ガルバノスキャナーとXYステージの同期制御システム
SCANLAB社（ドイツ）と、ACS Motion Control社にて共同開発した
“XL SCAN”は、2DガルバノスキャンヘッドとXY位置決めステージを同期制御させることで、大面積を高精度に高スループットで動かすことができます。
アプリケーションは、レーザー加工業産業向けで、ディスプレイ製造、半導体ウェハー、大型フィルム、プリント基板への穴あけなどに最適です。
このカタログについて
| ドキュメント名 | XL SCANデモ機構成 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 事例紹介 |
| ファイルサイズ | 514.9Kb |
| 取り扱い企業 | ピーアイ・ジャパン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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ガルバノミラー等は株式会社SCANSOL様より借用
XL SCANシステム※ デモ機構成
高精度位置決めステージとガルバノスキャナーの完全同期制御で大面積レーザ加工時も高速＆高精度化を可能に。
※SCANLAB社（ドイツ）と、ACS Motion Control社にて共同開発
SCANLAB社：
excelliSCAN14 ACS
ガルバノスキャナー SPC加工ソフトウェア
(GUI)
MMI制御ソフトウェア
XY軸
エアスライダー
ステージ
ACS
・モーションコントローラ
・ドライバ
・SLECインターフェース
グラナイトベース
除振台
SCANLAB社：
RTC6ガルバノコントローラ
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