高分解能ヘキサポッド　H-840G2IHP

6軸駆動　ヘキサポッドステージ Inexpensive and High Precision H-840.G2IHP ▪ 最大20ナノメートルステップ ▪ 最大40 kgの耐荷重 ▪ トラベルレンジ：±50 mm / ±30° ▪ 再現性：±0.1 µm ▪ BLDC モータ ▪ あらゆる方向に動作 H-840.G2IHPは、X、Y方向に40nm、Z方向に20nmのステップで、生産技術や計測技術におけるアライメン トやポジショニングアプリケーションの高い要求に応えることができます。他のH-840ヘキサポッドシリー ズと同様に、デザインとレイアウトは堅牢で、長い動作範囲を提供し、作業の柔軟性を高めています。 出荷時には、ステップサイズの測定レポートが添付されます。 　アブソリュートエンコーダ付きやハイダイナミクス用など、その他のバリエーションについては、H-840 のデータシートに記載されています。 　6軸自由度のパラレルキネマティックデザインにより、同等のシリアルキネマティックシステムと比較し て、大幅にコンパクトで剛性の高いシステムとなっています。シリアル（スタック）システムと比較した場 合の利点は、主に軌跡精度と再現性が非常に優れていることです。加えて、移動質量が少ないため、ダイナ ミクス性能が向上し、すべての動作軸で同じです。また、ケーブルが動かないため、ケーブルマネジメント も問題ありません。 ブラシレスDCモーター（BLDC）の使用について ブラシレスDCモーターは、特に高速回転に適しています。精度の高い制御が可能で、高い精度が得られます。 また、摺動接点がないため、滑らかな回転が得られ、摩耗がなく、長寿命です。 PIヘキサポッドシミュレーションツール このシミュレーションソフトウェアは、ヘキサポッドの作業スペースや耐荷重の限界をシミュレートするもの です。そのため、購入前に、特定のヘキサポッドモデルがアプリケーションで発生する荷重、力、およびトル クを処理できるかどうかを確認することができます。この目的のために、シミュレーションツールは、ヘキサ ポッドの位置と動き、ピボットポイント、およびいくつかの参照座標系を考慮できます。 アプリケーション分野 研究および産業。ツール検査、ライフサイエンス、マイクロマニュファクチャリング、マイクロマニピュレー ション、工業用アライメントシステム。光学部品の組み立てやアライメント、検査。 10.12.2020

Specifications Tole- Motion and positioning H-840.G2IHP Unit rance BLDC gear motor with incremental rotary encoder Active axes X, Y, Z, θX, θY, θZ Travel range* X, Y ±50 mm Travel range* Z ±25 mm Travel range* θX, θY ±15 ° Travel range* θZ ±30 ° Minimum incremental motion X, Y 40 nm Typ. Minimum incremental motion Z 20 nm Typ. Minimum incremental motion θX, θY 0.2 µrad Typ. Minimum incremental motion θZ 0.4 µrad Typ. Backlash in X, Y 2 µm Typ. Backlash in Z 0.3 µm Typ. Backlash in θX, θY 5 µrad Typ. Backlash in θZ 10 µrad Typ. Repeatability X, Y ±0.3 µm Typ. Repeatability in Z ±0.1 µm Typ. Repeatability in θX, θY ±2.5 µrad Typ. Repeatability in θZ ±3 µrad Typ. Tole- Dynamic properties H-840.G2IHP Unit rance Max. velocity in X, Y, Z 2.5 mm/s Max. velocity in θX, θY, θZ 30 mrad/s Typ. Velocity in X, Y, Z 2 mm/s Typ. Velocity in θX, θY, θZ 25 mrad/s Tole- Mechanical properties H-840.G2IHP Unit rance Load capacity (horizontal base plate / 40 / 15 kg Max. any orientation) Holding force, power off (horizontal 100 / 25 N Max. base plate / any orientation) 10.12.2020

Tole- Miscellaneous H-840.G2IHP Unit rance Operating temperature range -10 to 50 °C Material Aluminum / steel Mass 12 kg ±10 % Technical data specified at 22±3 °C. * The travel ranges of the individual coordinates (X, Y, Z, θX, θY, θZ) are interdependent. The data for each axis in this table shows its maximum travel range, where all other axes and the pivot point are at the reference position. Connecting cables are not in the scope of delivery and must be ordered separately. Ask about customized versions. 10.12.2020

Drawings / Images H-840.G2IHP, dimensions in mm. Note that a comma is used in the drawings instead of a decimal point. 10.12.2020

Maximum loads on the H-840.G2IHP when mounted horizontally Maximum loads on the H-840.G2IHP when mounted vertically 10.12.2020

Maximum loads on the H-840.G2IHP when mounted at the most unfavorable angle Maximum permissible force acting on the H-840.G2IHP when mounted horizontally Ordering Information H-840.G2IHP High-precision hexapod microrobot, minimum incremental motion X,Y 40 nm, minimum incremental motion Z 20 nm, minimum incremental motion θX, θY 0.2 µrad, minimum incremental motion θZ, 0.4 µrad, measurement report included in the scope of delivery, brushless DC gear motor, incremental rotary encoder, 40 kg load capacity, 2.5 mm/s velocity. Connecting cables are not in the scope of delivery and must be ordered separately. 10.12.2020

C-815.82D03 Data transmission cable for hexapods, drag-chain compatible, HD D-sub 78 m/f, 3 m C-815.82P03A Power supply cable for hexapods, drag-chain compatible, M12 m/f angled, 3 m Data transmission cables in other lengths C-815.82D02 Data transmission cable for hexapods, drag-chain compatible, HD D-sub 78 m/f, 2 m C-815.82D05 Data transmission cable for hexapods, drag-chain compatible, HD D-sub 78 m/f, 5 m C-815.82D07 Data transmission cable for hexapods, drag-chain compatible, HD D-sub 78 m/f, 7.5 m C-815.82D10 Data transmission cable for hexapods, drag-chain compatible, HD D-sub 78 m/f, 10 m C-815.82D20 Data transmission cable for hexapods, drag-chain compatible, HD D-sub 78 m/f, 20 m Power supply cables in other lengths C-815.82P02A Power supply cable for hexapods, drag-chain compatible, M12 m/f angled, 2 m C-815.82P05A Power supply cable for hexapods, drag-chain compatible, M12 m/f angled, 5 m C-815.82P07A Power supply cable for hexapods, drag-chain compatible, M12 m/f angled, 7.5 m C-815.82P10A Power supply cable for hexapods, drag-chain compatible, M12 m/f angled, 10 m C-815.82P20A Power supply cable for hexapods, drag-chain compatible, M12 m/f angled, 20 m 10.12.2020