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【新発売】超微小押し込み硬さ試験機 ENT-NEXUS

製品カタログ
株式会社エリオニクス
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エリオニクスの新たなENTシリーズ、ENT-NEXUS（ネクサス）誕生。

【ENT-NEXUSの特長】
◆アップグレードやメンテナンスが容易
　ユニット追加/交換により安価にアップグレード可能
　メンテナンス時のダウンタイムが短い
　ユニット単位で今後も開発
◆高いデータ再現性
　温度管理機構：シールドケース内を±0.1℃で温度コントロール
　高性能除振台搭載：アクティブ除振台を標準装備
◆高精度大型ステージ搭載
　100nm/stepステージによる高精度位置決め。
　大型ステージ(サンプルサイズ：200x100x50mm)を搭載

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このカタログについて

ドキュメント名 【新発売】超微小押し込み硬さ試験機 ENT-NEXUS
ドキュメント種別 製品カタログ
ファイルサイズ 3.8Mb
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株式会社エリオニクス

このカタログの内容

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―Action for innovation ENT-NEXUS Nanoindentation Tester 新製品超微小押し込み硬さ試験機 ENT-NEXUS 株式会社エリオニクス
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従来の押し込み硬さ試験法 押し込み後の 荷重 F で圧子を 圧痕を観察 試料に押し込む 圧子 圧子 サンプル サンプル ―Action for innovation 株式会社エリオニクス
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従来の硬さ試験法 d1 d = (d1+d2)/2 HV = F/AS = 1.8544F/d^2 Vickers ―Action for innovation 株式会社エリオニクス h d2
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ナノインデンテーション試験 Pma x indenter Loading curve Unloading curve S Sample hr hC hmax Penetration depth, h ナノメートルオーダーでの 押し込み試験 P-h曲線 極表面層・局所領域の 力学特性の評価 ・硬さ ・弾性率 ・弾塑性特性 ―Action for innovation 株式会社エリオニクス Applied load, P
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ナノインデンテーション試験 マルテンス硬さ HM 押し込み硬さ H FIT HM  max As (hF max ) H  maxIT 2 Fmax Ap (h ) As (hmax )  26.43hc max 2 A (h C=dh/dF p c )  23.96hc Loading hc  hmax 0.75(hmax  hr ) curve 押し込み弾性率 EIT Unloading dF 1 ( )2 curve EIT  s dh ＊面積 A は圧子の 1 1 ( )2 幾何学形状より算出  i 0 hp h hr max Er Ei Penetration depth h  Er  Berkovich 2C Ap (hc ) ―Action for innovation 株式会社エリオニクス Load F
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圧痕の弾性回復 Pmax Indenter F hmax = hc hmax Sample Penetration depth, h Pmax F S hmax hc hr hC hmax Penetration depth, h ―Action for innovation 株式会社エリオニクス Applied load, P Applied load, P
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ナノインデンテーション試験の規格  ISO 14577-1 計装化押込み硬さ試験  JIS Z 2255 超微小負荷硬さ試験方法 ―Action for innovation 株式会社エリオニクス
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エリオニクスの新たなENTシリーズ、 ENT-NEXUS（ネクサス）誕生。  ENTシリーズとは  ENT-1100b, ENT-2100, ENT-3100 累計販売台数250台以上のベスト セラーシリーズ  ナノインデンテーション試験  ISO 14577-1/JIS Z 2255に準拠したナノインデンテーション（超微 小押し込み硬さ）試験が可能 オプションで表面力測定が可能 NEW!!  モジュール構成 NEXUSフレームに各種測定ユニットをマウントするモジュール構成 アップグレードが容易 ユニットはユーザーで交換可能 ―Action for innovation 株式会社エリオニクス
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ENT-NEXUSの特長  アップグレードやメンテナンスが容易 ユニット追加/交換により安価にアップグレード可能 メンテナンス時のダウンタイムが短い ユニット単位で今後も開発  高いデータ再現性 温度管理機構  シールドケース内を±0.1℃で温度コントロール 高性能除振台搭載  アクティブ除振台を標準装備  高精度大型ステージ搭載  100nm/stepステージによる高精度位置決め。 大型ステージ(サンプルサイズ：200x100x50mm)を搭載。  表面力測定機能追加可能 低荷重ユニットのオプション機能として ―Action for innovation 株式会社エリオニクス
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NEXUSユニットラインナップ 高荷重ユニット（5μN～2N） 低荷重ユニット（0.5μN～10mN） ENT-1100b&ENT-2100相当の荷 ENT-3100相当の荷重レンジをカ 重レンジをカバーする測定ユニッ バーする測定ユニット。 ト。 弾性率数GPa程度の軟質材料や、 主に金属材料やDLCなど硬質皮膜 押し込み深さ10nm以下の測定に対 の硬度測定に最適です。 応。 樹脂フィルムやシリコーンゴム等 の弾性材や極薄い硬質膜に最適で す。 表面力測定オプション 表面力解析ソフト、ピエゾステージ、 真空チャンバの追加で表面力測定が 可能です。 ―Action for innovation 株式会社エリオニクス
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豊富なオプション  高荷重ユニット/低荷重ユニット 表面プロファイル測定 加熱粘弾性試験 粒子強度試験 ビッカース硬度（HV*）換算 など  表面力測定オプション（低荷重ユニット） 真空チャンバ 除電 水中測定 など ―Action for innovation 株式会社エリオニクス
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用途  金属 メッキ膜、スパッタ膜、ワイヤ、ベアリング  薄膜 DLC、TiNなど硬質膜、レンズ上の光学薄膜、HDD保護膜  半導体関連 絶縁膜、電極、レジスト膜  樹脂 UV硬化樹脂、樹脂=ファイバー複合材料  粉体 トナー、研磨剤、金属粉、樹脂球、微小ガラス球  生体材料 歯、骨、歯科用樹脂 ―Action for innovation 株式会社エリオニクス
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高荷重ユニット  ENT-1100b, ENT-2100の荷重レンジをカバー 最大荷重2Nと幅広い用途に活用  金属膜やDLC膜など ■サンプル：溶融石英 ■試験荷重：100μN（押し込み深さ約25nm） ―Action for innovation 株式会社エリオニクス
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低荷重ユニット  ENT-3100相当の測定レンジをカバー  軟質材料や極薄膜 ■サンプル：レジスト（樹脂） ※9回連続重ね合わせ測定 ■試験荷重：1.0μN（押し込み深さ約7nm） ―Action for innovation 株式会社エリオニクス
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オプション測定例―（１）粒子強度試験  装置構成 NEXUSフレーム＋高荷重ユニット＋粒子強度試験ソフトウェア 《破壊試験》  粒子強度試験 フラット圧子を用いて粒子に荷重を負荷 Fs_p 破壊強度、公称変形強度を求める 破壊強度：（Cs_p）
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オプション測定例―（１）粒子強度試験  測定結果 ガラス ガラス測定前 ↓ ガラス測定後 ―Action for innovation 株式会社エリオニクス
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オプション測定例―（１）粒子強度試験  測定結果 ポリスチレン ポリスチレン測定前 ↓ ポリスチレン測定後 ―Action for innovation 株式会社エリオニクス
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オプション測定例―（１）粒子強度試験  測定結果 銅 銅測定前 ↓ 銅測定後 ―Action for innovation 株式会社エリオニクス
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オプション測定例―（１）粒子強度試験  測定結果 ガラス ポリスチレン 銅 ―Action for innovation 株式会社エリオニクス
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オプション測定例―（２）粘弾性測定  装置構成 NEXUSフレーム＋高荷重ユニット or 低荷重ユニット＋粘弾性測定ソフトウェア  貯蔵弾性率E’、損失係数tanδの測定 変位振幅 1～2nm  測定条件 最大荷重：1mN 押し込み深さ：500nm程度 荷重振幅：15μN（変位 1～2nm） 周波数：1Hz 正弦波 ―Action for innovation 株式会社エリオニクス