アクティブ除振ユニットＶＡＡＶ－Ｈ

アクティブ除振ユニット VAAV – H スリムタイプ SHOWA SCIENCE active anti-vibration unit VAAV-H slim type 高さを抑えたスリム設計 ： 狭いスペースへの設置が可能になり、使用用途が拡大します。 VAAV-Aシリーズと同性能 ： 高さを抑えつつ標準タイプ(VAAV-A)の高精度な除振性能を保持しています。 空圧３軸６自由度アクティブ制御 ： XYZ軸3方向およびそれぞれの回転方向に対しアクティブ制御します。 大きな移動荷重に対応できる高速応答の大流量バルブの選択が可能 CEマーキング対応の安心安全設計 （コントローラ SAC-07） ステージ・フィード・フォワード（SFF）制御機能、振動波形表示解析ソフトを標準装備 ステージ・フィード・フォワード (SFF) 制御 客先ステージ 制御対象（除振定盤等） 位置フィードバック 加速度フィードバック (FB) 制御 (FB) 制御 フロア・フィード・フォワード 床振動 (FFF) 制御 アクティブ除振台の各種制御方式 ユニット外観図

アクティブ除振ユニット Active anti-vibration unit VAAV-H slim type VAAV – H スリムタイプ VAAV専用の超高感度加速度センサ搭載。極微小振動を正確に把握します。独自のアクティブ除振アルゴリズムで高速演算し、高精度な大出力アクチュ エータにより瞬時に振動を打ち消します。床側にも惜しみなく超高感度加速度センサを配備し、フィードフォワード制御で世界最高水準の除振性能を達 成しました。共振現象のない高性能かつ高精度な除振性能を保持しながら、搭載ステージの加振力により与えられた振動も同時に短時間で減衰します。 用途 ■半導体製造及び検査装置では、微細な加工を要するウェハへの振動対策とウェハを移動するステージの振動対策に使用されています。 ■液晶製造及び検査装置では、ガントリーやステージが大きく移動した際の振動を素早く減衰させて、直ちに検査や修正を行う目的で使用され、 タクトタイムの向上に役立っています。 ■超精密工作機械では、大きな荷重の移動に対応しながら、精密な加工を行うテーブル上の振動を取り除く目的で使用されています。 仕様 除振ユニット 型式 VAAV-1000-110H VAAV-2200-110H VAAV-4000-110H VAAV-7000-120H 搭載可能質量(4ユニット） ※1 500～1,700kg 1,100～3,700kg 2,100～7,000kg 3,600～12,000kg 1ユニット外形寸法 WxDxH（mm） 240×240×110 300×300×110 420×420×110 450×450×120 着座時高さ H－2.5 H－2.5 H－2.5 H－2.5 ﾄｯﾌﾟ/ﾍﾞｰｽﾌﾟﾚｰﾄ取付穴ﾋﾟｯﾁ A（mm） 210 260 370 400 ﾄｯﾌﾟ/ﾍﾞｰｽﾌﾟﾚｰﾄ取付穴数量-穴径B（mm） 2×4-φ15 2×4-φ15 2×4-φ16 2×4-φ16 1ユニット質量 15kg 18kg 25kg 45kg 制御自由度 3軸6自由度 位置精度 ±10μm 1次側供給圧力（所要空気源） 0.6MPa以上 （クリーンエア） 空気消費量 標準バルブ 60 L/min ／ 高速応答バルブ 250 L/min ※1 除振台としての標準構成は、4ユニット/1台となります。 表中の最大値は、均等荷重且つ動荷重の 無いときに適用できます。 その他の構成品 制御用コントローラ 空気圧レギュレータユニット 型式 SAC-07 RGU-07 外形寸法 WxDxH（mm） 300×300×118 250×100×200 質量 6kg 3kg 所要電源 AC100V～240V 100VA（単相） ― 電源ケーブル 3m ― ユニット接続ケーブル 5m ― 除振ユニット外形図 振動伝達率 波形表示ソフト ＶＡＡＶ内部の振動データを表示、解析するソフトウェア。時 系列波形のモニター、スペクトラム解析、振動伝達関数解析な どのＦＦＴ機能を搭載しています。コントローラにリンクして 動作し、簡単に振動状況をモニターすることが可能です。 安全に関するご注意：ご使用前に取扱い説明書などをよくお読みの上、正しくお使いください。 本 社 〒210-0024 神奈川県川崎市川崎区日進町1-14 TEL (044)223-0571（代） 大阪営業所 〒550-0013 大阪府大阪市西区新町1-6-22 TEL (06)7661-2608（代） http://www.ssvi.co.jp ※記載されている内容は、予告無く変更する場合があります。 ※無断転載・転用を禁止します。 2021.04