【測定ソリューション事例】0.3μm以下の超高精度な測定精度！超高精度三次元測定機を用いた測定ソリューション
事例紹介
測定ターゲット：〜500mm、スキャンニングによる走査を得意とし、自由曲面や三次元形状を毎秒100ポイントの高密度なデータ取得が可能
こんなお悩みはありませんか？
・測定機の精度に限界がある
・複雑な形状を測定できない....
そんなお悩みをどのように解決すればいいのか、ソリューションをご案内いたします！
●超高精度三次元測定機を用いた測定ソリューション事例
リニアスケールをものさしとするCMMとは異なり、独自の測長技術を確立したことで、超高精度な測定が可能。
車載ギアや円筒軸受の形状測定、航空機タービンブレードなどの自由曲面形状、複雑形状の精密加工品などに。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 【測定ソリューション事例】0.3μm以下の超高精度な測定精度！超高精度三次元測定機を用いた測定ソリューション |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 事例紹介 |
| ファイルサイズ | 1.1Mb |
| 取り扱い企業 | パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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三次元測定の課題を解決!
実績事例付き
測定ソリューション
超高精度三次元測定機
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こんなお悩みありませんか?
測れないモノは作れない
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ギアなどの精密加工部品の形状を
0.3μm以下の超高精度で測定する
ソリューションをご紹介します!
パナソニックプロダクションエンジニアリング株式会社
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【測定ソリューション事例】
0.3μm以下の超高精度な測定精度!
超高精度三次元測定機を用いた測定ソリューション
パナソニック プロダクションエンジニアリング株式会社
測定ターゲット:～500mm、スキャンニングによる走査を得意とし、
自由曲面や三次元形状を毎秒100ポイントの高密度なデータ取得が可能
超高精度三次元測定機の特⾧
1. 超高精度な測定
2. 接触測定による絶対形状評価
3. 複雑形状に対応する柔軟な走査パス
4. 測定データから様々な解析を実現
円筒形状物
5. 複雑形状でも表面粗さ測定を可能
6. 独自のアルゴリズムで設計値の誤差を算出
7. CADソフト連携による評価
8. 自動測定による作業平準化・省人化
自由曲面や三次元形状物
測定実績
車載ギア※ ジャイロセンサー
※出所:アイシン精機(日刊自動車新聞)
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超高精度三次元測定を実現するテクノロジー
He-Neレーザー測⾧技術によりナノ精度の絶対座標を実現
座標測定技術
測定機の座標系はステージと独立した
３枚の参照平面（ミラー）で構成され、
周波数安定化He-Neレーザを光源としたレーザー
干渉法によりXYZ各軸を分解能0.3nmで測定します。
これによりステージの直角度・真直度による影響を抑え、
高精度測定を実現します。
座標軸による測定誤差 ｜ 0.05μm以内（~100mm）
0.3μm以内（~500mm）
測定プローブ
超低測定力で測定物の高精度スキャニング測定が可能です。
スタイラスはマイクロエアスライダーで保持され、
フォーカス用レーザによりスタイラスの動きを検出し、
測定力が一定になるようにAFPの位置を測定物の形状に
合わせて追従します。
測定力:0.15～0.30mN（15～30mgf）
測定手順
簡単な操作で高精度な測定を実現。あらゆる設計情報に対応でき、
測定物の設置誤差を3次元的に補正して正確な形状測定が可能です。
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対象装置仕様
機種名 UA3P-500H（上段） UA3P-650H（上段）
550H（下段） 700H（下段）
外観
2100×1830×2110
外形寸法（W×D×H）mm 1260×1510×1580
2100×1830×2200
8500kg（その他:300kg）
本体質量 2400kg（その他:300kg）
9000kg（その他:300kg）
200×200×45 400×400×120
測定範囲 +Φ500×120
260×90×45 500×500×120
測定物設置エリア 300×270×252.5 600×600×330
（X,Y,Z軸）mm
分解能 0.3nm
測定最大傾斜角度 75°
30°以下:±0.05μm（往復）
測定精度 45°以下:±0.08μm（往復）
注)上面ルビースタイラス、あるいは
上面セラミックスタイラス使用時 60°以下:±0.10μm（往復）
70°以下:±0.15μm（下り）
座標軸による測定精度 100mm以下:0.05μm / 200mm以下:0.1μm
(XY軸測定精度) 400mm以下:0.2μm / 500mm以下:0.3μm
測定速度 0.02~20mm/sec 0.032~32mm/sec
使用環境 ※1 20～23℃（変動±1℃以下）/ 20～60％ /
温度/湿度/振動 許容値2.0cm/s2（=2.0gal） 推奨値0.5cm/s2
所用電源 AC100V±5％ / 14A
流量 250L/min（ANR） 450L/min（ANR）
空気圧:圧力0.5~1.0MPa
※1:空調の風が直接本体に当たらないこと
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測定事例
設計式を有した部品形状の測定にも対応 。
車載部品や複雑形状部品に対しても、ナノ精度でこれからのモノづくりをサポートします。
CAD / CAMソフトを利用したCADデータ連携
ギア形状などの自由曲面形状の測定
測定ターゲット(~500mm)
・車載ギアや円筒軸受の形状
・航空機タービンブレードなどの自由曲面形状
・その他精密加工部品の形状
垂直平面からの傾斜角度75°まで測定可能
製品の特⾧
- 接触式による走査で測定精度0.3μm以下の形状測定を実現しています。
- リニアスケールを“ものさし”とするCMM(三次元測定機)とは違い、
独自の測⾧技術を確立しており、高精度な測定を行うことができます。
- スキャンニングによる走査を得意とし、自由曲面や三次元形状を毎秒100ポイントの
高密度なデータ取得を可能としています。
- 独自の解析アルゴリズムで、設計値との誤差を算出します。
- プローブは30mgf以下の極めて低い接触力で、測定サンプルに傷や打痕を付けません。
測定実績
分野 測定サンプル
自動車、建機 ギア、軸受、バルブ部品
精密部品 ピンゲージ、軸受円筒ころ、エンジン部品
その他 人工関節など