Projection exposure system for full panel size
このカタログについて
| ドキュメント名 | 超大屏幕量产的投影式曝光装置 CMS（Cerma Micro Stepper） |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 602.5Kb |
| 取り扱い企業 | 株式会社サーマプレシジョン (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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超大屏幕量产的投影式曝光装置
Projection exposure system for full panel size
CMS（Cerma Micro Stepper）
CMS的特点
■ 可实现(L/S=1.4/1.4µm)高分辨率量产工艺
■ 可实现650×550mm 超大面积曝光的批量生产
■ 步进式对准&全方位对准双模式
■ 支持芯片优先工程
■ 单镜头倾斜机构辅助，提高成品率
CMS机体样式图
投影レンズラインナップ
镜头 Ck
Lens
放大倍率 ×1
Magnification
曝光区间［mm］ 4”/□70
Exposure area
分辨率L/S［μm］ 1.4/1.4
Resolution L/S
波长 i-line
Wavelength
光源 UV-LED
Light source
〒135-0041 東京都江東区冬木16-1
http://www.cerma.co.jp/
TEL：03-3643-2921 FAX：03-3643-2768