【ピエゾモータによる精密位置決め】PI社の高精度コンパクトステージ製品カタログ_リニア軸＆回転軸

PI（Physik Instrumente）社製 ピエゾモータ駆動 高精度＆小型ステージ （サイズ: 20mm~, 再現性: ±0.2 μm~） 製品紹介 X 軸/XY 軸/回転軸 ピーアイ・ジャパン株式会社 044-280-7676 www.pi-japan.jp/ info@pi-japan.jp

最高峰のクオリティ ナノワールドを牽引するPIグループのNanoAutomation（科学・産業向け精密位置決め） 何百万個ものトランジスタが 1mm 四方に収まる世界、分子が操られる世界、 生きた細胞を観察しながら何千個もの「バーチャルスライス」がつくられる世界、 髪の毛の直径にも満たない光ファイバーの束が 6 軸で並べられる世界。 ナノの世界には、ナノメートルレンジの動作制御が必要不可欠です。 現在では、半導体製造やバイオテクノロジーをはじめ、 あらゆる産業セクターがナノポジショニングの進歩を活用し、 未来を創るテクノロジーソリューション 重要なテクノロジーは全て社内で開発 精密機械業界にさえ、ナノメートルレベルの位置決めシステムが必要不可欠となっています。 "PI グループは現在、重要なハイテク市場のすべてにマイクロ／ PI グループでは、重要なテクノロジーはすべて社内で開発し保持 PI グループは、50 年以上前にピエゾ位置決め技術を発表して以来、 ナノポジショニング・ソリューションを提供しています。" しています。ソフトウェア、精密機構、デジタルおよびアナログ制 御電子機器、サブナノメートル分解能のポジションセンサー、ピエ 研究と開発を進めてナノポジショニングの技術とノウハウを蓄積してきました。 ゾセラミック、ピエゾアクチュエータなどの分野において、設計から 半導体技術 光計測、顕微鏡検査 納入までの全段階を社内で管理することにより、最高の品質を確 保するとともに、コストの低減を図っています。 そして現在、 1 ナノメートルを下回る精度の バイオテクノロジー、医療機器 精密自動化、精密実装 精密位置決めシステムにおける 世界最高レベルの技術を誇り、 精密加工 データストレージ 科学・産業向け精　密位置決めの分野において、 常にマーケットを牽引しています。 光通信、光ファイバー、電気通信 ナノテクノロジー マイクロシステム技術 航空宇宙工学 カールスルーエの PI 本社 天文学 イノベーションを伝統として成長する PI グループ PIは、ナノポジショニングテクノロジー テムを発表しました。 において、ナノテクノロジーの商品化が 1970年代 1990年代 2000年以降 の大手製造企業に成長しました。 1990 年代には冷戦が終結。境界を超え 急速に進みました。 ■ピエゾエレクトリックトランスレーターの初の商品化 ■初の無摩擦ガイダンス搭載ハイレベルダイナミクス・ ■長寿命化セラミック採用、真空中での気体放出ゼロ 宇宙開発とレーザーテクノロジーが光学 たコミュニケーションの新時代が幕を開け PI は、かつてないスピードと精度のナノ ■初のプリロード付き産業用ピエゾトランスレーター 　ナノフォーカスシステム 　の初の多層ピエゾアクチュエータ：PICMA ■サブナノメートル精度を可能にするリニアライゼーション機能 ■小型の光・機械コンポーネントの操作を可能にす 研究を促進した 1970 年代、PI はピエ ると、PIも子会社 PI Ceramic を旧東ド メートルポジショニング、安定化、そして 1980年代 　統合の初の2プレート静電容量センサーとコントローラー 　るピエゾモーターミニチュアドライブの大量生産を ■パラレル計測とパラレル制御による初のピエゾナノポ 　開始 ゾアクチュエータを発売し、当時最高の位 イツに設立し新境地を開拓。光ファイ 自動化により、これらの分野に最適な ■クローズドループ・ピエゾアクチュエータの初の 　ジショニングシステム ■従来のモータースピンドル構造に代わるPILine コン 　商品化 ■初のピエゾ駆動ツールサーボ 　パクト超音波ピエゾモーターおよびドライブの特許 置決め精度を科学者に提供しました。 バーとファイバーアレイにおいて急増する ソリューションも提供しています。 ■フレクシャガイドとピエゾドライブ搭載の初のナノポ ■PIが独自のピエゾセラミックを製造する、初のナノポ 　取得 精密位置決めのニーズに対応しました。 　ジショニングシステム 　ジショニングシステムサプライヤーとなる ■高分解能、高負荷のピエゾリニアステッピングドライ 1980 年代はマイクロコンピューターの発 ■初のサブミクロン分解能ヘキサポッド6 DOF ポジ 　ブPiezoWalkの特許取得：NEXLINE®、NEXACT® ■初のハイブリッドドライブ搭載ファイバーポジショニ 展が第一次半導体ブームを生み、電子機 20世紀末前後には半導体の製造と検査、 　ショニングシステム ■初の座標変換機能搭載デジタル6 軸ピエゾコント 　ングシステム ■初の高分解能 PiezoWalkリニアモーター搭載完全 　ローラー 器の小型化が進みます。PI は、それぞれ バイオテクノロジーなど、「より小さく、 ■初の一体構造型低電圧ピエゾ搭載プリロード付き 　自動ファイバー位置合わせシステム ■初のダイナミックデジタルリニアライゼーションによ 　アクチュエータ ■初のアクティブ6Dガイダンス搭載ピエゾナノポジ 　るピエゾコントローラー（リニアリティが最大1000 倍向上） のタスクに適したナノポジショニングシス より精密」であることが求められる分野 ■コンピューター制御ナノポジショニングシステム 　ショニング ■クローズドループピエゾドライブ搭載、100mrad ビー ■初のクローズドループ画像安定化プラットフォーム ■回転中心を完全にバーチャル化した初の自動 6D 　ム偏向レンジの初のハイレベルダイナミクス 2軸ス 　ファイバー位置合わせシステム 　キャニングミラー ■初のInputShaping振動抑制機能搭載ピエゾコントローラー ■操作顕微鏡用大口径の最速クローズドループXY ナノ ■初の光ファイバーインターフェイス搭載デジタルピエ 　ポジショニングステージ 　ゾコントローラー ■多軸で1nm 未満のガイド精度のスキャニングステージ 002 003

グローバル規模の総合力 PI グループが誇る世界標準の高品質・高性能ブランド PI グループでは、北米、ヨーロッパ、アジア地区にそれぞれナノ計測研究所を置いています。 また、ヨーロッパに主要な R&D センターと製造施設を構え、PI 上海と PI USA には、 現地特有のニーズに迅速に対応するための開発製造機能を備えています。 Europe Germany Asia Japan America これらの拠点に加え、世界各地に販売網を確立し、お客さまとの末永い信頼関係を築いています。 ● PI UK ● PI Karlsruhe ● PI Shanghai ● PI Japan ● PI USA ● PI France ● PI Ceramic ● PI Singapote 　 ● PI Italy ● PI miCos ● PI Korea ● miCos Iberia ● Taiwan ● 製品の品質と信頼性は最も厳格な規格に遵守しています。 PI Benelux ● PI Switzerland Israel ナノポジショニングテクノロジーの製造企業として初めて ● ACS 顧客の期待と満足度にも重点を置くISO 9001 認証を取得。 また、PI の統合マネジメントシステムには、環境保全と作業安全の規格 （ISO 14001:2004 および OHSAS 18001:1999）も含まれています。 このマネジメントシステムにより、すべての事業所において プロセス全体での法的遵守を確保し、継続的改善を行なっています。 こうした取り組みにより、PI のブランドは、ハイテク領域で広く知られ、 PIFOC は対物レンズポジショナー全般の代名詞として、 PICMA は最高の信頼性を誇る ピエゾアクチュエータ製品として利用されています。 PIは、品質と精度を象徴する世界的なブランドです。 なぜ PI 製品が選ばれるのか？ PIグループでは、画期的な製品と技術開発 対応し続けています。 由な思考と深く広い高精度モーション PI社は精密位置決めの 社科学者が研究や開発に創造性を持つ OEM製品でも を通じ、常に成長を遂げています。そして また PIグループでは、お客様からの綿密な テクノロジーのポートフォリオを持つこと エキスパートが対応します PIを頼る理由 PIが選ばれる理由 いま、世界中で PIグループをおいてほかに 仕様要求に対して、カスタマイズソリュー で、一般的なシステムのパフォーマンスを ● テスト・システムのキャリブレーション、品質保 ● PIのシステムは、研究に迅速で顕著な結果を ● OEM 受注についても、PI独自のマネージメン 　 証のための計測設備や故障診断、修理対応で 　 生み出すことが可能。 　 トシステムで対応可能。 高精度モーションテクノロジーを提供 ション（規格にとらわれず自由で独創的な はるかに超えたソリューションを提供する 　 きるサービス工場を設置。 ● 何千という科学誌に製品が引用されており、 ● OEM製品に対しても、最適化されたプロセス できる企業はありません。PIグループは 見地からの解決）によって、様々なご希望 ことが可能となります。 ● 市場の需要に対しての迅速な対応が可能。ダ 　 研究者向けのカスタマイズ製品は主力製品の 　で納期を厳守し、効率的に数十万ユニットの 世界16か国に広がる子会社に1400人以 を実現してきました。これは、形式にとら PIグループの柔軟な発想とそれを支える 　 イレクトに意見交換ができるR&D部門を設置。 　 一部となっています。 　特注品対応可能。 上の従業員を擁しています。さらに、世界 われない考え方が製造分野や研究開発に 技術力はお客様の業界随一の高い競争力 ● サンプルとプロトタイプを製造し、お客様と綿 ● 標準品の改造からあらゆる環境対応可能な特 ● 完成前にサンプル評価を行い、テスト手順、生産 　 密な打ち合わせができる開発部門を設置。 　注設計品まで幅広く対応可能。 　工程、品質管理も含めた開発工程での取り組み。 に 9 カ国に構える研究・生産センターで 必要不可欠という考えに基づいています。 をサポートするご期待をお約束します。 ● 全製品ポートフォリオのエキスパートであり、 ● 全ての製品に特注対応が可能な PI 社ならで は常に成長し続ける高度で革新的な技術 昨今、ナノテクノロジーも標準化された産 　 特注品の打合せから納品まで一括対応できる 　はの設計・製造プロセスにより、お客様の業界 力を通じてお客様の様々な仕様要求に 業プロセスとなっています。こうした中、自 　 営業部門とアプリケーションエンジニアが対応。 　トップとなる技術力を提供。最先端の技術開 　発サポートにも対応可能。 ● 特有のマーケットセグメントにおいてお客様が 　 本当に必要なものを調査する、PI グループなら ● 材料からメカ構造、ナノ計測センサーからデジ 　 ではの満足度の高いマーケット部門とビジネ 　タル制御回路、ソフトウェアまでの設計・製造工 　 ス開発のエキスパートが常駐。 　程を網羅。 004 005

コピ コピ ンエ N-470 U-521 ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ ンチ トュ ピエゾマイクリニアアクチュエータ PILine®小型ピエゾモーターリニアステージ トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ ■ 保持力 >100N ■ 最小インクリメンタルモーション 0.3µm 高ピ 速エ 速エ スゾ スゾ キフ ■ ストローク7mm、13mmタイプ ■ 最大速度 200mm/s キフ ャレ ャレ ニク ニク ンシ ■ 移動範囲 7.4mm ■ コンパクト : 幅 35mm、高さ 15mm ンシ グャ グャ シス シス ステ チップチルトミラーホルダーのネジをピエゾマイクリニア ■ コンパクト設計 ■ 電源 Off 時のセルフロック ステ テー アクチュエータに置き換えることが可能です。 テー ムジ ■ 軸力 22N ■ 静か ムジ ／ ／ 高 高 速 速 ス ス テ テ ア ア リ リ ン ン グ グ ミ ミ ラ ラ ー ー モピ 小型精密位置決めステージ PILine 超音波ピエゾモーター モピ ーエ ーエ タゾ タゾ ーコ ーコ コン PILine® ステージは、高速で高精度な位置 PILine 超音波ピエゾモーターは、カップリング コン ント ント トロ 決めが必要な用途に適しています。スイッチ エレメントを介して可動ガイドランナーを予圧し トロ ロー ロー ーラ オフ時には、セルフロックドライブがステージ ーラ ラ／ 駆動するピエゾアクチュエーターです。アク ラ／ の位置を機械的に安定させます。そのため、 チュエータは、100 ～ 200 kHz の高周波 エネルギー消費と熱の発生が大幅に抑えられ 交流電圧によって超音波振動を起こし、アク シＰ シＰ リｉ ます。動作位置は、光学式リニアエンコーダ チュエータの変形によりランナーを駆動させ リｉ ーｅ ーｅ ズｚｏ で計測され、光学式リファレンススイッチに ます。また予圧により、静止時およびスイッチ ズｚｏ Ｗ Ｗ ａ より、信頼性の高い繰り返し動作が可能です。 オフ時にセルフロックします。 ａ ｌ ｋ N-470.11x N-470.21x N-470.12x N-470.22x ｌ ® N-470.11xY N-470.21xY N-470.12xY N-470.22xY ｋ ® A 48mm 53.5mm A 48mm 53.5mm B 7mm 13mm B 7mm 13mm ピ ピ エ エ ゾ 技術データ ゾ モ モ ー モデル U-521.23 U-521.24 単位 公差 ー タ 技術データ タ 駆動軸 x x トラベルレンジ 18 18 mm モデル N-470.110: N-470.110Y / N-470.210: N-470.210Y / 公差 速度 , closed loop 200 200 mm/s N-470.120: N-470.120Y　 N-470.220: N-470.220Y Max. 最小動作量 2 0.3 µm Typ. 電 駆動軸 X X システム分解能 0.4 0.1 µm 電 動 トラベルレンジ 7 mm 13 mm 動 モ 双方向再現性 ±2 ±0.2 µm モ ー 最大速度（無負荷時・短時間） 2.4 mm/min 2.4 mm/min リニアリティ 8 4 µm ー タ 標準速度　無負荷時 0.5 mm/min 0.5 mm/min タ Pitch/Yaw ±300/±300 ±300 /±300 µrad フルステップモードのステップサイズ 50 nm 50 nm センサータイプ 光学式インクリメンタルエンコーダ 光学式インクリメンタルエンコーダ U-521 寸法図 標準ステップサイズ 20 nm 20 nm センサー分解能 0.4 0.1 µm Typ. 動作特性 Push&Pull 力 2 2 N Max. 駆動タイプ Piezoelectric inertia drive Piezoelectric inertia drive 駆動力 2 2 N Max. 静 動作電圧 80 V 80 V 保持力 静 電 2 2 N Max. 電 容 最大消費電力 5 W 5 W モータ・センサーコネクター 1×D-sub15(m) 1×D-sub15(m) 容 量 量 セ 動作方向のドライブ力 22 N 22 N max. その他 セ ン ン サ 連続での最大動作周波数 400 Hz 400 Hz リファレンススイッチ 光学式 光学式 サ ー 短時間での最大動作周波数 2000 Hz 2000 Hz 動作温度範囲 0 ～ 40 0 ～ 40 °C ー 機械特性 材質 アルミ, anodized アルミ, anodized 剛性 15 N/µm 15 N/µm ±10 % 重量 ( 本体のみ） 40 40 g パヘ パヘ ラキ 保持力 : passive 100 N 100 N min. 全重量 160 160 g ラキ レサ メカニカルインターフェース "M10×1 取付ネジ : N-470.110 (Y) "M10×1 取付ネジ : N-470.210 (Y) ケーブル長 レサ ルポ 1.5 1.5 m +200mm/-0mm ルポ 制ッ 9.5 mm クランプシャンク : N-470.120 (Y)" 9.5 mm クランプシャンク : N-470.220 (Y)" 推奨コントローラ　　　 C-867.1U C-867.1U 制ッ 御ド 御ド ６ 動作軸外からの許容押付力 1 N 1 N max. ６ 軸 軸 シ 質量 80 g 80 g シ ス ス テ 材質 スクリュー : ステンレス . ケース : アルミ スクリュー : ステンレス . ケース : アルミ テ ム (anodized). ナット: Bronze. (anodized). ナット: Bronze. ム ・ ・ その他 モA コネクタ LEMO FFA.0S.303.CLAC32 LEMO FFA.0S.303.CLAC32 モA ー ー シC 推奨コントローラ E-872.401 E-872.401 シC ョS ョS ン ケーブル長 2 m 2 m ン コ コ ン 動作温度範囲 10 to 40 °C 10 to 40 °C ン ト ト ロ ロ ー ー ル ル 126 127

コピ コピ ンエ U-723 U-751 ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ ンチ トュ PILine®XYステージ PILine®XYステージ トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ ■ 2 軸での高速位置決め ■ コンパクトサイズ : 170x170x32mm 高ピ 速エ 速エ スゾ スゾ キフ ■ 軽量で省スペース ■ 開口 78x78mm キフ ャレ ャレ ニク ニク ンシ ■ 高ガイドの精度 ■ 100nm 分解能リニアエンコーダー ンシ グャ グャ シス シス ステ ■ センサー分解能 10nm ■ セルフロック , 停止時に発熱やジッターなし ステ テー テー ムジ ムジ ／ ■ 待機時セルフロック、待機時の発熱なし。 ／ 高 ■ 低ノイズオペレーション 高 速 速 ス ス テ テ ア ア リ リ ン ン グ グ ミ ミ ラ ラ ー ー 超音波ピエゾモータ内蔵コンパクトXY ステージ モピ モピ ーエ ーエ タゾ タゾ ーコ ーコ コン コン ント ント トロ 高精度 XY ステージ トロ ロー ロー ーラ ーラ ラ／ PILine ステージは、高速の高精度ポジショニ ラ／ ングが必要な用途に特に適しています。電源 シＰ オフ時、セルフロッキングドライブにより、ステー シＰ リｉ ジの位置が機械的に安定するように維持され リｉ ーｅ ーｅ ズｚ ズｚｏ ｏ Ｗ ます。そのため、電力消費と発熱量が大幅に Ｗ ａ ａ ｌ 削減されます。こうした特性は、デューティ ｌ ｋ ｋ ® サイクルが小さく、バッテリー駆動や熱に弱い ® 用途にとって利点となります。エンコーダに ピ よって軸の位置を測定し、光学リファレンス ピ エ エ ゾ スイッチにより信頼性と再現性の高いモーション ゾ モ を可能にします。 モ ー ー タ タ U-723（寸法：mm） 電 電 動 技術データ 動 モ モ ー ー タ モデル U-723.25 単位 公差 タ 駆駆動軸 x, y U-751（寸法：mm） トラベルレンジ 22mm×22mm 速度 , closed-loop 200 mm/s max. 技術データ 双方向再現性 ±0.2 µm Pitch ±750 µrad max. モデル U-751.24 公差 静 電 Yaw ±150 µrad max. 駆動軸 X Y 静 電 容 機械特性 トラベルレンジ (X&Y) 25 mm 容 量 量 セ 耐荷重 5 N max. 最大速度 , 無負荷時 (X&Y) 100 mm/s セ ン サ ケーブルなしの重量 110 g Pitch・Yaw (X&Y) ± 50 µrad typ. ン サ ー リニアガイド クロスローラベアリング 内臓センサー インクリメンタルリニアエンコーダー ー 機械特性 双方向再現性 (X&Y) ± 0.3 µm typ. 駆動力 2 N typ. 最小動作量 (X&Y) 0.075 µm typ. パヘ ラキ 保持力 2 N typ. センサー分解能 0.1 µm パヘ ラキ レサ 光学式 レサ ルポ 内臓センサー 光学インクリメンタルセンサー リファレンススイッチ ルポ 制ッ センサー分解能 10 nm リミットスイッチ ホール効果 制ッ 御ド 御ド ６ 最小動作量 0.1 µm typ. 駆動力 Positive,Negative(X&Y) 7 N typ. ６ 軸 リファレンススイッチ 方向検知・光学式 機械特性 軸 シ シ ス テ その他 ガイド クロスローラガイド ス テ ム ・ 動作温度範囲 0 ～ 40 °C 保持力 (X&Y) 6 N min. ム ・ 材質 アルミ, anodized Z 方向の許容押付力 50 N max. モA モータ・センサーコネクター 2×D-sub15 (m) 全重量 1800 g モA ー シC ー ケーブル長 1.5 m +200 mm / -0 mm 材質 アルミ, black anodized シC ョS ョS ン 推奨コントローラ C-867.2U2 Miscellaneous ン コ ン コネクタ 2 × D-sub 15-pin (m) コ ン ト ロ 22±3°C 時の技術仕様データです。C-867.2U2 推奨コントローラ C-867.2U2 ト ロ ー ル ケーブル長 1.5 m ー ル 動作温度範囲 0 ～ 40 °C 128 129

コピ コピ ンエ U-780 ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ ンチ トュ PILine®ピエゾモーター顕微鏡用 XY 軸ステージ トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ ■ コントローラとジョイスティック付 高ピ 速エ 速エ スゾ スゾ キフ ■ 10µm/sから120mm/s までの優れた速度制御 キフ ャレ ャレ ニク ニク ンシ ■ 100nmのリニアエンコーダ分解能 ンシ グャ グャ シス シス ステ ■ XYトラベルレンジ:135mm×85 mm（モデルで異なる） ステ テー テー ムジ ■ 倒立型高分解能顕微鏡用 ムジ ／ ／ ■ コンパクトで薄型デザイン 高 高 速 速 ス ス テ テ ア ア リ リ ン ン グ グ ミ 高精度ピエゾモータ XY ステージ 従来のモーター駆動 XY ステージにはない 対応倒立顕微鏡 ミ ラ ラ ー ー 機能である、静止時の自動セルフロック機能 U-780 ピエゾモータステージは、Nikon、 により、高剛性でサーボジッターのない優れた ■ ニコンエクリプス Ti/Ti2 モピ M-687.UN モピ ーエ Olympus、Zeiss などの顕微鏡に搭載されて 位置安定性を実現します。 ■ オリンパス IX / IX2 / IX3 ーエ タゾ タゾ ーコ ーコ コン いる手動 XY ステージから置き換えるために また、高速なサンプルフォーカスのために ■ ライカ DMI6000 / DMI8 コン ント ント トロ トロ ロー 設計されました。U-780 は、顕微鏡の自動化、 XYZ 駆動が必要な場合は P-736PInano-Z スライドスキャンなどの高解像度イメージング ピエゾナノポジショニングステージを追加 オプションアクセサリー ロー ーラ ーラ ラ／ ラ／ への最初のステップとなるものです。U-780 することにより、レーザースキャン顕微鏡 超解像顕微鏡用サンプルホルダー、ナノポジ シＰ システムには、コントローラ、USB ジョイ に最適な高精度 XYZ 駆動システムが可能 ショニングピエゾステージ、Z フォーカシング シＰ リｉ リｉ ーｅ スティックなども付属されています。 です。 ピエゾステージ ーｅ ズｚｏ ズｚｏ Ｗ Ｗ ａ ａ ｌ ｌ ｋ ｋ ® 技術データ ® モデル U-780.DNS U-780.DOS U-780.DLS 単位 公差 ピ M-687.UN ニコン顕微鏡用 M-687.UO オリンパス顕微鏡用 M-687.UL ライカ顕微鏡用 ピ エ エ ゾ 駆動軸 X, Y X, Y X, Y ゾ モ モ ー トラベルレンジ 135 mm × 85 mm 100 mm × 75 mm 135 mm × 85 mm ー タ 内臓センサー リニアエンコーダ リニアエンコーダ リニアエンコーダ タ センサー分解能 0.1 0.1 0.1 µm 双方向再現性 ±0.3 ±0.3 ±0.3 µm Pitch / yaw ±300 ±300 ±300 µrad typ. 速度 120 120 120 mm/s max. 電 電 動 リファレンススイッチ 光学式 , 1 µm 再現性 光学式 , 1 µm 再現性 光学式 , 1 µm 再現性 動 モ モ ー リミットスイッチ ホール効果 ホール効果 ホール効果 ー タ 耐荷重 25 25 25 N max. M-687.UO タ Motor type PILine® ultrasonic piezo motor PILine® ultrasonic piezo motor PILine® ultrasonic piezo motor 動作温度範囲 20 ～ 40 20 ～ 40 20 ～ 40 °C 材質 アルミ (black anodized) アルミ (black anodized) アルミ (black anodized) ステージ重量 4.2 3.2 4.2 kg ±5 % 静 ピエゾモーターコントローラ 静 電 電 容 モデル 　C-867.2U2（ USB ジョイスティック付） 容 量 量 セ 通信インターフェース 　USB, RS-232, SPI, Ethernet セ ン I/O lines 　4 analog / digital inputs, 4 digital outputs to mini DIN, 9-pin, Digital: TTL, Analog: 0 ～ 5 V ン サ サ ー コマンドセット 　PI General Command Set (GCS) ー ユーザーソフトウェア 　PIMikroMove ソフトウェアドライバ 　GCS DLL (with code examples for the most common programming languages such as C++, C#, VB.NET, Python, Delphi), パヘ driver for NI LabVIEW, MATLAB library パヘ ラキ ラキ レサ サポート機能 　Startup macro, macro, data recorder for recording operating data such as motor voltage, velocity, position or position error レサ ルポ ルポ 制ッ コントローラサイズ 312 mm × 153.4 mm × 59.3 mm ( マウントレール含む ) 制ッ 御ド 御ド ６ ６ 軸 軸 シ シ ス ス テ テ ム ム ・ ・ モA モA ー ー シC シC ョS ョS ン ン コ コ ン ン ト ト ロ ロ ー ー ル M-687.UL ル 130 131

コピ コピ ンエ U-628 U-651 ンエ ポゾ ポゾ ーア ーア ネク ネク ンチ ンチ トュ PILine®小型回転ステージ PILine®高速・薄型回転ステージ トュ エ エ ー ー タ・ タ・ 高ピ ■ PILine ピエゾモータ駆動 ■ 薄型ステージ：116x116x14 mm 高ピ 速エ 速エ スゾ スゾ キフ ■ コンパクトサイズ : 50x50x19mm ■ 回転レンジ >360° キフ ャレ ャレ ニク ■ 速度 :720°/s、最小動作量：51µrad ■ 駆動トルク : 0.3Nm ニク ンシ ンシ グャ グャ シス ■ 駆動トルク :25mNm ■ スイッチオフ時のセルフロック シス ステ ステ テー テー ムジ ■ スイッチオフ時のセルフロック ■ 中央にφ36mmの開口 ムジ ／ ／ ■ 中央にφ 7mm の開口 高 高 速 速 ス ス テ テ ア ア リ リ ン ン グ グ ミ ミ ラ ラ ー ー モピ モピ ーエ ーエ タゾ タゾ ーコ ーコ コン コン ント 高精度小型回転ステージ ント トロ ステージの位置が機械的に安定するように エンコーダによって軸の位置を測定し、光学 トロ ロー ロー ーラ 維持されます。そのため、電力消費と発熱 リファレンススイッチにより信頼性と再現性の ーラ ラ／ ラ／ PILine ステージは、高速の高精度ポジショ 量が大幅に削減されます。こうした特性は、 高いモーションを可能にします。 ニングが必要な用途に特に適しています。 デューティサイクルが小さく、バッテリー駆 シＰ シＰ リｉ 電源オフ時、セルフロッキングドライブにより、 リｉ ーｅ 動や熱に弱い用途にとって利点となります。 ーｅ ズｚ ｚ ｏ ズｏ Ｗ Ｗ ａ ａ ｌ ｌ ｋ ｋ ® 技術データ ® モデル U-628.03 単位 公差 ピ ピ エ 駆動軸 θZ エ ゾ ゾ モ 回転レンジ >360 ° max. モ ー 速度 , closed loop 720 °/s typ. ー タ タ 最小動作量 51 µrad 双方向再現性 ±102 µrad センサータイプ インクリメンタルエンコーダー センサー分解能 17 µrad max. 電 耐荷重 5 N max. 電 動 保持力 0.03 Nm 動 モ モ ー モータータイプ PILine® ultrasonic piezo motor max. ー タ タ 駆動トルク CW / CCW (θZ) 0.025 Nm U-651 寸法図 モータ / センサーコネクタ 1 × D-sub 15 (m) その他 リファレンススイッチ 光学式 技術データ 動作温度範囲 0 ～ 40 °C 静 材質 アルミ, Anodized ±5 % モデル U-651.03 U-651.04 単位 公差 静 電 電 容 重量 300 g 駆動軸 θZ θZ 容 量 ケーブル長 1.5 m 回転レンジ >360 >360 ° 量 セ セ ン 推奨コントローラ C-867.1U 速度 , closed loop 540 540 °/s max. ン サ サ ー 最小動作量 27 12 µrad typ. ー 双方向再現性 ±54 ±24 µrad センサータイプ インクリメンタルエンコーダー インクリメンタルエンコーダー パヘ センサー分解能 9 4 µrad パヘ ラキ 耐荷重 ラキ レサ 20 20 N max. レサ ルポ ルポ 制ッ 保持力 0.3 0.3 Nm max. 制ッ 御ド モータタイプ PILine® ultrasonic piezo motor PILine® ultrasonic piezo motor 御ド ６ ６ 軸 寸法図（単位：mm） 駆動トルク CW / CCW (θZ) 0.3 0.3 Nm max. 軸 シ シ ス モータ / センサーコネクタ 1 × D-sub 15 (m) 1 × D-sub 15 (m) ス テ テ ム その他 ム ・ リファレンススイッチ 光学式 光学式 ・ モA 動作温度範囲 0 ～ 40 0 ～ 40 °C モA ー 材質 Anodized アルミ Anodized アルミ シC ー シC ョS 重量 500 500 g ±5 % ョS ン ン コ ケーブル長 1.5 1.5 m コ ン ン ト 推奨コントローラ C-867.1U C-867.1U ト ロ ロ ー ー ル ル 132 133