ＸＹθアライメントステージ　NAF3Cシリーズ

XYθ Stage 仕様　Specifications RENEWAL 項目　Item NAF3C-10 短納期 NAF3C-16 短納期 NAF3C-20 NAF3C-30 NAF3C-40 X 軸 Y 軸 θ 軸 X 軸 Y 軸 θ 軸 X 軸 Y 軸 θ 軸 X 軸 Y 軸 θ 軸 X 軸 Y 軸 θ 軸 ストローク　Stroke X axis Y axis θ axis X axis Y axis θ axis X axis Y axis θ axis X axis Y axis θ axis X axis Y axis θ axis 超薄型 （アライメント）ステージ ±2mm ±2° ±3mm ±3° ±3mm ±3° ±3mm ±3° ±3mm ±3° XYθ テーブルサイズ　Table size 100mm × 100mm 160mm × 160mm 200mm × 200mm 300mm × 300mm 400mm × 400mm ベースサイズ　Base size 120mm × 120mm 170mm × 170mm 220mm × 220mm 320mm × 320mm 400mm × 400mm Ultra Slim XYθ (Alignment) Stage 高さ　Height 35mm 45mm 65mm 70mm 80mm 繰り返し位置決め精度 ±1μm以内 ±0.7μm以内 ±1μm以内 ±1μm以内 ±1μm以内 Repetitive positioning accuracy NAF3C-10 NAF3C-16 NAF3C-20 NAF3C-30 NAF3C-40 ロストモーション　Lost motion 3μm以内 2μm以内 2μm以内 2μm以内 2μm以内 静止時負荷容量 ※1 200N 1000N 2000N 4000N 6000N Load carrying capacity when stopped 移動時負荷容量 ※1 100N 300N 600N 1000N 1000N Load carrying capacity when moving 平行度　Degree of parallelism 30μm 定格速度　Rated speed 5mm/s 薄型ボディに機能を凝縮 最高速度　Maximum speed 10mm/s ステッピングモータ型式 PK513PA TS3664N16E2 TS3667N1E2 PK546PA 「超薄型シンプル構造」「高剛性」「高精度」 Stepping motor model オリエンタルモーター製 多摩川精機製 多摩川精機製 オリエンタルモーター製 サーボモータ型式　Servo-motor model － HG-KR053（50W）/三菱電機製 ボールねじリード　Ball screw lead 1mm 2mm Functionality Compressed ドライバー型式 ※2　Driver model ステッピング（Stepping）：MC-0514-NF-3L/マイクロステップ製　　　サーボアンプ（Servo-amp）：MR-J4-10A/三菱電機製 分解能（出荷時設定） into an Ultra Slim Bodyステッピング（Stepping）：0.2μm/pulse　　　　　　　　　　　サーボ（Servo）：0.1μm/pulse Resolution (factory setting) "Simple Ultra Slim Construction", フォトマイクロセンサ PM-L24　/　パナソニックデバイスSUNX製 Photomicrosensor "Highly Rigid", "Highly Precise" ステージ材質　Stage material 鉄-低温黒色クロム処理　Iron-Low temperature black chrome plating treatment　 　アルミ-黒アルマイト処理　Aluminum-black alumiite treatment 質量　Weight 2.2kg 6kg 14kg 44kg 60kg 潤滑剤　Lubricant 低発塵グリス　Low dusting grease ※1　垂直方向等分布での負荷容量となります。搬送ステージ等に搭載される際は、上記の値は適応されません。 　　 Vertical directions become the load capacity by the distribution.When it is put on the conveyance stages, the value mentioned above is not indicated. ※2　ステッピングモータのドライバは、オープンコレクタ仕様となります。ラインドライバ仕様をご希望の場合は、下記連絡先までお問い合わせ下さい。 　　 The driver of the stepping motor becomes the open collector specifications.When you want a line driver specifications, please refer to the following contact information. システム構成 事例　System Structure - Case Example 画像処理装置 Image Processing カメラ 他の装置へ System Camera To other system コントローラ モータドライバ モータケーブル Motor cable（PLC等） Sequencer Motor driver センサケーブル Sensor cable ステージ Stage 本カタログの内容は、改良のため予告なく変更することがあります。　Information in this catalog is subject to change without notice due to our policy of continuous improvement. 【お問い合わせ・販売は　For inquiries, please contact 】 ̶　http://www.hephaist.co.jp　̶ 代　表　TEL：049（273）7000　 FAX：049（273）7001 営業部　TEL：049（273）7003　 FAX：049（273）7006 HEPHAIST SEIKO Co., Ltd. 2014.02

XYθ Stage 電動アクチュエータを同一平面上に配置した超薄型ステージ スライド部分には中間プレートを上下2枚のプレートで挟み込む「予圧型ダブルスライド」構造を採用。 各プレートの間に多数のボールが配置され、スムーズな平面転がり運動を可能にしています。 また3つのアクチュエータを同一平面上に配置した為、低重心・超薄型シンプル構造を実現。装置の小型化に貢献します。 Ultra Slim Stage with Electric Actuators Arranged on the Same Plane Employs a slider with a "preload double slide" construction that consists of a middle plate inserted between upper and lower plates. Features an array of balls arranged between each plate that enables smooth, flat plane rolling motion. A simple, ultra slim construction with a low center of gravity achieved by the three actuators positioned on the same plane. This construction contributes to device miniaturization. 特長　Features 動作原理　Operating Principle 1 超薄型シンプル構造 2 高精度な位置決め 3 高剛性 同一平面上に配置した3つのアクチュエータを各々動作させることにより、様々なテーブル動作が可能になります。 Ultra slim and simple construction Highly precise positioning Highly rigid Driving each of 3 actuators arranged on the same plane enables a variety of table movement. 4 省スペース 5 低重心ステージ Small footprint Low center of gravity U軸を動作させると、テーブルはX方向 V、W軸を同一方向に同じ量を動作させる へ移動します。 と、テーブルはY方向へ移動します。 Driving the U axis moves the Dr iving the V and W axes the 使用例　Example of Usage table in the X direction. same amount in the same direc- t ion moves the table in the Y direction. 1 スクリーン印刷機（チップ部品、PCB基板、FPC基板） 2 パネル貼り合せ、実装装置（LCD、EL、タッチパネル、太陽電池） Screen printing equipment Panel joining and mounting equipment (Chip components, PCB, FPC) (LCD, EL, touch panel, solar cell) V、W軸を同一方向に同じ量を、そして同 テーブル中心を旋回中心としてテーブル 3 露光機（チップ部品、PCB基板、FPC基板） 4 プローバー検査装置（PCB基板、水晶デバイス、電子部品、FPD点灯検査） 時にU軸を動作させると、テーブルは斜め が回転（θ軸）している例です。 方向へ移動します。 Lithography machines Prober testing equipment Example of rotating the table (Chip components, PCB, FPC) (PCB, liquid crystal devices, electronic components, FPD lighting tests) Driving the V and W axes the using the table center as the axis same amount in the same direc- of rotation (θ axis). t ion while dr iv ing the U ax is 特殊用途　Specific Usage moves the table diagonally. 1 高速ステージ搬送 2 天吊使用 High speed transportation Use hung from other objects 任意の点を旋回中心としてテーブルが回 転（θ軸）している例です。 Example of rotating the table 予圧型ダブルスライド構造　Preload Double Slide Construction using an arbitrary point as the axis of rotation (θ axis). 上プレート Upper plate ボール Ball 中間プレート Middle plate 下プレート Lower plate