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ウェーハ上のはんだバンプの検査を全自動で行うX線自動検査装置
◆ウェーハ上のバンプを自動で検査、判定を行うX線自動検査装置です。
◆ウェーハ内部のボイド(気泡)をX線を用いて透過し、その透過画像からボイドの直径(面積)を求め基準値以上のボイドについての良否を自動判定検査します。
◆X線源にはマイクロフォーカスX線管を用い、X線受像部には最新鋭のX線デジタルカメラを採用することで、高解像度の画像を抽出でき、高精度ボイド検査が可能です。
◆詳細はカタログをダウンロードしご覧いただくか、お気軽にお問い合わせ下さい。
このカタログについて
ドキュメント名 | クリーンルーム対応 X線ウエーハバンプ自動検査装置 Six-3000 |
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ドキュメント種別 | 製品カタログ |
ファイルサイズ | 818.4Kb |
登録カテゴリ | |
取り扱い企業 | 株式会社アイビット (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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