3軸高精度位置決めピエゾステージ P-561～P-563

PIMarsナノポジショニングステージ ３軸対応可能な高精密ナノポジショニングシステム P-561 • P-562 • P-563  パラレル制御による高速応答時間と多 軸の精密制御  トラベルレンジ300x300x300μm  静電容量センサーによる高リニアリテ ィ  ゼロ点調整、高精度フレクシャガイド システム  比類なきスキャニング平坦度  ハイダイナミクスなXYZバージョンを ご用意。  開口部66 mmx66mm  PICMAピエゾアクチュエータによる優 れた寿命  UHVバージョン10-9hPa 応用分野  顕微鏡のスキャニング  マスク/ウエハー位置決め  干渉計  計測技術  バイオテクノロジー  スキャニングとスクリーニング ピエゾアクチュエータによる優れた寿命 特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による 湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を 提供。1000億回のサイクルが実証されています。 静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能 静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。 優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅（kHz）を保証します ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度 フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、 衝撃や振動に鈍感です。100％真空対応で、広い温度範囲で動作します 02.07.2018

自動構成と高速コンポーネント交換 メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。 すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub- DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る 度このデータを使用します。 平行位置測定によるナノメートル範囲の高いトラッキング精度 すべての自由度は、単一の固定基準に対して測定されます。他軸への望ましくない動作のクロストークは、リアル タイムで（帯域幅に応じて）積極的に補正することができます（アクティブガイド）。ダイナミック操作でも、ナ ノメートルの範囲で高いトラッキング精度が達成可能。 高度な真空アプリケーションに適しています ピエゾシステムで使用されるすべてのコンポーネントは、真空での使用に適しています。 動作に潤滑油やグリースは不要 ポリマーを不使用のピエゾシステムによる低アウトガス率 仕様 P-561.3CD P-562.3CD P-563.3CD P-561.3DD 単位 公差 P-561.3CL P-562.3CL P-563.3CL PIMarsXYZピエゾナノポジショニン 45x45x15直接駆 100 × 100 × 100 200 × 200 × 200 300 × 300 × 300 µm グシステム、クローズドループ 動 動作および位置決め 内蔵センサー 静電容量 静電容量 静電容量 静電容量 +20 % / - オープンループトラベル -20～120V 150 × 150 × 150 300 × 300 × 300 340 × 340 × 340 58 × 58 × 18 µm 0 % 分解能（オープンループ時） 0.2 0.4 0.5 0.1 nm 標準 分解能（クローズドループ時） 0.8 1 2 0.2 nm 標準 リニアリティエラー 0.03 0.03 0.03 0.01* % 標準 再現性X、Y、Z 2 / 2 / 2 2 / 2 / 4 2 / 2 / 4 2 / 2 / 2 nm 標準 ピッチング（X、Y） ±1 ±2 ±2 ±3 µrad 標準 クロストークθX,θY(Z方向へ動作時) ±15 ±20 ±25 ±3 µrad 標準 ヨーイング（X,Y） ±6 ±10 ±10 ±3 µrad 標準 平坦度（X、Y） ±15 ±20 ±25 ±10 nm 標準 クロストーク（X、Y）(Z方向へ動 ±30 ±50 ±50 ±20 nm 標準 作時) 機械特性 無負荷時の共振周波数(X,Y,Z) 190 / 190 / 380 160 / 160 / 315 140 / 140 / 250 920 / 920 / 1050 Hz ±20 % 共振周波数@100g(X,Y,Z) - 145 / 145 / 275 120 / 120 / 215 860 / 860 / 950 Hz ±20 % 共振周波数@330g(X,Y,Z) 140 / 140 / 300 130 / 130 / 195 110 / 110 / 170 500 / 500 / 470 Hz ±20 % 負荷容量 5 5 5 5 kg 最大 駆動特性 PICMAPICMA P- PICMAPICMA P- PICMAPICMA P- PICMAPICMA P- ピエゾセラミック 885 885 885 885(Z) P-888(X,Y) 電気容量（X,Y,Z） 5.2 / 5.2 / 10.4 7.4 / 7.4 / 14.8 7.4 / 7.4 / 14.8 38 / 38 / 6 µF ±20 % その他 動作温度範囲 -20～80 -20～80 -20～80 -20～80 °C 02.07.2018

P-561.3CD P-562.3CD P-563.3CD P-561.3DD 単位 公差 P-561.3CL P-562.3CL P-563.3CL 材料 アルミニウム アルミニウム アルミニウム アルミニウム 質量 1.45 1.45 1.45 1.55 kg ±5 % CDバージョン CDバージョン CDバージョン CDバージョン D-sub25W3(m) D-sub25W3(m) D-sub25W3(m) D-sub25W3(m) センサー/ボルト接続 1.5mケーブル 1.5mケーブル 1.5mケーブル 1.5mケーブル CLバージョン CLバージョン CLバージョン CLバージョン LEMO LEMO LEMO LEMO E-503, E-505, E- E-503, E-505, E- E-503, E-505, E- E-503, E-505, E- 推奨コントローラ 621,E-712 , E-727 621,E-712 , E-727 621,E-712 , E-727 621,E-712 , E-727 * デジタルコントローラ接続時 アナログコントローラで測定した直動式ステージのノンリニアリティは最大0.1％（標準） ** 水平設置時（固定時）. PI社圧電ナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。 すべての仕様は室内温度22℃から±3℃に基づいています。 スーパーインバー チタニウムバージョン対応可能 カスタマイズはお問合せください。 02.07.2018

図面/画像 P-56x.3CD and P-56x.3CL,寸法: mm 02.07.2018

P-561.3DD, 寸法: mm 02.07.2018

P-562.3CD（無負荷）X,Y,Z軸方向に10msのステップとセトリングが可能。 02.07.2018

注文情報 P-561.3CD PIMars XYZナノポジショニングシステムロングトラベルレンジ 100 μmx100 μmx100 μm capacitive sensors 並列計測 D- Subコネクタ P-561.3CL PIMars XYZナノポジショニングシステムロングトラベルレンジ 100 μmx100 μmx100 μm capacitive sensors 並列計測 LEMOコネクター P-561.3DD PIMars ハイダイナミクスXYZナノポジショニングシステム 45 μmx45 μｍx15 μm capacitive sensors 並列計測 D- Subコネクタ 直接駆動 P-562.3CD PIMars XYZナノポジショニングシステムロングトラベルレンジ 200 μmx200 μmx200 μm capacitive sensors 並列計測 D- Subコネクタ P-562.3CL PIMars XYZナノポジショニングシステムロングトラベルレンジ 200 μmx200 μmx200 μm capacitive sensors 並列計測 LEMOコネクター P-563.3CD PIMars XYZナノポジショニングシステムロングトラベルレンジ 300 μmx300 μmx300 μm capacitive sensors 並列計測 D- Subコネクタ P-563.3CL PIMars XYZナノポジショニングシステムロングトラベルレンジ 300 μmx300 μmx300 μm capacitive sensors 並列計測 LEMOコネクター 02.07.2018