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ピエゾの併用でナノオーダーの位置決めが可能!
・複数のI/OおよびDOFを同時に高速アライメント
・並列処理により大域的最適化時間を1/100に短縮
・時間効率に優れたアルゴリズムによりプロセスを0.6秒未満で完了
・一般的なオペレーティングシステムに対応したソフトウェア
製品スペック(一部)
・光ファイバーアライメント用のスキャンルーチンを搭載
・シリコンフォトニクスアプリケーションに好適
・幅広いソフトウェアパッケージ
・光信号を直接検出
・優れた精度と動作信頼性を実現するポジションセンサー
・複数のファイバーを1秒未満で自動アライメント
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このカタログについて
ドキュメント名 | 【シリコンフォトニクス、光学アライメントにお薦め】精密駆動ステージ F-712 |
---|---|
ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 464.4Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | ピーアイ・ジャパン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
Page1
コピ
ンエ F-712
ポゾ
ーア
ネク
ンチ
トュ 高精度ファイバーアライメントシステム
エ
ー
タ
・
高ピ
速エ
スゾ
キフ ■ 光ファイバーアライメント用のスキャン
ャレ
ニク ルーチンを搭載
ンシ
グャ
シス ■ シリコンフォトニクスアプリケーション
ステ
テー に最適
ムジ
/ ■ 幅広いソフトウェアパッケージ
高
速 ■ 光信号を直接検出
ス
テ
ア ■ 優れた精度と動作信頼性を実現する
リ
ン ポジションセンサー
グ
ミ
ラ ■ 複数のファイバーを1秒未満で
ー 自動アライメント
シP
リi
ーe
ズz アプリケーション例
o
W F-712.HA1型 ファイバーアライメントシステム
a ● 光コンポーネントのアライメント
l
k ● 自動ウエハーテスト
● シリコンフォトニクスにおけるアセンブリ
ピ
エ
ゾ
モ
ー
タ
電
動
モ
ー
タ
静
電
容
量
セ
ン
サ
ー
パヘ
ラキ
レサ
ルポ F-712.HU1型 マルチチャンネルフォトニクスアライメントシステム
制ッ
御ド
6
軸
シ
ス
テ
ム
・
モピ
ーエ
タゾ
ーコ
コン
ント
トロ
ロー
ーラ
ラー
ー/
ア
ク
セ
サ
リ
ー
F-712.MA1型 高精密ファイバーアライメントシステム
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コピ
ンエ
ポゾ
ーア
ネク
ンチ
トュ
エ
ー
タ
・
技術データ
高ピ
F-712.HA1 / F-712.HA2 F-712.HU1 F-712.MA1 / F-712.MA2 単位 速エ
スゾ
動作および位置決め キフ
ャレ
粗位置決め ニク
ンシ
駆動軸 X、Y、Z、θX、θY、θZ X、Y、Z、θX、θY、θZ X、Y、Z グャ
シス
X、Y、Z方向トラベルレンジ ±6.5, ±16, ±8.5* ±17, ±16, ±6.5* 25, 25, 25 mm ステ
テー
θX、θY、θZ方向トラベルレンジ ±14.5, ±10, ±10* ±10, ±10, ±21* ‒ ° ムジ
/
最小インクリメンタルモーションX、Y 0.1 0.1 3 μm
最小インクリメンタルモーションZ 0.1 0.05 3 μm 高
速
最大速度 10 20 20 mm/s ス
テ
センサータイプ ロータリーエンコーダ インクリメンタルロータリーエン ア
コーダ ロータリーエンコーダ リ
ガイド ‒ ‒ クロスローラーガイド ン
グ
駆動タイプ ブラシレスDCモータ ブラシレスDCモータ DCモータ ミ
ラ
微細位置決め ー
駆動軸 X、Y、Z X, Y, Z X, Y, Z
X、Y、Z方向クローズドループトラベル 100 100 100 μm シP
リi
最小インクリメンタルモーション、オープンループ 0.3 0.3 0.3 nm ーe
ズz
最小インクリメンタルモーション、クローズドループ 2.5 2.5 2.5 nm o
W
全トラベルレンジに対する直線性誤差** 2 2 2 % a
再現性(双方向)10%トラベルレンジ 2 2 2 nm l
k
センサータイプ インクリメンタル インクリメンタル インクリメンタル
駆動タイプ PICMA® PICMA® PICMA®
アライメント ピ
100μm x 100μm面スキャン時のアライメント時間 エ
(ピーク強度最大偏差 0.02dB)*** <0.5 / <1 <0.5 <0.5 / <1 秒 ゾ
モ
傾斜探索時のアライメント時間、±5μmでランダム化 ー
(再現性 < 0.01dB)*** <0.5 / <1 <0.5 <0.5 / <1 秒 タ
その他
動作温度範囲、メカニクス 0~50 0~50 -20~65 ℃
動作温度範囲、コントローラ 5~40 5~40 5~40 ℃
ケーブル長さ 2 2 3 m
電
動
モ
使用光度計の要件 単位 ー
出力信号 アナログ出力、リニアから対数への変換を推奨 タ
出力電圧範囲、最大 -5~5 V
帯域幅、最小 1 kHz
ノイズレベル、最大 -60 dBm
静
20±3°C時の技術仕様データです。 電
* 各座標(X、Y、Z、θX、θY、θZ)のトラベルレンジは相互依存します。この表に記載されている各軸のデータは、
容
量
その他すべての軸および回転軸が基準位置にあるときの最大トラベルレンジを示しています。 セ
ン
ヘキサポッドのデフォルトの座標系および回転軸座標については、寸法図をご覧ください。回転軸を変更すると、θX、θY、θZ方向のトラベルレンジが減少します。座標系の向きを変更すると(光軸をZ軸にするな サ
ど)、X、Y、およびZ方向のトラベルレンジが変化します。 ー
** 多項式線形化なし
*** 最初の光検出後に全体の最大値に到達
パヘ
ラキ
レサ
ルポ
制ッ
御ド
6
軸
シ
ス
テ
ム
・
モピ
ーエ
タゾ
ーコ
コン
ント
トロ
ロー
ーラ
ラー
ー/
ア
ク
セ
サ
リ
ー
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