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3種類の検査を1回のスキャンで
波長分離性の高いマルチスペクトラルフィルタを搭載した新しいコンセプトのラインカメラ
このカタログについて
ドキュメント名 | 【New!】高感度 TDI ラインスキャンカメラ Linea HS MF 16K |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 572.9Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | テレダインジャパン(テレダイン・ダルサ)株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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Preliminary (16K Multi Field Model)
業界初、マルチフィールド TDI ラインスキャンカメラ
-高スループット、高い欠陥検出能力
Linea HS Multifield (リニア HSマルチフィールド)カメラは、Teledyne DALSAが誇る
業界トップの CMOS TDI技術を用いた、最先端のチャージドメイン(電荷加算型)CMOS
TDIカメラです。このカメラは、様々な独自の機能を持ち、高いパフォーマンスを発揮しま
す。高度なイメージング技術が要求されるアプリケーションに対し、各種検査における欠
陥検出性を大幅に向上させます。このカメラは、次世代 Camera Link HS インターフェー
スで動作し、1 本の長距離ファイバーケーブルで最大 8.4G pixel/sec でデータ転送でき
ます。
Multifield Technology (マルチフィールド技術)
主な特長
マルチフィールドは新しいイメージング技術です。1 回のスキャンで、複数の照明条件
・3 光源の画像を 1回のスキャンで撮像
を用いて、複数の画像を同時に撮像します。(例:Brightfield (明視野)、Darkfield (暗視
・高速 133 kHz x 3 野) および Backlight(バックライト、逆光))
・高感度 マルチアレイ TDI
・双方向スキャン Teledyne DALSA の Linea HS Multifield カメラは、異なる 3波長帯の光源下で、3
・アライメントマークアシスト つの画像を同時に撮像できる最初のカメラです。このカメラは、ウエハレベルでコーティ
ングされた、最先端のダイクロイックフィルタを搭載し、最小限の混色で、TDIアレイによ
る 3つの画像をスペクトル的に分離させます。
プログラム機能
・マルチ ROI および マルチ AOI この新しい技術により、検査速度と画質が著しく改善され、複数回スキャンの必要性
・8または 12bit 出力 がなくなりました。従来のカラーイメージングとマルチフィールドイメージングの違いは、
フィルタ技術の違いにあります。マルチフィールドのスペクトルクロストークは最低限で、
・フラットフィールド補正
従来型カラーフィルタに比べ、大幅に改善されています。
・レンズシェーディング補正
・プログラマブルパラメータセット
製品仕様
解像度 16,384 x 256 pixels
主な適合アプリケーション ラインレート 133 kHz x 3
・FPD 検査 ピクセルサイズ 5 x 5 μm
・プリント基板検査 ビット深さ 8 または 12 bit 選択可
・半導体ウエハ検査 レンズマウント M90 x 1
・ライフサイエンス 感度 グラフ参照
・ウエブ検査 ダイナミックレンジ 69dB
・マシンビジョン一般 ゲイン設定 1x ~ 10x
サイズ 97 x 140.5 x 78.6 mm
重量 1.2kg
動作温度 0~60℃(フロントプレートで計測)
電源供給 +12V ~ +24 VDC
消費電力 28W
コントロール&データ Camera Link HS CX4
GPIO Hirose 12-pin
対応規定 CE、FCC、RoHS
(2020年 10月現在)
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www.teledynedalsa.com ※本仕様は、予告なく変更される場合がございますが、予めご了承ください。
Gatu
)
テレダイン・ジャパン株式会社
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