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極低加速電圧&極低照射電流数による極低ダメージ観察
◆超高倍率観察下での高分子材料観察時にダメージを抑えた観察が可能です
◆試料へのダメージが殆どない為、試料の極表層の形状や結合状態などが確認することが出来ます
◆低真空SEMより、高倍率、高解像度の二次電子画像取得が可能。
◆(SEI・BSI・STEM)像・3Dデータ・元素マップ・結晶方位が1台で取得もできます!
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このカタログについて
ドキュメント名 | 電子ビーム高分子材料観察装置 ESM-9000 |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 438.1Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 株式会社エリオニクス (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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電子ビーム高分子材料観察装置[ ESM-9000 ]
■ 極低加速電圧&極低照射電流数による極低ダメージ観察 ■
‘超高倍率観察下での高分子材料観察時にダメージを抑えた観察が可能です’
試料へのダメージが殆どない為、試料の極表層の形状や結合状態などが確認することが出来ます。
(SEI・BSI・STEM)像・3Dデータ・元素マップ・結晶方位が1台で取得もできます!
試料:電極材料
試料:レジスト
加速電圧(200V) バインダーが焼けずに状態を確認.
試料:電極材料
200000×の倍率下でレジストの残し状態を確認.
低真空SEMより、高倍率、高解像
度の二次電子画像取得が可能。
加速電圧(200V) 照射電流[2pA[の極低ダーメージ観察.
試料:電極材料
3D解析
電極材料の1枚
の厚さを確認。
1LINE解析
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