ピエゾベースの対物フォーカスドライブシリーズ

2光子（3光子）蛍光顕微鏡 デジタルスライドスキャン ウェーハ検査 P-725 PIFOC® PORTFOLIO ピエゾベースの対物フォーカスドライブシリーズ W W W. P I . W S

包括的に改善: PIFOC® 対物レンズフォーカスドライブ 大きな移動範囲、高ダイナミクス、容易な操作性 から までのトラベルレンジ どんなアプリケーションにも最適なソリューション ライフサイエンス、材料顕微鏡、品質保証、半導 体製造など、様々な用途において、対物レンズの トラベルレンジ ステップ 最小移動動作量 共振周波数 推奨 取付 備考 コントローラ インターフェース 垂直方向の位置決めシステムは、ますます重要な 負荷 役割を果たしています。ピエゾを用いたレバー増 幅型の垂直軸は、約20年前からこの課題に対する 標準的なソリューションとして証明されていま す。PIのコンパクトなPIFOC®対物ポジショナーの 幅広いポートフォリオは、このたび完全に再設計 されました。この再設計では、より高い動特 性、800 µmまでの移動範囲、そして使いやすさ の向上を目指しました。その結果、これまで以上 に強力な製品群となり、ほぼすべてのアプリケー ユーザビリティ＆サービス ションに最適なソリューションを提供できるよう になりました。 容易な組込み スレッドアダプター用シンプルクランプリング PIは、PIFOC®をレボルバノーズピースに取り付け る最も一般的な使用方法向けに、すべての必要な アクセサリーを提供します。クランプリングの開 口部は、M34までの対物レンズに十分な大きさで す。異なるサイズの対物レンズ用のネジ式アダプ ターは、クランプリングにトルクスネジで固定さ れています。さらに、PIFOC®はプラットフォー ム・アセンブリに柔軟に組み込むことができま す。この目的のために、許容されたインター フェースがベースボディに配置されています。 4 W W W. P I . W S

主なメリットと 使いやすさの向上 大きな移動範囲、高ダイナミクス、容易な操作性 This Is what Makes the Difference から までのトラベルレンジ どんなアプリケーションにも最適なソリューション For Better Work Results トラベルレンジ 新レバーデザインのピエゾドライブ ステップ 最小移動動作量 共振周波数 推奨 取付 備考 負荷 コントローラ インターフェース 最大800 µmの移動範囲 ショートデータ取得時間/高速スキャ ンによる高い生産性 高い共振周波数と短いセトリングタ イムなどの高い動特性 柔軟性の高いケーブルで狭い曲げ半径 正確な動作と位置決めによる信頼性 にも対応／許容範囲の広いネジ付きイ の高いパフォーマンス ンターフェースでプラットフォームへ も対応 ユーザビリティ＆サービス 新しいストレインリリーフと柔軟性の 高いケーブルにより、簡単な操作性を 実現 クランプの断面がフラットなため、Z方 向の焦点移動の制限が少ない 適合するスペーサーにより、倍率を変 更しても常に適切な焦点距離が得られ 新開発のストレインリリーフで堅牢性 る と耐久性を確保 磨耗がない：摩耗のないレバー増幅型 ピエゾドライブにより、24時間365日 の稼働が可能 スレッドアダプター用シンプルクランプリング 短納期 エンジニアリングとアプリケー ションの専門家によるサポート 狭い設置場所でも使用できるフラットな 断面のクランプ 同一焦点距離のためのマッチングスペー サー / スリムな断面形状によりレンズマ ウントを隣接して使用可能 5 M O T I O N | P O S I T I O N I N G

充実した機能と圧倒的な 製品群をご提供 大きな移動範囲、高ダイナミクス、容易な操作性 ≤ 18 μm から 7 mmまでのトラベルレンジ: どんなアプリケーションにも最適なソリューション トラベルレンジ Step&Settle (10% ステップ, 最小移動動作量 共振周波数 推奨 取付 備考 負荷 コントローラ インターフェース 150 g ) (@ 150 g) Objective thread ≤ 18 μm 5 ms 0,6 nm 450 Hz E-709.1C1L adapter / Shortest (@ 200 g) E-754.1CD* Threads & settling times location holes P-725.CDD in base body 560 Hz E-709.1C1L Objective 100 μm 6 ms 1 nm thread For highload ユーザビリティ＆サービス (@ 200 g) E-754.1CD* adapter objectives P-726.1CD Objective thread E-709.1C1L adapter / NEW: higher NEW 100 μm 14 ms 1 nm 290 Hz stiffness & E-754.1CD* Threads & improved location holes usability P-725.1CDE2 in base body Objective thread NEW E-709.1C1L adapter / NEW: higher 400 μm 22 ms 4 nm 175 Hz stiffness & スレッドアダプター用シンプルクランプリング E-754.1CD* Threads & improved location holes usability P-725.4CDE2 in base body Objective thread NEW E-709.1C1L adapter / 800 μm 39 ms 5 nm 110 Hz NEW: long E-754.1CD* Threads & travel location holes P-725.8CDE2 in base body E-861.1A1 Objective Self-locking 2.000 μm 145 ms 5 nm n.a. (included in scope of thread at rest due to NEXACT® delivery) adapter technology ND72Z2LAQ C-414 Through- <15 ms G-910 holes for Adjustable 7.000 μm (100nm; 10 nm n.a. ACS SPiiPlus + mounting weight force +-15nm) NPMpm (NanoPWM on flat compensation to 1 kg incl.) surfaces V-308 6 M O T I OWN W |W .PPOI S. WI TSI O N I N G * For special high performance requirements

顕微鏡と産業アプリケーション What is your Application? 2光子（3光子）蛍光顕微鏡 2光子または3光子蛍光顕微鏡では、2つの光子が組織深部の 可視蛍光を赤外域で励起します。赤外光を利用することで、 より深部まで到達することができるため、フォーカスドライ ブの移動範囲を大きくする必要があります。例えば、細胞の 器官や代謝過程などが調べられ、ユーザーはZ軸のイメージス タックを生成できます。 デジタルスライドスキャン 現在、組織学、病理学、血液学、婦人科学など、顕微鏡によ るスライドのルーチン診断のほとんどは、自動嵌め込み式の スクリーニング装置によって行われています。これらの装置 は、構造化された方法でサンプルスライドを非常に高速でス キャンします。Zフォーカスを調整し、XYスキャン中のサン プルのZ高さの違いに対応するために、Zフォーカスドライブ は、装置のデザインにもよりますが、通常、数百マイクロ メートルから数ミリメートルの移動範囲で迅速かつ正確に調 整しなければなりません。 ウェーハ検査 半導体材料やプロセスの進歩により、半導体デバイスの高集積 化・高密度化が進むと、臨界欠陥サイズは小さくなっていきま す。ウェーハ表面のトポロジーに影響を与える要因はいくつか あります。ウェーハの表面形状に影響を与える要因として は、IC製造時に発生する表面張力や表面粗さなどがあります。 欠陥検査装置は、高品質な表面画像を迅速に得るために、高解 像度で高い動特性を持つことが求められます。そのためには、 ピエゾベースの対物フォーカスドライブシリーズ 高精度で高速なオートフォーカス機能が不可欠です。 W W W. P I . W S

M O T I O N | P O S I T I O N I N G 2光子（3光子）蛍光顕微鏡 Headquarters ACS Motion Control PI Subsidiaries デジタルスライドスキャン GERMANY ISRAEL USA (East) & CANADA USA (West) & MEXICO Physik Instrumente (PI) ACS Motion Control Ltd. PI (Physik Instrumente) L.P. PI (Physik Instrumente) L.P. GmbH & Co. KG Ramat Gabriel Industrial Park Auburn, MA 01501 Irvine, CA 92620 Auf der Roemerstrasse 1 1 Hataasia St. www.pi-usa.us www.pi-usa.us 76228 Karlsruhe Migdal HaEmek, 2307037 Phone +49 721 4846-0 POB 984 USA (San Francisco Bay Area) UK & IRELAND Fax +49 721 4846-1019 Phone +972-4-6546440 PI (Physik Instrumente) L.P. PI (Physik Instrumente) Ltd. info@pi.ws Fax +972-4-6546443 Sausalito, CA 94965 Cranfield, Bedford www.pi.ws info@acsmotioncontrol.com www.pi-usa.us www.physikinstrumente.co.uk www.acsmotioncontrol.com PI miCos GmbH ITALY NETHERLANDS Freiburger Strasse 30 79427 Eschbach Physik Instrumente (PI) S. r. l. PI Benelux B.V. Phone +49 7634 5057-0 Bresso Sint-Oedenrode Fax +49 7634 5057-99 www.pionline.it www.pi.ws/benelux info@pimicos.com www.pi.ws FRANCE SPAIN PI France SAS Micos Iberia S.L. PI Ceramic GmbH Aix-en-Provence Vilanova i la Geltrú Lindenstrasse www.pi.ws www.pimicos.es 07589 Lederhose Phone +49 36604 882-0 JAPAN ウェーハ検査 Fax +49 36604 882-4109 info@piceramic.com PI Japan Co., Ltd. PI Japan Co., Ltd. www.piceramic.com Tokyo Osaka www.pi-japan.jp www.pi-japan.jp CHINA © Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG Physik Instrumente Physik Instrumente All contents, including texts, graphics, data etc., as well as their layout, (PI Shanghai) Co., Ltd. (PI Shanghai) Co., Ltd. are subject to copyright and other protective laws. Any copying, modi- Shanghai Beijing fication or redistribution in whole or in parts is subject to a written www.pi-china.cn www.pi-china.cn permission of PI. SOUTHEAST ASIA TAIWAN Although the information in this document has been compiled with ピエゾベースの対物フォーカスドライブシリーズ the greatest care, errors cannot be ruled out completely. Therefore, PI (Physik Instrumente) Physik Instrumente (PI) we cannot guarantee for the information being complete, correct and Singapore LLP Taiwan Ltd. up to date. Illustrations may differ from the original and are not Singapore Taipei binding. PI reserves the right to supplement or change the information www.pi-singapore.sg www.pi-taiwan.com.tw provided without prior notice. For ID / MY / PH / SG / TH / VNM KOREA PI Korea Ltd. Seoul Follow us on: www.pikorea.co.kr W W W. P I . W S BRO77E P-725.xCDE2 PIFOC 06/2021 0.0. Subject to change without notice. © Physik Instrumente (PI) GmbH & Co. KG 2021