除振とは・・・ パッシブ除振台の概要

精密除振システム

表紙 目次 ページ数 1 まええががきき 1 除振とは・・・・・ パッシシブブ除除振振台台のの概概要要 2 〜 76 アククテティブィ除ブ振除は振何は何故故必必要要ににななるのるかのか 8 〜 92 製品・サービス 製品一覧表 10 〜 112 アクティブ除振ユニット 空圧アクテティィブ除ブ除振振ユユニッニトッ　トVA　AVA　A-VA　　-、A　H、　H、　L、L 12 〜 132 リリニニアアアクテクィテブィ除ブ振除ユ振ニユットニ　ッVAトA　VV　A-ASV　-S 141 アクティブ除振台 卓上型アクティィブブ除除振振台台　　SASTAT 151 パッシブ除振台 卓上型パッシブブ除除振振台　 16 〜 194 デスクク型型パパッッシブシ除ブ振除振台台 20 〜 234 定盤型パッッシシブブ除除振振台 24 〜 263 空気ばねユニット ベローーズズ式式空空気気ばねね　　AATT 271 密封式空気ばばねね　　NPCC 281 高性能空気ばばねね　　AAMMPP 291 ソリューション クリリーーンンルールムー架ム台架台 301 ピッットト型型除除振振台台 31 移設サポート　・、環環境境測測定定 321 33DD　　CCAADDにによよるる構造解析　　、、　　オオーールルイインワンンワパンッパケーッジケージ 331 裏表紙

昭和サイエンスは 1974 年の会社創立以来、 精密除振システム製品を通じ、 周辺振動を低減 させることにより、 社会の様々な作業の生産性や品質の向上に寄与して参りました。 精密除振システムは、 床からの微振動を低減し、 振動を嫌う装置のパフォーマンスを高め、 生産 や研究の現場における生産性や品質の向上に寄与します。 製造業の生産ラインや研究施設など で半導体製造検査装置、 FPD 製造検査装置、 電子顕微鏡、 精密工作機械、 精密測定機 など様々な装置を振動から守り、 昭和サイエンスの精密除振システムは活躍しています。 限りなく無振動に近づける、 様々な除振システム。 昭和サイエンスは、 微振動を除振するため空気ばねを主体とした、 多彩な精密除振システム製 品をラインナップしています。 昭和サイエンスは 「振動・音を制御するプロフェッショナル」です。 1

パッシブ除振台の概要 パッシブ除振台の概要 ・  はじめに ・  はじめに 精密機器を設置する場合の環境条件として、振動、音、温湿度、空気の対流、クリーン度、磁気などがあげられます。これらの条件を 精密機器を設置いすかるに場コ合ントのロ環ー境ル条す件るかとがして、精、密振機動器、の音精、度温・性湿能度維、持空に気大のき対く影流響、をク及リぼーしンま度す、。磁気などがあげられます。 これらの条 件をいかにコントロールするかが、 精密機器の精度・性能維持に大きく影響を及ぼします。 除振台は、地盤、基礎、床などから伝達する振動を遮断する目的で使用されており、精密機器の精度・性能維持に不可欠な装置です。 除振台は、地盤除、基振礎台、の床扱なう振どか動らの伝大達きすさるは振精動密を機遮器断にすよるり目異的なりで、使精用密さ機れ器ておのり特、性精に密合機わ器せのて精除度振・性性能能を維設持定にし不な可けれ欠ばなな装り置までせすん。。さらに除振と 除振台の扱う振動いうの意大味きさ合はい精で密は、機設器置に床よりか異ら伝なり達、し精てく密る機振器動の特み性を減に衰合すわるせこてと除は振技性術能的をに設も定容し易なでけすれがば、な単り純まにせ固ん有。 振さら動に数除を振低とくいして除振領域 う意味合いでは、を大設き置く床してかもら、伝機達器し側てくのる移振動動質の量みがを直減接衰除す振るこ台とへは作技用術し的たに場も合容、易機で器すのが最、終単性純能にや固、有操振作動性数に大を低きくく影して響除す振るた領め域、をこれらを考慮 大きくしても、 機し器た側十の分移な動計質画量がが必直要接で除す振。台へ作用した場合、 機器の最終性能や、 操作性に大きく影響するため、 これらを考慮し た十分な計画が必要です。 また、除振台には精密機器の精度に悪影響を及ぼす振動を取り除く「除振」の役割の他に、機械（プレス、ポンプ等）の振動を外部  また、 除振台にはに伝精え密な機い器このとを精目度的にと悪し影た「響防を振及」ぼのす役振割動もあをり取まりす除。く「除振」 の役割の他に、 機械（プレス、 ポンプ等） の振動を外 部に伝えないことを目的とした「防振」 の役割もあります。 弊社では、各精密機器や一般的な設置環境を考慮して除振台の設計を行っておりますが、計画段階で要求事項が明確になっていれ 弊社では、各精密ば、機精器密や機一器般に的適な合設し置た環除境振を台考設慮計しをて行除う振こ台とはの可設能計でをす行。っておりますが、計画段階で要求事項が明確になっていれば、 精密機器に適合した除振台設計を行うことは可能です。 本書では、除振台種類と主要部品のご紹介と除振台構成例と除振台の特性例を記載しています。 本書では、 除振台種類と主要部品のご紹介と除振台構成例と除振台の特性例を記載しています。 除振 防振 1.除振外台部かのら除の振振動を効機果器へ伝えない 機器より発生する振動を外部へ伝えない 1. 除振台の除振効果 除振効果とは、除振台を使用することにより設置床からの振動をどの程度減少させることができたかを示すものです。 除振効果とは、 設除置振床台のを使振用動すと除るこ振と台に上よりの設振置動床のか比ら「の振振動動伝を達ど率の程」で度表減示少しさませする。ことができたかを示すものです。 設置床の振動と除振台上の振動の比「振動伝達率」 で表示します。 振振動動伝伝達達率率グラグフラフ 31.6 倍 10 倍 共 振 床上と除振台の振動が ： 領 3.16 倍 域 1 倍 除 振 0.316 倍 領 域 0.1 倍 0.03 倍 0.01 倍 0.003 倍 周波数（Hz) 　                                  　       【除振台上の振動】／【設置床上の振動】＝【比率】 　　                                  【 除   振   台dB上 =の 振20動lo】g／10【（設比置率床）上、の0振d動B 】=＝ 1【倍比率】 dB = 20log10（比率）、0dB = 1倍 これは、固有振動数3.0Hz、共振倍率17dBの除振台の除振効果を示しています。 これは、 固有振動数 3.0Hz、 共振倍率 17dBの除振台の除振効果を示しています。 除振台上の振動が床振動と比較して、除振台の固有振動数3.0Hzで約7倍（17dB）増幅し、約4.2Hz（固有振動数の約√2倍） 除振台上の振動以が床上振の周動波と比数較領し域てで、減除少振さ台せてのい固る有（振除動振数して3.い0るH）zでこ約とを7表倍し（ま1す7。d　B　） 増幅し、 約 4.2Hz（固有振動数の約√2倍） 以上の周波数領域で減少させている（除振している） ことを表します。 　　 グラフから読み取ると、 除振台上の振動は 6Hzで -10dB（床振動の 30%）、 10Hzで -20dB（床振動の 10%）、 20Hzで -30dB （床振動の 3%） まで減少させていることになります。 2 振動伝達率（dB)

グラフから読み取ると、除振台上の振動は6Hzで-10dB（床振動の30%）、10Hzで-20dB（床振動の10%）、20Hzで-30dB （床振動の3%）まで減少させていることになります。 下のグラフは、装置が設置される予定の床の振動値と、その床に前頁の振動伝達特性を持った除振台を設置した場合の 除振下台の上グ振動値をトリパタイトグラフにて示したものです。除振台上の振動は固有振動数である3Hz 増幅していラまフすはが、、4装H置z以が降設の置周され波る数予で定除の振床効の果振が動得値らとれ、てそいのる床ことにが前分頁かのりま振す動。伝達特性を持った 周除辺振で台床を振設動置よしりた場合の 除振台上振動値をトリパタイトグラフにて示したものです。 除振台上の振動は固有振動数である 3Hz周辺で床振動より 増幅していますが、 4Hz以降の周波数で除振効果が得られていることが分かります。 ACC (cm/sec2) μ m1 1 設置床上 除振台上 VC-A 0.1cm/ VC-B sec 2 VC-C .1 μ m VC-D 0 0.1 VC-E 0.01cm/sec 2 μ m 0.0 1 0.01 0.001cm/sec 2 μ m 01 0.0 0.001 0.0001  1   1100  100 FREQUENCY (Hz) 2.除2.振除台振の台衝の撃衝応撃答応答 ステーステジー等ジを等除を振除台振上台に上搭に載搭す載るすと、るそとの、駆そ動の時駆の動衝時撃のに衝よ撃りにばよねり上ばのね物上体のは物衝体撃は終了後も系の固有振動数にて自由振動を行い　ますま。自す。由振自動由の振加動速の度加が速大度きがい大とき衝い撃と後衝、撃そ後の、揺それのが揺停れ止がす停る止まですの時 衝撃終了後も系の固 るまで間の（時セ間ット（リセンッグトタリインムグ）タがイム長）くな 有り振ます動。数にて自由振動を行い　が長くなります。 ステージ衝撃応答　自由振動振幅（変位）mm 変位mm このグラフは、 固有振動数 3.0Hz、 共振倍率 17dBの除振台上に、 ステージ質量 50kg、 ステージ速度 0.2m/s、 支持質量 500kgを搭 載した場合、 ステージ移動の衝撃後に予想される自由振動を示しています。 パッシブ除振台の性能は一般的に固有振動数を低くする（軟らかくする） と除振性能は良くなりますが、 衝撃減衰性能（セットリングタイム） が悪くなり、 固有振動数を高くする（硬くする） と除振性能は悪くなるが、 衝撃減衰性能（セットリングタイム） は良くなります。 除振台の選定や設計は、 搭載機器の特性を把握し、 除振性能と衝撃減衰性能について適切なバランスを考慮することが必要です。 3 VEL (mm/s) DIS ( μm)

このグラフはこの、固グラ有フ振は動、固数有3.振0H動z数、共3.振0H倍z率、共17振d倍Bの率除17振d台Bの上除に振、ス台テ上ーにジ、質ス量テ5ー0ジk質g、量ス5テ0ーkジg、速ス度テ0ー.ジ2m速/度s、0支.2持m質/s量、支50持0質kg量を500kgを 搭載した場搭合載、しスたテ場ー合ジ、速ス度テ0ー.ジ2m速/度s、0支.2持m質/s量、支50持0質kg量を5搭0載0kしgたを場搭合載、しスたテ場ー合ジ、移ス動テのー衝ジ移撃動後のに衝予撃想後されにる予自想由さ振れる動自を由示振して動いを示してい ます。 ます。 パッシブ除パ振ッ台シブの除性振能台は一の性般能的はに一固般有的振に動固数有を振低動くす数るを（低軟くらすかるく（す軟る）らかとく除す振る性）能と除は振良性くな能りはま良すがくな、り衝ま撃す減が衰、衝性撃能減（衰セ性ット能リン（グセットリング タイム）がタ悪イくムな）りが、固悪有くな振り動、固数有を振高動くす数るを（高硬くくすするる（）硬とく除す振る性）能と除は振悪性くな能るはが悪、衝くな撃る減が衰、衝性撃能減（衰セ性ット能リン（グセタッイトムリン）グはタ良イくムな）りはま良す。くなります。 除振台の除選振定台や設の選計定はや、搭設載計機は器、搭の載特機性器を把の特握性し、を除把振握性し能、除と衝振撃性減能衰と衝性撃能減に衰つい性て能適に切つないバて適ラン切スなをバ考ラ慮ンすスるをこ考と慮がす必る要こでとすが。必要です。 3.防振材3.の防種振類材との性種能類と性能 3. 防振材の種類と性能 3-1防振3材-1の防種振類材別の特種徴類比別較特徴比較 3-1 防振材の種類別特徴比較 除振台に除は様振々台なには防様振々材な（防ば振ね材）（があばりね、）それがあぞりれ、にそ性れ能ぞのれ特に性徴能があのり特ま徴すが。あります。 除振台には様々な防振材（ばね）があり、それぞれに性能の特徴があります。 主 主 主なな防防振振材 なは防振材は 　　・空気　 材は ば　ね・空（気ベロばーねズ（型ベ）ローズ型） 防振材種類防別振特材徴種比類較別特徴比較 　・空気ばね ・空気ばね・ （空ベ気ロ（ダイば ーズ ヤねフ（ 型 ラムダ ）イ型ヤフラム型） 衝撃減衰性能 　・空気ばね・（ダイヤフラム型） ） 衝撃減衰性能 除振性能 除振性能 ﾚﾍﾞﾙ復帰性ﾚﾍ能ﾞﾙ復帰性能価格 価格 　・・ココイルスプ コリンイグルスプリング （ｾｯﾄﾘﾝｸﾞﾀｲ（ﾑ）ｾｯﾄﾘﾝｸﾞﾀｲﾑ）イルスプリング ・防振ゴム・防振ゴム 空気ばね 空気ばね 　・防振ゴなムどがあります。 ○ ◎ ◎ ◎ ◎ ○ などがあります。 （ﾍﾞﾛｰｽﾞ型）○ ○ などがあります。 （ﾍﾞﾛｰｽﾞ型） 空気ばね 空気ばね ◎ ○ ◎ ○ （ﾀﾞｲﾔﾌﾗﾑ型（）ﾀﾞｲﾔﾌﾗﾑ型） ◎ ○ ◎ ○ コイル コイル ○ ○ △ ◎ スプリング スプリング ○ ○ △ ◎ 防振ゴム 防振ゴム △ △ △ ◎ ◎ △ ◎ ◎ ◎：最も良◎い：（最価も格良がい安（い価）格が安い） ○：良い ○：良い △：良くな△い（：価良格くながい高（い価）格が高い） レベル復＊帰レ性ベ能ルは復、帰除性振能台は上、で除ス振テ台ージ上なでどスのテ重ー量ジがな移どの動重し量たが場移合動に発した生場す合るにば発ね生するばね＊ の傾きを復の帰傾させきるを性復能帰。させる性能。 3--2空空気気3ば-ば2ねね空（気（ベばロベねーロ（ズー型ズベ型ロ）ー）タズイ型プタイ）プタイプ 空気ばね空（気ベロばーねズ（型ベ）ロ除ーズ振型台）の除特振徴台の特徴 ベローズ型ベとロはー、ズそ型のと形は状、がそじのゃ形ば状らが（じベゃロばーらズ（）ベ状ロをーしズて）い状るをとしころてかいらることのころ呼かびら名こがのつ呼いびて名おがりつまいすて。おベりロまーすズ。型ベ空ロ気ーズば型ね空は、気ゴばムね膜は、ゴム膜の 変ベロ形ーがズ少型変なとく形は耐が、久少そ性なのがく形耐優状久れが性てじいがゃる優ばたられめ（て、ベい一ロる般ーた産ズめ業）、一用状般空を産気し業てば用いねる空のとほ気こかろばにかね高らのこ速ほのなか呼スにびテ高名ー速ジがな（つスいガテてンーおトジリり（ーます）ガ。ンやト高ベリロ重ーー）心ズやな型高装空重置気心にばもなね採装は用置、 ゴ の にもム採膜用のされて お変り形まがす少。おなりくま耐す久。性が優れているため、 一般産業用空気ばねのほかに高速なステージ（ガントリー） や高重心な装置にも採さ用れさてれて おります。 ・除振性能・除も振衝性撃能減も衰衝性撃能減（衰セ性ット能リン（グセタッイトムリン）グもタ良イいム。）も良い。 ・ 除水振平性方能向水も固衝平有撃方振減向動衰固数性有：能振3.（動0Hセ数zッ：程ト3リ度.ン0グHタz程イム度） も良い。 　水垂平直方向垂固直有方振向動固数有：振33..動00HH数zz：程3度.0Hz程度 ・　搭垂載直物方の・向搭重固載心有物が振移の重動心数してが：も移3レ動.ベ0しHルてz調程も整レ度器ベルに調よる整空器気に供よる給空気供給 で・レ搭ベ載ル物を での水レ重平ベ心にルが保を移水つ動こ平としにがて保可もつ能レこベ。とルが調可整能器。による空気供給 ・　空で気レのベ供ル・空給を水気が平必の供に要保給なつるがこ必と要が可なる能。 ・ 空気の供給が必要。 ベローズタベイロプーのズ除タ振イ性プの能除振性能 　搭載重量　搭：載7t重on量　：空7気toばnね　空4個気使ば用ね時4個使用時 ベローズタイプの除振性能 　搭載重量：7ton　空気ばね4個使用時 4

3-3 空気3-ば3空ね気（ばねダイ（ヤダフイヤラムフラ型ム）型）タタイイププ 空気ばね空（気ダばイねヤ（フダライムヤ型フ）ラム型除）振除台振の台特の徴特徴 ・ 除振性・除能振も性衝能撃も減衝衰撃性減能衰（性能セ（ットセリッントグリンタグイタムイ）ム）もも良いい。。 ・  このダイ・ヤこのフダライムヤ型フラ空ム気型ば空ね気はば一ねは般一的般に的防に振防ゴ振ムゴとムセとッセトットでで使使用用すする。   防振ゴム（積層ゴム） の硬さや配置で水平固有振動数の設計が可能。   空気タンクの容積で垂直固有振動数の設計が可能。   水平方向固防有振ゴ動ム数（積：層1ゴ.5ム〜）の4H硬zさ程や度配置で水平固有振動数の設計が可能   垂直方向固空有気振タ動ンク数の：容積1.で5垂〜直4固.5有H振z程動度数の設計が可能 ・ 搭載物・搭の重載物心水の平が重⽅移心向動が固し移有て動も振しレ動てベ数もルレ：調ベ1ル整.5調〜器整4に器Hよzに程るよ空度る空気気供供給給ででレレベベルを水平に保つつここととがが可可能能。 。 ・ 空気の・供空給気のが垂供必直給⽅要が向。必固要有な振る動。数：1.5〜4.5Hz程度 空気ばね空（気ダばイねヤ（フダライムヤ型フ）ラムの型構）造の構造 ダイヤダフイラヤムフラ型ム空型気空ば気ねばねはは、、金⾦具具ととゴゴムム膜膜でで形形成成さされれてておおり、り空、気空ば気ねばにね圧に縮圧空縮気空を封気⼊をし封て入空気しての空圧縮気性のを圧ば縮ね性に利を用ばねするに構利造用ですする。構造です。 レベルレをベ水ルを平水に平保につ保目つ目的的でで空空気気供供給給をを必必要要ととすするるたためめ、、自動自レ動ベレルベ調ル整調器整をセ器ッをトでセ使ット用でし使ます用。します。 金具 浮上寸法 空気 IN、 OUT 圧縮空気 オリフィス ダイヤグラム（ゴム膜） 空気 IN、 OUT 空気タンク 積層ゴム、 丸型防振ゴム 3-4 コイルスプリングタイプ 3-4コイルスプリングタイプ コイルスプリング除振台の特徴 コイルスプリング除振台の特徴 ・ 除振性能も衝撃減衰性能（セットリングタイム） も比較的良い。 　　水平方・除向振固性有能振も動衝撃数減：衰2性〜能4（Hセz程ット度リングタイム）も⽐較的良い。 　　垂直方向固水有平振⽅動向数固：有振4〜動数7：Hz2程〜度4Hz程度 ・ 空気を必要と垂しな直い⽅（向メ固ン有テ振ナ動ン数スフ：リ4ー〜）7H。z程度 ・ デメリット・と空し気てを、必搭要と載し物ないの（重メ心ンがテナ移ン動スフすリるーと）ス。プリングのたわみにより、 　傾きが生・デじメるリ。ットとして、搭載物の重心が移動するとスプリングのたわみにより、 　傾きが生じる。 レベル調整機構 コイルスプリング 標標準準品品ココイイルルススププリリンンググ（（VVSSMM））のの除除振振性能性能 減衰材 VEM 5

標準品標コ準イ品ルスコイプルリンスグプ（リンVグS（M）VSのM除）振の性除能振性能 3-35-5防防3振振-5ゴゴ防ムム振タタイゴイプムプタイプ 防防振振ゴゴム防ム除振除振ゴ振台ム台の除の特振特徴台徴の特徴 ・・除振・性除能振がが性ああ能ままがりり良あまくくななり良いいががくな、、い衝が撃、減衝衰撃性減能衰（性セセ能ッッ（トトリリセンンッググトタタリイインムムグ）タイががム良）くくが安良定く性安がが定高性いいが。。高い。 ・・価価格格・がが価安安格くく、が、空空安気気く、をを空必必気要要をとと必ししな要ないいとし（（なメメいンン（テテナナメンンステスフナフリリンーース））フリ。。ー）。 ・・デデメメリリ・ッッデトトメととリししッててト、、と搭搭して載載、物物搭のの載重重物心心のがが重移移心動動がすす移るる動とと防防する振振とゴゴ防ムム振ののゴたたムわわのみみたににわよよみりり、、に傾傾よきりき、がが傾生生きじじがるる生。。じる。 　　 　　　一一般般ににス一ステ般テーにージスジ移テ移動ー動でジで防移防振動振ゴでゴム防ムが振がたゴたわムわむがむ量た量：わ：0む.0量3.〜3：～00.04..3m4～mm0m程.4程度m度（m（程目目度安安（））目安） 防防振振ゴゴム防ムは振は、ゴ搭、ム搭載は載質、質量搭量に載に合質合わ量わせにせて合てサわサイせズイてズ、個サ、個イ数ズ数を、を選個選定数定しをまし選すま定す。し。ます。 例）防振例ゴ）ム防を振使ゴ用ムしをた使除用振し台た 除振台 　　例　）　防例振）ゴゴ防ムムを振をゴ使ム用をしし使たた用除し振た台除振台 防振ゴム防 振ゴム 防振ゴ防ム防振タ振イゴゴプムムのタタイ除イプ振プの性の除除能振振性性能能 4.4自.自動4動.レ自レベベ動ルルレ調調ベ整整ル器調器　整　器　 除除振振台台の除の主振主要台要構の構成主成部要部品構品と成しと部てし品て自自と動し動レてレベ自ベル動ル調レ調整ベ整器ル器が調があ整あり器まりますがすあ。。ります。 自自動動レレベ自ベル動ル調レ調整ベ整器ル器に調には整は各器各種に種のはの型各型式種式がのがあ型あり式まりますがすあががり、ま、す標が準、的標除準振的台除にに振使台用にしし使てて用いるしるタてタイイいププるををタ下イプ図をにに下示図ししまにま示す。し。ます。 このこの自自動こ動レのレベ自ベル動ル調レ調整ベ整器ル器は調は、整、器内は部、にに内空部気にのの空シシ気ーールのルシ部ー品ルとと部しして品て極とめしめててて極小めささてな小ダダイイさヤなヤフフダラライムムヤををフ内ラム蔵を。。内OO蔵リリンン。グOグなリンどどのグのなどの 摺摺動動部部品摺品が動が無部無い品いたがため無め、い、半ため永、久半的永なな久寿的命なをを寿保命有をしし保まます有す。し。ます。 粗粗動動調調整粗整ボ動ボル調ルト整まトボまたたルははト微ま微動た動調は調整微整ボ動ボル調ルト整をトボをルトを 時時計計方方向時向に計にひ方ひね向ねりに、りひ、カカねンンりチチ、レレカバンバーチーをレを下バ下ー方方をにに下方に 変変位位させさ変せる位ると空さと空せ気る気ばとばね空ねに気に給ば給気ね気さにれさ給れ、気、定定され位位、盤盤定位盤 ののレレベベルのルがレが上ベ上昇ル昇しがまし上ます昇す。し。ます。 （（下下降降の（の場下場合降合、の、場反反合時時、計計反方方時向向計））方向） このこの調調整こ整にのによ調より整、り、に定より盤、の定レレ盤ベのルをレをベ設ル定をす設るる定とと、、すると、 負荷荷重変動などで定盤にレベルの変動が 生じても、 自動的にレベルの補正を行います。 ・ 集中排気型自動レベル調整器　 自動圧力調整器から排出される空気は、 本体に取付けられたチューブを通り 排出されます。 このチューブの先端を室外などに開放すると、 室内の空気を汚すことはありません。 クリーンルームに適しています。 6

5. 除振効果の測定 精密除振台に要求されるユーザーニーズに応え、さらに高性能な除振台を開発すべく、各種高性能振動計・振動解析機（FFT、モーダルアナラ イザー）、コンピュター等を利用し、解析に役立てています。以下に図1〜図3の解析例を示します。 図 1は、 大型加振実験台を使用し、 測定した 振動伝達率を示します。 本解析方法は精度よく振動伝達率等の 測定を行う方法です。 実機搭載時にはモーダルアナリシス・ 振動 許容値の確認等が行えるメリットもあり、 また、 周波数・加速度、 振幅等を自由に コントロールできます。 その為、 周囲の環境に影響されず精度 及び再現よく測定が可能です。 図 2は、 床上に除振台をセットし、 暗振動にお いて測定を行った実験例で除振台の床上と定盤 上の加速度のスペクトクルを示しています。 この解析方法は FFTにより、 ある時間におけるス ペクトクルの平均値を求めたもので、 床の加速度 レベルより、 除振台上の加速度レベルが、 共振 点付近を除いて低いレベルを示しています。 図 3は、 図 2で示した暗振動測定の振動伝達率 を示しています。 この図は共振点においても、 低い共振倍率でダン ピングが利いている空気ばねの特長を示しています。 また、 0dBより下の部分が除振領域を示しており、 低い周波数から効果があることがわかります。 ・ おわりに パッシブ除振台は、 除振性能と衝撃減衰性能（除振台上の安定性） のバランスを考慮し、 搭載装置の特性に合わせた選定、 設計をする ことが重要です。 特に「重心位置の高い装置」、 「移動質量の大きいステージ」、 「移動加速度の高いステージ」 などを搭載する場合は、 慎重 な設計を必要とします。 また、 装置設置予定場所や装置振動障害などの問題が発生している場合、 振動計とデータレコーダで振動を計測し、 除振台を設置した場合のシミュレーション行う必要があります。 7

アアククテティィブブ除振はは何故必要ににななるるののかか １．パッシブ除振台の限界 １. パッシブ除振台の限界 パパッッシシブブ除除振振台台はは、、質量質を量ばをねば系ねで系支でえ支、ダえン、パダでン振パ動でを振抑動えをる抑、簡え単る、な構簡成単でな優構れ成た効で優果れを得た効られ果るを除得振ら方れ法るで除す振。方特法に空です気。 特に空気 ばばねね式式除除振振台台はは、、簡単簡に単低にい低固い有固振有動振数動が数得がられ得、ら自れ動、レ自ベ動ル調レベ整ル器調と組整み器合とわ組せみる合こわとにせよるりこ、と荷に重よ変り、化荷があ重っ変ても化レがベあルっ変て動もレベル変 が動少がな少いなたいめた、広め、く使広用くさ使れ用てさいれますて。いとまこすろ。が、とここのろ空が気、ばこねの式空除気振ば台ねで式も除対振応台できでなもい対問応題でがき生なじいる問場題合がが生あじりまるす場。合があります。 パッッシシブブ除除振振台台はは、、共振共現振象現を象生をじ生ますじま。こすの。周こ波の数周領波域数で領は域、除で振は、対象除の振振対動象がの床振の動振が動床よりの大振き動くなより、大除き振くな効り果、が除得振られ効果が得られ なくくななっっててししままいいまますす。。一般一的般に的、に「床、面「に床は面、に低はい、周低波数い周の振波動数がの少振な動いが」た少めな、いな」るべたくめ低、いな固る有べ振く低動数い固の空有気振ば動ね数をの用空い気るこばとねを用いる にこよとりに、よ共り振、現共象振の現悪象影の響悪を影小響さくをす小るこさとくすが可るこ能とでがす可。能しかでしす、。低しいか固し有、振低動い数固の有空振気ば動ね数もの問空題気をば生ねじもるこ問と題があを生りまじする。ことがあります。 低いい固有有振振動動数数はは、ば、ねば定ね数定を数小をさ小くすさるくすことるでこ得とでら得れまらすれがま、すこがの、ことこはの、こ除とは振、対除象振が小対さ象なが外小力さでな大外き力なで変大位きをな生変じる位こをと生を示じしることを示し てていいまますす。。更更に、に振、動振の動減の衰減時衰間時が間増が大増し大ますし。まスすテ。ースジテのーよジうなの移よう動な荷移重動が荷作重用がす作る場用合す、る除場振合台、が除ふ振らふ台らがとふ動らいふてら止とま動らいなてか止まらなかっ ったたりり、、空空気気ばばねねのの許許容容変変位位をを越越ええるるよようなうな変変位位が発が生発し生、し接、触接等触に等よりに、よ振り動、が振生動じがた生りすじるたこりとすがるあこりとまがすあ 。ります 。 ２．アクティブ除振台の原理 ア２クテ. アィブク除テ振ィ台ブ除は、振振台動やの位原置理変動のセンサを設置し、発生している振動や位置変動を小さくするようにアクチュエータを動作させ まアすク。テこィれブを除フ振ィー台ドはバ、ック振制動御や(Ｆ位Ｂ置制変御動)との言セいンまサすを。設そ置の結し、果、発パ生ッシしブて除い振る振台動ではや必位然置的変に動生をじ小てさいくたす共る振よ現うに象アがク無チくュなエりーまタすを。動作させ (ま図す２。参こ照れ)を外フ部ィーからド与バッえクら制れた御振(F動Bの制影御響を)短と言いい時ま間すに。減そ衰のさ結せる果こ、とパがッでシきブま除す振。ま台たで、アはク必チ然ュエ的ーにタ生の出じて力いをたバ共ラン振ス現さ象せるがこ無とくなります。 に(よ図り２、定参盤照に)与外え部るねかじらり与荷え重らをれ減た少振で動きのま影す響。 を短い時間に減衰させることができます。 また、 アクチュエータの出力をバランスさせるこ とにより、 定盤に与えるねじり荷重を減少できます。 更に一歩進んで、床振動が伝達されて除振対象を振動させるのと同時に、床側に置かれたセンサの出力に応じた力をアクチュエー タ更かにら一出歩力さ進せんるでこ、とに床よ振り、動除が振伝台達上さのれ振て動除を振減対少象させをる振こ動とがさでせきるまのすと。同こ時れにをフ、ロ床アフ側ィにー置ドフかォれワーたドセ制ン御サの(Ｆ出Ｆ力Ｆに制応御じ）た力と言をいアクチュエータ まかすら。出Ｆ力Ｂさ制せ御るとこ併とに用よすりる、と除除振振台台上上のの振振動動をを更減に少減さ少せるさせことるがことでがきでまきすま。す。こ(れ図を２フ参ロア照フ)ィードフォワード制御 (FFF 制御） と言います。 FB 制御と併用すると除振台上の振動を更に減少させることができます。 ( 図２参照 ) 除除振振台台上上ににははスステテーージジののようよなう移な移動動物を物搭を載搭す載るすこるとがこと多がく多ありくまあすり。ま大すき。な大質き量なの質移量動のは移、質動量はと、距質離量のと積距に離比の例積したに回比転例モしーた回転モーメ メンントトをを発発生生ささせせまますす。。ままたた、、質量質と量加と速加度速の度積のに積比に例比し例た加した振加力振も発力生もさ発せ生まさすせ。ま移す動。物移の位動置物との加位速置度とが加分速か度れがば分、そかれれにば比、 それに比 例例ししたた力力ととモモーーメメンントトをを発発生生させさるせこるとこにとよにりよ、り除、振除対振象対物象の移物動の荷移重動の荷影重響のを影大響幅をに大低幅減にで低きま減すで。きこまれすが。ステこーれジがフスィテーードフジォフワィーードフォワード ド制制御御（（SSFFFF制制御御））ですで。すVA。AVVAアAクVティアブク除テ振ィブ台除は振この台３はつこのの制３御つをの同制時御にを行同う時ことにが行でうきこまとすが。で(図きま１す参。照()図１参照 ) ステージ・フィード・フォワード 制御 客先ステージ 制御対象（除振定盤等） 位置フィードバック 加速度フィードバック 制御 制御 フロア・フィード・フォワード 床振動 制御 周波数（Hz) 図１　アクティブ除振台の各種制御方式 図２　振動伝達率 ３．.VVAAAVVの特長 VAAV空圧タイプは、 アクチュエータとして空気ばねとサーボバルブの組み合わせを採用しました。 この構成は、 大きな力を容易に得 VらAれAるVは特、長アがクチあュりエまーすタ。としリてニ空アモ気ーばタねのとよサうーにボ発バ熱ルブやの磁組界みを合気わにせすをる採こ用となしまく、したV。AこAのV構-5成50はか、大ら きVAなA力Vを-3容0易00に0得まらでれ、る特同長一のコントロー がラあでり制ま御す。すリるニこアとモがー出タの来よまうすに。発熱高や速磁の界応を答気がに必す要るこなと場な合く、にVはAA、V-大55流0量からのV高AA速V応-3答00バ0ル0まブでも、用同意一さのれコてンおトりロ、ーラ同で一制の御コすンるトローラに こ接と続が出で来きまますす。。高速の応答が必要な場合には、大流量の高速応答バルブも用意されており、同一のコントローラに接続できます。 制御方方式式ももFBF制B御制、御F、FF制FF御F、制S御FF、制御SFをF標制準御でを用標意準しでて用おり意、し高て性お能りD、S高Pの性性能能DをS生Pかのし性て、能おを客生様かのしニてー、ズにお合客わ様せのてニ組ーみズに合わせ て組み合わせることができます。 8 振動伝達率（dB)

４.VAAV の除振効果 ( 振動伝達率 ) 図２に VAAV の除振効果を振動伝達率で示します。 標準シリーズの VAAV は、 ばね定数を高めにして固有振動数が約 5Hz の 空気ばねを使用しています。 これは、 後述のステージ等の除振台上に存在する加振力に対し、 大きな変位を生じさせない効果があ ります。 位置 FB制御のみで浮上させたときには、 約 5Hz のパッシブ除振台と同等になり、 共振点を持ちます。 加速度 FB制御を行うとアクティブ除振台としての機能を発揮します。 共振点が存在しないアクティブ除振台になります。 このため、 やや高めの固有振動数を設定しても悪影響が少なく、 良好な除振性能が得られます。 更に FFF 制御を行うと、 低周波から大きな 減衰効果が働きます。 VAAV- Ｌシリーズは、 固有振動数の低い空気ばねをアクティブ化することにより、 低周波領域の振動伝達 率の減少と、 制御帯域の低周波数化を行い、 振動に弱い機器を含む除振対象をソフトに制御することで、 より高性能の除振が得 られます。 ５.VAAV の制振効果 　( ステージ移動荷重に対する定盤の応答 ) 図３、 ４に VAAV の制振効果をステージ移動荷重に対する定盤の応答回転変位と応答回転振動で示します。 ステージ移動荷 重の作用は大きく分けて２つあります。１つ目は、ステージ質量とステージ位置変化量の積に比例する回転モーメントです。２つ目は、 ステージ質量とステージ加速度の積に比例する加振力です。 これらは、 ステージ質量、 ステージ位置変化量、 ステージ加速度が大 きいと大変大きな応答変位を発生させます。 柔らかいパッシブ除振台で支持する時には、 その揺れは空気ばねの許容変位量を超え て接触を生じる場合もあります。 図３　応答回転変位測定例 図４　応答回転振動測定例 アクティブ除振台の FB制御効果は、 加速度 FB制御が振動を小さく、 短い時間に収束させます。 このため、 装置の位置決め精 度の向上やタクトタイムの短縮が計れます。 （図４参照） 更に、 ステージ位置変化量とステージ加速度のリアルタイム測定値を VAAV コントローラにアナログ接続することにより、 SFF 制御を 行うことが出来ます。 ステージが発生させる回転モーメントと加振力に比例した制御力が、 ステージ応答変位を激減させるのが分かり ます。 （図３参照） VAAV の SFF 制御は、 理論的に単純で無理が無く、 簡単に大きな効果が得られます。 ２軸までのステー ジに対応して SFF 制御ができます。 ステージ位置変化量とステージ加速度のリアルタイム信号値の例を図 5、 6 に示します。 ±９V の範囲のアナログ信号で伝達します。 アナログ信号生成装置と VAAV コントローラのアース電位は、 同一である必要があります。 時間 （sec） 時間 （sec） 図５　ステージ位置信号例 図６　ステージ加速度信号例 9 電圧 （V） 電圧 （V）

製 品製品一一覧覧表 表 アクティブ ▼ 除振ユニット ▼ 除振台 型式 （標準） （スリム） （高性能） （リニア） 卓上型 制御方式 アクティブ アクティブ アクティブ アクティブ アクティブ アクチュエーター 空圧 空圧 空圧 リニアモーター ボイスコイルモーター ばね要素 空気ばね 空気ばね 空気ばね 空気ばね スプリング 供給型 供給型 供給型 供給型 不要 仕 空気供給 ※1 ※1 ※1 ※1 ※1 様 で 選 レベル調整 自動 自動 自動 自動 自動 ぶ 固有値（垂直） 固有値（水平） 最大荷重 150kg ※1：AC100-240V電源が必要です。 ※2：一部の機種を除く。　　※3：詳細は弊社ホームページ http://www.ssvi.co.jp をご覧ください。 顕微鏡 ○ 電子天秤 ○ あらさ計、形状測定器 ○ 膜厚測定器 ◎ 干渉計 ○ ○ ◎ 装 ○ ○ ◎ 置 光学実験 ○ ○ ○ ・ 各種ステージ 用 真円度測定器 途 電子顕微鏡（SEM,TEM） ○ ◎ ◎ で シリコンウェハ用平坦度測定装置 ◎ 選 露光装置、EB ○ ◎ ぶ プローバー 半導体検査装置 ○ ◎ 液晶関連装置 ○ ○ 三次元測定機 ○ ○ 超精密加工機 ○ ○ 超大型装置 ○ ○ 10～50kg ◎ 搭 50～100kg ◎ 載 100～200kg ○ 質 200～500kg ○ ○ ○ ○ 量 500～1000kg ○ ○ ◎ ◎ で 1.0～4.0t 選 ◎ ◎ ○ ○ ぶ 4.0t～ ◎ ◎ ○ ○ ○ アクティブ除振は、 共振現象が生じない、 除振効果が大きい、 衝撃応答に優れる等の特長が有ります。 【除振アユクテニィッブト除】振は　共振現象が生じない、除振効果が大きい、衝撃応答に優れる等の特長が有ります。 除振除台振としユてニッのト標準構成は 4ユニット /１台となります。 空圧とリニアモーターの 2タイプをラインナップしています。 別置き コ除ン振ト台ロとーしラてにのは標接準点構出成力は4がユあニりッ、ト/１外台部とコなンりピまュすー。タアなクチどュかエらー浮ター上はさ空せ圧ると等リのニアリモモーータトーコのン2ト種ロ類ーをルラがイ可ンナ能ッでプす。。 【除振 台 別】置きコントローラには接点出力があり、外部コンピュータなどから浮上させる等のリモートコントロールが可能です。 卓上除型振の台除振台で、 エアー源が不要です。 オートレベリングシステムが水平レベルを保ちます。 10

製 品製品一一覧覧表 表 パッシブ ▼ 除振台 ▼ 空気ばねユニット 型式 定盤型 デスク型 卓上型 制御方式 パッシブ パッシブ パッシブ パッシブ パッシブ パッシブ アクチュエーター 空気ばね 空気ばね 空気ばね ばね要素 防振ゴム 防振ゴム スプリング 空気ばね 空気ばね 空気ばね 防振ゴム 供給型 供給型 供給型 供給型 仕 空気供給 密封型 密封型 密封型 供給型 密封型 供給型 様 不要 不要 不要 で 選 自動 自動 自動 自動 レベル調整 自動 自動 ぶ ※2 ※2 ※2 手動 1.0～ 1.0～ 2.5～ 2.5～ 4.0～ 1.5～ 固有値（垂直） 0.5～ 0.5～ 2.5～ 2.5～ 4.0～ 0.8～ 固有値（水平） 最大荷重 顕微鏡 ○ CD ◎ 電子天秤 ○ SD ◎ あらさ計、形状測定器 ○ ORP ◎ ○ PB-5AA 膜厚測定器 ○ OSD ○ ND 干渉計 ○ OSD ○ ND ○ PB-5AA ○ 装 ○ OSD ○ ND ○ PB-5AA ○ 置 光学実験 ◎ ○ CDH ○ PHB-A ○ ・ 各種ステージ ◎ ○ ○ 用 真円度測定器 ◎ ○ ○ 途 電子顕微鏡（SEM,TEM） ○ で シリコンウェハ用平坦度測定装置 ○ 選 露光装置、EB ○ ぶ プローバー ◎ ○ ○ 半導体検査装置 ○ CD ○ 液晶関連装置 ◎ ○ 三次元測定機 ◎ ○ 超精密加工機 ◎ ○ 超大型装置 ◎ 10～50kg ○ ◎ 搭 50～100kg ◎ ○ 載 100～200kg ◎ ○ 質 200～500kg ◎ ○ ○ ○ 量 500～1000kg ○ ○ ○ で 1.0～4.0t 選 ○ ○ ぶ 4.0t～ ○ ○ ◎ パパッッシシブブ除除振振はは、、空空気気ばねば等ねの等除の振除要振素要が素有がす有る固す有る値固に有近値いに周近波い数周領波域数で、領振域動でを、増幅振す動るを共増振幅現す象るを共有し振て現い象ますを。有しています。 【除振台】  最除適振な台除振効果を得るため、 搭載機器の大きさ、 質量、 除振の目的、 周辺振動の周波数帯域に留意して選ぶことが必要です。 定 盤 各型種、機器デスのク最型適、な除卓振上効型果のを各得種るた精め密、搭除載振機台器をのラ大イきンさナ、ッ質プ量して、除い振ますの目。的、周辺振動の周波数帯域に留意して選ぶことが必要です。 【 空 定気盤ば型ね、ユデニスックト型】、卓上型の各種精密除振台をラインナップしています。 ユ空ニ気ットば型ねのユニ空ッ気トばねで、 用途に応じてラインナップしています。 11

Valuable Advanced Active Vibration isolation system 空圧アクティブ除振ユニット　VAAV-A、 VAAV-H、 VAAV-L　 共振現象が無く、 低周波から高周波までの広帯域除振を実現。 ３軸６自由度の高精度位置制御により安定した除振性能と位置精度を実現。 コントローラ SAC-07 は CE マーキング対応の安心安全設計。 振動波形表示解析ソフトを標準装備。 装置用途に応じて求められる除振性能により、 標準的な VAAV-A と VAAV-H、 最高水準の VAAV-L を ラインナップしています。 VAAV-A　 標準タイプ VAAV-H　 スリムタイプ 荷重38トンの装置まで除振が可能です。 VAAV-A　標準タイプと同性能で装置の全高を低く抑えました。 荷重 12トンの装置まで除振が可能です。 大きな移動荷重に対応できる高速応答の大流量バルブの選択が可能です。　ステージ・フィード・フォワード機能を標準装備しています。 ■仕様 除振ユニット型式 搭載可能質量（4ユニット） 寸法（1ユニット） 質量（1ユニット） VAAV-550A 270〜 900kg 215（W） × 160（D） × 170（H） mm 11kg VAAV-1000A 500〜 1,700kg 225（W） × 210（D） × 170（H） mm 16kg VAAV-2200A 1,100〜 3,700kg 280（W） × 240（D） × 208（H） mm 28kg VAAV-4000A 2,100〜 7,000kg 330（W） × 270（D） × 208（H） mm 40kg VAAV-10000A 5,000〜 17,000kg 465（W） × 400（D） × 240（H） mm 50kg VAAV-20000A 11,400〜 38,000kg 600（W） × 600（D） × 284（H） mm 260kg VAAV-1000-110H 500〜 1,700kg 240（W） × 240（D） × 110（H） mm 15kg VAAV-2200-110H 1,100〜 3,700kg 350（W） × 350（D） × 110（H） mm 18kg VAAV-4000-110H 2,100〜 7,000kg 420（W） × 420（D） × 110（H） mm 25kg VAAV-7000-120H 3,600〜 12,000kg 450（W） × 450（D） × 120（H） mm 45kg ※ 除振台標準構成は４ユニット／１台となります。　※ 搭載可能質量の最大値は、均等荷重且つ動荷重の無いときに適用出来ます。 ■用途 ・  半導体製造検査装置では、 微細な加工や検査を要するウエハへの振動対策とウエハを移動するステージの振動対策に使用されています。 ・ FPD（フラットパネルディスプレイ） 製造検査装置では、 ガントリーやステージが大きく移動した際の振動を素早く減衰させて、 　直ちに検査や修正を行う目的で使用され、 タクトタイムの向上に役立っています。 ・  超精密工作機械では、 大きな荷重の移動に対応しながら、 精密な加工を行うテーブル上の振動を取り除く目的で使用されています。 VAAV-L　　高性能タイプ VAAV最上位モデルで最高の除振性能をお求めの方に最適です。 VAAV シリーズの中で最もソフトな空気ばねを搭載しているため、 シリーズ最高 の除振性能を可能とします。 特に振動に敏感な精密測定機器類や低周波振動の大きい設置環境の除振 対策に最適化されています。 ステージ ・ フィード ・ フォワード機能を標準装備しています。 12 VAAV-H VAAV-A

Valuable Advanced Active Vibration isolation system Valuable Advanced Active Vibration isolation system ■仕様 ■仕様 除振除ユ振ニユッニットト型型式式 搭載可搭能載可質能量質量（（44ユユニニットッ）ト） 寸法寸（法（11ユユニニットッ）ト） 質量質量（（11ユユニッニト）ット） VVAAAAVV-5-5505L 0L 2702～70〜909000kkgg 2152（15W（W））××116600（（D）D）× 2×402（4H0）（mHm）mm 1155kgkg VVAAAAVV-1-01000L00L 5005～00〜171,,70000kkgg 2252（25W（W））××118800（（D）D）× 2×402（4H0）（mHm）mm 2200kgkg VVAAAAVV-4-04000L00L 2,102,010～0〜77,,000000kgkg 3503（50W（W））××335500（（D）D）× 3×253（2H5）（mHm）mm 7733kgkg ※※ 除除振振台台標標準準構成構は成４はユ４ニッユトニ／ッ１ト台／と１なり台ますと。な　り※ま 搭す載。　可※能 質搭量載の可最大能値質は量、均の等最荷大重値且はつ、動均荷等重の荷無重い且ときつに動適用荷出重来のま無す。いときに適用出来ます。 ■用途 ■用途 ・電電子子顕顕微微鏡鏡でではは、、高高倍倍率率の画の画像像が振が振動動によにっよてっブてレブるレのるをの防を防ぎまぎすま。すパ。ッパシッブシ除ブ振除台振で台はで除はき除ききれきなれいな低い周低波周数波の数振の動振動 　をを嫌嫌うう顕顕微微鏡鏡ににおおいいてて、、このこアのクアテクィテブィ除ブ除振振台台が効が効果果を発を発揮揮してしいてまいすま。す。 ・・走走査査トトンンネネルル顕顕微微鏡鏡、、原原子子間間力力顕顕微微鏡鏡や光や光学学測測定定装装置置などな、ど特、に特振に動振に動敏に感敏な感装な置装の置振の動振対動策対に策使に用使さ用れさてれいてまいすま。す。 ・・低低周周波波振振動動のの大大ききいい設設置置床床環環境境のの除除振振対対策策にに最最適適でですす。。 ■VAAV-A　、VAAV-H　、VAAV-L　共通仕様 ■VAAV-A　、 VAAV-H　、 VAAV-L　共通仕様 項目 仕様 制御自由度 項目 3軸6自由度 仕様 制御自由度 共 位置精度 ±10μm 3軸 6自由度 1位次置通共 側精度供給圧力 0.6MPa以上±　10（μ mクリーンエア） 通空1次気側消供給費圧量力 標準バ0.ル6MブPa　以6上0　 （Lク/リmーンinエア） 空気消費量 高速応標準答ババルブル　6ブ0　 L/2m5in0 L/min 高速応答バルブ　250 L/min コントローラ SAC-07 コントローラSAC-07 その他の構成品　型式等 仕様 寸法 質量（1ユニット） その他の構成品　型式等 仕様 寸法 質量（1ユニット） コントローラ SAC-07 ― 300（W） × 300（D） × 118（H） mm 6kg コントローラSAC-07 ― 300（W）×300（D）×118（H）mm 6kg 電電源源 AC1AC01000VV～〜 22440V0 V10 01V共共 0A(0単V相A)(単相) ― ― ―― 通通電電源源ケケーーブルブル ―― 3m3m ―― レレギギュュレレーータユタニユットニ　RッGトU-　07RGU-07 ―― 252050（（WW））××10100（0D）（×D2）00×（2H）00m（mH）mm 33kgkg ユユニニット接接続ケ続ーケブルーブル ―― 5m5m ―― ■振動伝達率 ■振動伝達率 VAAV-A　(標準タイプ) 、 VAAV-H　(スリムタイプ) VAAV-L （高性能タイプ） 周波数（Hz) 周波数（Hz) page 13 振動伝達率（dB) VVAAAAVV--LＬ 振動伝達率（dB)

ValuabVlea lAudavbalen cAeddv Aancctievde  AVcibtrivaeti oVni bisraotlaiotino nis soylastteiomn system リリニニアアアアククテティィブ除振ユニッット　　VVAAAAVV-S-S　　　　E　MECMC対対策策タイタプイプ アクアチクュチエューエターータにーリにニリアニモアーモターをタ採を採用用。共。振共の振無のい無振い動振伝動達伝特達性特、性高、い除高振い除性振能性を実能現を実。 現。 メカメニカカニルカバルルバブルのブ採の採用用で、パ 空圧アクティブユニットに比で較、 ッパシブ除 し、低ッシ価ブ 振 格除 台 で振 と台同等の の提と供同が等 空気源で 可の能空。気源 使で用使可用能可。能。 CE空マ圧ーキアクンテグィ対ブ応ユのニッ安ト心に設比計較（し、SE低C-価0格での提供が可能。CE マーキング対応の安心安全設計 （3）SE。C-03）。 　　 VAVAAVA-VL-シLリシーリズー同ズ様同、様最、も最ソフもトソなフ空トな気空ば気ねばをね使を用使し用ていしるてたいめる、たシめリ、ーシズリーズ最高の 最除高の除振性能を実現 特に振振動性に能敏を感実な現精して密い し 測ま てすい。ます。 定機器類や低周波振動の大きい設置環境の除振 対特策にに振最動適に化敏さ感れてない精ま密す測。定機器類や低周波振動の大きい設置環境の除振対策に 最適化されています。 ■■仕仕様様 除振除ユ振ニユッニトット型型式式 搭載可搭能載質可能量質（量（44ユユニニッット）ト） 寸法寸法（（11ユユニットニ）ット） 質質量量（（1ユ1ニッユト）ニット） VVAAAAV-V10-010S000S 500～5001〜,71,07000kkgg 1901（90W（W））××119900（（D）D）× 1×781（7H8）（mHm）mm 141k4g kg ※※ 除振除台振標台準標構準成は構４成ユはニッ４トユ／ニ１ッ台トと／なり１ま台す。と　な※り 搭ます載可。　能※質 量搭の載最可大値能は質、量均等の荷最重大且値つは動、荷均重等の無荷い重とき且につ適動用出荷来重まのす無。 いときに適用出来ます。 項目項目 仕様 仕様 制制御御自自由度由度 3軸63軸自6由自由度度 所要空気源 0.5MPa以上　消費流量はパッシブと同等 制所要御空方気源式 速度0フ.5ィMーPaド以バ上　ッ消ク費、流フ量ロはアパ・ッシフブィとー同等ド・フォワード 最制御大方推式 力 水平速方度向フィー:ドバ2ッ0クN、　フロ垂ア・直フィ方ード向・ フ:ォワ4ー0ドN　 最大推力 注）水４平ユ方ニ向：ット20／N　台垂直と方し向て：使40用N時 発生磁界 0.04注μ）T４以ユ下ニッ　ト／台として使用時 発生磁界 注）0ユ.0ニ4μッTト以か下　ら150mm離れた位置での交流磁界 コントローラSEC-03 注） ユニットから 150mm離れた位置での交流磁界 コントローラ SEC-03 その他そのの構他の成構成品品　　型型式式等等 仕仕様様 寸法 寸法 質質量量（（1ユ1ニッユト）ニット） コントローラSEC-03 ― 335（W）×410（D）×130（H）mm 8kg 電コン源トローラ SEC-03 AC100V～240―V 200VA（単相） 335（W） × 410（D） ×―130（H） mm 8kg― 電源 AC100V〜 240V 200VA（単相） ― ― ■■用用途途 ・  極低振動環境が要求される高性能電子顕微鏡に適用すると像揺れが桁違いに改善できます。 パッシブ除振台では除ききれない　低周波数 ・ 低の 極振低振 周動波を 動環 数嫌のう 境 振顕 が 動微 要 を鏡 求さ 嫌にうお れ 顕い る高 微て鏡、 性こ能 におの 電子 いアてク、テ 顕微鏡 こィのブア除ク振 に台適が用効す果るをと発像揮揺しれまがす桁。違いに改善できます。パッシブ除振台では除ききれない ・・ 走査トンネル顕微鏡、 原 ティブ除振台 走査トンネル顕微鏡、原子子間間力力顕顕微微鏡鏡やや光光学学測測定定装装置置ななど が、効特果にを振発揮 ど、特に振動動に敏に し敏ます。 感感な装な装置置の振の振動動対対策策に使に使用用されさてれいてまいすま。す。                                             ・・低周波振動の大きい設置床環境の除振対策に最適です。。 ■■振振動動伝伝達達率率 周波数（Hz) 周波数（Hz) 垂直方垂向直の方振向動伝達率 水平方向水の平振方動向伝達率 page 14 振動伝達率（dB) VVAAAAVV-S-S 振動伝達率（dB)

SSAATT Showa science　Active vibration isolation　Table Showa science　Active vibration isolation　Table 卓卓上上型型アアククテティィブブ除除振振台台　　SSAT卓上型アクティブ除振台　SAATT 低い周波数で水平方向に揺れている免震建屋でも、 低周波振動に対する許容能力に優れた除振制御機構により抜群のパ 低フォいー周マ波ン数スを低い周 で発水揮平し方ま向すに。揺れている免震建屋でも、低周波振動に対する許容能力に優れた除振制御機構により抜群の パエアーパ正フフ面ォォーー 源波マはン数ス不でを要水発で平揮す方し。向まオすにー。揺トれレてベいリンるグ免シ震ス建テ屋ムがで、も、水低平周レ波ベ振ル動を保にち対ますする。許容能力に優れた除振制御機構により抜群の エアーパ源マネはンル不スの要をふ発エモアニータ源ーは機 でたす揮つ。のしオまボーすタト。ンレでベ簡リ単ング操シ作ス、テム振が動、波水形平もレベLCルDを保パネちルますで。確認できます。 正正面面パパネネル不をのお要ふ貸たでつしす出の。ボオしータ可ント能でレで簡ベすリ単ン。操グシ作ス、テ振ム動が、水平レベルを保ちます。 ルのふたつのボタンで簡単操作、振動波波形形ももLLCCDDパパネネルルでで確確認認でできます。 モモニニタターー機機ををおお貸貸しし出出しし可可能能でです。 きます。 す。 卓上型卓ア上クテ型ィアブク除テ振ィブ台除の振コス台トのパコフスォトーパマフンォスーモマデンルスでモす卓上型アクティブ除振台のコストパフォーマンスモデ。デルで　す。　 ３軸６３自軸由６度自ア由クティブ制御システム。３軸６自由度度アアククテティィブブ制制御御シシスステテム。 ルです。　 搭載物搭の載サ物イズのにサ合イズわせて２タイプをラインムナ。ップ。 共振点搭共が振載無物点く、がのサ無全イく周、ズ に合わせて２タイプをラインナップ。 共振点が無く、波 に合わせて２タイプをライン 全全数周周帯波波域数数に帯帯優域域れににた優優減れれ衰たた性減減能 ナップ 衰衰で性性す能能 。。でですす。。 特に低特特周にに波低低の周周微波波振のの動微微に振対動すにる対許す容る能許力容に能優力れにた優除れ振た制除御振機制構御が機特構長がで特水⾧平で方向に 低周波水水で平平揺方方れ向向ていににる低低免周 振波動で揺に対れすてるい許る免容震能ビ力ルにや優免れ震た工除場振制御機構が特⾧で 干渉計などの精周密震波測ビでル定揺や機れ免等て震いに工最る免場適震内でビですルの。や微免振震動工を場嫌内内う干でで渉のの微微計振振など動動のをを精嫌嫌密うう測定 機等に干最渉適計でなすど。の精密測定機等に最適です。 ■■仕仕様様 型型式式 SSAATT-4-545 SSAATT-5-656 SAT-67 SAT-78 外外形寸形法寸　W法xD　xHW型（mx式Dm）xH（mm） 424020S  ××A55T00-040 ×5 9×393 500S ×A6T0-0 5×693 外形寸法　WxDxH（mm） 420 ×500 ×93 550000 ××660000 ××993 600 × 700 × 95 700 × 800 × 95 本本本体質体体量質質量量 22266k 3 kkggg 33344kkkggg 47kg 60kg 搭搭搭載可載載能可可質量能能質質量量 1100～～8800kkg 150kg アクアアチククュエチチーュュタエエーータタ ボイ g ボイススココイイルルモモーター ボイスコイルモーター 制制制御方御御向方方向向 66自自由由度度 ーター 卓 6自由度 卓制制制御範御御囲範範囲囲 00..5卓上 除振性能 5～～110000HHzz 0.5〜 100Hz 上上型除セ除振ッ性振ト能性リン能 --3355ddBB～～--4400ddBB（（110Hz時） グタイム 0.5秒以内0Hz時）-35dB〜 -40dB（10Hz時） 型型セセ推ットッリ力ントグリタンイムグタイム 推 垂直　07.N5秒　　以水内平　3N 0.5秒以内 推電力電源力 垂直　7N　　水平　3N 垂直　6N　　水平　3N 電消源費源 A 電力 ACC8855～～226634 4VV　　／／　　5500～～6600HHz ACz100〜 240V　／　50〜 60Hz 使消用費電力 366WW以以下下 消使費電使用用 力可可能能温温度度 55～～5500℃℃ 36W以下 使使用可用能可可温度能能湿湿度度 2200～～9900%% 5〜 50℃ 使用可能湿度 20〜 90% ■■用 ■用用途途途 干干渉渉計計をを搭搭載載ししたたSSAATT--5566 レーレレザーーーザザ干ーー干干渉渉渉計計、 、白白色色干干渉渉計計 原子間力顕微計鏡、白（色AF干M渉）計 写写真真ごご提提供供::東東明明技技研研株株式式会会社社様様 原レ原子ー子間ザ間力ー力顕顕顕微微微鏡鏡鏡、（硬（A度AFFM計M））レー走レザー査ーザ型顕ープ顕微ロ微鏡ー鏡、ブ顕、硬硬微度度鏡計計（SPM） 走各走査種査型精型プロプ密ーロ測ブー顕ブ顕微微鏡鏡（（SSPPMM））　 各各種種精精密密測測定機 定定機機 ■■振動伝達率 ■振振動動伝伝達達率率 周波数（Hz) 周波数（Hz) page page 15 伝達率（dB) 伝達率（dB)

卓上型パッシブ除振台 持ち運びも便利なコンパクトサイズで、 限られたスペースでも使用できる卓上型除振台です。 空気供給型はコンプレッサーなどのエアー源により自動的に空気ばね圧力を調整して水平レベルを保ちます。 エアー源の無いお客様には、 手軽に使える 「密封空気ばね型」 やメンテナンスフリーの 「高減衰コイルスプリング型」、 「高性能ゴム型」 をご用意しています。 搭載する装置のサイズと重量に合わせてお選びいただけます。 用途 顕微鏡／電子天秤／粗さ計／干渉計／光学実験 PB-5AA　空気供給型　 パッシブ卓上除振台のハイエンドモデル。偏荷重に対応し、自動的に空気ばね圧力を 調整して水平レベルを保ちます。 ピンレバー弁をON・OFFする事により、エアーを短時間（約2秒）で給気・排気し、搭 載機器調整時の揺動を解消出来ます。 空気源との接続の為、φ6×3mのウレタン チューブと継手（RT1/8おねじ）が付属し ます。 自動レベル調整機能 固有振動数　： 　垂直・ 水平 約 2.5Hz SPCC定盤タイプ PB-5AA-3040-SPCC PB-5AA-4050-SPCC PB-5AA-5060-SPCC PB-5AA-6050-SPCC PB-5AA-8060-SPCC PB-5AA-1070-SPCC 型式 SUS定盤タイプ PB-5AA-3040-SUS PB-5AA-4050-SUS PB-5AA-5060-SUS PB-5AA-6050-SUS PB-5AA-8060-SUS PB-5AA-1070-SUS 固有振動数（Hz） 約 2.5 除振方式 ダイヤフラム型空気ばね 減衰効果 オリフィスによるエアーダンピング レベリング方法 自動レベリング（供給空気圧 0.4 ～ 0.7MPa） SPCC定盤タイプ SPCC　表面焼付塗装処理 定盤 SUS定盤タイプ SUS304 外形寸法（W× Dmm） 300x400 400x500 500x600 600x500 800x600 1,000x700 　　　　　　（× Hmm） x53.5 x61 x64 x64 製品重量（kg） 13 21 27 28 41 54 搭載可能質量（kg） 60 120 付属品 ウレタンチューブφ 6× 3m、 継手 RT1/8おねじ 注1) 高さ（Hmm）は浮上時高さです。　注2) 搭載可能質量は偏荷重により下がります。 ※詳細寸法につきましては、図面をご確認ください。 ※搭載装置の”重心位置が高い” “偏荷重が大きい”場合は当社にご相談下さい。 PB-5AH　空気密封型 PB-5AAの性能そのままに、手軽に使える空気ばね除振台です。 パッシブ除振台のミドルレンジモデルです。 手押しポンプが付属しているので、圧縮空気源の無い所でもご使用いただけます。 レベル調整機能 固有振動数　： 　垂直・ 水平 約 2.5Hz SPCC定盤タイプ PB-5AH-3040-SPCC PB-5AH-4050-SPCC PB-5AH-5060-SPCC PB-5AH-6050-SPCC PB-5AH-8060-SPCC PB-5AH-1070-SPCC 型式 SUS定盤タイプ PB-5AH-3040-SUS PB-5AH-4050-SUS PB-5AH-5060-SUS PB-5AH-6050-SUS PB-5AH-8060-SUS PB-5AH-1070-SUS 固有振動数（Hz） 約 2.5 除振方式 ダイヤフラム型空気ばね 減衰効果 オリフィスによるエアーダンピング レベリング方法 手押しポンプ補給式 SPCC定盤タイプ SPCC　表面焼付塗装処理 定盤 SUS定盤タイプ SUS304 16

外形寸法（W× Dmm） 300x400 400x500 500x600 600x500 800x600 1,000x700 　　　　　　（× Hmm） x53.5 x61 x64 x64 製品重量（kg） 13 21 27 28 41 54 搭載可能質量（kg） 60 120 付属品 手押しポンプ 注1) 高さ（Hmm）は浮上時高さです。　注2) 搭載可能質量は偏荷重により下がります。 ※詳細寸法につきましては、図面をご確認ください。 ※搭載装置の”重心位置が高い” “偏荷重が大きい”場合は当社にご相談下さい。 PB-5R　高性能ゴム型　 特殊エアダンパー機構を内蔵した防振ゴムにより通常の防振ゴムでは得られない高い除振性 能を達成しています。 オリフィスを内臓した空気ばね同様の絞り効果で、スムーズな振動減衰機能があります。 空気源を必要としないので簡単に使用出来ます。 ハイブリッドゴム型 固有振動数　： 　垂直 約 6.0Hz　　水平 約 3.0Hz SPCC定盤タイプ PB-5R-3040-SPCC PB-5R-4050-SPCC PB-5R-5060-SPCC PB-5R-8060-SPCC PB-5R-1070-SPCC 型式 SUS定盤タイプ PB-5R-3040-SUS PB-5R-4050-SUS PB-5R-5060-SUS PB-5R-8060-SUS PB-5R-1070-SUS 固有振動数（Hz） 垂直約 6、 水平約 3 除振方式 オリフィス内臓防振ゴム SPCC定盤タイプ SPCC　表面焼付塗装処理 定盤 SUS定盤タイプ SUS304 外形寸法（W× Dmm） 300x400 400x500 500x600 800x600 1,000x700 　　　　　　（× Hmm） x51 x55 x87 製品重量（kg） 6 10 14 25 36 搭載可能質量（kg） 50 80 注1) 高さ（Hmm）は無荷重時高さです。　注2) 搭載可能質量は偏荷重により下がります。 ※詳細寸法につきましては、図面をご確認ください。 ※搭載装置の”重心位置が高い” “偏荷重が大きい”場合は当社にご相談下さい。 PHB　ハニカム定盤付 高剛性のハニカム定盤（ブレッドボード）を採用。 上面板は着磁性のあるSUS430。 定盤上面にはM6タップ25mmピッチを標準装備 。上面はバフ研磨加工、その他は黒色塗装。 光学実験等高周波振動を嫌う機器に最適 。 PHB-A（空気供給型　PB-5AAと同仕様） PHB-H（空気密封型　PB-5AHと同仕様） 型式 PHB-A-4050 PHB-A-6050 PHB-A-8060 PHB-A-1070 PHB-H-4050 PHB-H-6050 PHB-H-8060 PHB-H-1070 固有振動数（Hz） 約 2.5 約 2.5 除振方式 ダイヤフラム型空気ばね ダイヤフラム型空気ばね 減衰効果 オリフィスによるエアーダンピング オリフィスによるエアーダンピング レベリング方法 自動レベリング（供給空気圧 0.4 ～ 0.7MPa） 手押しポンプ補給式 定盤材質 アルミハニカム： 上面板　着磁性ステンレス SUS430　上面はバフ研磨仕上げ アルミハニカム： 上面板　着磁性ステンレス SUS430　上面はバフ研磨仕上げ 側面板、 下面板　SPCC　黒色塗装 側面板、 下面板　SPCC　黒色塗装 定盤上面タップ仕様 M6× 25mmピッチ M6× 25mmピッチ 外形寸法（W× Dmm） 400x500 600x500 800x600 1,000x700 400x500 600x500 800x600 1,000x700 　　　　　　（× Hmm） x106 x106 製品重量（kg） 30 37 48 108 30 37 48 108 搭載可能質量（kg） 120 120 付属品 ウレタンチューブφ 6× 3m、 継手 RT1/8おねじ 手押しポンプ 注1) 高さ（Hmm）は浮上時高さです。　注2）型式　6050、1070には移動用にぎり棒が付属されます。　注3）搭載可能質量は偏荷重により下がります。 ※詳細寸法につきましては、図面をご確認ください。 ※搭載装置の”重心位置が高い” “偏荷重が大きい”場合は当社にご相談下さい。 17

PHB-R（高性能ゴム型　PB-5Rと同仕様） 型式 PHB-R-4050 PHB-R-6050 PHB-R-8060 PHB-R-1070 固有振動数（Hz） 垂直約 6、 水平約 3 除振方式 オリフィス内臓防振ゴム 定盤材質 アルミハニカム： 上面板　着磁性ステンレス SUS430　上面はバフ研磨仕上げ 側面板、 下面板　SPCC　黒色塗装 定盤上面タップ仕様 M6× 25mmピッチ 外形寸法（W× Dmm） 400x500 600x500 800x600 1,000x700 　　　　　　（× Hmm） x100 x129 製品重量（kg） 20 25 45 56 搭載可能質量（kg） 70 65 120 注1) 高さ（Hmm）は無荷重時の高さです。型式4050、6050は50kg搭載時約6mm、1070は120kg搭載時約6mm沈下致します。 注2）型式　6050、1070には移動用にぎり棒が付属されます。　注3）搭載可能質量は偏荷重により下がります。 ※詳細寸法につきましては、図面をご確認ください。 ※搭載装置の”重心位置が高い” “偏荷重が大きい”場合は当社にご相談下さい。 PB-SMG　汎用　コイルばねとシリコーンゲル組合せ型 エアーレス・ メンテナンスフリーで空気ばねと同等性能を実現しました。 ハイコストパフォーマンス製品で、 光学顕微鏡、 硬度計、 小型干渉計など 装置の下に置くだけですぐに使うことができます。 ハイコストパフォーマンス 固有振動数　： 　垂直 約 5.0Hz　　水平 約 4.0Hz SPCC定盤タイプ PB-SMG-3040-SPCC PB-SMG-4050-SPCC PB-SMG-5060-SPCC 型式 SUS定盤タイプ ― ― ― 固有振動数（Hz） 垂直 約 5.0、 水平 約 4.0 除振方式 コイルバネとシリコーンゲルの組合せ SPCC定盤タイプ SPCC　表面焼付塗装処理 定盤 SUS定盤タイプ ― 外形寸法（W× Dmm） 300x400 400x500 500x600 　　　　　　（× Hmm） 78 82 製品重量（kg） 6 10 15 搭載可能質量（kg） 5～ 40 注1）高さ（Hmm）は無荷重時の高さです。 注2）搭載可能質量は偏荷重により下がります。 ※詳細寸法につきましては、図面をご確認ください。 ※搭載装置の”重心位置が高い” “偏荷重が大きい”場合は当社にご相談下さい。 PB-VSM　高減衰コイルスプリング型 コイルスプリングと、 粘弾性体を組み合わせた複合マウントを採用。 メンテナンスフリーで、 優れた防振性能と高減衰特性を備えた高性能除振台です。 共振倍率は約 2.5倍と特筆すべき性能を有しています。 アジャスター機構を備えていますので、 搭載機器の偏荷重にも対応出来ます。 アジャスター機能 固有振動数　： 　垂直 約 4.0Hz　　水平 約 2.5Hz SPCC定盤タイプ PB-VSM-3040-SPCC PB-VSM-4050-SPCC PB-VSM-5060-SPCC PB-VSM-8060-SPCC PB-VSM-1070-SPCC 型式 SUS定盤タイプ PB-VSM-3040-SUS PB-VSM-4050-SUS PB-VSM-5060-SUS PB-VSM-8060-SUS PB-VSM-1070-SUS 固有振動数（Hz） 垂直約 4、 水平約 2.5 除振方式 コイルスプリングと粘弾性体を組み合わせた複合マウント SPCC定盤タイプ SPCC　表面焼付塗装処理 定盤 SUS定盤タイプ SUS304 外形寸法（W× Dmm） 300x400 400x500 500x600 800x600 1,000x700 　　　　　　（× Hmm） x85 x89 x92 製品重量（kg） 6 10 15 25 36 搭載可能質量（kg） 30～ 70 20～ 70 10～ 60 45～ 90 40～ 80 注1) 高さ（Hmm）は無荷重時高さです。　注2) 搭載可能質量は偏荷重により下がります。 ※詳細寸法につきましては、図面をご確認ください。 ※搭載装置の”重心位置が高い” “偏荷重が大きい”場合は当社にご相談下さい。 18