PIHeraピエゾリニアステージP-620.1～P-629.1

PIHeraピエゾリニア精密ポジショナー 多様なトラベルレンジと軸構成 P-620.1 – P-629.1  トラベルレンジ50~1800μｍ  分解能 ～0.1nm  リニアリティエラー 0.02 %  X, XY, Z バージョン; XYZコンビネーション可能  真空対応可 10-9hPa 応用分野  干渉計  顕微鏡検査  ナノポジショニング  バイオテクノロジー  テストアプリケーション  半導体テクノロジー  フォトニクス  ファイバー調整 ピエゾアクチュエータによる優れた寿命 特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による 湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を 提供。1000億回のサイクルが実証されています。 静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。 優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅（kHz）を保証します ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、 衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します 08.06.2018

ダイレクト計測による最大精度 モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定され ます。 これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。 高度な真空アプリケーションに適しています ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。 動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率 仕様 P-620.1CD P-621.1CD P-622.1CD P-625.1CD P-628.1CD P-629.1CD 単位 公差 P-620.1CL P-621.1CL P-622.1CL P-625.1CL P-628.1CL P-629.1CL 駆動軸 X X X X X X P-620.1CD P-621.1CD P-622.1CD P-625.1CD P-628.1CD P-629.1CD 動作および位置決め 単位 公差 P-620.1CL P-621.1CL P-622.1CL P-625.1CL P-628.1CL P-629.1CL 内蔵センサー 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 トラベルレンジ(- +20 % / 20~120 V)オープンルー 60 120 300 600 950 1800 µm -0 % プ時 トラベルレンジ（クロー 50 100 250 500 800 1500 µm ズドループ時） 分解能 クローズドループ/オー 0.2 / 0.1 0.4 / 0.2 0.7 / 0.4 1.4 / 0.5 1.8 / 0.5 3 / 2 nm 標準 プンループ リニアリティエラー(ク 0.02 0.02 0.02 0.03 0.03* 0.03** % 標準 ローズドループ時） 再現性 ±1 ±1 ±1 ±5 ±10 ±14 nm 標準 ピッチング / ヨーイング ±3 ±3 ±3 ±6 ±6 ±30 / ±10 µrad 標準 P-620.1CD P-621.1CD P-622.1CD P-625.1CD P-628.1CD P-629.1CD 機械特性 単位 公差 P-620.1CL P-621.1CL P-622.1CL P-625.1CL P-628.1CL P-629.1CL 動作方向の剛性 0.42 0.35 0.2 0.1 0.12 0.13 N/µm ±20 % 無負荷時共振周波数 1100 800 400 215 125 125 Hz ±20 % 20 g負荷時の共振周波数 550 520 340 180 115 120 Hz ±20 % 120 g負荷時の共振周波 260 240 185 110 90 110 Hz ±20 % 数 動作方向でのプッシュ/ 10 10 10 10 10 10 N 最大 プルフォース 負荷容量 10 10 10 10 10 10 N 最大 ラテラルフォース 10 10 10 10 10 8 N 最大 P-620.1CD P-621.1CD P-622.1CD P-625.1CD P-628.1CD P-629.1CD 駆動特性 単位 公差 P-620.1CL P-621.1CL P-622.1CL P-625.1CL P-628.1CL P-629.1CL ピエゾセラミック PICMAP-883 PICMAP-885 PICMAP-885 PICMAP-885 PICMAP-887 PICMAP-888 静電容量 0.35 1.5 3.1 6.2 19 52 µF ±20 % 08.06.2018

P-620.1CD P-621.1CD P-622.1CD P-625.1CD P-628.1CD P-629.1CD その他 単位 公差 P-620.1CL P-621.1CL P-622.1CL P-625.1CL P-628.1CL P-629.1CL 動作温度範囲 -20～80 -20～80 -20～80 -20～80 -20～80 -20～80 °C アルミニウ アルミニウ アルミニウ アルミニウ アルミニウ アルミニウ 材料 ム ム ム ム ム ム 30 mmx30 m 40 mmx40 m 50 mmx50 m 60 mmx60 m 80 mmx80 m 100 mmx100 寸法 mx12 mm mx15 mm mx15 mm mx15 mm mx17 mm mmx22.5 mm 質量 0.11 0.16 0.2 0.24 0.38 0.72 kg ±5 % ±10m ケーブル長さ 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 1.5 m m CDバージョ CDバージョ CDバージョ CDバージョ CDバージョ CDバージョ ン D-sub 7W2 ン D-sub 7W2 ン D-sub 7W2 ン D-sub 7W2 ン D-sub 7W2 ン D-sub 7W2 センサー/ボルト接続 CLバージョ CLバージョ CLバージョ CLバージョ CLバージョ CLバージョ ン: LEMO ン: LEMO ン: LEMO ン: LEMO ン: LEMO ン: LEMO E-503, E-505, E-503, E-505, E-503, E-505, E-503, E-505, E-503, E-505, E-503, E-505, E-610, E-621, E-610, E-621, E-610, E-621, E-610, E-621, E-610, E-621, E-610, E-621, 推奨コントローラ E-625, E-665, E-625, E-665, E-625, E-665, E-625, E-665, E-625, E-665, E-625, E-665, E-709, E-754 E-709, E-754 E-709, E-754 E-709, E-754 E-709, E-754 E-709, E-754 *デジタルコントローラの場合。アナログコントローラ 0.05 ％。 ** デジタルコントローラの場合。アナログコントローラ 0.08 ％。 PI社圧電ナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。 センサーのないバージョンは、注文番号P-62x.10Lでご購入いただけます。動作温度範囲-20～150 °C。LEMOコネクタ接続。 -9 真空バージョン対応可能。10 hPa。注文番号P-62x.1UD。 すべての仕様は室内温度22℃から±3℃に基づいています。 08.06.2018

図面/画像 P-62x.1CD/.1CL/.10L/.1UD, 寸法: mm 08.06.2018

16bitセンサー分解能のデジタルコントローラ、DDLオプションによるP- 621.1CDの高速スキャニングモーション（コマンドの立ち上がり時間：5ms）。デジタルダイナミックリニアラ イゼーションにより、スキャン時のとらっきぐ誤差はほぼ解消されます。（<20nm）。従来のPIコントローラに 比べて最大三桁改善されます。 注文情報 D-subコネクターバージョン（m） P-620.1CD PIHera精密リニアナノポジショニングシステム、50 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、D-Subコネクタ P-621.1CD PIHera精密リニアナノポジショニングシステム、100 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、D- Subコネクタ P-622.1CD PIHera精密リニアナノポジショニングシステム、250 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、D- Subコネクタ P-625.1CD PIHera精密リニアナノポジショニングシステム、500 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、D- Subコネクタ P-628.1CD PIHera精密リニアナノポジショニングシステム、800 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、D- Subコネクタ P-629.1CD PIHera精密リニアナノポジショニングシステム、1500 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、D- Subコネクタ 08.06.2018

LEMOコネクタ搭載バージョン P-620.1CL PIHera精密リニアナノポジショニングシステム、50 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、LEMOコネクター P-621.1CL PIHera精密リニアナノポジショニングシステム、100 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、LEMOコネクター P-622.1CL PIHera精密リニアナノポジショニングシステム、250 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、LEMOコネクター P-625.1CL PIHera精密リニアナノポジショニングシステム、500 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、LEMOコネクター P-628.1CL PIHera精密リニアナノポジショニングシステム、800 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、LEMOコネクター P-629.1CL PIHera精密リニアナノポジショニングシステム、1500 µm、ダイレクト位置計測、静電容量センサー、LEMOコネクター 位置センサーなしリニアポジショナー P-620.10L PIHera精密リニアナノポジショニングシステム60μmセンサーなしLEMOコネクター P-621.10L PIHera精密リニアナノポジショニングシステム120μmセンサーなしLEMOコネクター P-622.10L PIHera精密リニアナノポジショニングシステム300μm センサーなし LEMOコネクター P-625.10L PIHera精密リニアナノポジショニングシステム 600μm センサーなし LEMOコネクター P-628.10L PIHera精密リニアナノポジショニングシステム 950μm センサーなしLEMOコネクター P-629.10L PIHera精密リニアナノポジショニングシステム 1800μm センサーなし LEMOコネクター リニアポジショナー 真空対応（10-9hPa） P-620.1UD PIHera精密リニアナノポジショニングシステム 50 µm ダイレクト位置計測 静電容量センサー D-Subコネクタ -9 真空対応 10 hPa P-621.1UD PIHera精密リニアナノポジショニングシステム 100 µm ダイレクト位置計測 静電容量センサー D-Subコネクタ -9 真空対応 10 hPa P-622.1UD PIHera精密リニアナノポジショニングシステム 250 µm, ダイレクト位置計測 静電容量センサー D-Subコネクタ -9 真空対応 10 hPa 08.06.2018

P-625.1UD PIHera精密リニアナノポジショニングシステム 500 µm ダイレクト位置計測,静電容量センサー,D- -9 Subコネクタ,真空対応 10 hPa P-628.1UD PIHera精密リニアナノポジショニングシステム 800 µm ダイレクト位置計測,静電容量センサーD- -9 Subコネクタ真空対応 10 hPa P-629.1UD PIHera精密リニアナノポジショニングシステム,1500 µm ダイレクト位置計測 静電容量センサー D-Subコネクタ -9 真空対応 10 hPa 08.06.2018