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【最高峰のクオリティ】ナノワールドを牽引するPIグループのNanoAutomation
【科学・産業向け精密位置決め】
PI社の製品を網羅した総合カタログです。
PIグループは現在、重要なハイテク市場の全てにマイクロ/ナノポジショニング・ソリューションを提供しています。
【対象領域】
・半導体技術
・バイオテクノロジー・医療機器
・精密加工
・光通信/光ファイバー・電気通信
・マイクロシステム技術
・天文学
・光計測・顕微鏡検査
・精密自動化・精密実装
・データストレージ
・ナノテクノロジー
・航空宇宙学
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このカタログについて
ドキュメント名 | 【製品総合カタログ】ピーアイジャパンはあらゆるモーション・精密位置決めのお悩みを解決するコンサルタントです |
---|---|
ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 128.3Mb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | ピーアイ・ジャパン株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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048
V-52X PIMag リニアモーターステージ 006
050
V-551 PIMag 精密リニアモーターステージ 008
052
V-27X PIMag ボイスコイルアクチュエータ 010
054
V-408 PIMag リニアステージ 012
V-508 PIMag 精密リニアステージ 014
L/V-412 L/V-417 PIMag 高耐荷重リニアステージ 016 056
V-738 PIMag 高精度開口部付XYステージ 020 058
C-413 PIMag リニアモーターコントローラ 022 060
C-891 PIMag リニアモーターコントローラ 023
062
024 064
026 066
028 068
030 070
033 072
074
076
034
036 078
038 080
P-611.3/P-616 082
084
040
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042
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V-52X PIMag リニアモーターステージ 006
050
V-551 PIMag 精密リニアモーターステージ 008
052
V-27X PIMag ボイスコイルアクチュエータ 010
054
V-408 PIMag リニアステージ 012
V-508 PIMag 精密リニアステージ 014
L/V-412 L/V-417 PIMag 高耐荷重リニアステージ 016 056
V-738 PIMag 高精度開口部付XYステージ 020 058
C-413 PIMag リニアモーターコントローラ 022 060
C-891 PIMag リニアモーターコントローラ 023
062
024 064
026 066
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030 070
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094 H-811.I2 高速・高精度の小型ヘキサポッド 134
096 H-840 高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド 136
098 H-825 コンパクトデザインで30キロまで耐荷重可能なヘキサポッド 138
N-331 PICMAWalk ウォーキングドライブ 100 H-850 250キロまで耐荷重可能なヘキサポッド 140
101 F-712 高精度ファイバーアライメントシステム 142
102
コンパクトリニアステージ 103 146
U-723 PILine XYステージ 104 150
ピエゾナノステッピングリニアステージ 106 152
PILine ピエゾモーターXY軸ステージ 108 154
PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージ 110
高速小型回転ステージ 112
156
PILine 高速•薄型回転ステージ 113
158
電動モータ 160
162
L-239 高耐荷重リニアアクチュエータ 114
VT-80/L-406/L-509/
M-404/L-511 高精度リニアステージ:1軸ステージ 116
164
L-731/V-731 PIMag リニアモータXY 軸ステージ 117
165
L-505 DC/ステッピングモータ選択可能・小型リニアステージ 118
L-310 精密 ステージ 167Z 122
ゴニオメーターモーターステージ 168124
170
126 171
130 ACSモーションコントロール社製品紹介ページ 172
132
182
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094 H-811.I2 高速・高精度の小型ヘキサポッド 134
096 H-840 高速動作・中程度耐荷重が特長のパラレルキネマティック・ヘキサポッド 136
098 H-825 コンパクトデザインで30キロまで耐荷重可能なヘキサポッド 138
N-331 PICMAWalk ウォーキングドライブ 100 H-850 250キロまで耐荷重可能なヘキサポッド 140
101 F-712 高精度ファイバーアライメントシステム 142
102
コンパクトリニアステージ 103 146
U-723 PILine XYステージ 104 150
ピエゾナノステッピングリニアステージ 106 152
PILine ピエゾモーターXY軸ステージ 108 154
PILine ピエゾモーター顕微鏡用XY軸ステージ 110
高速小型回転ステージ 112
156
PILine 高速•薄型回転ステージ 113
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電動モータ 160
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L-239 高耐荷重リニアアクチュエータ 114
VT-80/L-406/L-509/
M-404/L-511 高精度リニアステージ:1軸ステージ 116
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L-731/V-731 PIMag リニアモータXY 軸ステージ 117
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L-505 DC/ステッピングモータ選択可能・小型リニアステージ 118
L-310 精密 ステージ 167Z 122
ゴニオメーターモーターステージ 168124
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130 ACSモーションコントロール社製品紹介ページ 172
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V-408
PIMag® リニアステージ
■ アイロンコア3相リニアモータ
■ 高耐荷重のクロスローラガイド
■ 最小インクリメンタルモーション 20nm
■ 双方向繰り返し性 ±0.1 µm
■ コンパクト設計
PIMag® リニアステージ
PIMag® 磁気駆動ドライブ クロスローラーガイド 応用分野
3 相の磁気ダイレクトドライブはドライブ クロスローラーガイドにより、ボールガ 産業および研究用途 ダイナミクスと精度
トレイン内で機械部品を使用しないため、 イドのボールの点接触ではなく強化ロー に対する要求の高いオートメーション技
駆動力を摩擦プラットフォームに伝達しま ラーが線で接触するようになっています。 術。
す。アイロンコアモータは、限られた設 これにより剛性が著しく増すとともに必
置スペースで力と加速度を達成する必要 要なプリロードが抑えられているため、
がある場合に使用されます。 摩擦が低減しスムーズな動作が可能と
なっています。クロスローラーガイドには、
ガイド精度が高く耐荷重が大きいという
特徴もあります。
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技術データ
動作および位置決め V-408 単位 公差
駆動軸 X
移動範囲 V-408.132020:25V-408.232020:50 mm
内蔵センサー インクリメンタルエンコーダー
センサー信号周期 80 µm
センサー分解能 10(1) nm 標準
最小インクリメンタルモーション 20 nm 標準
双方向繰り返し性 ±0.1 µm 標準
ピッチング / ヨーイング ±150 µrad 標準
真直度/平坦度 ±4 µm 標準
速度 V-408.132020:0.5V-408.232020:0.7 m/s 最大
機械的特性
z方向負荷容量 80 N 最大
許容横力 80 N 最大
許容トルク(qX方向) 2.3 Nm 最大
許容トルク(qX方向、qX方向) 1.3 Nm 最大
移動質量 V-408.132020:0.23V-408.232020:0.3 kg
ケーブルなしの重量 V-408.132020:0.5V-408.232020:0.65 kg
全体質量 V-408.132020:0.79V-408.232020:0.94 kg
ガイドの種類 クロスローラーガイド
駆動特性
駆動タイプ PIMag® リニアモータ、アイロンコア、3相
中間回路電圧 48 V DC 最大
ピーク力 14 N 標準
圧力 5 N 標準
ピーク電流(RMS) 3.2 A 標準
公称電流(RMS) 1.1 A 標準
力定数(RMS) 4.60 N/A 標準
抵抗(相間) 2.46 W 標準
インダクタンス(相間) 1.94 mH 標準
相間逆起電力 2.81 V s/m 最大
極ピッチ(N-N) 18 mm
その他
動作温度範囲 10~50 ℃
湿度 20 – 90% 相対、非結露
材料 黒アルマイト加工アルミニウム
モーター接続 HD D-Sub 26 (m)
センサー接続 Sub-D 15 (f)
ケーブル長さ 2 m
(1) interpolated
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V-508
PIMag® 精密リニアステージ
■ト ラベルレンジ:80, 170, 250 mm
■ アイロンコアあるいはアイロンレスリニアモータ
■ インクリメンタルあるいは
アブソリュートリニアエンコーダ
■ コンパクトクロスセクション: 80 mm × 25 mm
■ クロスローラーベアリング
PIMag® 精密リニアステージ
フレキシブル調整 クロスローラガイド アプリケーション分野
技術的に洗練されたコスト重視のアプリ クロスローラガイドの場合、ボールガイド 産業と研究半導体または医療技術におけ
ケーションは、さまざまな移動距離、ド 内のボールの点接触は、硬化したローラ る測定技術、フォトニクスおよび精密ス
ライブ、および測定システムで同様に利 の線接触に置き換えられます。その結果 キャン
用できます。XY アセンブリも可能です。 かなり堅くなりそして予圧を少なくする必
要があり、それは摩擦を減らし滑らかな
走行を可能にします。クロスローラガイド
は、高いガイド精度と可搬質量によって
も際立っています。力誘導転動体保持器
は保持器のクリープを防止します。
V-508 の外形図(単位:mm)
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Page15
技術データ
動作と位置決め V-508.2 V-508.6 V-508.9 単位 公差
駆動軸 X X X
トラベルレンジ 80 170 250 mm
ピッチング/ヨーイング ±100 ±200 ±300 µrad 最大
真直度/平坦度 ±4 ±10 ±20 µm 最大
速度 V-508.2x1: 0.6
(1) V-508.6x1: 0.6(1) V-508.9x1: 0.6(1)
V-508.2x2: 0.7(1) V-508.6x2: 0.7(1) V-508.9x2: 0.7(1) m/s 最大
加速度 5 5 5 m/s² 最大
機械特性
耐荷重/Z軸 100 100 100 N 最大
可動部の重量 V-508.2x1: 0.45 V-508.6x1: 0.75 V-508.9x1: 1.01V-508.2x2: 0.35 V-508.6x2: 0.6 V-508.9x2: 0.79 kg
総重量 V-508.2x1: 1.1 V-508.6x1: 1.7 V-508.9x1: 2.3V-508.2x2: 1.0 V-508.6x2: 1.6 V-508.9x2: 2.1 kg
ガイドタイプ Crossed roller guide with Crossed roller guide with Crossed roller guide withanti-creep system anti-creep system anti-creep system
エンコーダオプション V-508.x3 V-508.x5 V-508.xB 単位 公差
内蔵センサ Incremental linear encoder PIOne incremental linear encoder Absolute encoder
センサ信号 Sin/cos, 1 V peak-peak, Sin/cos, 1 V peak-peak,80 µm signal period 2 µm signal period BiSS-C
センサ分解能 10(2) 0.2(2) 78 nm 標準
最小インクリメンタルモーション 20 1 160 nm 標準
双方向再現性 ±0.1 ±0.05 ±0.15 µm 標準
ドライブ特性 V-508.xx1 V-508.xx2 単位 公差
ドライブタイプ Linear motor, ironless, 3-phase Linear motor, iron core, 3-phase
中間回路電圧 48 48 V DC
ピーク力 12 14 N 標準
圧力 3 5 N 標準
ピーク電流(RMS) 3.2 3.2 A 標準
公称電流(RMS) 0.7 1.1 A 標準
力定数(RMS) 4.28 4.81 N/A 標準
抵抗値(相間) 5.92 2.46 Ω 標準
インダクタンス(相間) 1.26 1.94 mH 標準
相間逆起電力 5.36 3.02 V·s/m 最大
極ピッチ(N-N) 20 18 mm
その他 V-508
動作温度範囲 10℃ to 50℃
湿度 20 – 90% rel., not condensing
材料 Aluminum, blue / black anodized
モータ接続 HD Sub-D 26 (m)
センサ接続 Sub-D 15 (f)
ケーブル長 2 m
(1) V-508.x5: max. 0.2 m/s when combined with the C-891
(2) interpolated
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L/V-412 L/V-417
PIMag® 高耐荷重リニアステージ
■ 最大トラベルレンジ:813mm
■ 定格フォース:87N
■ インクリメンタル/アブソリュートエンコーダ選択可能
■ 循環式ボールベアリング採用により450Nまで耐可
■ カバーストラップ採用により、パーティクルを防塵可
PIMag® 高荷重リニアステージ
先駆的なデザイン
競合メーカーと比較して、V-417 の再循
環ボールベアリングシリーズはより高い耐
荷重を提供し、より高いダイナミクスを可
能にします。エンコーダの高解像度によ
り、性能ごとのトラッキングが向上します。
トラッキングエラーが少なくなり、整定時
間が短縮されます。最大限の柔軟性のた
めに、インクリメンタルエンコーダとアブ
ソリュートエンコーダを選択することがで
きます。アブソリュートエンコーダは、オ
シションの即時決定を可能にする明示的
な位置情報を提供します。これは、電源
投入時参照が必要ないことを意味します。
これにより、操作中の効率と安全性が向
上します。
アプリケーション分野
レーザー加工全般、スキャニング、デジ
タルプリンティング、電子機器組立および
検査、AO(I 自動光学)検査)、自動化、 V-417, dimensions in mm
液晶装置関連
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Page17
L-412, dimensions in mm
L-417, dimensions in mm
V-412, dimensions in mm
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Page18
V-417 モデル技術データ
動作 V-417.05 V-417.09 V-417.13 V-417.17 単位 公差
駆動軸 X X X X
トラベルレンジ 102 204 305 407 mm
ピッチング/ヨーイング ±14 ±19 ±29 ±39 µrad 最大
真直度/平坦度 ±2.5 ±4 ±6 ±8 µm 最大
速度(無荷重) 2000 2000 2000 2000 mm/s 最大
位置決め精度(uncalibrated) ±4 ±8 ±10 ±12 µm 標準
動作 V-417.21 V-417.25 V-417.33 単位 公差
駆動軸 X X X
トラベルレンジ 508 610 813 mm
ピッチング/ヨーイング ±40 ±45 ±50 µrad 最大
真直度/平坦度 ±9 ±10 ±12 µm 最大
速度(無荷重) 2000 2000 2000 mm/s 最大
位置決め精度(uncalibrated) ±14 ±15.5 ±17 µm 標準
V-417.xxx211Ex V-417.xxx025Ex 単位 公差
内蔵センサ Incremental linear encoder Absolute-measuring linear encoder
センサ信号 Sin/cos, 1 V peak-peak, 20 µm signal period EnDat 2.2
デザイン分解 0.0003 0.001 µm
最小インクリメンタルモーション 5 10 nm 標準
双方向再現性 ±0.5 ±0.5 µm 標準
リミットスイッチ Hall effect, N/C contact, 5 V, NPN –
機械特性 V-417.xxxxxx 単位 公差
ガイドタイプ Recirculating ball bearing guide
荷重/Z 450 N 最大
ラテラルフォース 250 N 最大
トルク(θx) 40 N·m 最大
トルク(θy) 30 N·m 最大
トルク(θz) 40 N·m 最大
ドライブ特性 V-417.xx6 単位 公差
ドライブタイプ Ironless 3-phase linear motor
中間回路電圧(RMS) 300 V DC 最大
ピークフォース 300 N 標準
圧力 87 N 標準
ピーク電流(RMS) 15 A 標準
公称電流(RMS) 4.4 A 標準
力定数(RMS) 19.9 N/A 標準
モータ定数(RMS) 8.4 N/√W 標準
電気時定数 0.35 ms
抵抗値(相間) 3.6 Ω 標準
インダクタンス(相間) 1.2 mH 標準
相間逆起電力 16 V·s/m 最大
極ピッチ(N-N) 30 mm
その他 V-417 単位 公差
材質 Aluminum, black anodizedstainless steel
V-417.05 (102 mm travel range): 9.3
V-417.09 (204 mm travel range): 11.2
V-417.13 (305 mm travel range): 13.0
重量 V-417.17 (407 mm travel range): 14.8 kg ±5%
V-417.21 (508 mm travel range): 16.6
V-417.25 (610 mm travel range): 18.4
V-417.33 (813 mm travel range): 21.1
可動部の重量 2.8 kg ±5%
MTBF 20000 h
M17 (motor)
コネクタ M17 (linear encoder) N·m 最大
Fitting for purge air hose with outside diameter 4 mm
推奨コントローラ ACS modular controller
Connecting cables are not in the scope of delivery and must be ordered separately.
V-412/L-412/L-417につきましては別のカタログにてスペック詳細をご参考のほどお願いいたします
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V-738
PIMag® 高精度開口部付 XY ステージ
■ 移動範囲:102 mm×102 mm(4 ")
■ 150x150mmの大きな開口部
■ 一方向再現性:0.1 µm
■ 速度:500 mm / s
■ 三相リニアモータ
■ 高分解能インクリメンタルリニアエンコーダ
PIMag® 高精度開口部付 XY ステージ
応用分野
医療産業、レーザー切断、スキャニング、
バイオテクノロジー、計測学、AO(I 自動
光学検査)、顕微鏡検査
V-738 の外形図(単位:mm)
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