自動2次元座標測定機能付き白色干渉顕微鏡　OPTIFIS　IS-R300

Page 1:OPTIFIS※１自動2次元座標測定機能付き白色干渉顕微鏡簡単操作でサブナノメートルの3D/２D自動測定を実現20μmの金属配線の寸法測定IS-R30018nm段差基準ゲージの測定例www.sinto-sp.co.jpSi基板上のレジストパターン(溝ピッチ：1.7μm 深さ：0.25μm）金属 研削加工面の傷（幅：1.6μm 深さ：0.3μm）白色干渉自動測定例半導体 精密加工部品非接触精密表面形状測定画像処理式2次元座標測定自動2次元座標測定測定例タッチスクリーンITOパターン座標測定プリント配線版電極パターン幅測定光コネクタ ファイバー穴偏芯座標測定 (径 125μm)スマートフォン プリント配線版FPD液晶TV光コネクタタッチスクリーン 銀電極(幅：約50μm 高さ：約13μm)スマートフォン液晶TFTCD/オーバーレイ測定白色干渉顕微鏡に2次元測長機能を追加した業界初のハイブリッド自動測定顕微鏡。3Dと2Dの異なる検査を1台で対応。機能はオールインワンでコストはコンパクトなモデルです。白色干渉顕微鏡に2次元測長機能を追加した業界初のハイブリッド自動測定顕微鏡。3Dと2Dの異なる検査を1台で対応。機能はオールインワンでコストはコンパクトなモデルです。ブロブ検査・解析機能検出画像内において、欠陥（特徴）とその他を自動で検出します。対象となる欠陥は任意で閾値を設定することが可能です。閾値設定画面欠陥検出結果画像測定画像XY結合機能XY移動をしながら測定した画像をステッチングすることが可能です。視野より広い面の歪みや形状測定や分布の評価に便利です。広範囲の高さ測定機能Z軸に搭載したスケールにて、上面と下面の測定結果をリンクできる為ピエゾの走査範囲以上の段差測定が可能。ピエゾの走査範囲MAX.400μm）以上の段差の測定が可能。高さのあるワークの測定に効果的です。ステッチング画像（30回測定データ）1視野の結果下面（白色干渉測定）上面（白色干渉測定）下面（白色干渉測定）上面（白色干渉測定）CHECK CHECKCHECK

Page 2:X：150 × Y：150mm有効測定エリアフォーカシングユニットストローク 30mm顕微鏡部マニュアル移動範囲 100mmZ軸0.25%(対物レンズ10×、4μm段差測定時)段差測定繰返し性2.5倍,5倍,10倍,20倍,50倍（選択）対物レンズ30万画素(640×480)、120万画素(1280×960)切替カメラ画素数1nm（垂直走査方式） / 0.1nm(位相シフト方式）Z測定分解能（RMS)1倍/0.5倍 出荷時選択結像レンズ100μm / 250μm / 400μm 出荷時選択高さ計測範囲■主な仕様本社： 〒243-0036 神奈川県厚木市長谷260-63TEL ： 046-248-0026 FAX： 046-282-9163http://www.sinto-sp.co.jp 201510Z軸90mmの範囲で白色干渉測定結果をステッチング広範囲高さ測定機能オフラインCADティーチングソフトウェアC-AUTO白色干渉用オフライン解析ソフト？？？？レシピ作成・編集支援ソフトウェアRecipe Maker面粗さ解析機能線粗さ解析機能白色干渉用ソフトウェア機能追加ブロブ検査解析機能測長用ソフトウェア機能追加PTB（ドイツ）校正証明書付き粗さ基準片NIST（アメリカ）校正証明書付き高さ校正用基準片パッシブ除振台 / アクティブ除振台除振台●オプション●製品構成マウスキーボード白色干渉用モニタ除振機構（オプション）照明用コントローラ本体■白色干渉機能・JIS B0601:1994/2001に準拠した、線粗さパラメータに対応・ISO 025178に準拠した面粗さに対応・3次元データの拡大・回転・移動・照明とカラーの２つの表示モード・マウスで、指定したポイントの高さを表示。・マウスで直線指定した箇所の断面プロファイルデータをプロファイルウィンドウに表示。・２Dビューワーで指定した直線の断面プロファイルを表示・指定範囲の、最大高さ・最小高さ等を算出【3Dビューワー】 【 2Dビューワー】 【プロファイルウィンドウ】 【粗さウィンドウ】■自動2次元座標測定機能画像処理2次元座標測定の計測ソフトウェア「3D-SCAM」。高い操作性と多様な測定対象に対応した測定・アライメントモードも準備。お客様の寸法測定作業をサポートします。画像処理2次元座標測定の計測ソフトウェア「3D-SCAM」。高い操作性と多様な測定対象に対応した測定・アライメントモードも準備。お客様の寸法測定作業をサポートします。【メイン画面】アライメント・測定モードあらゆる二次元形状の測定に対応できる豊富な測定モードが、ユーザのニーズに合った測定を実現。ご要望に応じて新規モードの作成も可能。ティーチング結果・測定結果表示測定プログラム作成(ティーチング)結果や測定結果をリアルタイムで表示。CSV形式での保存が可能。測定画像表示測定画像、測定指示ボックス、エッジ検出箇所等を表示。高・低倍の倍率切り替えや、デジタルズーム表示も可能。各種操作ツール倍率切り替え画像取込、各種フォーカス動作、画像フィルター、パターンサーチ等の設定、実行を行います。[ティーチングマクロ編集][輝度プロファイル表示] [画像保存機能] [パターンマッチング]輝度プロファイル表示ができ、輝度値からエッジ情報を数値管理できます。画像を自動保存可能です。「全ての画像を保存」「エラー箇所のみ保存」などの設定ができます。 あらかじめ登録しておいた画像を視野内から検出することで、ワークのセッティングずれや設計値からのずれ対応します。照明・オートフォーカス・画像フィルター、測定位置座標など、ワークの状態に応じた測定プログラムの変更が可能。測長用モニタ白色干渉機能3σ≦0.9μm（対物レンズ10倍選択時）長寸法繰り返し性1倍,2.5倍,5倍,10倍,20倍,50倍（選択）対物レンズ打ち合わせによるカメラ画素数U1=2.0 L/150μm（対物レンズ10倍選択時）XY各軸精度X：150 × Y：150mm有効測定エリア測長機能W：676 × D：596 × H：678mmコントロールラック寸法60Kgコントロールラック重量AC100 50/60Hz電源50Kg本体重量W：401 × D：574 × H：657mm本体寸法外観・システム●基本システム