インラインX線自動検査装置

インラインＸ線自動検査装置 In-line Automatic X-ray Inspection System 自動検査装置で 定量化 省力化 コストダウン BGA実装基板のはんだ接合検査を、自動で行うX線検査装置です。 概 要 インローダーから取り込まれた基板は、あらかじめ登録された検査ポイントへ移 動し、エリア毎に専用ソフト（当社オリジナル）で、BGAボイド、ボールの有無、 異物、形状不良、ブリッジなどを良否判定します。 検査結果は、各エリア毎のデータとして保存できますので、集計管理、統計解析 に運用できます。 検査画面 BGAボールを個別に検査。 良否を緑と赤で色分けし、表示します。

Ｘ線による自動検査 Ｘ線カメラ SID-A50 自動判定における絶対条件は、常に安定したデータ ■鮮明な画像 を撮り込むことです。 直接変換方式により にじみの無い鮮明な透過画像を表示 一般的にX線発生器は、その構造と発生方式から常に ■長寿命 ＣｄＴｅ（テルル化カドミウム）がＸ線を吸収（約９９％）。 安定して出力されているとは言えません。同じ試料を撮 ＡＳＩＣ（読み出し回路）への影響を大幅に軽減 影しても、撮影毎にその濃淡情報は異なります。 ■安定した輝度 またこれまでのX線ディテクターは、シンチレータを採用 定期的にリセットを行い、ダークレベルの上昇を抑え していましたが、入力したX線がシンチレータで光に変 安定的な輝度にてリアルタイム画像を表示 換される際、光が拡散し、出力されるX線画像には常に にじみが見られていました。 直接変換式Ｘ線カメラ 間接変換方式FPD イメージ・インテンシファイア さらにX線は、X線ディテクター内の撮像素子にも影響 X線 高電圧 X線 X線 を与えますので、時間と共に劣化することを余儀なくさ 入力面 蛍光膜 ＣｄＴｅ Csl 光 電場 (Csl) れていました。 正孔対 これらのことから、Ｘ線を使って安定かつ連続した自動 電子 光電面膜 (SB-Cs) C-MOSフォトダイオード 光学レンズ 検査が出来る自動検査装置はありませんでした。 出力面 ＣＣＤカメラ 蛍光膜 (ZnS) バンプ接合 ＡＳＩＣ読み出し回路 弊社では、上記問題を根本から見直したうえで Ｘ線 Ｘ線 Ｘ線 システムの開発に取り組みました。 光(Csl:シンチレータ) 入力面蛍光膜 安定性の高いX線発生器とCdTeを採用したX線カメラを 電気信号 光(Csl:シンチレータ) 電子(光電膜) 開発、搭載した当装置こそが、真のX線自動検査装置 と呼ぶことが出来ます。 電子（ﾌｫﾄﾀﾞｲｵｰﾄﾞ） 光(出力面蛍光膜) 電荷(CCDｶﾒﾗ) 電気信号 電気信号 操作画面 検査結果 A:開始日時 終了日時 検査番号 品種コード シリアル番号プログラム名備考 撮影数 管電圧 管電流 設定時間 2009.05.19 16:4230:4069.05.19 16:46:20 1 3 0 123456-123T4E5S3T BASE DATA 10 0 0 300 B:撮影番号 ピクセルピッチ レイアウト数 検出数 Ｘ線管電圧 Ｘ線管電流 設定時間 照射時間 累積時間 判定 画像ファイル 1 0.1234 76 76 0 0 300 1 1 OK No Image C:ボール番号 ボール面積 ボール径 ボール円形度 ボイド面積 ボイド径 ボイド率(%) 判定ビット 判定 1 1790 47 1 0 0 0 0x0000 2 1885 48 1 66 6 3.5 0x0000 3 1765 47 1 0 0 0 0x0000 4 1851 47 1 1245 38 67.26 0x0001 ボイド 5 1845 48 1 0 0 0 0x0000 6 3899 117 0.58 0 0 0 0x0004 ブリッジ 7 1631 46 0.98 0 0 0 0x0000 8 1623 45 1 0 0 0 0x0000 9 1585 45 1 0 0 0 0x0000 10 1630 45 1 0 0 0 0x0000 11 1627 45 1 1130 37 69.45 0x0001 ボイド 12 1770 47 1 1246 38 70.4 0x0001 ボイド 13 1933 49 1 0 0 0 0x0000 14 1960 50 1 25 8 1.28 0x0000 15 0 0 0 0 0 0 0x0080 未ハンダ 16 2096 51 1 0 0 0 0x0400 異物 17 0 0 0 0 0 0 0x0080 未ハンダ 18 1684 46 1 0 0 0 0x0000 19 1637 44 1 0 0 0 0x0000 20 1733 48 1 0 0 0 0x0000 21 1729 48 1 0 0 0 0x0000 X線発生器 110kV　(50W) 仕様 X線ディテクター SID-A50 ソフトウェア PIA-Soft 対象基板サイズ 50×50 ～ 250×330mm 対象基板厚さ 1～2.5mm ユーティリティ AC100V ５Mp／cm２　φ8チューブ継ぎ手 駆動制御 PLC制御（タッチパネル） その他 基板アライメント補正機構付き ディスプレイ 20インチワイド インターロック 基板搬入出シャッター 扉スイッチ　他 漏洩線量 １μSv/h以下 外形寸法 W1175×D1140×H1520mm （ディスプレイ、三色灯除く） 重量 約1,000kg 〒541-0075 大阪府大阪市中央区北久宝寺町2-3-6 電話(06)6262-2451 pony-west@ponyindustry.co.jp