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大型対物レンズの高ダイナミックピエゾZスキャナー。静電容量センサーによるダイレクト計測で高リニアリティ、安定性、ダイナミクス実現
P-726 PIFOC(R)ナノフォーカスシステムは、高分解能が求められる今日の顕微鏡アプリケーションで使用されている、開口数の大きい大型対物レンズに対して、高速ステップ時間を提供するために開発されました。
【特徴】
・大型対物レンズの高ダイナミックポジショニング/スキャニング
・共振周波数1120Hz(210g負荷時560Hz)
・標準セットリング時間約6ms
・ストローク100μm
・静電容量センサーによるダイレクト計測で、高リニアリティ、安定性、ダイナミクスを実現
・分解能~0.3nm
・摩擦のない精密フレクシャガイドによりフォーカス安定性アップ
【用途】
・3D画像
・スクリーニング
・オートフォーカスシステム
・顕微鏡
・共焦点顕微鏡
・表面形状解析
・ウェハー検査 など
※詳しくはお問い合わせ、またはカタログをご覧ください。
このカタログについて
ドキュメント名 | PIFOC 高荷重対物レンズスキャナー P-726 |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 858.4Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | ピーアイ・ジャパン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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PIFOC重量物用対物スキャナー
ロングトラベルレンジの重量物用ハイダイナミクススキャニングシステム
P-726
大きな対象物用のハイダイナミクスポ
ジショニングおよびスキャニング
共振周波数 1120 Hz、210
gの対象物は560 Hz
ステップ&整定は約6 ms (設計値)
移動範囲 100μm
静電容量センサーによる最高の直線性
、安定性、制御ダイナミクス
分解能 0.3nm
ゼロ点調整、高精度フレクシャガイド
システム優れた焦点の安定性
応用分野
高分解能顕微鏡
ライトディスク顕微鏡
走査型顕微鏡
3Dイメージング
スクリーニング
干渉計
計測技術
オートフォーカスシステム
バイオテクノロジー
半導体検査
ピエゾアクチュエータによる優れた寿命
特許取得のピエゾアクチュエータはオールセラミックで絶縁されています。これにより、リーク電流の増加による
湿度や故障から保護されます。アクチュエータは、従来のポリマー絶縁アクチュエータよりも最大10倍長い寿命を
提供。1000億回のサイクルが実証されています。
静電容量センサーによるサブナノメートルの分解能
静電容量性センサーはサブナノメートル分解能で接触することなく測定します。
優れた直線性の動き、長期安定性、帯域幅(kHz)を保証します
ゼロ点フレクシャガイドによる高いガイド精度
フレクシャガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑を必要としません。剛性は高負荷容量を可能にし、
衝撃や振動に鈍感です。100%真空対応で、広い温度範囲で動作します
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自動構成と高速コンポーネント交換
メカニクスとコントローラは必要に応じて組み合わせ、素早く交換できます。
すべてのサーボおよび線形化パラメータは、メカニックのSub-
DコネクタのIDチップに格納されます。デジタルコントローラの自動校正機能は、コントローラのスイッチが入る
度このデータを使用します。
ダイレクト計測による最大精度
モーションは、ドライブまたはガイド要素の影響を受けることなく、モーションプラットフォームで直接測定され
ます。 これにより最適な再現性、優れた安定性、堅牢で高速応答の制御が可能になります。
仕様
P-726.1CD 単位 公差
駆動軸 Z
動作および位置決め
内蔵センサー 静電容量/直接測定
トラベルレンジ(クローズドループ時) 100 µm
分解能(クローズドループ時) 0.4 nm 標準
分解能(オープンループ時) 0.3 nm 標準
リニアリティエラー(クローズドループ時
0.02 % 標準
)
再現性 ±3 nm 標準
チルトθX,θY ±5 µrad 標準
クロストークX、Y 50 nm 標準
機械特性
動作方向の剛性 3.4 N/µm ±20 %
無負荷時共振周波数 1120 Hz ±20 %
共振周波数@210g時 560 Hz ±20 %
共振周波数@310g時 480 Hz ±20 %
動作方向でのプッシュ/プルフォース 100 / 50 N 最大
負荷容量 20 N 最大
駆動特性
ピエゾセラミックタイプ PICMA P-885
静電容量 6 µF ±20 %
その他
動作温度範囲 -20~80 °C
材料 アルミニウム、鉄
対物スレッド M32 最大
質量 575 g ±5 %
ケーブル長さ 1.5 m ±10 mm
センサー/ボルト接続 D-sub7W2(m)
推奨コントローラ E-505, E-621, E-625, E-665, E-709, E-754
PI社圧電ナノポジショニングシステムは摩擦がないため、システムの分解能はアンプのノイズと測定技術によってのみ制限されます。
すべての仕様は室内温度22℃から±3℃に基づいています。
カスタマイズはお問合せください。
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図面/画像
QuickLockスレッドアダプター搭載のP-726、寸法: mm
荷重時のP-726の整定挙動
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P-726 PIFOC®のP-726 QuickLockアダプターの立体分解図(納入品目に含まれる取り付け部材)
注文情報
P-726.1CD
ハイダイナミクス PIFOC ピエゾナノフォーカスシステム、100 µm、静電容量センサー
24.10.2018