半導体製造装置のプラズマ発生源、熱処理装置の加熱源などに使用される半導体式のマイクロ波電源です。
【特長】
・マグネトロン電源に比べ、発振周波数、発振波形、出力電力の安定性に優れています。
・発振周波数を可変できるため、装置に合わせた細かな制御が可能です。
・小型、軽量化を実現しました。アンプユニットはマグネトロン発振器と同等サイズです。
・パルス発振、位相制御、アナログ制御などをオプションで対応も可能です。
・アイソレータ、方向性結合器、3E TUNERと組み合わせてご使用いただけます。
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このカタログについて
| ドキュメント名 | 3kW ソリッドステート型マイクロ波電源 |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 154.7Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 日本高周波株式会社 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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このカタログの内容
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The Future of Wave Technology
Solid State Microwave Power Sources
3kW ソリッドステート型マイクロ波電源
半導体製造装置のプラズマ発生源、熱処理装置の加熱源などに使用される半導体式の
マイクロ波電源です。
発振周波数と出力電力の安定性に優れていて、2400MHzから2500MHzの広帯域で使用できます。
【特長】
・マグネトロン電源に比べ、発振周波数、発振波形、出力電力の安定性に優れています。
・発振周波数を可変できるため、装置に合わせた細かな制御が可能です。
・小型、軽量化を実現しました。アンプユニットはマグネトロン発振器と同等サイズです。
・パルス発振、位相制御、アナログ制御などをオプションで対応も可能です。
・アイソレータ、方向性結合器、3E TUNERと組み合わせてご使用いただけます。
■電源ユニット(MSS-2450M50M-302-P01) ■アンプユニット(MSS-2450M50M-302-A02)
【使用例】
アイソレータ 方向性結合器 3E TUNER
アンプ 負荷
ユニット
電源ユニット
【仕様】
形式 MSS-2450M50M-302
発振周波数 2450MHz±50MHz
周波数安定度 1×10-4/day以下
定格出力電力 3kW
出力可変範囲 100W～3kW連続可変
高調波電力 -25dBc以下(foに対して2fo,3fo)
電源ユニット 強制空冷
冷却方式
アンプユニット 水冷 冷却水流量：6リットル/min以上
電源入力 三相AC200V±10％ 50Hz/60Hz
出力フランジ TBR-2A2相当(偏平導波管フランジ)
外形寸法 電源ユニット 480W×450D×199H(㎜) ※突起物含まず
Ｗ×Ｄ×Ｈ(㎜) アンプユニット 280W×280D×310H(㎜) ※突起物含まず
本社:〒226-0019 横浜市緑区中山3-15-1 Tel. 045-939-6961 Fax. 045-932-1900
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