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顕微鏡対物レンズ用高精度ポジショナー&スキャナー
・最大動作量 100µm、400µm、800μmの3タイプ
・モータードライブよりも大幅に速い応答性と長寿命
・サブナノメートルの分解能での対物レンズの微細な位置決め
・静電容量式センサーによる直接位置測定: 最高の直線性
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このカタログについて
ドキュメント名 | 長距離動作のPIFOC対物レンズスキャナー |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 1.5Mb |
取り扱い企業 | ピーアイ・ジャパン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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長距離動作のPIFOC対物レンズスキャナー
顕微鏡対物レンズ用高精度ポジショナー&スキャナー
P-725.xCDE2
・最大800μmの移動範囲
・モータードライブよりも大幅に速い応答性と長寿命
・サブナノメートルの分解能での対物レンズの微細な
位置決め
・静電容量式センサーによる直接位置測定: 最高の直
線性
・Metamorph®イメージングソフトウェアとの互換性
・Ø 29 mmの大きな開口部
Application fields
・超解像度顕微鏡
・ライトディスク顕微鏡
・共焦点顕微鏡
・2光子顕微鏡
・3Dイメージング
・スクリーニング
・インターフェロメトリー
・計測技術
・オートフォーカスシステム
・バイオテクノロジー
・半導体検査
PICMA® ピエゾアクチュエーターによる優れた寿命
特許取得済みのPICMA®ピエゾアクチュエーターは、オールセラミックで絶縁されています。これにより、湿気や
リーク電流の増加による故障からアクチュエータを保護します。PICMA®アクチュエータは、従来のポリマー絶縁
されたアクチュエータと比較して、最大で10倍の寿命を実現します。1,000億サイクルで一度も故障していないこ
とが証明されています。
静電容量式センサーによるサブナノメートルの分解能
静電容量式センサーは、非接触でサブナノメートル分解能で測定します。優れた直線性、長期安定性、kHz帯の帯
域幅を保証します。
遊びのないフレクシャーガイドによる高いガイド精度
フレクシャーガイドは、メンテナンス、摩擦、摩耗がなく、潤滑も必要ありません。剛性が高いため高負荷に対応
でき、衝撃や振動にも強く、広い温度範囲で使用できます。
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Motion Unit Toleran-
ce P-725.1CDE2 P-725.4CDE2 P-725.8CDE2
Active axes Z Z Z
Travel range in Z µm +20 / -0
% 100 400 800
Travel range in Z, open
loop µm ±20% 120 420 840
Linearity error in Z % 0.01 0.01 0.02
Flatness (Linear crosstalk
in X with motion in Z) nm Typ.
Straightness (Linear cros-
stalk in Y with motion in Z) nm Typ.
Yaw (Rotational crosstalk
in θX with motion in Z) µrad ± 10 ± 10 ± 50
Pitch (Rotational crosstalk
in θY with motion in Z) µrad ± 10 ± 45 ± 50
Roll (Rotational crosstalk
in θZ with motion in Z) µrad Typ.
___
Positioning Unit Toleran-
ce P-725.1CDE2 P-725.4CDE2 P-725.8CDE2
Integrated sensor Capacitive, direct position measu- Capacitive, direct position measu- Capacitive, direct position measu-
ring ring ring
System resolution in Z nm
Resolution in Z, open loop nm Typ. 0.1 0.1 0.4
Unidirectional repeatabili-
ty in Z µm Typ.
Bidirectional repeatability
in Z nm Typ.
Point repeatabilitiy, 10%
step, 1 sigma nm 10 10 50
Minimum incremental
motion in Z nm 1 4 5
Settling time for 10% step
in Z ms ±10 % 14 22 39
Position noise in Z nm Max. 0.1 0.1 0.4
Sensor noise, 1 sigma nm 0.2 0.2 0.8
___
Drive Properties Unit Toleran-
ce P-725.1CDE2 P-725.4CDE2 P-725.8CDE2
Drive type PICMA® PICMA® PICMA®
Electrical capacitance in Z µF ±20% 3.2 6.4 12.8
Operating frequency Hz
___
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Mechanical Properties Unit Toleran-
ce P-725.1CDE2 P-725.4CDE2 P-725.8CDE2
Guide Flexure guide with lever amplifica- Flexure guide with lever amplifica- Flexure guide with lever amplifica-
tion tion tion
Stiffness in Z N/µm ±20 % 0.5 0.25 0.07
Resonant frequency in Z,
under load with 150 g Hz ±20% 290 175 110
Resonant frequency in Z,
unloaded Hz ±20% 680 400 230
Mechanical interface
Objective diameter mm Max. 39 39 39
Permissible push force in
X N Max.
Permissible push force in
Y N Max.
Permissible push force in
Z N Max. 100 100 100
Permissible pull force in X N Max.
Permissible pull force in Y N Max.
Permissible pull force in Z N Max. 20 20 20
Permissible torque in θx N·m Max.
Permissible torque in θY N·m Max.
Permissible torque in θZ N·m Max.
Overall mass g ±5 % 280 280 350
Mass without cable g
Material Stainless steel, aluminum Stainless steel, aluminum Stainless steel, aluminum
___
Miscellaneous Unit Toleran-
ce P-725.1CDE2 P-725.4CDE2 P-725.8CDE2
Connector D-sub 7W2 (m) D-sub 7W2 (m) D-sub 7W2 (m)
Sensor connector
Vacuum class hPa
E-709.1C1L - economic choice, sui- E-709.1C1L - economic choice, sui- E-709.1C1L - economic choice, sui-
Recommended controllers table for most use cases; table for most use cases; table for most use cases;
/ drivers E-754.1CD - high performance choi- E-754.1CD - high performance choi- E-754.1CD - high performance choi-
ce for highest precision ce for highest precision ce for highest precision
Cable length m +50 / -0
mm 1.5 1.5 1.5
Operating temperature
range °C 10 to 70 10 to 70 10 to 70
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Position noise: 1 sigma
Settling time: 1 % error band, 150 g load
The objective is not included in the scope of delivery.
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Fast step-and-settle: Due to its stiff design, the P-725.1CDE2 PIFOC can make a 10-µm step with an error band of 1% in only 14 ms (150
g load, with E-709.1C1L controller).
Fast step-and-settle: Due to its stiff design, the P-725.4CDE2 PIFOC can make a 40-µm step with an error band of 1% in only 22 ms (150
g load, with E-709.1C1L controller).
Fast step-and-settle: Due to its stiff design, the P-725.8CDE2 PIFOC can make a 80-µm step with an error band of 1% in only 39 ms (150
g load, with E-709.1C1L controller).
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Threaded adapter and spacers for P-725.xCDE2
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P-725.1CDE2 and P-725.4CDE2, dimensions in mm (please order the adapter and spacers separately)
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P-725.8CDE2, dimensions in mm (please order the adapter and spacers separately)
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P-725.4CDE2
P-725.8CDE2
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Drawings / Images
P-725.8CDE2 with P-725.03x thread adapters and P-725.03S spacer inserted between the revolving nosepiece of the microscope and
the objective
Order Information
P-725.1CDE2
PIFOC piezo nanofocusing system for long travel ranges and fast step-and-settle, 100 µm, capacitive sensors, D-sub connectors
P-725.4CDE2
PIFOC piezo nanofocusing system for long travel ranges and fast step-and-settle, 400 µm, capacitive sensors, D-sub connectors
P-725.8CDE2
PIFOC piezo nanofocusing system for long travel ranges and fast step-and-settle, 800 µm, capacitive sensors, D-sub connectors
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