大開口　エアベアリング回転ステージ

PIglide RLA 大開口　エアベアリング回転ステージ Friction-free, Motorized A-68x  直径365 mm モーションプラット フォーム、直径260 mm 開口  ロープロファイル  偏芯とフラットネス < 300 nm 製品概要 PIglide RLAシリーズは、ダイレクトドライブ式平坦回転ステージで、最高の精度を実現するために設計されて います。薄型で大きな開口部を持ち、移動精度、平面度、wobble性能を備えています。 3相トルクモータ  ブラシレス  低コギングトルク アブソリュートエンコーダ（オプション) アブソリュートエンコーダは明確な位置情報を提供するため、位置を即座に把握することができます。これ によりスイッチオン時にリファレンス動作をする必要がないため、作業効率と安全性が向上します。 アクセサリーとオプション  インクリメンタルまたはアブソリュートエンコーダ  PIglideフィルターとエア供給キット  単軸または多軸のモーションコントローラとサーボドライブ  多軸/カスタマイズセットアップ  振動低減のグラナイトベースプレートとシステム 応用分野 トモグラフィー、ビームラインシステム、ウェーハ計測、ウェーハ検査、計測技術、検査システム、キャリブ レーション、スキャニング。摩擦のない動きにより、パーティクルが発生しないため、PIglideステージはクリー ンルームでの使用に最適です。 08.04.2020

Specifications Motion A-688 Unit Tolerance Travel range Unlimited, > 360° Motion platform diameter 365 mm Eccentricity (1) 300 nm Max. Flatness (1) 175 nm Max. Wobble (1) 1 μrad Max. Mechanical properties A-688 Unit Tolerance Load capacity, axial (2) 770 N Max. Load capacity, radial (2) 190 N Max. Load torque, M (2) X,Y 36 Nm Max. Moment of inertia 284710 kg·mm² Typ. Moved mass 12 kg Typ. Overall mass 24 kg Typ. Guide type Air Bearing Drive properties A-688 Unit Tolerance Drive type Torque motor, 3-phase, brushless Intermediate circuit voltage 48, nominal 80, max. V DC Peak current 6.9 A Max. Nominal current 3.2 A Max. Peak torque 85 Nm Max. Nominal torque 39 Nm Max. Torque constant 12.3 Nm/A Typ. Resistance phase-phase 3.6 Ω Typ. Inductance phase-phase 1.24 mH Typ. Back EMF phase-phase 10.1 V/kRPM Typ. Positioning A-688.A100 A-688.B100 Integrated sensor Incremental angle-measuring system Absolute angle-measuring system Sensor signal Sin/cos, 1 V peak-peak BiSS-C Lines/revolution 55040 – Velocity (3) 500 rpm max. 500 rpm max. Sensor resolution 0.03 µrad (4) 0.0015 µrad Bidirectional repeatability ± 4 µrad ± 4 µrad Accuracy, with error compensation (5) ± 8 µrad ± 8 µrad Reference switch 1 / revolution, differential pulse over one sensor signal period, 1 V peak-peak – 08.04.2020

Miscellaneous A-688 Operating pressure (6) 75 to 85 psi (515 to 585 kPa) Air consumption < 2 SCFM (56 SLPM) Clean (filtered to 1.0 μm or better) - ISO 8573-1 Class 1 Air quality Oil free - ISO 8573-1 Class 1 Dry (-15 °C dew point) - ISO 8573-1 Class 3 Materials Hardcoat aluminum, stainless steel mounting hardware (1) Dependent on the quality of the underlying surface, the payload, orientation, and forces that act on the stage from the outside. Please contact PI for application-specific parameters. The specified values are static (no rotary motion during measuring) and without load. (2) The loads listed assume a supply pressure of 550 kPa (80 psi). Please contact PI if other pressures are required. (3) May be limited by the payload, payload imbalance, controller or drive. (4) Assumes 4096x interpolation. Contact PI for the use of other factors. (5) The specified values are based on error compensation controlled by the controller. The stage must be ordered with an A-8xx series controller from PI to reach these values. Accuracy values assume short duration and do not consider the long-term effects of thermal drift on the stage. (6) To protect the stage against damage, it is recommended to connect an air pressure sensor to the Motion-Stop input of the controller. Ask about customized versions. Drawings / Images A-688, dimensions in mm 08.04.2020

Ordering Information A-688.A100 PIglide RLA rotation stage, air bearing, 365 mm motion platform diameter, 260 mm diameter aperture, low profile, incremental angle measuring system with sin/cos signal transmission, brushless 3-phase torque motor A-688.B100 PIglide RLA rotation stage, air bearing, 365 mm motion platform diameter, 260 mm diameter aperture, low profile, absolute angle-measuring system with BiSS-C signal transmission, brushless 3-phase torque motor 08.04.2020