ベローズ式空気ばねＡＴシリーズ

ベローズ式空気ばね ATシリーズ SHOWA SCIENCE bellows type air spring AT series コンパクト設計により従来サイズと同等で数倍の耐荷重に対応します。 耐久性の高い特殊ゴム採用により、高速ステージにも対応します。 水平・垂直共に大型パッシブユニット中、最も優れた除振性能を有しています。 空気ばね内部に減衰機構及び過浮上防止機構を内蔵しています。 コンパクトで且つ通常の空気ばねには無い高い減衰性能を有しています。 ATシリーズを組込んだ除振台(フレーム）も製作可能です。 ATシリーズを組込んだ除振台(フレーム）

ベローズ式空気ばね Bellows type air spring AT series ATシリーズ ベローズ方式を採用した空気ばね「ATシリーズ」は荷重に合わせて5種類を用意しており、組合せにより500トンを超える超大型装置を搭載可能です。 水平・垂直とも優れた除振性能を有し、空気バネ内部に減衰機構及び過浮上防止機能を設けているのでコンパクトです。 自動レベル調整器と組み合わせて使用するのでステージの移動やワークの重量が変わっても定盤(作業面）を一定の高さに保ちます。 耐久性の強い特殊ゴムを使用しているので高速ステージにも対応可能です。装置に合わせて機種選定も承ります。 用途 半導体検査装置 ／ 電子顕微鏡(SEM,TEM) ／ 液晶検査装置 ／ 超精密加工機 ／ 液晶リペア装置 仕様 型式 AT-120 AT-250 AT-415 AT-615 AT-855 230×230 230×230 330×330 360×360 420×420 寸法 A×B （E） mm （233） （260） （340） （370） （460） 寸法 C×D mm 210×210 210×210 300×300 330×330 390×390 寸法 H mm 148 148 170 170 170 取付穴寸法 F mm φ12 φ12 φ15 φ18 φ18 質量 kg/個 7.5 7 15 18 20 搭載可能質量 kg ※1 1,440 3,000 6,000 7,200 10,000 固有振動数 水平・垂直 ： 約3.0Hz レベリング方式 自動レベル調整器により水平を維持します 供給圧力 MPa 0.4～0.6 付属品 フィルターレギュレータ（1個）、φ6ウレタンチューブ（10m）、継手（2個） ※1 除振台としての標準構成は、4ユニット/1台となります。表中の最大値は、均等荷重且つ動荷重の無いときに適用できます。 振動伝達率 30 20 10 振 動 0 伝 達 -10 関 数 -20 (dB) -30 -40 -50 1 10 100 周波数 (Hz) 安全に関するご注意：ご使用前に取扱い説明書などをよくお読みの上、正しくお使いください。 本 社 〒210-0024 神奈川県川崎市川崎区日進町1-14 TEL (044)223-0571（代） 大阪営業所 〒550-0013 大阪府大阪市西区新町1-6-22 TEL (06)7661-2608（代） http://www.ssvi.co.jp ※記載されている内容は、予告無く変更する場合があります。 ※無断転載・転用を禁止します。 2021.04