 161534 1 プローブ脱着用（S1） 12 06AAL251 5 ダブルスパナ 161535 1 プローブ脱着用（S9） 3 6 スタイラスツール 153140 1 スタイラス脱着用（S7）タッチトリガー プローブ 7 MS2-4R10 06ABN774 1 標準スタイラス Sø4×10（M2） 13 TP200セット 8 MS2-6R10 06ABN786 1 Sø6×10（M2） 4 06AAL268 TP200用 9 MS2-4R20 06ABN775 1 Sø4×20（M2） スタイラス 10 MS2-EXT40G 06AAL257 1 カーボン製エクステンション40 mm セット 5 11 MS2-EXT50G 06AAL258 1 カーボン製エクステンション50 mm 14 06AAL252 12 カーボンエクステンション用 TP200 仕様 取付工具 06AAL264 1 13 格納箱 06AFZ191 1 スタイラス収納箱 6 TP200 測定方向 ±X、±Y、±Z 15 繰返し精度（2σ） 0.36 µm（10 mmスタイラス） 14 取扱説明書 06AAL623 1 7 トリガー発生力 XY 0.02 N（STANDARD FORCE）50 mmスタイラス時 ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 Z 0.07 N（STANDARD FORCE）50 mmスタイラス時 8 オーバートラベル量 XY XY±14 ° Z ＋4.5 mm 9 単位 : mm XY 0.2 N～0.4 N（STANDARD FORCE） オーバートラベル力 0.1 N～0.15 N（LOW FORCE） Z 4.9 N（STANDARD FORCE） 1.6 N（LOW FORCE） オプション オートモジュールチェンジャー　SCR200 最大スタイラス長さ 70 mm（STANDARD FORCE）※ 30 mm（LOW FORCE）※ オートスタイラスチェンジシステムキット（06AAL540） スタイラス取付方法 M2ねじ No. 名称 パーツNo. 数量 仕様（用途） 質量（kg） 単体質量 22 g 1 スタイラスモジュール（低測定力） 06AAL255 1 ø1未満のボール測定子用 0.01 耐久性 1000万回 2 スタイラスモジュール（標準） 06AAL254 3 標準測定力（オーバートラベル時） 0.04 プローブヘッド 必須 PH10M/PH10MQ/PH6M/PH1 3 SCR200キット 06AAL267 1 ラックマウントキット付き 0.93 対応機種 CNC三次元測定機 4 PL63 06AAM887 1 PI200－SCR200接続ケーブル 0.15 注意事項 ø1 mm未満のスタイラスは、LOW FORCEモジュールで使用。 強磁界での使用はできません。 ※装着するスタイラスによっては、スタイラスとSCR200が干渉する場合があります。 SCR200 プローブモジュール交換精度 繰返し位置決め精度1.0 µm以下（自動交換時）…50 mmスタイラス使用 ※手動交換時は2.0 µm以下。…50 mmスタイラス使用時 プローブモジュール搭載数 最大6本 ※ スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 21 22 10 mm 13 mm 30 mm

小型タッチトリガープローブ TP20 小型タッチトリガープローブ TP20 寸 法 図 ø13.2 mm M8 小型タッチトリガープローブ プローブ本体 外径ø13.2 mmと非常にコンパクトで、入り組んだ部位へのプロービングに便利な タッチトリガープローブです。また、プローブエクステンションを併用することで、 深い位置へのプロービングも可能となります。 姿勢の自動変更による段取り・測定の効率化 プローブモジュール TP20はPH10M/PH10MQなどの姿勢を自動変更できるプローブヘッドに装着する ことができますので、下向き固定タイプのプローブシステムと比較すると、圧倒的に 測定準備時間および測定時間が短縮できます。（CNC三次元測定機に装着の場合） スタイラス自動交換 姿勢変更だけでは測定ができないような場合（例えば、異径スタイラスや特殊形状 M2X0.4 スタイラスに交換しなければ測定ができないような場合）でも、プローブモジュー ルチェンジシステムによるスタイラス自動交換で途中中断することなく全自動測定 Sø4 mm が可能です。さらに、プローブチェンジシステムによる他プローブとのコラボレーシ ョンにより、様々な形状部品測定の全自動化も可能となります。（CNC三次元測定機 に装着の場合） セット構成【コードNo.06AAV547】 ユニット 照番 名称 パーツNo. 数量 仕様（用途） 1 4 7 1 TP20本体プローブ 06AAV542 1 2 プローブモジュール［STANDARD］ 06AAV543 1 測定力（小） 3 プローブモジュール［MEDIUM］ 06AAV544 1 測定力（中） タッチトリガー 4 清掃用具 06AAL256 1 プローブモジュール清掃用 8 プローブ 5 シングルエンディドスパナ 161534 1 プローブ脱着用 2 5 TP20セット 6 ダブルスパナ 161535 2 プローブ脱着用 06AAV547 7 スタイラスツール 153140 1 スタイラス脱着用 8 取扱説明書 99MCA060J 1 6 9 3 9 保証書 06AAL253 1 梱包箱を含めた総質量 ＊単品での販売ができないパーツもあります。 オプション プローブモジュール TP20 仕様 TP20 測定方向 ±X、±Y、＋Z 繰返し精度（2σ） 0.35 µm以下（STANDARD FORCE 10 mmスタイラス時） スタンダードフォースモジュール（パーツNo.06AAV543） XY 0.08 N（STANDARD FORCE）10 mmスタイラス時 トリガー発生力 0.1 N（MEDIUM FORCE）25 mmスタイラス時 ミディアムフォースモジュール（パーツNo.06AAV544） Z 0.75 N（STANDARD FORCE）10 mmスタイラス時 1.9 N（MEDIUM FORCE）25 mmスタイラス時 XY ±14 ° EM1（エクステンション付スタンダードフォースモジュール） エクステンションと オーバートラベル量 Z ＋4.0 mm（STANDARD FORCE）10 mmスタイラス時 （パーツNo.06ABQ393） プローブモジュール は一体となっていて、 ＋3.7 mm（MEDIUM FORCE）25 mmスタイラス時 EM2（エクステンション付スタンダードフォースモジュール） 取り外せません。 XY 0.2~0.3 N（STANDARD FORCE）10 mmスタイラス時 （パーツNo.06ABN437） オーバートラベル力 0.2~0.4 N（MEDIUM FORCE）25 mmスタイラス時 10 mm 50 mm 100 mm Z 3.5 N（STANDARD FORCE）10 mmスタイラス時 7 N（MEDIUM FORCE）25 mmスタイラス時 最大スタイラス長さ 50 mm（STANDARD FORCE）※ 60 mm（MEDIUM FORCE）※ オートモジュールチェンジャー MCR20 スタイラス取付方法 M2ねじ 単体質量 22 g（プローブボディ13 g、プローブモジュール9 g） 耐久性 100万回 200 mm ユニット パーツNo. 数量 質量(Kg) 付属品 プローブヘッド 必須　PH10M/PH10MQ/PH1 対応機種 マニュアル/CNC三次元測定機 付属品 15 mm 注意事項 強磁界での使用はできません。 ・ø2×30 mmスタイラス 1 60 mm MCR20 145 mm MCR20 プローブモジュール交換精度 繰返し位置決め精度±0.5 µm（自動交換時）…10 mmスタイラス使用時 セット 06AAV546 1 1.3 ・プローブモジュール 2 ※手動交換時は±1 µm…10 mmスタイラス使用時 （スタンダードフォース） プローブモジュール搭載数 最大6本 ・マウンティングキット 1 ※ スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 55 mm 23 24 3 mm 10 mm 19 mm 19 mm

マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20i マニュアルプローブヘッド付タッチトリガープローブ MH20i 寸 法 図 ø14 mm ø48 mm マニュアルプローブヘッド付き小型タッチトリガープローブ プローブモジュール部は外形ø13.2 mmと非常にコンパクトで、入り組んだ部位 へのプロービングに便利なマニュアル（手動式）プローブヘッド付タッチトリ ガープローブです。また、50 mmおよび70 mmのエクステンション付きプローブ モジュールも用意されています。 姿勢の位置決めが可能 MH20iのプローブヘッド部は、手動で姿勢（方向）変更を行うことができると ともに、168姿勢への位置決め（位置決め再現精度σ≦1.5 µm）が可能な構造 になっています。姿勢変更を繰り返し必要とする複雑な立体形状測定の場合 には、予め必要姿勢を登録しておけば、姿勢変更による再キャリブレーション が不要となり、測定効率の向上が図れます。 プローブモジュール 5.7 mm セット構成 ユニット 照番 名称 パーツNo. 数量 質量（g） 備考 1 MH20i 06ABN469 1 0.25 MH20i単体 2 プローブモジュール 06AAV543 1 0.01 STANDARD TYPE コードNo. 3 清掃用具 06AAL256 1 0.05 スタイラスモジュール清掃用 06ABN436 4 MS2-スタイラスツール 153140 1 0.003 スタイラス脱着用 5 位置決めシャンク 160589 1 0.15 MH20iセット 6 スタイラス ̶ 1 0.001 ø４×10（標準スタイラス） コードNo. 7 六角棒スパナ（2 mm） 06AAA943 1 0.001 06ABN470 8 六角棒スパナ（3 mm） 06AAA944 1 0.001 9 取扱説明書 99MCA265J 1 0.1 ＊単品での販売ができないパーツもあります。 MH20i 仕様 MH20i 測定方向 ±X、±Y、＋Z 5 姿勢範囲 手動　A軸（縦方向）：0～90 （°15 °ピッチ）、B軸（水平方向）：±180 （°15 °ピッチ） 7 繰返し位置決め精度 1.5 µm（2σ） 繰返し精度（2σ） 0.35 µm以下（STANDARD FORCE 10 mmスタイラス時） XY 0.08 N（STANDARD FORCE）10 mmスタイラス時 3 トリガー発生力 0.1 N（MEDIUM FORCE）25 mmスタイラス時 8 Z 0.75 N（STANDARD FORCE）10 mmスタイラス時 1 1.9N（ MEDIUM FORCE）25 mmスタイラス時 XY ±14 ° オーバートラベル量 Z ＋4.0 mm（STANDARD FORCE）10 mmスタイラス時 4 ＋3.7 mm（MEDIUM FORCE）25 mmスタイラス時 XY 0.2~0.3 N（STANDARD FORCE）10 mmスタイラス時 9 オーバートラベル力 0.2~0.4 N（MEDIUM FORCE）25 mmスタイラス時 2 Z 3.5 N（STANDARD FORCE）10 mmスタイラス時 6 7 N（MEDIUM FORCE）25 mmスタイラス時 最大スタイラス長さ 50 mm（STANDARD FORCE）※ 60 mm（MEDIUM FORCE）※ スタイラス取付方法 M2ねじ オプション スタイラスモジュール 単体質量 210 g（シャンクを除く） 耐久性 100万回 プローブヘッド 必須　PH10M/PH10MQ/PH1 対応機種 マニュアル スタンダードフォースモジュール（パーツNo.06AAV543）/CNC三次元測定機 注意事項 強磁界での使用はできません。 ミディアムフォースモジュール（パーツNo.06AAV544） ※ スタイラスの長さや重量が増すと精度悪化する場合があります。 EM1（エクステンション付スタンダードフォースモジュール） エクステンションと （パーツNo.06ABQ393） プローブモジュール は一体となっていて、 EM2（エクステンション付スタンダードフォースモジュール） 取り外せません。 （パーツNo.06ABN437） 10 mm 50 mm 100 mm 25 26 53 mm 10 mm 19.5 mm 77 mm

モータライズ・プローブヘッド PH10M/PH10MQ モータライズ・プローブヘッド PH10M/PH10MQ PH10M寸法図 PH10MQ寸法図 62 mm ø14 mm 姿勢自動変更による効率向上 先端に取りつけたプローブ姿勢を自動制御することができるプローブヘッド です。ティーチング時に付属のコントローラボックスかソフトウェア上で指示 した角度を記憶させることで自動測定中に自動で姿勢変更が行われます。 PH10MQアダプタ また、姿勢自動変更はスタイラス自動交換よりも圧倒的に短時間での測定が 可能となり、三次元測定機による測定のトータル工数の大幅な効率化が可能 になります。 720姿勢への高精度位置決め PH10M/PH10MQは、最大720方向への姿勢変更ができますので、1本のスタ イラスで720本のスタイラスを付けているのと同じ仕事ができることになりま 80 mm す。また、同一姿勢への再現性が2σ≦0.4 µmと高いため、繰り返し同一姿勢 オートジョイント部 オートジョイント を呼び出して測定をするような場合でも、再キャリブレーションを行う必要が ありません。 エクステンション 各種プローブ搭載が可能 符号 パーツNo. 外観図 備考欄 32 mm 先端には、タッチトリガープローブだけでなく、スキャニングプローブ、画像プ ローブ、レーザプローブ、ねじ有効深さ測定プローブなどの様々なプローブを PAA1 909460 ※プローブヘッド装着後全長30 mmとなります。 TP200/TP20用 搭載することができます。 50 mm また、プローブチェンジャー（オプション）によるプローブ自動交換も可能なた PECF1 06ABM152 TP200/TP20用 め、非常に幅広い測定対象を全自動測定で実行することができます。 100 mm ＊プローブ自動交換においては、未対応のプローブもありますので、ご注意ください。 PECF2 06ABM153 TP200/TP20用 200 mm PECF3 06ABM154 TP200/TP20用 300 mm PAA3 916147 TP200/TP20用 50 mm PEM1 916495 SP25M/TP7M用 100 mm PEM2 916496 SP25M/TP7M用 200 mm PEM3 916497 TP7M用 セット構成 1 2 No. 名称 パーツNo. 数量 備考 PH10Mplusヘッド PH10Mplus ジョイントキーS10 1 ヘッド 六角棒スパナ呼び1.5 06AES793 1 セット 六角棒スパナ呼び2 PH10M/PH10MQ 仕様 六角棒スパナ呼び2.5 PH10M/PH10MQ 姿勢範囲 水平方向 ±180 °（ 7.5°ピッチ　48ポジション） PH10MQplusヘッド 垂直方向 0～105 °（ 7.5°ピッチ　15ポジション） PH10MQplus ジョイントキー ヘッド S10 繰返し位置決め精度 2σ≦0.4 µm（PAA1＋TP20＋L10 mmスタイラス装着時） 2 セッ 六角棒ス 06AES794 1 ト パナ呼び1.5 3 4 5 エクステンション PEM1、PEM2、PEM3、PAA1、PAA2、PAA3 エクステンションの複数連結使用はできません。ただし、PAA＋PECF1、PAA1＋PECF2、PAA1＋PECF3の 六角棒スパナ呼び2 使用は可能です。 3 HCU2 06AFG738 1 プローブヘッド位置決めコントローラ：　オプション SurfaceMeasure/QVPについては、エクステンションの使用はできません。 4 PHC10-3plus 06AES796 1 測定機側CPUとのインターフェイス 対応機種 CNC三次元測定機 動作エラー表示 6 耐久性 100万回 5 PAA1 909460 1 TP200等をPH10Mに装着するためのアダプタ 6 取扱説明書 99MCA034J 1 PH10M用取扱説明書 ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 27 28 38 mm 130 mm 38 mm 73 mm 73 mm

固定式プローブヘッド PH6M マニュアルプローブヘッド PH1 固定式プローブヘッド マニュアルプローブヘッド オートジョイント式のプローブやアダプタに対応した固定式プローブヘッド TP200/TP20用のマニュアルプローブヘッドです。 です。 マルチワイヤ対応プローブSP25M、TP200などを下向きに取付けて使用し 姿勢変更 ます。 取りつけたプローブを手動で任意の方向に姿勢変更させることができます。 MiSTARシリーズでスキャニング測定を行なう場合、測定空間をより有効に 利用することができます。 エクステンション 最大200 mmのプローブエクステンションを挿入することができます。 PM6M 仕様 PH1 仕様 PH6M プローブマウンティング オートジョイント（マルチワイヤ） PH1 水平方向 360 °（ 15 °ピッチ） プローブステータス表示 1LED 姿勢範囲 ø14 mmシャンク部ごと回転させれば無段階 ケーブルコネクション マイクロDコネクタ 垂直方向 ±115 ° 無段階 質量 160g 搭載プローブ TP200、TP20 エクステンション PECF1、PECF2、PECF3 対応機種 マニュアル・CNC三次元測定機 寸 法 図 セット構成【コードNo.06AGE804】 寸 法 図 オプション エクステンション 単位 : mm MiSTARシリーズの場合 単位 : mm No. 名称 パーツNo. 数量 符号 パーツNo. 外観図 ø60 1 PH6M 06AAV203 1 50 mm 2 PH6Mケーブルセット 06AGA602 1 PECF1 06ABM152 ø14 3 PI200セット 06AFR699 1 4 PAA1 909460 1 100 mm ø14 PECF2 06ABM153 200 mm ø41 PECF3 06ABM154 17 M8 30 48 ø30 オートジョイント PECF3 接続例 29 ø41mm 30 ø14mm M8 ø30mm 53.3 36 50 36mm 50mm

高速5軸制御スキャニングヘッド REVO-2 5軸制御タッチトリガーシステム PH20 自由な姿勢で複雑形状のワークを効率よく測定 超高速5軸スキャニング あらゆる角度への位置決めが可能 で、ヘッドタッチによる測定ができます。 最大500 mm/sの超高速スキャニングが可能です。また三次元測定機のX,Y,Zの 傾斜面の測定や間口が狭く奥が広い穴の測定などにも有効です。深穴測定 3軸、REVO-2のA,Bの2軸、合計5軸の同時制御でスキャニングが可能で、複雑 時のスタイラスシャンク部の干渉の心配もありません。 なワークを一括でスキャニングできます。 5軸動作により角度変更の時間を縮小し、ヘッドタッチによる高速測定を実現 またREVO-2特有のさまざまな測定動作をサポートしています。 します。 ロータリーエンコーダを使用することで無限の角度位置決めが可能です（分 TP20の標準モジュールを使用しモジュールチェンジャーにも対応しています。 解能=0.08秒）。これにより複雑な形状へのアクセスも容易になり、プログラミ オプションソフトとの組み合わせにより、3D CADデータからPC上で測定プロ ング時間、測定時間の短縮につながります。 グラムを作成できます。 REVO-2は専用の三次元測定機システムCRYSTA-Apex EX 1200Rシリーズで のみ使用可能なプローブとなります。 寸 法 図 TP20スタンダードフォースモジュール、標準スタイラスの場合 寸 法 図 47.5 46 92 単位 : mm ø89 PH20 仕様 ø61 ※ PH20 質量 810 g 4 mmマウントプレート付28.5 96.4 動作温度 10 ℃～40 ℃※1 保存温度 ー25 ℃～70 ℃※1 最大移動速度 1281 mm/（s ※2 標準状態） 最大測定速度 50 mm/s REVO-2仕様 回転角度（A 軸） ± プローブ 115 ° ヘッド本体 回転角度（B 軸） ∞ REVO-2 質量 2100 g 動作温度 湿度 18～22 ℃ 0～80 ％※ 軸受け メカニカルベアリング 保存温度 湿度 ー 位置決め角度分解能 10～＋70 ℃ 0～80 ％※ 0.4 µ Radians 以下の範囲で可動します。 オートチェンジ TCR20 回転角度（A 軸） RSP2の場合：ー5 °～＋120 ° 最大取付可能測定子長さ 50 mm RSP3の場合：ー100 °～＋120 ° スタイラス取付方法 M2ねじ 回転角度（B 軸） ±∞ モジュール取付方法 永久磁石 位置決め角度分解能 0.02 秒 ※1 動作温度、保存温度は、精度保証温度とは異なります。 最大スキャニング速度 500 mm/s ※2 長さ12.15 mm、先端球径ø4ルビー測定子、スタイラス先端の移動速度 サンプリングレート 4000 点/秒 プローブ取付方法 永久磁石 回転軸 エアベアリング 供給空気圧 0.5～0.85 MPa 空気消費量 Max 50 L/min 圧縮空気 清浄等級 ISO 8573-1 Class 4 ※ 動作温度は、精度保証温度とは異なる。 31 32 13 18 50.9 126※ 75

オートプローブチェンジャー ACR3 CNC三次元測定機用ロータリーテーブル プローブ自動交換の必要性 CNC三次元測定機用ロータリーテーブルは、主に回転体の測定物（歯車、イン ペラ、円筒カムなど）を高精度かつ高能率測定を実現するために必要なオプ ACR3は、PH10M/PH10MQ用のオートプローブチェンジャーです。スタイラス ションです。さらに、倣いプローブを併用した同期倣い測定を行え、多種多様 自動交換ができないプローブにおいて、スタイラス径や長さを変えながら全 な輪郭形状測定を実現できます。 自動させたい時や、接触式プローブと非接触プローブを交換しながら全自動 測定を行いたいような場合に必要です。 ロック MRT240 解除 本体が小型/軽量でありながら最大質量40 kgまでの測定物に対応できます。 ショップフロア型CNC三次元測定機 MiSTAR 555にもご使用頂けます。 MRT240 MRT320 テーブル中心にø60 mmの貫通穴があり、長尺のドライブシャフトなどの測定 に便利です。 QS600/QS800 大型ワークに対応したロータリーテーブルです。 MRT320 ロック 寸 法 図 QS600/800 単位 610 : mm 185 147 ロータリーテーブル 仕様 符号 MRT240 MRT320 QS600 QS800 88.7 本体寸法［mm］ 奥行 327 470 1000 1200 106 フリー ロック 幅 250 400 720 920 UNLOCKED LOCKED 高さ 105 150 160 テーブル直径［mm］ 240 320 600 800 中心位置 CENTER POSITION 本体質量［kg］ 20 120 370 530 許容ワーク質量［kg］ 40 100 1700 3000 割出精度 ±0.7" ±0.7" 2" 最大駆動速度［rpm］ 6 9 5 4 セット構成 特注品対応事例 ユニット No. 品名 パーツNo. 数量 備考 1 2 1 ACR3 06ABN438 1 4ポートラック 2 MRS KIT2 06ABN607 1 ラックベース ACR3 3 補助板 06ABG598 1 固定用補助板 4ポートシステム ［06AED123］ 4 ACR3取付ねじ 06ABP467 1 取付用部品 5 取扱説明書 99MCA273J 1 日本語版 6 MRS rail - 400mm 06AES030 1 ラックベース 1 ACR3 06ABN438 2 4ポートラック 2 MRS KIT2 06ABN607 1 ラックベース 3 4 ACR3 3 補助板 06ABG598 1 固定用補助板 8ポートシステム ［06AED124］ 4 ACR3取付ねじ 06ABP467 1 取付用部品 5 取扱説明書 99MCA273J 1 日本語版 6 MRS rail - 400mm 06AES030 1 ラックベース ＊ 単品での販売ができないパーツもあります。 測定テーブル埋め込み仕様 エアフロート仕様 33 34 333 16

スタイラスの豆知識 より正確で高精度な測定をするためにはスタイラスが非常に重要な要素となります。ここではスタイラスを選定いただく際のヒントとな 2. ボール る豆知識をご紹介いたします。 スタイラス球の材質を選ぶ際には測定方法とワークの素材を考慮する必要があります。 スタイラスとは、測定物に接触する測定子のことを指し、一般的に軸とボールで構成されています。スタイラスを測定物と接触させる ■ ルビー ことでプローブが機能し、このとき生じる信号により測定値を取得します。測定物によって使用するスタイラスの形状や寸法を選択す ルビーは表面が特に滑らかで、圧縮強度が強く、機械的な腐食に対して優れた耐性を有しています。 ることになりますが、どのような場合もスタイラスが高い剛性を持つこと、および先端形状が完全な球形であることが重要なポイント 多くの測定物に対し、ボールの材質として最適ですが、アルミニウム、鋳鉄に対してはスキャニング測定時に摩耗が発生する となります。 ことがあります、そのため、アルミニウムや鋳鉄素材の測定を行う際は、ルビー以外のご使用を推奨します。 ■ 窒化珪素 ルビーに類似した特性を有し、硬度が非常に高く摩耗に強いセラミック材です。アルミニウムに凝着しないため、ルビーのよ うな凝着摩耗が発生しません。しかし、スチール面に対しては摩耗が顕著となるため、窒化珪素の使用はアルミニウムに限 定することを推奨します。 ■ ジルコニア ジルコニアは特に優れた硬度を誇るセラミック材でルビーに匹敵する硬度と摩耗耐性を有します。鋳鉄製の部品のスキャニ ングをよく行うような場合に最適です。 ■ ダイヤモンドコーティング ■スタイラスの選定 ダイヤモンドの粒子でコーティングしているため、優れた耐久性、耐摩耗性を有しています。 ルビー、窒化珪素で発生する凝着摩耗も無く、かつ長寿命であるため、スタイラスの清掃や交換の頻度が減り、メンテナンス より高精度な測定をしていただくため、スタイラスの選定におかれましては下記の事項を基準にお選びいただくことを推奨します。 にかかる手間とコストを抑えることができます。 1. スタイラス長はできるだけ短くする スタイラスの曲がりやたわみが大きいほど精度は悪くなります。どのようなスタイラスの構成でも、出来るだけ短いスタイラスでの ■スタイラスのキャリブレーション 測定を推奨します。 測定物に対し適切なスタイラスを選定いただいても、測定の前に使用するプローブのキャリブレーションを行わなければ正確な測定 2. 結合部を出来るだけ少なくする 結果を得ることはできません。 スタイラスを組み合わせたり、エクステンションを組み合わせることで、たわみが発生する可能性が高まります。スタイラスを構成す キャリブレーションで得たボールの直径値と位置情報を、三次元測定機のソフトウェアに登録することで初めてスタイラスがその性能 るパーツは最小限にして使用することを推奨します。 を発揮します。 3. 出来るだけ大きなボールを使用する より大きなボールを使用する事により、ボールと軸とのクリアランスが広がり測定物に対し軸が干渉することを低減することが出来 ■ キャリブレーションのメカニズム ます。また、測定物の表面仕上げへの影響も少なくなります。 専用のプローブキャリブレーションプログラムを用いて、それぞれのボールスタイラス球の中心位置と直径を計算します。 構成するスタイラス球で基準球を測定し、スタイラス球の真の直径を求め、測定機のソフトウェアに登録します。通常、基準球には ■スタイラスの素材 直径の値付けされた精密な球を使用し、キャリブレーションされた球の値を、計測ソフトウェアに入力します。あらゆる方向の測定 をする場合、基準球のいくつかの点を用いてスタイラスの校正をします。スキャニング測定では非常に多くの点を取得する必要が スタイラスには用途にあわせ、軸、ボール、その他付属品に対し、最適な材質を使用しています。ここでは主に使用されている材質の あります。これらの手順を踏むことにより、スタイラス球の補正された有効直径と機械の座標に対するスタイラス球の中心位置が設 特徴、メリットをご紹介いたします。 定され、正確な測定を行うことが可能になります。 1. 軸 スタイラスのたわみを抑えるには、軸の剛性を出来る限り強くする必要があります。ミツトヨでは下記の材質の物をご用意しています。 ■スタイラスに関する注意事項 ■ スタイラスの長さ、重さ、ならびに三次元測定機本体の駆動速度や加速度によっては誤入力の可能性がありますのでご使用の際は ■ 超硬 ご注意ください。 小さな軸径のスタイラスで優れた剛性を発揮し、ほとんどの標準的な用途に最適です。大きな軸径および、長いスタイラ ■ ディスクスタイラスは、球体の一部を用いており、エッジやアンダーカットを測定する際に使用します。このスタイラスは、一つの直 スでは重量に注意する必要があります。 径のみを補正するため、実際の測定はX、Y方向のみとなります。Ｚ方向の測定には使用できません。またスタイラスチェンジャーと 併用する必要があります。 ■ スチール ■ 円筒スタイラスの使用には制限があります。 剛性に優れ、重量が問題にならないような場合に標準的に用いられます。 ■ 制限事項の詳細については弊社営業所にお問い合わせください。 ■ M2～M5シリーズの測定子は基本的にはそれぞれのプローブのねじサイズに合ったものをお選びください。 ■ セラミック 　変換アダプタ等を使用し、ねじサイズの異なる測定子を取付けることができる場合もありますが、その際には装着するプローブの 軽くステンレスと同等の剛性をもった素材のため、主にボールサイズが大きく軸が長いスタイラスで用いられます。熱安 取扱説明書をご参照いただき、それぞれのプローブの仕様に合わせた測定子構成を選択してください。また、取付け方法について 定性に優れ、温度環境に左右されず精度の高い測定が可能です。 不明な部分がございましたら別途弊社営業所にお問い合わせください。 ■ スタイラスセンタやスタイラスナックルの締結部分は、締結後プロービングの衝撃に伴いごく僅かに戻り回転します。高精度な測定 ■ カーボンファイバ を行う場合には安定した治具等を繰り返し測定して回転方向の安定性を確認した後、キャリブレーションを再実行したうえで測定 カーボンファイバスタイラスは超硬スタイラスの20％程度の重量であるため、長いスタイラスに適した材質です。熱安定 に移行するか、対策品のスタイラスセンタ（06AHE758,06AHE759,06AHE760）の使用をご検討ください。 性にも優れ、使用環境に左右されずご使用いただけます。 35 36

三次元測定機用スタイラスの品名判別方法 スタイラス（取付部ねじ径：M2） スタイラスの品名から、おおよそのスタイラス形状が判別できるようになっています。 （下記をご参照ください。） コードNo. 06ABN751 ・測定力0.4 N以下でご使用ください。 超硬 ・TP200への装着はできません。 品名 MS2-0.3R2 ・通常の測定子に比較して寿命が短くなる 標準価格 39,700円 場合があります。 2 Sø0.3 ・セラミックマスターボール（高精度タイプ） 1 ボールスタイラスの場合 EWL 材質 ルビー M2X0.4 Sø10 mmの使用を推奨します。 10 質量 : 0.3 g MS 2 - 0.5 R 3 C コードNo. 06ABN752 06AFG320 06AFG391 ・通常の測定子に比較して寿命が短くなる 超硬 場合があります。 ミツトヨ製スタイラス 軸の材質 品名 MS2-0.5R3 MS2-0.5SN3 MS2-0.5Z3 ・TP200への装着は推奨できません。 EWL：ボールに軸部分が干渉しない有効長さ 標準価格 39,700円 66,200円 70,600円 ・セラミックマスターボール（高精度タイプ） G…カーボン 注：EWL以下の測定深さでもワークと干渉する場合 Sø10 mmの使用を推奨します。3 Sø0.5 取付ねじ径 先端部材質 C…セラミック R …ルビー なし…その他 があります。 EWLが長い、またはその径が細いス 先端部材質 ルビー 窒化珪素 ジルコニア M2X0.4 10 質量 : 0.3 g タイラスを使用すると、測定力（ワークに接触さ SN …窒化珪素 先端ボール径 せる力）によるたわみによって、測定誤差が大き Z …ジルコニア くなることがあります。また、強くワークに接触さ コードNo. 06ABN753 06AFG392 ・通常の測定子に比較して寿命が短くなる H …強硬 有効長さ（EWL） 超硬 場合があります。 せると、スタイラスを破損させる恐れがあります DC …ダイヤモンド 品名 MS2-0.7R4 MS2-0.7Z4 ・セラミックマスターボール（高精度タイプ） ので取扱いにご注意ください。 コーティング（DLC） 標準価格 58,500円 88,200円 Sø10 mmの使用を推奨します。 4 Sø0.7 先端部材質 ルビー ジルコニア M2X0.4 10 2 円筒スタイラスの場合 質量 : 0.3 g MS 2 - CY 3 R 6 コードNo. 06ABN754 06AFG321 06AFG393 ステンレス 品名 MS2-1R4.5 MS2-1SN4.5 MS2-1Z4.5 ミツトヨ製スタイラス 有効長さ（EWL） 標準価格 13,200円 15,900円 19,800円 先端部材質 ルビー 窒化珪素 ジルコニア 4.5 Sø1 M2X0.4 10 質量 : 0.3 g 取付ねじ径 円筒径 EWL 先端部材質 コードNo. 06AHK152 超硬 円筒 R … ルビー H … 超硬 品名 MS2-1.05DC6 ̶ … それ以外 標準価格 ＊ n1.05 先端部材質 6 DLC 10 3 ディスクスタイラスの場合 コードNo. 06ABN755 06AFG322 06AFG394 品名 超硬 MS 2 - DISC 12 - 2 MS2-1R7 MS2-1SN7 MS2-1Z7 標準価格 17,600円 21,200円 26,500円 ミツトヨ製スタイラス ディスク厚み ディスク径 先端部材質 ルビー 窒化珪素 ジルコニア 7 Sø1 M2X0.4 20 質量 : 0.6 g 取付ねじ径 ディスク径 コード 先端部材質 No. 06AHK153 超硬 ディスク厚み 品名 MS2-1.05DC7 ディスク R…ルビー ̶…ルビー以外 標準価格 ＊ n1.05 先端部材質 7 DLC 20 4 十字スタイラスの場合 コードNo. 06ABN756 06AFG323 06AFG395 超硬 品名 MS2-1R12.5 MS2-1SN12.5 MS2-1Z12.5 MS 2 - STAR 2 R 2.5 EWL 標準価格 19,800円 23,800円 29,800円 Sø1 先端部材質 ルビー 窒化珪素 ジルコニア M2X0.4 12.5 20 質量 : 0.41 g ミツトヨ製スタイラス 有効長さ（EWL） 取付ねじ径 ボール径 コードNo. 06ABN757 06AFG324 06AFG396 品名 超硬 先端部材質 MS2-1R20.5 MS2-1SN20.5 MS2-1Z20.5 十字スタイラス R … ルビー 標準価格 24,300円 29,100円 36,400円 ̶ … ルビー以外 先端部材質 ルビー 窒化珪素 ジルコニア Sø1 M2X0.4 20.5 27.5 質量 : 0.4 g 5 その他の場合 コードNo. 06ABF409 ・TP200への装着はできません。※ TP20への装着 は推奨できません。 品名 M2X0.4 超硬 MS2-1R37 Sø1 ①ポイントスタイラス MS2-PO（先端が超硬の場合、さらにHがつきます。） 標準価格 30,900円 37 ②エクステンション MS2-EXT10（後ろの数字は長さ。軸がカーボンファイバの場合、さらに後ろにG、 材質 ルビー 52 質量 : 0.9 g セラミックならCがつきます。） コードNo. 06ABN758 06AFG325 06AFG397 ステンレス 品名 MS2-1.5R4.5 MS2-1.5SN4.5 MS2-1.5Z4.5 標準価格 13,200円 15,900円 19,800円 Sø1.5 M2X0.4 4.5 先端部材質 ルビー 窒化珪素 ジルコニア 10 質量 : 0.3 g ※30 mmより長い測定子は、軸の素材がカーボンファイバ、または、セラミックの商品をご選択ください。 ＊価格については、弊社営業所にお問い合わせください。 37 38ø3 ø3 ø3 ø3 ø3 ø3 M2 ø3 ø3 M2 ø3 ø3 ø3 ø0.7 ø0.7 ø0.70 ø0.8 ø0.7 ø0.7 ø0.5 ø0.3 ø0.8 ø0.7 ø0.2