ERA-600の刃先解析機能のご紹介です
◆正面観察時の二次電子信号量を用いて三次元測定を行います。
SEMの原理を用いた解析のため，先端半径100nm以下の刃先も確認できます。
◆非破壊だから，やわらかい材質・繊細な刃先の仕上がりも確認できます。
斜め上方からの観察で刃先の様子が一目でわかります。
正面からの観察で得た信号から3Dを構築します。
◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 【刃先解析機能】三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 ERA-600 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 489.2Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社エリオニクス (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 [ ERA-600 ]
□■ 刃先解析機能* ■□
正面観察時の二次電子信号量を用いて
三次元測定を行います．
三次元測定結果 [ 曲率半径解析 ]
信号：A e- 信号：B
SEMの原理を用いた解析のため，先端半径100nm以下の
刃先も確認できます．
ステージ傾斜から得た刃先角度（または
設計角度）で三次元測定結果を補正し，
先端半径を解析します．
模式図
Electron Beam
サンプル
ステージ 刃先角度＝ 30°(例)
*オプション
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三次元粗さ解析走査電子顕微鏡 [ ERA-600 ]
□■ 刃先解析機能* ■□
非破壊だから，やわらかい材質・繊細な刃先の仕上がりも確認できます．
斜め上方からの観察で 刃先正面像
刃先の様子が一目でわかります．
正面からの観察で得た
信号から3Dを構築します．
試料：カッター
参考:縁画像
曲率半径解析
シャープな仕上がりになって
いるか数値で判断できます．
稜線解析
端部が直線からどの程度ずれているか，
XY平面内・Z方向の振れ幅を
p-p，標準偏差で示します．
*オプション