ハイデンアナリティカル社製 質量分析計用 サンプリングインレット

Sampling Inlets for Hiden Mass Spectrometers Gas, Vapour and Liquid Sampling Systems ハイデデンンアアナナリリティテカィルカ社ル製社 質製量 質分量析分計析用計 サ用ン サプンリンプグリインングレイットンレット ガスス、、気気体体、液、体液サ体ンサプンルプ用ル サ用ン サプンリプンリグンシスグテシムステム Hiden社の ガス分析システムは多くのアプリケーションでご利用頂けます。サンプルインレットは ユーザー交換が可能で、既存の装置への新規アプリケーション追加など、複数の用途に質量 分析計を対応させることができます

Gas Sampling Inlets ガスサンプリングインレット 幅広いサンプルフローとサンプル圧力範囲に対応 標準 QIC 不活性クォーツキャピラリー 低圧用ステンレススチールキャピラリー  サンプル圧力範囲2bar〜100 mbar  動作温度 200°Cまで  サンプル圧力範囲 250〜25 mbar  キャピラリー長: 1.8 m (標準)  動作温度 200°Cまで  300ミリセカンドの高速サンプリング応答速度  キャピラリー長：0.9 m  サンプル消費 毎分0.8〜20 ml  すべてステンレススチール部品  Swagelok 1/ 16 "または1/8" 接続  Swagelok1/ 16 "または1/8" 接続  耐腐食性オプション有り  QICシステム標準キャピラリーと付け替え可能  高速応答向け 0.9m長キャピラリもご用意。サンプル消費速度  耐腐食性オプション有り は毎分1.6〜20 ml  フレキシブル材質 超低流量QIC 加熱キャピラリー インレット HT/HP ガスサンプラー  反応ガス研究用。 反応ガスフローが限られるオンライン電気化 学質量分析向け  サンプル圧力範囲 0.1〜30 bar  サンプル消費速度 毎分250µl  標準QICインレットに接続  動作温度 200度まで  動作温度 200度まで 2 | Sampling Inlets for Hiden Mass Spectrometers Gas, Vapour and Liquid Sampling Systems

超低圧サンプリングインレット マイクロフローインレット  サンプル圧力範囲 10〜1 mbar  サンプリングレート 毎分12µl (オプションで毎分24 µl )  動作温度 120°Cまで  シングルまたはマルチキャピラリインレットオプション  キャピラリー長：0.3 m  8〜16秒の応答時間 。特殊設計による高速反応  Swagelok1/ 8 " 接続  剛性構造 1 1m meetrtree sseemi-fllexxibiblele h heaetaetde hdo hseo s2e0 02°0C0°C Saample ffrroomm A ALDLD Massss sspeecctrtormometerter 2--Sttage 5m33//hrr SSccrroollll ppuummpp (not-shown) (not-shown) MasMs sapsesc tsrpomecettreor mturebtoe prump 70 l/s turbo pump 70 l/s Key - Use PDF reader layer function for additional information Note - Diagram is for illustrative purposes only and is not to any exact scale or proportion Fig.1 Sectional diagram HPR20 System with special inlet for monitoring ALD gases and vapours HPR20_System_for_ALD_Monitoring_with_isolation_valve_01a C ANALYTICAL SGL –アイソレーションバルブ付き加熱 低圧インレット トライバルブサンプリングヘッド  1〜5 mbar(または5〜50mbarオプション)でALDプロセスをサン プリング  サンプル圧力範囲<10⁻⁴mbar〜1000 mbar＞  動作温度 200°Cまで  プロセスチャンバーへのフレキシブル接続  空気作動式（200°C）加熱アイソレーション「ALD」バルブが含  自動でのサンプルライン切り替え まれます(上図には表示なし) Sampling Inlets for Hiden Mass Spectrometers Gas, Vapour and Liquid Sampling Systems | 3

Multistream Gas Sampling Inlets マルチストリームガスサンプリングインレット MSVマルチストリームセレクター  4、8、または16ストリームが選択可能  加熱オプション（160°C）  耐腐食性オプション有り  サンプルフロー：毎分50ml  流量計オプション プロテウス ツインキャピラリーインレット  20、40、80マルチポートバルブ  アプリケーション–反応容器の入力と出力の測定  動作温度 120°Cまで  動作温度 160°Cまで  標準フロー> 毎分100 ml  キャピラリー間の高速スイッチングバルブ-1秒未満  低フロー構成– 毎分4 ml ～  2つのキャピラリーを搭載(0.9mまたは1.8m選択可能)  高フロー構成–最大毎分 10 l  ストリーム間のクロストークなし 4 | Sampling Inlets for Hiden Mass Spectrometers Gas, Vapour and Liquid Sampling Systems

Gas Sampling Inlets - Thermal Analysis ガスサンプリングインレット-昇温分析 反応炉、グローブボックス、反応器など反応ガス分析向けインレット QIC HT250インレット  サンプル圧力範囲2bar〜100 mbar  250°C（HT250）/ 450°C（HT450）対応  サンプル消費 毎分 0.8〜20 ml ホットゾーンインレット  キャピラリー長：1.8 m  反応炉からのサンプリング向け。反応炉からQICへの接続アダ プタ  Swagelok1/ 16 "または1/8" 接続  加熱フィルターアセンブリが含まれます  標準QICインレットと付け替え可能  1700°Cまでのダイレクトサンプル分析が可能  耐腐食性オプション有り  一般的な反応炉への互換性  フレキシブルで頑丈なスチールホース QIC グローブボックス  動作温度 200°Cまで  グローブボックスでの低デッドボリュームインター TGA-MS フェースを提供 QIC エクステンション  TGA-MS 反応ガス分析用に多種インターフェースをご用意  TGA機器に適合・互換  標準QICシステムへのアップグレード  多数のメーカーのモデルに対応  長さを2m（標準延長）または4 m、6m延長します Sampling Inlets for Hiden Mass Spectrometers Gas, Vapour and Liquid Sampling Systems | 5

Gas Sampling Inlets for ガスサンプリングインレット 液体中の溶存ガス分析 ダイレクト透過膜インレットプローブ キュベット  液体またはスラッジサンプルへの浸漬および/または挿入向け  バイオ燃料研究用キュベットスタイルのサンプルセル (例：土壌コアサンプリング)  感光性研究用の取り外し可能なカバー  酵素反応プローブ 脱窒向けプローブ  酵素触媒の化学反応を研究するプローブサンプラー  フロースループローブ。脱窒研究用の低流量設計  ガラスプローブ構造  液体窒素コールドトラップを使用して水蒸気を除去可能 6 | Sampling Inlets for Hiden Mass Spectrometers Gas, Vapour and Liquid Sampling Systems

大型円形薄膜セル DEMSダイレクトインレット  液体フロー接続を搭載した、フロースルー溶存種プローブイン  電気化学種のダイレクト測定用のプローブサンプラー レット  Redoxme™セルおよび/またはユーザー自身のセルの電極に配  高速・高感度測定のための表面積 置可能  オンラインでのサンプル温度測定用の熱電対を搭載 DEMS  質量分析計インレットと電気化学セルのコンビネーション。電気 化学パラメータをスキャンしながら、ガス状または揮発性の電気 化学反応物、反応中間体、および生成物をリアルタイムで質量 分解して測定します フロースルー溶存種プローブ  スタティックまたはダイナミック電解液府フローに対応  薄膜・二重層セル  連続フロー分析向け  海または河口水などのサンプル分析 Sampling Inlets for Hiden Mass Spectrometers Gas, Vapour and Liquid Sampling Systems | 7

HIDEN ANALYTICAL社の四重極質量分析計システムは、 様々な用途で利用されています。 ガス分析 反応ガス流量の経過測定 触媒分析と熱解析 分子ビーム研究 Hiden Analytical Ltd. 溶存ガス測定 420 Europa Boulevard 発酵、環境、生態学的研究 Warrington WA5 7UN England T +44 [0] 1925 445 225 F +44 [0] 1925 416 518 表面分析 E info@hiden.co.uk W www.HidenAnalytical.com UHV TPD SIMS イオンビームエッチングの終点検出元 素イメージング – 3D マッピング Sales Offi ces: We have sales offices situated around the globe. Visit our website for further プラズマ分析 information. プラズマ因子の特性 エッチングと堆積プロセスの運動力学研究 中性種とラジカル種分析 イノベーションサイエンス株式会社 真空分析 〒213-0012 神奈川県川崎市高津区坂戸3-2-1 KSP東棟 210 TEL:(044)982-3152 FAX: (044)982-3153 プロセスガスの分圧測定と制御 Email: info@innovation-science.co.jp スパッタリング反応制御 Web: http://www.innovation-science.co.jp/ 真空分析 真空コーティングプロセスモニター TDS 169/3