”エアーベアリング”　精密位置決め製品のご紹介　リニア・回転・XY軸ステージ

PI（Physik Instrumente）社製 エアーベアリングの 高精度密位置決め 製品紹介 X 軸・XY 軸・回転ステージ /コントローラ ピーアイ・ジャパン株式会社 044-280-7676 www.pi-japan.jp/ info@pi-japan.jp

A-121 技術データ 動作 A-121.050 A-121.100 A-121.150 A-121.200 A-121.250 A-121.350 単位 公差 PIglide 直動エアベアリングステージ 動作軸 X X X X X X トラベルレンジ 50 100 150 200 250 350 mm Pitch/yaw(1) 20 20 20 20 25 35 µrad Max. 真直度 / 平坦度 (1) 0.5 0.5 1 1.5 2 2.5 µm Max. ■ スキャン用途や高精度な位置決めに最適 真直度 / 平坦度 @25mm(1) 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 0.1 µm Max. ■ クリーンルーム対応 速度 , 無負荷時 (2) 0.5 1 1 1 1 1 m/s Max. 加速度 , 無負荷時 (2) 20 20 20 20 20 20 m/s² Max. ■ 可動部サイズ：115mm×115mm 機械特性 P ■ 最大350mmのトラベルレンジ Z 軸 耐荷重 (6) 100 100 100 100 100 100 I N Max. P ■ 60mmのロープロファイル Y 軸 耐荷重 (6) 40 40 40 40 40 40 N Max. I M 許容トルクθx 軸 (6) 5 5 5 5 5 5 ■ 分解能 1nm Nm Max. M a 許容トルクθy 軸 (6) 8.3 8.3 8.3 8.3 8.3 8.3 Nm Max. a g 可動部質量 1.2 1.2 1.2 1.2 1.2 1.2 kg Typ. g ® アクセサリ & オプション 全体質量 3.5 4.2 4.5 5.2 5.7 6.8 kg Typ. ガイド Air bearing Air bearing Air bearing Air bearing Air bearing Air bearing ® シ ●エアフィルターキット シ リ ドライブ特性 A-121 単位 公差 ●XY セットアップと単独構成 リ ー ドライブタイプ Ironless 3-phase linear motor ●縦置き動作用カウンターバランスオプション 定格電圧 , RMS 48, nominal　　　80, max. V DC ー ズ ピーク電流 , RMS 3.5 A Max. ズ アプリケーション 定格電流 , RMS 1.2 A Max. ピーク力 33.2 N Max. ●計測、フォトニクス、半導体やフラットパネル 定格力 11.1 N Max. 製品概要 　ディスプレイ製造における精密スキャンなど 力定数 , RMS 9.4 N/A Typ. 抵抗値 phase-phase 6.3 Ω Typ. インダクタンス phase-phase 1 単m位H 公Ty差p. PIglide ステージは、プリロード付きエアベアリング Back EMF phase-phase 7.7 V·s/m Typ. とリニアエンコーダを備えたサーボ駆動リニアモータ ケーブリング External, moving cable が搭載されています。これらの非接触コンポーネント Positioning A-121.xxxA A-121.xxxB の組み合わせにより、最高の性能、品質、寿命を実現 する摩擦のないモーションプラットフォームが実現し 内臓センサー Incremental linear encoder Absolute linear encoder センサー信号 Sin/cos, 1 V peak-peak, 20 µm signal period BiSS-C ます。 センサー分解能 4.88 nm (3) 1 nm 双方向再現性 ±0.25 µm ±0.25 µm A-121.050: ± 1.5 µm A-121.050: ± 1.5 µm A-121.100: ± 1.5 µm A-121.100: ± 1.5 µm A-121.150: ± 1.5 µm A-121.150: ± 1.5 µm 位置決め精度 , キャリブレーションなし (4) A-121.200: ± 2.0 µm A-121.200: ± 1.5 µm A-121.250: ± 2.0 µm A-121.250: ± 1.5 µm P A-121.350: ± 3.0 µm A-121.350: ± 1.5 µm P I A-121.050: ± 0.5 µm A-121.050: ± 0.5 µm A-121.100: ± 0.5 µm I g A-121.100: ± 0.5 µm A-121.150: ± 0.5 µm A-121.150: ± 0.5 µm g I 位置決め精度 , キャリブレーション後 (4) A-121.200: ± 0.5 µm A-121.200: ± 0.5 µm I i A-121.250: ± 0.5 µm A-121.250: ± 0.5 µm A-121.350: ± 0.5 µm A-121.350: ± 0.5 µm i de その他 A-121 de エ ド動作時圧力 (5) Incremental linear encoder エア消費量 Sin/cos, 1 V peak-peak, 20 µm signal period エ ア 4.88 nm (3) エア品質 ア ベ ±0.25 µm A-121.050: ± 1.5 µm ベ ア 材質 A-121.100: ± 1.5 µm ア リ (1) ステージ設置面の平坦度に依存する。 リ ン (2) ペイロード、コントローラ、ドライブにより制限される場合があります。 (3) 4096 倍内挿を想定しています。その他の倍率を使用する場合はお問い合わせください。 ン グ (4) コントローラによる誤差補正を行うことにより、精度を向上させることができます。この値を得るためには、PI 社製コントローラを搭載したステージをご注文いただく必要があります。精度の値は、短 グ シ 時間での使用を想定しており、熱ドリフトによるステージへの長期的な影響は考慮していません。 (5）ステージを損傷から保護するために、コントローラのモーションストップ入力に空気圧センサを接続することをお勧めします。 シ リ (6) エアベアリングの動作圧力は 480kPa（70psi）を想定しています。 リ ー ー ズ ズ 038 039

A-311 PIglide XY 軸エアベアリングステージ ■ スキャン用途や高精度な位置決めに最適 ■ クリーンルーム対応 ■ 300mm×400mm の移動範囲 P ■ 最大積載量147N I P ■ ロープロファイル I M ■ 分解能：1nm M a a g g ® ® シ アクセサリ & オプション シ リ ●エア準備キット リ ー ●多軸モーションコントローラー & サーボ駆動 ー ズ ●機械本体 ズ PIglide XY 軸エアベアリングステージ ●振動隔離システム ●アクセサリの追加やカスタマイズが可能です。 概要 検査、レーザーマーキング、顕微鏡検査、 PIglide XY 軸小型エアベアリングステージは、 スキャニング、その他高精度の動作が必要な 動的性能や誤差補償を改善する高度なアルゴ PIglide XY 軸小型エアベアリングステージは、 利用事例に最適です。効率的なコンパクト リズムを実装する様々な業界トップクラスの スタック型 XY ステージの代わりとなる低 設計は、タイトな機械設計の中で省スペース デジタル制御やドライブ、幅広いソフトウェア プロファイル、高精度の製品です。 性を提供します。アイアンレスのリニアモー 開発ツールのスイートと連携することができ 完全にプリロードされた空気ベアリングパック ターを採用することで、コギングや引力の ます。 が、共通の本体上を X および Y 方向の両方 ない滑らかな運動が実現します。光学リニア に流れ、滑らかで摩擦のない運動を実現 エンコーダーは、補間によって、1 nm まで します。 のフィードバック位置情報を返します。 P P I I g g I I i i de de エ エ ア ア ベ ベ ア ア リ リ ン ン グ グ シ シ リ リ ー A-801.200: エアフィルターキット A-802.200: エアフィルターキット ー ズ ズ 040 041

A-311XY軸エアベアリングステージスペック表 技術データ 動作 A-311.DA1 A-311.DB1 A-311.AA1 A-311.AB1 A-311.BA1 A-311.BB1 A-311.CA1 A-311.CB1 A-311.FB1 A-311.GB1 Tolerance 駆動軸 X Y X Y X Y X Y X Y X Y X Y X Y X Y X Y トラベルレンジ X 50 mm 50 mm 100 mm 100 mm 150 mm 150 mm 200 mm 200 mm 300 mm 300 mm トラベルレンジ Y 50 mm 50 mm 100 mm 100 mm 150 mm 150 mm 200 mm 200 mm 300 mm 400 mm 加速度 , 無負荷時 X 27.5 m/s² 27.5 m/s² 27.5 m/s² 27.5 m/s² 27.5 m/s² 27.5 m/s² 27.5 m/s² 27.5 m/s² 10 m/s² 10 m/s² max. 加速度 , 無負荷時 Y 15 m/s² 15 m/s² 13 m/s² 13 m/s² 11 m/s² 11 m/s² 10 m/s² 10 m/s² 10 m/s² 10 m/s² max. 最大速度 , 無負荷時 X 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 最大速度 , 無負荷時 Y 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 2000 mm/s 1000 mm/s 1000 mm/s 直交度 ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 5 µrad ± 25 µrad typ. 真直度：Y 軸動作時リニアクロストーク（X) ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 1 µm ± 0.5 µm max. 真直度：X 軸動作時リニアクロストーク（Y) ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 1 µm ± 0.5 µm max. P 平坦度：X 軸動作時リニアクロストーク（Z) ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.75 µm ± 0.75 µm ± 1.5 µm ± 0.75 µm max. I P 平坦度：Y 軸動作時リニアクロストーク（Z) ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.25 µm ± 0.5 µm ± 0.5 µm ± 0.75 µm ± 0.75 µm ± 1.5 µm ± 0.75 µm max. I M Pitch：Y 軸動作時回転クロストーク（θX) ± 10 µrad ± 10 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 17.5 µrad ± 17.5 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad ± 40 µrad ± 20 µrad max. M a Pitch：X 軸動作時回転クロストーク（θY) ± 10 µrad ± 10 µrad ± 12.5 µrad ± 12.5 µrad ± 17.5 µrad ± 17.5 µrad ± 20 µrad ± 20 µrad ± 40 µrad ± 20 µrad max. Yaw：X 軸動作時回転クロストーク（θZ) ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 10 µrad a g ± 10 µrad ± 20 µrad ± 10 µrad max. Yaw：Y 軸動作時回転クロストーク（θZ) ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 5 µrad ± 7.5 µrad ± 7.5 µrad ± 10 µrad ± 10 µrad ± 20 µrad ± 10 µrad max. g ® 位置決め A-311.DA1 A-311.DB1 A-311.AA1 A-311.AB1 A-311.BA1 A-311.BB1 A-311.CA1 A-311.CB1 A-311.FB1 A-311.GB1 ® シ Tolerance 内蔵センサー Incremental linear encoder Absolute linear encoder Incremental linear encoder Absolute linear encoder Incremental linear encoder Absolute linear encoder Incremental linear encoder Absolute linear encoder Absolute linear encoder Absolute linear encoder シ リ 双方向再現性 X ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.15 µm ± 0.1 µm typ. リ ー 双方向再現性 Y ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.1 µm ± 0.15 µm ± 0.1 µm typ. 位置決め精度 X, キャリブレーション後 ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm typ. ー ズ 位置決め精度 X, キャリブレーションなし ± 1 µm ± 1 µm ± 1.5 µm ± 1.5 µm ± 2 µm ± 2 µm ± 2.5 µm ± 2.5 µm typ. ズ 位置決め精度 Y, キャリブレーション後 ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm ± 0.2 µm typ. 位置決め精度 Y, キャリブレーションなし ± 1 µm ± 1 µm ± 1.5 µm ± 1.5 µm ± 2 µm ± 2 µm ± 2.5 µm ± 2.5 µm typ. センサー信号 Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C BiSS-C BiSS-C センサー分解能 1.2 nm 1 nm 1.2 nm 1 nm 1.2 nm 1 nm 1.2 nm 1 nm 1 nm 1 nm センサ信号ピッチ 20 µm 20 µm 20 µm 20 µm リファレンススイッチ Encoder index Encoder index Encoder index Encoder index リミットスイッチ Hall effect, N/O contact, 5 Hall effect, N/O contact, 5 Hall effect, N/O contact, 5 Hall effect, N/O contact, 5 V to 24 V, open collector V to 24 V, open collector V to 24 V, open collector V to 24 V, open collector ドライブ特性 A-311.DA1 A-311.DB1 A-311.AA1 A-311.AB1 A-311.BA1 A-311.BB1 A-311.CA1 A-311.CB1 A-311.FB1 A-311.GB1 Tolerance ドライブタイプ Ironless 3-phase linear motor Ironless 3-phase linear motor Ironless 3-phase linear motor Ironless 3-phase linear motor Ironless 3-phase linear motor Ironless 3-phase linear motor Ironless 3-phase linear motor Ironless 3-phase linear motor Ironless 3-phase linear motor Ironless 3-phase linear motor 定格電圧 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V ピーク電圧 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 300 V 80 V 定格電流 , RMS 3.2 A 3.2 A 3.2 A 3.2 A 3.2 A 3.2 A 3.2 A 3.2 A 2.9 A 3.2 A typ. ピーク電流 , RMS 6.9 A 6.9 A 6.9 A 6.9 A 6.9 A 6.9 A 6.9 A 6.9 A 10:00 AM 6.9 A typ. 駆動力：X 軸マイナス方向 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 58 N 39 N typ. 駆動力：Y 軸マイナス方向 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 58 N 39 N typ. 駆動力：X 軸プラス方向 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 58 N 39 N typ. 駆動力：Y 軸プラス方向 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 39 N 58 N 39 N typ. ピーク力：X 軸マイナス方向 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 200 N 85 N P ピーク力：Y 軸マイナス方向 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 200 N 85 N P I ピーク力：Y 軸プラス方向 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N ピーク力：Y 軸プラス方向 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N 85 N I g 力定数 12.3 N/A 12.3 N/A 12.3 N/A 12.3 N/A 12.3 N/A 12.3 N/A 12.3 N/A 12.3 N/A 19.9 N/A 12.3 N/A g I 抵抗値 phase-phase 3.6 Ω 3.6 Ω 3.6 Ω 3.6 Ω 3.6 Ω 3.6 Ω 3.6 Ω 3.6 Ω 5.6 Ω 3.6 Ω typ. インダクタンス phase-phase 1.24 mH 1.24 mH 1.24 mH 1.24 mH 1.24 mH 1.24 mH 1.24 mH 1.24 mH 1.8 mH 1.24 mH I i Back EMF phase-phase 10.1 V·s/m 10.1 V·s/m 10.1 V·s/m 10.1 V·s/m 10.1 V·s/m 10.1 V·s/m 10.1 V·s/m 10.1 V·s/m 16 V·s/m 10.1 V·s/m max. i d Pole pitch N-N 24 mm 24 mm 24 mm 24 mm 24 mm 24 mm 24 mm 24 mm 24 mm 24 mm e 機械特性 A-311.DA1 A-311.DB1 A-311.AA1 A-311.AB1 A-311.BA1 A-311.BB1 A-311.CA1 A-311.CB1 A-311.FB1 A-311.GB1 dTolerance ガイド Air bearing guide with air preload Air bearing guide with air preload Air bearing guide with air preload Air bearing guide with air preload Air bearing guide with air preload Air bearing guide with air preload Air bearing guide with air preload Air bearing guide with air preload Air bearing guide with vacuum preload Air bearing guide with vacuum preload e エ 可動部質量 X, 無負荷時 3000 g 3000 g 3000 g 3000 g 3000 g 3000 g 3000 g 3000 g 4000 g 4000 g エ ア 可動部質量 Y, 無負荷時 5500 g 5500 g 6500 g 6500 g 7500 g 7500 g 8500 g 8500 g 8500 g 8500 g Z 軸への最大押力 147 N 147 N 147 N 147 N 147 N 147 N 147 N 147 N 147 N 147 N max. ア ベ 全体質量 14500 g 14500 g 18500 g 18500 g 22500 g 22500 g 27500 g 27500 g 48000 g 55000 g ベ ア 材質 Hardcoat aluminum, stainless Hardcoat aluminum, stainless Hardcoat aluminum, stainless Hardcoat aluminum, stainless Hardcoat aluminum, stainless Hardcoat aluminum, stainless Hardcoat aluminum, stainless Hardcoat aluminum, stainless Hardcoat aluminum, stainless Hardcoat aluminum, stainless steel mounting hardware steel mounting hardware steel mounting hardware steel mounting hardware steel mounting hardware steel mounting hardware steel mounting hardware steel mounting hardware steel mounting hardware steel mounting hardware ア リ A-311.DA1 A-311.DB1 A-311.AA1 A-311.AB1 A-311.BA1 A-311.BB1 A-311.CA1 A-311.CB1 A-311.FB1 A-311.GB1 Tolerance コネクタ D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-Sub 3W3 (m) D-Sub 3W3 (m) リ ン センサーコネクタ D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) ン グ 動作時圧力 415 to 485 (60 to 70 psi) kPa 415 to 485 (60 to 70 psi) kPa 415 to 485 (60 to 70 psi) kPa 415 to 485 (60 to 70 psi) kPa 415 to 485 (60 to 70 psi) kPa 415 to 485 (60 to 70 psi) kPa 415 to 485 (60 to 70 psi) kPa 415 to 485 (60 to 70 psi) kPa 415 to 485 (60 to 70 psi) kPa 415 to 485 (60 to 70 psi) kPa エア消費量 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min max. グ シ エア品質 Clean (filtered up to 1.0 µm or better) Clean (filtered up to 1.0 µm or better) Clean (filtered up to 1.0 µm or better) Clean (filtered up to 1.0 µm or better) Clean (filtered up to 1.0 µm or better) Clean (filtered up to 1.0 µm or better) Clean (filtered up to 1.0 µm or better) Clean (filtered up to 1.0 µm or better) Clean (filtered up to 1.0 µm or better) Clean (filtered up to 1.0 µm or better) シ リ - ISO 8573–1 class 1 Oil free - ISO - ISO 8573–1 class 1 Oil free - ISO - ISO 8573–1 class 1 Oil free - ISO - ISO 8573–1 class 1 Oil free - ISO - ISO 8573–1 class 1 Oil free - ISO - ISO 8573–1 class 1 Oil free - ISO - ISO 8573–1 class 1 Oil free - ISO - ISO 8573–1 class 1 Oil free - ISO - ISO 8573–1 class 1 Oil free - ISO - ISO 8573–1 class 1 Oil free - ISO 8573–1 class 1 Dry (-15 °C dew point) 8573–1 class 1 Dry (-15 °C dew point) 8573–1 class 1 Dry (-15 °C dew point) 8573–1 class 1 Dry (-15 °C dew point) 8573–1 class 1 Dry (-15 °C dew point) 8573–1 class 1 Dry (-15 °C dew point) 8573–1 class 1 Dry (-15 °C dew point) 8573–1 class 1 Dry (-15 °C dew point) 8573–1 class 1 Dry (-15 °C dew point) 8573–1 class 1 Dry (-15 °C dew point) リ ー - ISO 8573–1 class 3 - ISO 8573–1 class 3 - ISO 8573–1 class 3 - ISO 8573–1 class 3 - ISO 8573–1 class 3 - ISO 8573–1 class 3 - ISO 8573–1 class 3 - ISO 8573–1 class 3 - ISO 8573–1 class 3 - ISO 8573–1 class 3 ー ズ 推奨コントローラ /ドライバ A-81x ACS-based motion controller A-81x ACS-based motion controller A-81x ACS-based motion controller A-81x ACS-based motion controller A-81x ACS-based motion controller A-81x ACS-based motion controller A-81x ACS-based motion controller A-81x ACS-based motion controller A-81x ACS-based motion controller A-81x ACS-based motion controller for medium power requirements, for medium power requirements, for medium power requirements, 2 for medium power requirements, 2 for medium power requirements, 2 for medium power requirements, 2 for medium power requirements, 2 for medium power requirements, 2 for medium power requirements, 2 for medium power requirements, 2 ズ 2 / 4 / 6 axes 2 / 4 / 6 axes / 4 / 6 axes / 4 / 6 axes / 4 / 6 axes / 4 / 6 axes / 4 / 6 axes / 4 / 6 axes / 4 / 6 axes / 4 / 6 axes A-82x ACS-based motion controller A-82x ACS-based motion controller A-82x ACS-based motion controller A-82x ACS-based motion controller A-82x ACS-based motion controller A-82x ACS-based motion controller A-82x ACS-based motion controller A-82x ACS-based motion controller A-82x ACS-based motion controller A-82x ACS-based motion controller for high power requirements, 4 / 6 for high power requirements, 4 / 6 for high power requirements, 4 / 6 for high power requirements, 4 / 6 for high power requirements, 4 / 6 for high power requirements, 4 / 6 for high power requirements, 4 / 6 for high power requirements, 4 / 6 for high power requirements, 4 / 6 for high power requirements, 4 / 6 / 8 axes / 8 axes / 8 axes / 8 axes / 8 axes / 8 axes / 8 axes / 8 axes / 8 axes / 8 axes 動作温度範囲 +15 to +25 °C +15 to +25 °C +15 to +25 °C +15 to +25 °C +15 to +25 °C +15 to +25 °C +15 to +25 °C +15 to +25 °C +15 to +25 °C +15 to +25 °C 直線的なクロストークと回転的なクロストークに注意。ステージの設置面の平面度に依存します。 速度と加速度に関する注意点 ペイロード、コントローラ、ドライブの性能により制限される場合があります。許容押力について。重荷の重心がモーションプラット 位置決め精度について：コントローラによる誤差補正を行うことで、より精度の高い位置決めが可能です。この値を達成するためには，PI 社のコントローラと一緒にステージを注文する必要があります。精度の値は短時間を想定しており、ステージの熱ドリフト 042 フォームから 50mm 以内にあることを前提としています。 ステージは水平方向の動作のみを想定しています。センサーの分解能について。4096 倍の補間を想定しています。その他の係数を使用する場合は、PI 社にお問い合わせください。 による長期的な影響は考慮していません。動作圧力に関する注意事項：ステージを損傷から保護するために、コントローラのモーションストップ入力に空気圧センサーを接続することを推奨します。すべての仕様は、他に記述がない場合、1 軸ごとに適用されます。 043

A-322 PIMag®磁気式ダイレクトドライブ ムに伝達します。このドライブは高速度と 長寿命、クリーンルーム対応のドラッグチェーン 高加速度に達します。アイアンレスモーター PIglide XY 軸大型エアベアリングステージ アブソリュートエンコーダは、明示的な位置 は、永久磁石との望ましくない相互作用が A-322 には、高品質で長寿命のリボンケー 情報を提供することで、即座に位置を把握する ないため、精度に対する要求が最も高い位 ブルと空圧ホースが採用されています。徹底 ことができます。これにより、スイッチオン時の 置決め作業に特に適しています。これにより、 した研究開発により、最適化されたケーブル ■ スキャン用途や高精度な位置決めに最適 参照が不要となり、操作の効率と安全性が 最低速度でもスムーズな走行が可能となり、 マネジメントシステムを採用し、数百万回の ■ クリーンルーム対応 向上します。 同時に、高速度でも振動が発生しません。 メンテナンスフリーを実現しています。また、 ■ 移動範囲：500mm × 1000mm 3 相マグネットダイレクトドライブは、ドライブ 制御動作の非線形性が回避され、任意の位 テフロンコーティングにより、パーティクルの ■ 最大荷重：245 N トレインに機械部品を使用せず、 駆動力を 置を容易に制御することができます。駆動力 発生を抑えています。 P ■ 分解能～ 1nm、速度～ 2m/s 直接、摩擦なしにモーションプラットフォー は自由に設定できます。 I ■ 3 つの性能クラス ベース、プラス、ウルトラ PI M 技術データ M a アクセサリ & オプション モデル 単位 A-322 Base A-322 Plus A-322 Ultra a g Precision/dynamics Standard/standard Standard/high High/high g ® ● エア準備キット ® シ モーション ● 多軸モーションコントローラー & サーボ駆動 トラベルレンジ , ブリッジ軸 mm 350; 500 350; 500 350; 500 シ リ ● 機械本体 トラベルレンジ , ガントリー軸 mm 350; 500 350; 500; 750 350; 500; 750; 1000 可動部のサイズ 250 × 268 250 × 268 250 × 318 リ ー ● 振動隔離システム ● ご要望に応じてアクセサリの追加やカスタマイズが可能です。 ガイド Air bearing, with vacuum preload Air bearing, with vacuum preload Air bearing, with vacuum preload ー ズ 内蔵センサー Absolute linear encoder, BiSS-C, Absolute linear encoder, BiSS-C, Absolute linear encoder, BiSS-C, ● PIglide フィルターとエア供給キット ズ steel measuring gauge steel measuring gauge steel measuring gauge ● 追加軸 センサー分解能 nm 1 1 1 ● マシンベース 耐荷重 kg 15 20 30 ● グラナイトベースプレートと振動低減システム 双方向再現性 (2) µm ±0.15 ±0.15 ±0.05 位置精度 , キャリブレーション後 (2) µm ±0.35 ±0.35 ±0.2 真直度 (2) µm 1 1 0.5 リファレンスクラスの XY 位置決めシステム A-322 には、優れたサーボ性能、ダイナミック リニアモーター、計測システム、エアベアリング 平坦度 µm 2 2 2 「PIglide」。 性能やエラー補正を向上させる高度な制御 アッセンブリーなどの重要なコアコンポーネント Pitch µrad 10 10 10 アルゴリズム、豊富なソフトウェア開発ツール は、すでに開発、テストされ、その能力を証明 Yaw (2) µrad 5 5 2 平面スキャナー「PIglide HS」は、磁気式リ など、業界をリードする ACS 社のコントロー しています。用途やお客様のご要望に応じて、 XY 直交度 µrad 5 5 2 最大速度 , 無負荷時 (3) m/s 0.5 1 1 ニアモーター、真空プリロード、アブソリュート ラーとドライブモジュールが組み合わされて A-322 シリーズのバリエーションは、オーダー 最大加速度 , 無負荷時 (3) m/s² 10 20 20/15 (bridge/gantry axis) エンコーダを搭載。接触や摩擦のない動きで、 います。A-322 シリーズは、さらなる適応の メイドの超高精度ソリューションの理想的な 位置安定性 nm ±30 ±30 ±30 最高の精度と信頼性を実現します。 ための出発点となります。 出発点となります。 可動質量 , ブリッジ軸 kg 14 14 20 スループットを最大化し、最高の精度を確保す ブリッジ軸の移動範囲に応じて ブリッジ軸の移動範囲に応じて ブリッジ軸の移動範囲に応じて 可動質量 , ガントリー軸 kg 350 mm: 40 kg 350 mm: 53 kg 350 mm: 70 kg るために設計されたポジショニングシステムです。 3 つの性能と価格クラス 500 mm: 44 kg 500 mm: 56 kg 500 mm: 75 kg ブリッジ軸とガントリー軸の柔軟な結合により、 Base：3 つの標準的なリニアモーターを搭載した XY ガントリーデザイン。 (1) エアベアリングの動作圧力を 550kPaと仮定しています。ペイロードの重心は、モーション・プラットフォームの表面から 50mm 以上離れてはならない。 システムの剛性を犠牲にすることなく横方向の P Plus： 3 つの液冷式高性能リニアモーターを搭載した XY ガントリーデザイン。高デューティサイクル、 (2) コントローラによる誤差補正が必要です。ポジショナーは、PI / ACSコントローラと一緒に注文する必要があります。数値は短時間を想定したもので、ステージの熱変位による長期的な影響は考慮していません。 デカップリングが可能です。 (3) 選択したモーター、コントローラの性能、デューティサイクル、負荷、その他のアプリケーション固有のパラメータに依存します。加速度、デューティーサイクル、モーションプロファイルについては、PI のアプリケー 　　ションエンジニアと合意する必要があります。 P I 高加速度のアプリケーション向け。 I g Ultra：水冷式高性能リニアモーターを 4 台搭載した XY ガントリーデザイン。X 軸、Y 軸ともに、 全体の重量は、お客様がお持ちのグラナイトベースによって異なります。 数値は移動範囲が 500mm×500mm の場合の例です。他の移動範囲の正確な仕様については、PI にお問い合わせください。 g I 2 個のリニアモーターと2 個のリニアエンコーダーを搭載。大きい負荷に対し、位置決め精度、 再現性、誤差補正の向上。 ドライブ特性 I i A-322 Base A-322 Plus A-322 Ultra (per motor) Unit Bridge/gantry axis Bridge/gantry axis Bridge/gantry axis i de モーター数 1× bridge, 2× gantry axis 1× bridge, 2× gantry axis 2× bridge, 2× gantry axis 定格電圧 , DC V 70/70 70/70 70/70 de エ ピーク電圧 , DC V 300/300 300/300 300/300 力定数 N 87/87 140/140 87/140 エ ア ピーク力 N 300/300 480/480 300/480 ア ベ 力定数 , RMS N/A 19.9/19.9 27.5/27.5 19.9/27.5 定格電流 , RMS A 4.4/4.4 5.1/5.1 4.4/5.1 ベ ア ピーク電流 , RMS A 15/15 17.5/17.5 15/17.5 ア リ Back EMF, phase-phase V·s/m 16/16 22.5/22.5 16/22.5 抵抗値 phase-phase Ω 3.6/3.6 2.6/2.6 3.6/2.6 リ ン インダクタンス phase-phase mH 1.2/1.2 2.0/2.0 1.2/2.0 冷却システム – Water, 20°C, 2 to 3 l/min Water, 20°C, 2 to 3 l/min ン グ その他 A-322 (all models) グ シ 動作時圧力 550 ±35 kPa (80 ±5 psi) シ リ エア消費量 With external vacuum supply: 56 l/min (2 SCFM) リ ー With internally generated vacuum: 112 l/min (4 SCFM) バキューム 74.66 kPa (560 mmHg), 14 l/min (0.5 SCFM) ー ズ Clean (filtered to 1.0 μ m or better) - ISO 8573-1 Class 1 ズ エア品質 Oil free - ISO 8573-1 Class 1 Dry (-15 °C dew point) - ISO 8573-1 Class 3 グラナイトベース ハードコートアルミ 材質 ニッケルメッキスチールサイドレール PIglide XY 軸大型エアベアリングステージの外形図（ 単位 : mm ） ステンレス製取付金具 044 045

A-62x PIglide エアベアリング回転ステージ ■ クリーンルーム対応 ■ モーションプラットフォーム直径 50mm ～ 300mm ■ 最大負荷容量 4170N ■ 偏心率および平面度 <200 nm P ■ 垂直または水平方向に設置可能 I PI M M a アクセサリ & オプション a g g ® ● エンコーダ ® シ PIglide XY 軸小型エアベアリングステージ ● カスタムマウントフランジ シ リ ● バキュームフィードスルー リ ー ● チップ / チルトプラットフォームオプション A-621.025xx (mm) ● 単軸または多軸のモーションコントローラーとサーボドライブ ー ズ ● グラナイトベースプレートと振動低減システム ズ 概要 アブソリュートエンコーダ（オプション） 3 相トルクモーター PIglide RMシリーズのモータ回転ステージは、 アブソリュートエンコーダは、明示的な位置 ブラシレス 精度、正確さ、高剛性、使いやすさを追求し、 情報を提供することで、即座に位置を把握 スロットレス どのような向きでも取り付けが可能です。様々 することができます。そのため、電源投入時に 低コギングトルク なオプションを組み合わせることで、ポイント 参照する必要がなく、作業効率と安全性の 絶対値エンコーダ（オプション） ツーポイントのインデキシングや等速スキャン 向上につながります。 に最適なソリューションを提供します。RM アプリケーション分野 ステージは、優れた移動精度、平面度、ウォブル 光学アライメント 性能を備えています。摩擦がなく、メンテナンス 計測、検査システム や潤滑が不要なため、クリーンルームでの使用 キャリブレーション にも適しています。 スキャニング P A-623.025xx: A=75 mm; B=90 mm; A-623.050xx: A=100 mm; B=115 mm (mm) P I I g g I I i i de de エ エ ア ア ベ ベ ア ア リ リ ン ン グ グ シ シ リ リ ー ー ズ A-624.050xx (mm) ズ A-627.075xx (mm) A-625.065xx (mm) 046 047

A-62x エアベアリング回転ステージスペック表 動作 A-621.025A1 A-621.025B1 A-623.025A1 A-623.025B1 A-623.050A1 A-623.050B1 A-624.050A1 A-624.050B1 A-625.065A1 A-625.065B1 A-627.075A1 A-627.075B1 Tolerance 駆動軸 θZ θZ θZ θZ θZ θZ θZ θZ θZ θZ θZ θZ 回転レンジ 360 ° 360 ° 360 ° 360 ° 360 ° 360 ° 360 ° 360 ° 360 ° 360 ° 360 ° 360 ° 最大速度 , 無負荷時 2500 min-¹ 2500 min-¹ 1200 min-¹ 1200 min-¹ 1200 min-¹ 1200 min-¹ 600 min-¹ 600 min-¹ 500 min-¹ 500 min-¹ 500 min-¹ 500 min-¹ 動作時のリニアクロストーク X ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.087 µm ± 0.087 µm ± 0.087 µm ± 0.087 µm ± 0.05 µm ± 0.05 µm ± 0.05 µm ± 0.05 µm ± 0.037 µm ± 0.037 µm max. 動作時のリニアクロストーク Y ± 0.15 µm ± 0.15 µm ± 0.087 µm ± 0.087 µm ± 0.087 µm ± 0.087 µm ± 0.05 µm ± 0.05 µm ± 0.05 µm ± 0.05 µm ± 0.037 µm ± 0.037 µm max. 動作時のリニアクロストーク Z ± 0.05 µm ± 0.05 µm ± 0.037 µm ± 0.037 µm ± 0.037 µm ± 0.037 µm ± 0.025 µm ± 0.025 µm ± 0.025 µm ± 0.025 µm ± 0.02 µm ± 0.02 µm max. 動作時の回転クロストークθX ± 2.5 µrad ± 2.5 µrad ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad ± 1 µrad ± 1 µrad ± 1 µrad ± 1 µrad ± 0.5 µrad ± 0.5 µrad max. 動作時の回転クロストークθY ± 2.5 µrad ± 2.5 µrad ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad ± 1.5 µrad ± 1 µrad ± 1 µrad ± 1 µrad ± 1 µrad ± 0.5 µrad ± 0.5 µrad max. P 位置決め A-621.025A1 A-621.025B1 A-623.025A1 A-623.025B1 A-623.050A1 A-623.050B1 A-624.050A1 A-624.050B1 A-625.065A1 A-625.065B1 A-627.075A1 A-627.075B1 Tolerance I 内蔵センサー Incremental angle- Absolute angle- Incremental angle- Absolute angle- Incremental angle- Absolute angle- Incremental angle- Absolute angle- Incremental angle- Absolute angle- Incremental angle- Absolute angle- PI M measuring system measuring system measuring system measuring system measuring system measuring system measuring system measuring system measuring system measuring system measuring system measuring system M a 双方向再現性 ± 4 µrad ± 4 µrad ± 4 µrad ± 4 µrad ± 4 µrad ± 4 µrad ± 4 µrad ± 4 µrad ± 4 µrad ± 4 µrad ± 4 µrad ± 4 µrad typ. 位置決め精度 , キャリブレーション後 ± 8 µrad ± 8 µrad ± 8 µrad ± 8 µrad ± 8 µrad ± 8 µrad ± 8 µrad ± 8 µrad ± 8 µrad ± 8 µrad ± 8 µrad ± 8 µrad typ. a g センサー信号 Sin/cos, 1V peak-peak BiSS-C Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C g ® センサー分解能 0.047 nm 0.015 nm 0.024 nm 0.015 nm 0.024 nm 0.015 nm 0.016 nm 0.015 nm 0.012 nm 0.015 nm 0.008 nm 0.015 nm ® シ センサ信号ピッチ 8192 15744 15744 23600 31488 47200 シ リ 回転センサー分解能 0.047 µrad 0.0015 µrad 0.024 µrad 0.0015 µrad 0.016 µrad 0.0015 µrad 0.016 µrad 0.0015 µrad 0.012 µrad 0.0015 µrad 0.008 µrad 0.0015 µrad リファレンススイッチ 1 / revolution, 1 / revolution, 1 / revolution, 1 / revolution, 1 / revolution, one count 1 / revolution, one count 1 / revolution, リ ー differential pulse over differential pulse over differential pulse over differential pulse over over one step of the over one step of the differential pulse over ー ズ one sensor signal one sensor signal one sensor signal one sensor signal encoder, synchronized to encoder, synchronized to one sensor signal period, 1 V peak-peak period, 1 V peak-peak period, 1 V peak-peak period, 1 V peak-peak output signal output signal period, 1 V peak-peak ズ ドライブ特性 A-621.025A1 A-621.025B1 A-623.025A1 A-623.025B1 A-623.050A1 A-623.050B1 A-624.050A1 A-624.050B1 A-625.065A1 A-625.065B1 A-627.075A1 A-627.075B1 Tolerance ドライブタイプ Ironless 3-phase Ironless 3-phase Ironless 3-phase Ironless 3-phase Ironless 3-phase Ironless 3-phase Ironless 3-phase Ironless 3-phase Ironless 3-phase Ironless 3-phase Ironless 3-phase Ironless 3-phase Tolerance torque motor torque motor torque motor torque motor torque motor torque motor torque motor torque motor torque motor torque motor torque motor torque motor 定格電圧 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V 48 V ピーク電圧 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 80 V 定格電流 , RMS 3.3 A 3.3 A 3.1 A 3.1 A 3.1 A 3.1 A 2.3 A 2.3 A 2.3 A 2.3 A 4.5 A 4.5 A typ. ピーク電流 , RMS 9.9 A 9.9 A 9.3 A 9.3 A 9.3 A 9.3 A 6.9 A 6.9 A 6.9 A 6.9 A 13.9 A 13.9 A typ. 駆動トルク CCW 0.07 N·m 0.07 N·m 0.7 N·m 0.7 N·m 0.7 N·m 0.7 N·m 1.57 N·m 1.57 N·m 1.57 N·m 1.57 N·m 2.82 N·m 2.82 N·m max. 駆動トルク CW 0.07 N·m 0.07 N·m 0.7 N·m 0.7 N·m 0.7 N·m 0.7 N·m 1.57 N·m 1.57 N·m 1.57 N·m 1.57 N·m 2.82 N·m 2.82 N·m max. ピークトルク CCW 0.21 N·m 0.21 N·m 2.1 N·m 2.1 N·m 2.1 N·m 2.1 N·m 4.71 N·m 4.71 N·m 4.71 N·m 4.71 N·m 8.46 N·m 8.46 N·m max. ピークトルク CW 0.21 N·m 0.21 N·m 2.1 N·m 2.1 N·m 2.1 N·m 2.1 N·m 4.71 N·m 4.71 N·m 4.71 N·m 4.71 N·m 8.46 N·m 8.46 N·m max. トルク定数 0.03 N·m/A 0.03 N·m/A 0.26 N·m/A 0.26 N·m/A 0.26 N·m/A 0.26 N·m/A 0.59 N·m/A 0.59 N·m/A 0.59 N·m/A 0.59 N·m/A 0.61 N·m/A 0.61 N·m/A typ. 抵抗値 phase-phase 2.7 Ω 2.7 Ω 4.2 Ω 4.2 Ω 4.2 Ω 4.2 Ω 6.7 Ω 6.7 Ω 6.7 Ω 6.7 Ω 4.5 Ω 4.5 Ω typ. インダクタンス phase-phase 0.1 mH 0.1 mH 0.4 mH 0.4 mH 0.4 mH 0.4 mH 0.9 mH 0.9 mH 0.9 mH 0.9 mH 0.6 mH 0.6 mH Back EMF, phase-phase, rotational 4.1 V/kRPM 4.1 V/kRPM 31.8 V/kRPM 31.8 V/kRPM 31.8 V/kRPM 31.8 V/kRPM 71 V/kRPM 71 V/kRPM 71 V/kRPM 71 V/kRPM 74 V/kRPM 74 V/kRPM max. Number of pole pairs 6 6 14 14 14 14 24 24 24 24 32 32 機械特性 A-621.025A1 A-621.025B1 A-623.025A1 A-623.025B1 A-623.050A1 A-623.050B1 A-624.050A1 A-624.050B1 A-625.065A1 A-625.065B1 A-627.075A1 A-627.075B1 Tolerance ベアリングタイプ Air bearings with air Air bearings with air Air bearings with air Air bearings with air Air bearings with air Air bearings with air Air bearings with air Air bearings with air Air bearings with air Air bearings with air Air bearings with air Air bearings with air Tolerance preload preload preload preload preload preload preload preload preload preload preload preload P ジャーナル長 25 mm 25 mm 25 mm 25 mm 50 mm 50 mm 50 mm 50 mm 65 mm 65 mm 75 mm 75 mm P I 剛性 X 8 N/µm 8 N/µm 18 N/µm 18 N/µm 35 N/µm 35 N/µm 64 N/µm 64 N/µm 110 N/µm 110 N/µm 204 N/µm 204 N/µm I g 剛性 Y 8 N/µm 8 N/µm 18 N/µm 18 N/µm 35 N/µm 35 N/µm 64 N/µm 64 N/µm 110 N/µm 110 N/µm 204 N/µm 204 N/µm 剛性 Z 26 N/µm 26 N/µm 96 N/µm 96 N/µm 96 N/µm 96 N/µm 210 N/µm 210 N/µm 385 N/µm 385 N/µm 788 N/µm 788 N/µm g I 可動質量 , 無負荷時 400 g 400 g 1200 g 1200 g 1400 g 1400 g 3200 g 3200 g 6900 g 6900 g 21500 g 21500 g ±5 % I i 慣性力 , 無負荷時 117 kg·mm² 117 kg·mm² 1740 kg·mm² 1740 kg·mm² 1780 kg·mm² 1780 kg·mm² 9930 kg·mm² 9930 kg·mm² 31730 kg·mm² 31730 kg·mm² 195200 kg·mm² 195200 kg·mm² ±20% X 軸への最大押力 57 N 57 N 115 N 115 N 229 N 229 N 344 N 344 N 577 N 577 N 1203 N i d 1203 N max. e Y 軸への最大押力 57 N 57 N 115 N 115 N 229 N 229 N 344 N 344 N 577 N 577 N 1203 N 1203 N max. dZ 軸への最大押力 134 N 134 N 536 N 536 N 536 N 536 N 1206 N 1206 N 2144 N 2144 N 4244 N 4244 N max. e エ X 軸への最大引力 57 N 57 N 115 N 115 N 229 N 229 N 344 N 344 N 577 N 577 N 1203 N 1203 N max. Y 軸への最大引力 57 N 57 N 115 N 115 N 229 N 229 N 344 N 344 N 577 N 577 N 1203 N 1203 N max. エ ア Z 軸への最大引力 134 N 134 N 536 N 536 N 536 N 536 N 1206 N 1206 N 2144 N 2144 N 4244 N 4244 N max. ア ベ 許容トルク θx 0.57 N·m 0.57 N·m 1.7 N·m 1.7 N·m 4.52 N·m 4.52 N·m 22.6 N·m 22.6 N·m 39.6 N·m 39.6 N·m 141.3 N·m 141.3 N·m max. 許容トルク θY 0.57 N·m 0.57 N·m 1.7 N·m 1.7 N·m 4.52 N·m 4.52 N·m 22.6 N·m 22.6 N·m 39.6 N·m 39.6 N·m 141.3 N·m 141.3 N·m max. ベ ア 全体質量 1200 g 1200 g 3100 g 3100 g 4500 g 4500 g 8600 g 8600 g 14000 g 14000 g 50000 g 50000 g ±5 % ア リ 材質 Aluminum, stainless steel Aluminum, stainless steel Aluminum, stainless steel Aluminum, stainless steel Aluminum, stainless steel Aluminum, stainless steel Aluminum, stainless steel Aluminum, stainless steel Aluminum, stainless steel Aluminum, stainless steel Aluminum, stainless steel Aluminum, stainless steel その他 A-621.025A1 A-621.025B1 A-623.025A1 A-623.025B1 A-623.050A1 A-623.050B1 A-624.050A1 A-624.050B1 A-625.065A1 A-625.065B1 A-627.075A1 A-627.075B1 Tolerance リ ン コネクタ D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) D-sub 9W4 (m) Tolerance センサーコネクタ D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) D-sub 15-pole (m) ン グ 動作時圧力 515 to 585 kPa 515 to 585 kPa 515 to 585 kPa 515 to 585 kPa 515 to 585 kPa 515 to 585 kPa 515 to 585 kPa 515 to 585 kPa 515 to 585 kPa 515 to 585 kPa 515 to 585 kPa 515 to 585 kPa max. グ シ エア消費量 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min 56 L/min Clean (filtered up to 1.0 Clean (filtered up to 1.0 Clean (filtered up to 1.0 Clean (filtered up to 1.0 Clean (filtered up to 1.0 Clean (filtered up to 1.0 Clean (filtered up to 1.0 Clean (filtered up to 1.0 Clean (filtered up to 1.0 Clean (filtered up to 1.0 Clean (filtered up to 1.0 Clean (filtered up to 1.0 シ リ µm or better)-ISO 8573–1 µm or better)-ISO 8573–1 µm or better)-ISO 8573–1 µm or better)-ISO 8573–1 µm or better)-ISO 8573–1 µm or better)-ISO 8573–1 µm or better)-ISO 8573–1 µm or better)-ISO 8573–1 µm or better)-ISO 8573–1 µm or better)-ISO 8573–1 µm or better)-ISO 8573–1 µm or better)-ISO 8573–1 class1 Oil free-ISO 8573–1 class1 Oil free-ISO 8573–1 class1 Oil free-ISO 8573–1 class1 Oil free-ISO 8573–1 class1 Oil free-ISO 8573–1 class1 Oil free-ISO 8573–1 class1 Oil free-ISO 8573–1 class1 Oil free-ISO 8573–1 class1 Oil free-ISO 8573–1 class1 Oil free-ISO 8573–1 class1 Oil free-ISO 8573–1 リ ー class1 Oil free-ISO 8573–1 class1 Dry (-15℃ dew point) class1 Dry (-15℃ dew point) class1 Dry (-15℃ dew point) class1 Dry (-15℃ dew point) class1 Dry (-15℃ dew point) class1 Dry (-15℃ dew point) class1 Dry (-15℃ dew point) class1 Dry (-15℃ dew point) class1 Dry (-15℃ dew point) class1 Dry (-15℃ dew point) class1 Dry (-15℃ dew point) class1 Dry (-15℃ dew point) ー ズ - ISO 8573–1 class3 - ISO 8573–1 class3 - ISO 8573–1 class3 - ISO 8573–1 class3 - ISO 8573–1 class3 - ISO 8573–1 class3 - ISO 8573–1 class3 - ISO 8573–1 class3 - ISO 8573–1 class3 - ISO 8573–1 class3 - ISO 8573–1 class3 - ISO 8573–1 class3 ズ 推奨コントローラ /ドライバ A-81x, A-82x A-81x, A-82x A-81x, A-82x A-81x, A-82x A-81x, A-82x A-81x, A-82x A-81x, A-82x A-81x, A-82x A-81x, A-82x A-81x, A-82x A-81x, A-82x A-81x, A-82x 動作温度範囲 15 to 25 °C 15 to 25 °C 15 to 25 °C 15 to 25 °C 15 to 25 °C 15 to 25 °C 15 to 25 °C 15 to 25 °C 15 to 25 °C 15 to 25 °C 15 to 25 °C 15 to 25 °C 048 049

A-60x 回転エアベアリングモジュール ■ 動作部直径 50mm ～ 300mm ■ 最大負荷容量 425 kg ■ 偏心 / 平坦度 <200 nm ■ 垂直または水平に設置可能 PI PI M M a a g g ® ® シ モデル シ リ A-60x.xxx 回転エアベアリングモジュール A-60x.xxxB 回転エアベアリングモジュール , アブソリュートエンコーダー付 リ ー A-60x.xxxH 回転エアベアリングモジュール , インクリメンタル回転エンコーダ付 A-60x.xxxM 回転エアベアリングモジュール , 取付ベース付 ー ズ ズ A-65x 半球状エアベアリングモジュール ■ クリーンルーム対応 ■ 低慣性、3 軸回転可能 ■ 直径：最大 300mm ■ 耐荷重：～ 635 kg、チップ / チルトレンジ：～ ±45° ■ 動作圧力：30 psi ～ 90 psi（207 kPa ～ 621 kPa） ■ 人工衛星の制御や無重力状態のシミュレーションに最適 P P I I g g I I i i de de エ A-142 エ ア ボイスコイル駆動小型エアベアリングリニアステージ ア ベ ベ ア ア リ ■ 最大速度：450mm/s リ ン ■ 最大加速度：20m/s2 ン グ ■ リニアエンコーダー分解能：5nm グ シ ■ コンパクト設計：75×80x27mm ■ 動作レンジ：10mm シ リ ■ 耐荷重：3kg リ ー ■ 真直度 / 平坦度：±0.1µm / ± 0.5µm ー ズ ズ 050 051