2023年5月10日発行のFA・自動化の専門メディア「オートメーション新聞」PDF版です。

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（3）　　　２０２３年（令和５年）５月１０日 はい不モとやは　 製よ熱ノて技、日 品う心のも術生本 のににア熱力産 儲かるメーカー FA業界掲示板 オートメーション新聞WEB URL付き記事はこちらから→https://www.automation-news.jp/category/topics/ デ思なピ心を性のメ ー改善の急所101  ザえるーで磨を イまとルすく上 項 ■ NKE、「設計者のつぶやき」で「Airsapo」が作業 ップサービスの提供、スピーディな対応、提案力の強 ー）」。レーザー光を使ったセンサの一種で、対象物 ンすこにがこげカ を。ろな、とるー 日本カイゼンプロジェクト の負担を軽減します！」を公開 化を図っていく。 までの距離をはじめ、位置や形状まで正確に検知で 見そがる売にこ企 会長　　柿内幸夫 　NKEは、同社WEBサイトの「設計者のつぶやき」 き、自動運転には不可欠な技術となっている。そんな 比れ多とりはと業 で、開発者hiro氏による「Airsapoが作業の負担を軽 ■ 進電テクノロジー、FA配線機器「製品カタログ」 LiDAR（ライダー）の基礎知識や仕組み、今後の動 なれル新性く能質は　りべ 減します！」を公開した。 と「新製品リーフレット」発行 向について解説している。 いばと型能古がの、購まる と、ほとを臭良一デ入すこ 　超小型アシストスーツ「Airsapo」は、腰（骨盤周 　進電テクノロジーは、進電テクノロジー、FA配線 思性と言疑いく部ザ 。と 急所88 う能んわっ形てでイす に 辺）を締め付ける事で、上半身の姿勢安定や上半身を 機器「製品カタログ」と「新製品リーフレット」が完 ■ ヘラマンタイトン、5月24日～インテックス大阪 のもどれてをもすンる よ 起す動作を助けるもの。見た目は腰サポーターのよう 成し、発酵した。主要サーボメーカーに対応したケー が変同てしし、。も人 っ ヒア技 「JECA FAIR 2023」出展 人わじもまてもい立に て ンピ術 だが、空気圧で動く人工筋肉を使うことで、背中側に ブルや端子台、リレーターミナル、コネクタ製品等を 　ヘラマンタイトンは、5月24日から26日にインテッ 情っ形旧ういのく派と も 力が集中し、上半身を起こす方向に力が働く、腹部の 掲載している。 クス大阪で開催される「JECA FAIR 2023」に出展す でてでモしたすらなっ 分 トー力 はいあデ、らご性品て か ルを 締め付けが弱く締め付けによる不快感が少ない、上か る（ブース3-10）。 ら衣服を着た状態でも締め付け状態の調節が可能、弾 ■ 島津製作所、広報誌「ぶーめらん」最新号VOL.48 　ブースでは、生分解性インシュロック、ケーブル接 産ほピ新りるでそもか　な す 財どーな、よ他のあら部い る 性を兼ね備えた、強い締め付け力を得られるなど、一 を発行　プロゴルファー西郷真央さんのインタビュ 続部の保護や絶縁を簡単に行える防水・防塵性に優れ やあルモ納う社部る関品で 設るでノ入 備ときに時に の品か係だし 般的な腰サポーターには無い独自の特徴がある。その ーなど たレジン注入式の保護絶縁キット、ステンレススティ モのとなかょ 開発背景や技術について開発者hiro氏が解説してい 　島津製作所は、広報誌「ぶーめらん」の最新号 ール（SUS316）製結束バンド、簡単に、素早く、電 で思るすのデノ色思いらう もいとるケザとやいと、か る。 VOL.48を発行した。プロゴルファー西郷真央さんの 線やケーブルなどに取り付けることができる配線結束 、まこなーイ区形まい加。 インタビューのほか、食を科学的に解き明かし、「医 ・保護用チューブなどを出品する。 世すろどスン別をすう工 界。は、をしで一が意業 ■ 壬生電機製作所、チューブプリンター発売キャンペ 食同源」を実現する技術のいま、無人探査機を使った の生山ア斬たき目、見だ ーン。プリンタサプライ5万円分などプレゼント7月 海洋探査の最前線などの記事を掲載している。 ■ 北陽電機、5月24日～幕張メッセ「建設・測量生産 　る　デ一 デ 28日まで 性向上展（ CSPI-EXPO 2023）」出展（1ホール ア資こザ流 ザ メ料こイの 　壬生電機製作所は、新型の電気配線用高速マルチプ ■ 東洋電機、Youtube動画「今さら聞けない、トラン B-21） リがにンモ イ リンター「MP-60B」の発売を記念して、同製品の購 スの負荷バランスってなんだろう？」公開 　北陽電機は、5月24日から26日まで幕張メッセで行 カあ一さノ ン のりつれは Ｊまのて必 は 入者に対して特典を寄贈するキャンペーンを実施して 　東洋電機は、Youtube動画「今さら聞けない、トラ われる「建設・測量生産性向上展（CSPI-EXPO いる。対象期間は7月28日まで。 ンスの負荷バランスってなんだろう？」を公開した。 2023）」に出展する（ブース：ホール1B-21）。 ．す参いず 品 Ｄ。考ま美 　同製品は、チューブ、記銘板、ラベルを1台で印字 動画では、低圧・受配電用トランスのスコットトラン 　ブースでは、センサの周囲の距離をレーザーで測 ． にすし 質 できる高速プリンター。高精細の印字品質と高い作業 スを紹介している。 パ な。く の り、人やモノの動きなどの環境認識を行うことができ 性を実現し、テプラ熱収縮・ヒダ付き・難燃など様々 る測域センサを中心に、建設現場の安全対策、建設機 士務術本く（【 クはが自ワ 現 な種類のチューブに、簡単・きれいな印字が可能。専 ■ 立花エレテック、3Dプリンタ特設ページを公開 （所マ経り株略 サ、、動ー れ 械の自動化を目的としたソリューションを出展する。 用制御ソフトとUSB接続ケーブルを標準装備し、パ 　立花エレテックは、3Dプリンタの基礎知識を解説 出展製品は、ミリ波レーダー警報システム（参考出 経所イ団の） スベ 歴 ２車が 営長ス連改柿 、ス 初毎 で 工　タの善内】 ２ト０期年 あ ソコンを活用したデータの入カ・編集・保存等、さま する特設ページ「AM×DX　3Dプリンタ　進化する 展）、UGMバリアセンサー、バックホウ警報検知シ 学改ー研を幸柿 位３１品発 ざまな機能を搭載している。 3Dプリンティングの技術」を公開した。 ステム、DWF光データ伝送装置など。 ）善（修通夫内 ：は１質表 る 　キャンペーンでは、同製品購入してアンケートに回 　ページでは、3Dプリンティングがどこで何の目的 、コ平講じ技幸 ホ１年調す 。 多ン成師て術夫 ン位の査る 答すると、プリンタラベルやマークバンド、印字リボ で使われているか、3Dプリンタにまつわる課題やお 摩サ29も、士　 ダ：結で米 ンなどプリンターサプライ5万円分、またはノート 悩み、実際に3Dプリンタを導入するまでの手順など 大ル年務世事１ 、レ果す国 セミナー・イベント情報 学タ度め界務９ ビン）る中所 よと品機る時も10 PC、現在所有のプリンタの下取り割引から好みの特 を紹介している。 のの３ ５ 典を選ぶことができる。 ジト、。で　 うで質能・の入に会米位 １ ネ、柿経実所 でこは品止評っは社国： ス工内済践長年 すの断質ま価て日がブア ■ Mujin、知能ロボットとAGV連携による多品種ケー ■ 安川電機、ねじ締め、パレタイジングに関する人協 ス学幸産しと東 。結トでるのい本独ラキ ■ アズビル、技術研究報告書「azbi l Technica l スハンドリングシステムが「日本産業技術大賞」審 働ロボットオンラインセミナーのアーカイブ動画を ク博夫業てし京 と果ツ日・中まの占ンュ ー士技省いて生 こがで本曲心し会しドラ Review」発行　脱炭素や生産高度化を支える 査委員会特別賞を受賞 公開 ル　術先るモま ろ生あ車がはた社、）（ MEMS技術 　Mujinが開発した知能ロボットとAGVを連携させて 　安川電機は、人協働ロボットのオンラインセミナー 客技士進。ノれ がまっのる、。がベとホ 員術事技日づ。 ２れた機」「こ６ス日ン 　アズビルは、azbilグループの研究開発、製品開発 多品種コンテナ・段ボールの搬送・積み下ろし・積み のアーカイブ動画を公開した。ねじ締めは「人にもロ ０たこ能の走の社ト本ダ などを紹介した「azbilグループ技術研究報告書テク 付け/棚入れを、最適なタイミングで実行する「多品 ボットにも優しい！ねじ締めアプリケーション」（安 実「「フ岡Ｂ教 今で総査調いＪ念入６２ ニカルレビュー」の最新号となる2023年4月号を発行 種ケースハンドリングシステム」が「第52回 日本産 川電機×瓜生製作）、パレタイジングは「人協働ロボ 現ち儲ォ大Ｓ授 で、合結査る．なっ位０ すょかー学）、 も日１果と米Ｄ した。 業技術大賞」審査委員会特別賞を受賞した。 結てに年 ットによる重筋作業（パレタイズ）の自動化」（安川 るこるド客特慶 ト本位でい国． 三の 　最新号は「高性能センシングデバイスを実現するア 　同システムは、工場や倉庫でリアルタイム動作生成 電機）として各アプリケーションでの活用事例を紹介 42っメ発員別應 ッ車ははう自パ果 い 菱ベ のとー　教招義 プのレ２機動ワで る 自ス ズビルのMEMS技術─高機能・高精度・高信頼性の により多品種ケースの移載を行う知能ロボットと、搬 している。 ヒ改カ企授聘塾 と機ク０能車ーす だ け動ト 追求」を特集テーマとし、MEMS開発の歩みと展 送を担う複数台のAGVを統合制御することで初めて ン善ー業。教大 言能サ２品耐が。と車10 トが　に著授学 っ品ス２質久出同い１に 望、開発の事例、実装のための生産技術、研究開発環 実現したシステム。前後工程の進捗状況を把握しなが 」企改イ書（大 て質な年の品しじう社は 境等の論文を掲載している。巻頭言では、東北大学シ ら、最適なタイミングでの知能ロボットとAGVが連 な業善ノ「２学 いはのの調質てく残が、 どをのベカ０院 ニアリサーチフェロー（マイクロシステム融合研究開 携稼働し、効率的な作業を可能にしている。 価格改定 。変急ーイ１ビ み楽とはないにほ１のい 発センター）兼株式会社メムス・コアのCTO江刺正 え所シゼ１ジ 合、いどいてレど位自よ る〈ョン〜ネ わ音うこと、ベので動う 喜氏による「センサなどの製作に用いられる半導体微 ■ エム・システム技研、計装情報のWEBマガジン ■ 戸上電機製作所、探査器とPVドクタシリーズ（一 ：１ン４２ス せ声 いそル違は車で 大０を・０ス た通と で うこアいなもす 細加工技術：MEMS」、同社アドバイザーの西本淳 「エムエスツデー」最新号2023年4月号を公開 部）を価格改定 き１起０１ク イ話カ 差 こでッはい機。 哉氏による「特集に寄せて」を掲載。本編では、特集 　エム・システム技研は、計装情報のWEBマガジン 　戸上電機製作所は、2023年4月新規注文分から探査 な項こ―６ー ンのー が とのプなけ能し ル フ機ナ つ 変〉すス） いで差がいれ品か 論文7編、一般論文4編、製品に関する論文1編の12本 「エムエスツデー」の最新号2023年4月号を公開し 器とPVドクタシリーズ（一部）を価格改定する。 革」」タ、（ ォ能ビたすはさくど質し の技術論文を掲載している。 た。 　対象製品は、探査器のうちSuperラインチェッカ を、、ン静Ｋ テを、の。付れら、で他 イ組音かでかてい昔は国 　お客さま訪問記として和歌山県の本州化学工業にお TLC-C形、ロードチェッカLC-B形、Superケーブル ■ IAI、情報誌「コーヒータイム4-5月」を公開 ける「くにまる」と「無線データ通信モデム（形式： チェッカSWC-B マ目　一 でれ質のン ッ指改般 差て的、メ 　IAIは、毎月発行している情報誌「コーヒータイ RMD2）」を用いた工場内の設備監視システムの事 形、リークキャッ チし善社 がいでこン ン、の団 付たなれト ム」について、4-5月号を公開した。 例のほか、少チャネルコンパクト一体形リモートI/O チ ャ ー S L E - A グ２実法 い魅いま・ 　今号では、電動シリンダーアプリケーション事例と R7シリーズ、DeviceNet用リモートI/O、全長440㍉ 形、相順チェッカ か０行人 た力付でシ ら１を日 と品随でス して「味噌容器のふた　はめ込み装置」でのチョコ停 ㍍のコンパクトサイズ15形直管紫外LED LS440UVC ーPRC-A形。PV 問９通本 い質的いテ をなくしたケースを紹介しているほか、機械要素や部 シリーズ、電力監視システムのリプレースの製品レビ ドクターシリーズ 題年じカ うのとうム ・６てイ こ部思とな 品の基礎知識を解説する「学びの広場」ではベアリン ュー等を掲載している。 のうち、ストリン ■いカシど企報供課月日ゼ と分わ本ど グを取り上げている。 グ ト レ ー サ 詳るイョ勉業提、題に本ン 細。ゼッ強間供新へ設をプ てロロ　で ■ キーエンス、「クルマづくりコラム」に新コラム SPST-B-1000形、 ・ ンプ会の、たの立さロ いーダマす 入 指、、ワそなソ。らジ るチクー。 ■ ジェイテクト、販売子会社のジェイテクトセールス 「自動運転実現で注目を集めるLiDARのしくみと種 セルラインチェッ 会 導工セイれ技リ企にェ とをトケ とコーヨー光和を合併 類」追加 カ S P L C - A 形 、 は 会場ミワら術ュ業良ク 思見アッ こ な見ナイのやー間くト い直ウト 　ジェイテクトの国内グループ会社で販売子会社のジ 　キーエンスは、「クルマづくりコラム」に新たなコ SPLC-A-Y1形、 ち ど学ーガ基素シビす ますトを ェイテクトセールスとコーヨー光和は、2023年7月1 ラムとして「自動運転実現で注目を集めるLiDARの SPST-B-Y形。価 ら を会・ヤ礎材ョジる す時的見 行、ワガとへンネこ 。期なな 日付で合併する。ジェイテクトセールスが存続会社と しくみと種類」を追加した。 格改定率は製品に っ公ーヤなののスと がアい なり、商材や販売ネットワークの充実によるワンスト 　自動運転のなかで注目を集める「LiDAR（ライダ より異なる。 て開クなる情提のを 来ププ https://www.kaizenproject. jp/

２０２３年（令和５年）５月１０日　　　（4） 工場新設・増設、設備投資情報  オートメーション新聞WEB URL付き記事はこちらから→https://www.automation-news.jp/category/factory/ 品の安定供給を図り生産体制を強化する。主要ブラン ており、今後も大きな成長が見込まれている。東北生 国内 ド製品の生産に加え、お米の産地でもある茨城県のお 産・物流センターの建設によって生産機能および物流 米を使用した「米粉」を用いて、下妻工場オリジナル 機能の集約 海外 商品として生産・販売するほか、茨城県の地元農作物 化を図り、 ■ 武田薬品工業、大阪市淀川区十三の大阪工場内に血 を使用したパン教室を通じて、食の大切さや楽しさの 製品をタイ ■ シチズンマシナリー、タイ・アユタヤの新工場棟が 漿分画製剤の新製造施設を建設。1000億円規模の投 提供を継続的に行う食育活動を進める。 ムリーに提 完成 資決定 供できるよ 　シチズンマシナリーは、タイ・アユタヤにある海外 　武田薬品工業は、大阪市淀川区十三の大阪工場内で うにする。 主 力 工 場 の C I T I Z E N M A C H I N E R Y A S I A の血漿分画製剤の新製造施設の建設に向け、1000億 　延床面積は約5万7000平方㍍。地上2階（一部事務 CO.,LTD.の新工場棟が完成した。 円規模の長期投資を決定した。製造能力強化を目的と 所エリアは3階）で、建設費用は約220億円。2024年 　シチズンマシナリーアジアは、シンコムブランド製 して同社が実施するものとしては、これまでで国内最 春の着工、2025年秋の竣工を予定している。 品初の海外生産工場として2001年に設立した同社の 大の投資となる。 重要製造拠点の一つ。加工棟や組立棟などこれまで5 　新製造施設は、最先端の自動化およびデジタル技術 ■ ニッポン高度紙工業、蓄電池向けセパレータ開発・ 回の増床を行ってきて、今回が6回目の増床となる。 を実装し、血漿の分離、分画、精製、充填、包装、保 　敷地面積は6万6490平方㍍。延床面積は2万1202平 生産に向け鳥取県米子市の米子工場製造ライン増設 2023年2月から生産を開始し、生産能力は5割増とな 管（倉庫）の一連の製造工程を完備した、グローバル 方㍍。稼働予定日は2023年7月1日。 　ニッポン高度紙 る月産350台体制へと増強する。 でも最高の製造基準を有する施設として建設する。環 工業は、鳥取県米 　増床分の面積は4275平方㍍。延床面積4475平方 境にやさしい設計を取り入れ、2035年までに自社の ■ 新栄合板工業、熊本県水俣市のコンクリート型枠用 子市の米子工場敷 ㍍。（増床後の総延床面積は2万7488平方㍍） 事業活動から排出される温室効果ガスをネットゼロに 合板生産設備を増強 地内に製造ライン するという目標の達成に貢献する施設を目指す。現在 　新栄合板工業は、熊本県水俣市と立地協定を結び、 を増設し、蓄電池 ■ 双日、ベトナムで同国最大級の牛の肥育農場・食肉 国内向けの血漿分画製剤を製造している成田工場は、 水俣工場（熊本県水俣市袋赤岸海50番地）における 向けのセパレータ 加工工場 維持管理に必要な投資を行いながら、新工場稼働を見 コンクリート型枠用合 抄紙設備・セパレ 　双日は、ベトナムの最大手乳業メーカーのVietnam 据えて引き続き製造を担う。 板生産設備を増強す ータ裁断加工設備等を建設する。 Dairy Products JSCと設立した牛肉製品の販売会社 　これにより日本における血漿分画製剤の製造能力は る。現在、コンクリー 　同事業は、経済産業省の「蓄電池の国内生産基盤確 であるVietnamLivestock Corporation JSCがベトナ 約5倍に増強される見通しで、国内の持続的な供給を ト型枠用合板の多くの 保のための先端生産技術導入・開発促進事業費補助事 ム国内での肉牛の肥育、牛肉製品の製造・加工・販売 行いながら、グローバルな製造ネットワークにおける シェアを輸入製品が占 業」に採択されたもので、付加価値の高いセパレータ を目的に設立したJapan Vietnam Livestock Co.,Ltd. 製造能力の拡大も目指す。2030年頃の稼動を予定し めており、今回の設備 の生産・研究開発を強化するもの。 について、ベトナムのビンフック省で、同国最大級の ており、類似の施設としては国内最大規模になる見込 導入によって地域材を 牛の肥育農場・食肉加工工場を建設した。工場の稼働 み。 利用した高品質な製品が可能となり、現在月5万枚の ■ 日本曹達、新潟県上越市の二本木工場で医薬品添加 は2024年6月を予定。 生産・出荷を15万枚まで増やして国産製品のシェア 剤の生産能力増強 　ビンフック省タムダオ地区の約75ヘクタールの土 ■ ハリマ化成グループ、兵庫県加古川市の加古川製造 拡大を図る。 　日本曹達は、医薬品添加剤「NISSO HPC」（ヒド 地に、約1 所における「香料原料製造設備」建設 ロキシプロピルセルロース）の世界的な需要拡大に対 万頭の牛を 　ハリマ化成グループは、加古川製造所（兵庫県加古 ■ 大同特殊鋼、愛知県知多市の知多第2工場に特殊溶 応するため、生産能力の増強を決定した。投資金額は 肥育できる 川市）で、同社では国内初となる香料原料（ミルセ 解設備を2基新設 100億円で、生産能力を現状の1.5倍に増強する。 農場と年間 ン）の製造設備を建設する。完工は2023年4月を予 　大同特殊鋼は、今後の需要拡大が見込まれるニッケ 2026年度上期に完成予定。 約3万頭の 定。 ル基合金やクリーンステンレス等の高級鋼について、 　NISSO HPCは、医薬品添加剤、固形製剤の結合剤 処理能力を 　同社は、松から得られるロジン（松やに）、テレピ さらなる増産に向けて、特殊溶解設備の真空アーク再 として使用されており、錠剤の硬度を高める結合力 持 つ と 畜 ン油及びトール油を使った製品の製造販売を行ない、 溶解炉（VAR）32基を愛知県 や、溶けにくい有効成分の溶解性改善、徐々に有効成 場、年間約 ニュージーランドではパルプ製造工程の副生物である 知多市の知多第2工場に増設す 分を放出する徐放性など、高い機能を有し、医薬品の 1万㌧の牛 粗サルフェートテレピン油（CST）の蒸留事業、香 る。投資金額は52億円。稼働 市場は世界的に拡大傾向にある。 肉を加工できる工場で構成。ベトナムでは冷蔵肉の需 料原料となるCST誘導体、ミルセンの製造販売をし 開始時期は2024年度末を予定 要拡大にともなって製造・品質が課題となっており、 ている。ミルセンは、天然資源である「松」から得ら している。 ■ トーイン、茨城県つくばみらい市に新工場の建設用 同工場では肥育から出荷までの工程を一貫して行い、 れるテレピン油の成分「ピネン」を出発原料として製 　ニッケル基合金やクリーンス 地を取得 日本と同様の加工設備、衛生・品質管理手法を導入す 造されるもので、主にアロマオイルや香料の原料とし テンレス鋼などの高級鋼は、真 　ラベルやパッケージ等の包装資材や精密塗工のトー ることで工場の生産性を高め、良質な冷蔵肉を安定供 て利用されている。 空誘導炉で溶解した鋼塊を特殊 インは、新工場建設に向けて茨城県つくばみらい市福 給する体制を構築する。 　世界的に香料に対する需要が拡大するなか、このほ 溶解設備で再溶解し、製品内部 岡字古木山2943ほかの土地売買契約を締結した。土 どCSTを出発原料としたピネンからミルセンを製造 の清浄度や均質性を高めること 地面積は3万9595.00平方㍍。取得金額は15億7900万 ■ 凸版印刷、環境配慮型パッケージ向けの透明バリア する設備を国内にも建設することとした。パルプ製造 で、部品の強度向上や耐用時間を伸ばすことが期待で 円。新工場への移転日は2026年度中の予定。 フィルム生産拠点をチェコに新設 工程から回収するCSTは、原産地のトレーサビリテ きるため、航空エンジンや半導体製造装置など、さま 　同社は、事業基盤を再構築し「総合パッケージング 　凸版印刷は、透明バリアフィルム「GL BARRIER」 ィも容易であり、人権デューデリジェンスの観点から ざまな厳しい使用環境に対応でき、需要の拡大が期待 企業」を目指すほか、ESG経営実践等を進めるた の生産工場をチェコ共和国へ新たに開設し、2024年 もその市場価値が高まっている。 されている。 め、新工場の建設用地として「圏央道インターパーク 末の稼働開始を予定している。欧州市場からの環境配 　同社は群馬県渋川市の渋川工場で高級鋼の生産能力 つくばみらいの土地一区画」を取得し、現柏工場の一 慮型パッケージの需要拡大に向けて透明バリアフィル ■ フジパン、茨城県下妻市のフジパン下妻工場が竣工 拡大を進めてきたが、増設スペースの確保が難しくな 部機能を同地に移転するプロジェクトを進めている。 ムの生産力を強化する。 　フジパンは、茨城県下妻市に進めてきた「フジパン っていたことからスペースを十分に確保できる知多第 　環境先進国の欧州諸国では、環境適性・リサイクル性 下妻工場」の建設工事が完成し、2023年5月に竣工予 2工場への新設を決めた。 ■ AGC、千葉県市原市の千葉工場でフッ素製品の製 能に優れたパッケージの需要が急速に高まっており、 定。 　今回の増設で高級鋼の特殊溶解能力を拡大でき、高 造能力増強を決定　投資金額350億円 同社は優れた環境 　同工場は、茨城 級鋼圧延製品の出荷工場である星崎工場（名古屋市南 　AGCは、半導体関連向けを始めとした旺盛な需要 適性を持つ「GL 県南西部のしもつ 区）に近い工場から母材供給が可能になり、圧延製品 に対応するため、千葉工場（千葉県市原市）でフッ素 BARRIER」のグ ま鯨工業団地（茨 のリードタイム短縮も進める。 製品の製造能力増強を実施する。稼働開始は2025年 ローバル拡大の加 城 県 下 妻 市 鯨 第2四半期、投資金額は約350億円を予定している。 速に向けて欧州へ 2 7 0 0 - 3 ） に あ ■ 東京エレクトロン、岩手県県奥州市に製造子会社の 　フッ素製品は耐熱性・耐候性・耐薬品性に優れ、半 の工場開設を決定 り、関東エリアに 東北事業所新棟を建設 導体・航空機・自動車などの幅広い産業において利用 した。今回の新工 おける5棟目の生 　東京エレクトロンは、製造子会社である東京エレク されている。特に高度な特性・信頼性が必要とされる 場開設により、日 産 拠 点 と し て 開 トロンテクノロジーソリューションズ東北事業所（岩 高速通信機器や燃料電池車・水素エネルギーなどの先 米欧3拠点生産体 設。首都圏におけ 手県奥州市江刺岩谷堂字袖山地内）に東北生産・物流 端産業分野では高評価を受け需要も拡大していること 制が確立されるこ る新たな中核工場 センター（仮称）を建設する。 から、2021年にも鹿島工場と千葉工場で製造能力の ととなる。敷地面 となり、大規模な 　同社は、熱処理成膜装置、枚葉成膜装置、ガスケミ 増強を実施している。今後もフッ素製品向けの投資を 積 は 約 5 万 平 方 災害に備え、生産 カルエッチング装置、テストシステム、FPDプラズ 積極的に続け、2024年にパフォーマンスケミカル事 ㍍。 拠点を分散し、製 マエッチング/アッシング装置の開発・製造を行なっ 業の売上高2000億円以上を目指す。

（5）　　　２０２３年（令和５年）５月１０日 開発者インタビュー オムロン　半導体製造プロセス向け温度調節ユニット「NX－HTC」の狙い 温度制御から半導体の進化をサポート 入出力点数の増加と高分解能化、データ活用機能を強化 　世界的な品不足、国内へのファブ新設、国産メーカーの誕生など、話題に事欠かない半導体産業。今後もその市場は成長が見込 まれるなか、足元では増産に向けた生産能力の増強やより高性能な半導体の研究開発が進んでいます。 　オムロンは、このほど半導体製造装置向けに特化した温度調節ユニット「NX－HTC」を開発し発売を開始しました。これまで の温度調節器と何が違い、現場にどんなメリットをもたらすのか？　製品開発を担当したオムロンインダストリアルオートメーシ ョンビジネスカンパニー商品事業本部コンポ事業部第1開発部第2開発課の國安裕生氏と、尾崎将宏氏に話を聞きました。 半導体業界が強く求める 温度制御の高精度化 　―NX－HTCを開発するにいたった市場 や技術的背景を教えてください 　國安氏　いまの半導体は回路の微細化や 積層化が進み、とてもデリケートになって います。そのため製造プロセスにおけるわ ずかな変化が品質に影響を与え、歩留まり を悪化させます。特に半導体ウエハを製造 する前工程ではより緻密な品質管理が必要 とされ、温度についても高精度の制御が強 く求められています。 　そうしたニーズに応えるために開発した のが「NX－HTC」となります。 半導体製造プロセス向けに オムロンインダストリアルオートメーションビジネスカンパニー 最適化した温度調節ユニット 商品事業本部コンポ事業部第1開発部第2開発課 　―NX－HTCはどんな製品ですか？ 　國安氏　NX－HTCは、汎用のPLC温度 　尾崎将宏氏　　國安裕生氏　　 調節ユニット「NX－TC」をベースと す。また装置設計の大幅な変更も必要とな ル化すると設定や操作が難しくなりそうで し、半導体業界のお客さまの声を取り入れ り、全体の生産性を考えたら効果的ではあ す ュートの量といった温度に関するデータを すく、効率的になるような機能強化を考え て新たに開発したモデルとなります。 りません。 　尾崎氏　そうなることも織り込み済み 定量化するだけではなく、平均操作量や最 ています。 　土台となったNX－TCは、独自の「適 　そこでNX－HTCでは、サイズはそのま で、高性能化・多チャンネル化しても使い 大操作量などの操作量に関するデータも定 温度制御の技術を通じて 応制御技術」を搭載し、熟練者のように品 まで8チャンネルまで入出力できるように 勝手が良く、設定も簡単にできるようにソ 量化できる機能です。操作量という温度と 質に影響を与える状態変化を捉え、PID値 し、実質的に省スペースになるように改良 フトウエアを作り込みました。 は別の切り口のデータを分析できるように 半導体業界の発展と働く人々を幸せに を自動調整して最適な温度制御状態を維持 しました。 　NX－TCは1からすべてお客さまが機能 なるため、いままで分からなかった。 　―今後に向けて できる温度制御ユニットで、産業ネットワ 　②については、NX－TCは温度分解能 をカスタマイズする仕様になっているのに 　これによっていままで分からなかった異 　國安氏　ファブにおける半導体製造装置 ークもEthernetIPやEtherCATに対応 が0.1℃だったところを、NX－HTCでは 対し、NX－HTCでは、目標値や測定値と 常を発見できるようになり、予兆保全の実 のメンテナンス業務は、事後保全や計画保 し、半導体をはじめ、包装機械や成形機な 0.01℃まで高精度化しました。またアナロ いった基本的な機能、PID、外乱抑制、特 施やトラブル時の原因究明などに役立ちま 全が主流で行われていて、保全担当者は不 ど幅広い機械に搭載されているヒット商品 グ入力も追加しました。お客さまからは微 徴量の見える化と、主な機能を4つの大き す。 良の原因を探し出すのに大変な苦労をして です。 妙な調整をする際にちょっとだけ温度を上 なかたまりに分類し、お客さまが必要なも 　―温度制御におけるIoT機能のようです います。特徴量の見える化機能を使えば何 　NX－HTCでは半導体製造プロセス向け 下したいという声が多く、それを反映させ のを選択し、そこから細部の設定に入って ね かがおかしいと早めに気づくことができま に、機能の取捨選択や進化を行い、省スペ たものとなります。 いくようになっています。これによってパ 　國安氏　例えば、ステージにパーティク す。原因究明にも役立ち、保全担当の方も ース化、高精度化し、さらには「特徴量の 　―より入出力の密度を高くした上で、 ラメータ設定がしやすくなり、装置に合わ ルが付着した状態でウエハを設置するとパ もっと楽しく仕事ができると思います。 見える化」という新しい機能を追加しまし さらに細かく制御できる様にしたというこ せた機能の追加や削除も簡単に設定できま ーティクルの付着した部分の熱伝導が悪く 　NX－HTCを通じて半導体とものづくり た。 とですね す。最低限のパラメータさえ用意しておけ なります。その結果正常時と同じ操作量で の高度化に貢献し、特徴量の見える化機能 より高密度・高精度な 　國安氏　その通りです。 ば基本的な設定はスムーズに行うことがで は温度が上がらず、正常時よりも操作量が によって半導体産業で働いている人々の幸 　例えば、テスト用ウエハには数十～100 き、そこで空いたリソースを機能の作り込 8％上がっていることが分かりました。温 せに貢献する。この両立を目指していきた 温度測定・制御を可能に くらいの熱電対が接続されていて、半導体 みやパラメータの追い込みなどに充てるこ 度は一定になるようにすぐフィードバック いと考えています。 　―具体的にはどのように変わったので 製造装置を作る際にはそれを使ってウエハ とができるようになります。 をかけるため、温度波形を見ているだけだ 　尾崎氏　NX－HTCを発売して終わりで すか？ 全体をキメ細かく測定して温度ムラが出な 　國安氏　 見えない異常を発見＆予兆保全を と気づくことが難しいです。またメンテナ はなく、これがスタートだと考えていま 温度制御について、半導体業界 いように調整し、理想の状態を作り上げて ンス時のステージへの熱電対の差し込み不 す。お客さまからいただいた要望をソフト が求めている品質をクリアするためには、 います。装置を立ち上げた後の実際の稼働 実現する「特徴量の見える化」 良を発見したケースでも、パーティクル付 ウエアを通じて機能を強化し、価値を高め ①より多くのデータから装置の状態を正確 環境でも同じようなことができればいいの 　―もう一つの特長でもある「特徴量の 着の時と同様に、温度波形では正常時との ていく。お客さまに喜んでいただけるよう に把握して制御すること、②より細かく温 ですが、それはコストや運用などさまざま 見える化」機能とは何ですか？ 見分けがほとんどつきませんでしたが、操 課題解決を進めていきたいと思います。 度を制御できることの2点がカギになりま な面で非現実的です。 　國安氏　特徴量の見える化は、NX－ 作量が増加して異なる波形が出ていたこと 　また、あらゆる産業で半導体が不足して す。NX－HTCではそれらを解決するため 　NX－HTCでは、使い勝手は従来のま HTCの目玉の一つとして開発した新機能 から発見することができました。このよう 困っています。さらにこれからも半導体の に、機器サイズはそのままで制御できるチ ま、測定点数を増やし、より高精度に温度 となります。 に、特徴量の見える化は、温度だけでは分 需要は拡大すると見込まれていて、もっと ャンネル数を増やし、温度分解能も高めま 制御できるようにすることで、少しでも理 　半導体製造プロセスのなかでは、温度波 からない装置の状態も、ほかのデータを見 半導体の数が必要になり、同時に半導体の した。 想の状態に近づけることを目指しました。 形に異常がないように見える、正常と同じ ることで察知できるようになります。いま 高性能化も求められています。オムロンと 　①については、単純に、測定箇所を増や ソフトウエアの工夫で ように見えるといった定性的な比較をせざ はさまざまなトラブルとその時の特徴値の して、お客さまと一緒により良い製品を作 すことでデータは増やせますが、そうする るを得ず、それ以上の追求が難しいケース 波形のパターンを照らし合わせ、特徴値の り、半導体産業、ひいてはモノづくり業界 と機器の数が増え、制御盤のサイズも大き 使いやすさも向上 がよくあります。それに対して特徴量の見 変化からトラブルを推測するといった機能 全体へもっと貢献していきたいと考えてい くなってフットプリントが大きくなりま 　―でもこれだけ高性能化・多チャンネ える化は、オーバーシュート／アンダーシ の開発も進めています。より現場で使いや ます。

２０２３年（令和５年）５月１０日　　　（6）