リニアアクティブ除振ユニットＶＡＡＶ－S

リニアアクティブ除振ユニット VAAV - S EMC対策タイプ SHOWA SCIENCE active anti-vibration unit VAAV-S EMC countermeasure type 優れた応答性 ： 応答性の良いリニアモーターを採用することにより高い除振性能を実現します。 小型コンプレッサーで使用可能 ： メカニカルバルブの採用で、パッシブ除振台と同等の空気源で使用可能です。 高いコストパフォーマンス ： 空圧アクティブユニットに比較し、低価格での提供が可能です。 シリーズ最高の除振性能 ： 空圧・高性能タイプのVAAV-Lと同様の最もソフトな空気ばねを使用しています。 CEマーキング対応の安心安全設計（コントローラ SEC-03）です。 コントローラ SEC-03

リニアアクティブ除振ユニット Active anti-vibration unit VAAV-S EMC countermeasure Type VAAV – S EMC対策タイプ 高感度振動速度センサにより検出された振動を独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速計算し、高速応答のリニアモータにより瞬時に振動 を打ち消します。荷重支持は低固有振動数の空気ばねで行うため、小型コンプレッサーと電源のみで使用できます。床側にも配備した高感度 振動速度センサを使用したフロアー・フィード・フォワード制御により、世界最高水準の除振性能を提供します。 用途 ■極低振動環境が要求される高性能電子顕微鏡に適用すると像揺れが桁違いに改善できます。パッシブ除振台では除ききれない低周波数の 振動を嫌う顕微鏡において、このアクティブ除振台が効果を発揮します。 ■走査トンネル顕微鏡、原子間力顕微鏡や光学測定装置など、特に振動に敏感な装置の振動対策に使用されています。 ■低周波振動の大きい設置床環境の除振対策に最適化されています。 仕様 除振ユニット 型式 VAAV-1000S 搭載可能質量(4ユニット）※1 500～1,700kg 1ユニット外形寸法 WxDxH(mm) 190×190×178 着座時高さ H-4 1ユニット質量 14kg 制御自由度 3軸6自由度 所要空気源 0.5MPa以上 消費流量はパッシブと同等 制御方式 速度フィードバック、フロア・フィード・フォワード 除振ユニット 外形図 最大推力 水平方向：20N 垂直方向：40N 注）4ユニット/台として使用時 発生磁界 0.04μT以下 注）ユニットから150mm離れた位置での交流磁界 ※1 除振台としての標準構成は4ユニット/1台となります。表中の最大値は均等 荷重 且つ動荷重の無いときに適用できます。 波形表示ソフト その他の構成品 型 制御用コントローラ SEC-03 ＶＡＡＶ内部の振動データを表示、解析するソフトウェア。 式 時系列波形のモニター、スペクトラム解析、振動伝達関数 外形寸法 WxDxH 335 ×410 ×130 解析などのＦＦＴ機能を搭載。コントローラにリンクして （mm） 動作し、簡単に振動状況をモニター可能。 質量 8kg 所要電源 AC100V～240V 200VA（単相） 50/60Hz 振動伝達率 垂直方向 水平方向 安全に関するご注意：ご使用前に取扱い説明書などをよくお読みの上、正しくお使いください。 本 社 〒210-0024 神奈川県川崎市川崎区日進町1-14 TEL (044)223-0571（代） 大阪営業所 〒550-0013 大阪府大阪市西区新町1-6-22 TEL (06)7661-2608（代） http://www.ssvi.co.jp ※記載されている内容は、予告無く変更する場合があります。 ※無断転載・転用を禁止します。 2021.04