プロセスガスモニタ M-080QA-HPM

Page 1:プロセスガスモニタ M-080QA-HPM成膜中のガス分圧を監視出来るため、ガス異常・リークなどの不具合を察知し、プロセス安定性を提供いたします■特 長・成膜中に高感度で水素を検出可能・メンテナンスサイクルが長く、低ランニングコスト・さまざまなアラーム機能により、生産中に異常を検出■用 途・成膜中の品質管理・残留ガス分析・リークチェックスパッタプロセスモニタリングと残留ガス分析の両立1.E-141.E-131.E-121.E-111.E-101.E-091.E-080 5 10 15 20 25 30 35 40 45Am/zAr 0.3Pa導入時のマススペクトル(ﾊﾞｯｸｸﾞﾗｳﾝﾄﾞ処理後)H2H2OArAir36Ar測定例水素を高感度で検出できますAr0.3Pa導入時のマススペクトル（バックグラウンド処理後）

Page 2:東日本エリア 〒215-8550 神奈川県川崎市麻生区栗木2-5-1・半導体デバイス製造装置・ストレージデバイス製造装置・電子部品製造装置/研究開発・小規模生産装置・パネルデバイス製造装置・真空コンポーネント西日本エリア 〒564-0044 大阪府吹田市南金田 1-4-33・各種装置関係・真空コンポーネント九州エリア 〒862-0924 熊本県熊本市中央区帯山3-3-10 キヤノンMJ熊本ビル3FTEL 044-980-5131 FAX 044-986-4038TEL 044-980-5155 FAX 044-986-4038TEL 044-980-5056 FAX 044-986-4038TEL 044-980-5148 FAX 044-986-4038TEL 044-980-3503 FAX 044-986-4361TEL 06-6821-9701 FAX 06-6821-9702TEL 06-6821-9703 FAX 06-6821-9704TEL 096-385-3111 FAX 096-385-3061※ 輸出・移転・処分に関する注意事項 本カタログに掲載しています製品を日本国外に輸出する際は、外国為替及び外国貿易法の規程に 基づく判定が必要となりますので弊社営業部門に必ずお問合せください。また、国内移転・処分の際も移転・処分先にご留意願います。※ 本カタログに記載されている内容は性能向上等のため予告なく変更することがあります。 URL:http://www.canon-anelva.co.jp/2016年7月作成 無断転用禁止■オーダリングインフォメーション製品コード商 品 名備 考型 名 品 名20097 M-080QA-HPM プロセスガスモニタ20494 HP-Y-FIL フィラメント組立 治具付20393 四重極型質量分析計用RS-232C ケーブル（1.5m） クロスケーブル（薄型コネクタ）20294 四重極型質量分析計用RS-232C ケーブル（3m） クロスケーブル（薄型コネクタ）20295 四重極型質量分析計用RS-232C ケーブル（5m） クロスケーブル（薄型コネクタ）20293 四重極型質量分析計用RS-232C ケーブル（10m） クロスケーブル20430 COM-1（USB） COM-1（USB）H USB-RS-232C コンバータ20296 四重極型質量分析計用RS-485 ケーブル（5m） RS-485 ケーブル5m ＋ Y ケーブル（0.2m）20297 四重極型質量分析計用RS-485 ケーブル（10m） RS-485 ケーブル10m ＋ Y ケーブル（0.2m）20298 四重極型質量分析計用RS-485 ケーブル（15m） RS-485 ケーブル15m ＋ Y ケーブル（0.2m）20299 四重極型質量分析計用RS-485 ケーブル（20m）※1 RS-485 ケーブル20m ＋ Y ケーブル（0.2m）※220392 COM-1PD（USB）H COM-1PD/USB/H USB-RS485 コンバータ20395 AC アダプタ延長ケーブル（5m） M-070/080/101/201QA 用20396 AC アダプタ延長ケーブル（10m） M-070/080/101/201QA 用20397 AC アダプタ延長ケーブル（15m） M-070/080/101/201QA 用30111 V-040LV-MMI V-040LV-MMI DN40 手動L 型バルブMSB M-070/080/101/201 用保護バルブ※1 20ｍ以上のケーブル長についてはご相談ください308.9308.9171.267.770.046.757.3φ70ICFフランジ1314784153.572.581測定質量範囲 m/z 1～80動作圧力 1.3Pa以下最小検知濃度 5ppm（H2を除く） H2：100ppmＳＥＭ感度 ＞7.5E-5A/Paファラディ感度 ＞7.5E-9A/Pa分解能 ＜1 amu ＠10％ of peak heightフィラメント 1 本（Y2O3-Ir）接続フランジ φ70ICF通信規格 RS-232C または RS-485制御ソフトウェア QUADVISION3 Win10対応■仕 様■外形寸法図2016年9月作成 無断転用禁止162-12.1609-0201MK