残留ガス分析向け四重極質量分析計

RESIDUAL GAS ANALYSIS Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis Applications (RGA) HIDEN ANALYTICAL社製 残留ガス分析向け四重極質量分析計

MASS SPECTROMETERS for Residual Gas Analysis Applications (RGA) 残留ガス分析向け質量分析計(RGA) 残留ガス質量分析計（RGA）は、真空環境内の汚染モニタリング、 揮発性有機化合物: 種固有の質量であるベンゼンの質量数78、ト リーク検出、真空チャンバー内の水蒸気成分等の分析を行いま ルエンの91、エタノールの31、イソプロピルアルコールの45が測定 す。 HIDEN ANALYTICAL社製の残留ガス質量分析計は、真空処 されます。 理、科学研究、技術開発の実用例に対応する、幅広い製品ライン HIDEN ANALYTICAL社の残留ガス質量分析計は、上記のようなガ アップを揃えた四重極質量分析計です。 ス種をリアルタイムデータ分析し、ユーザーに主要な真空残留物の HIDEN ANALYTICAL社製の残留ガス質量分析計には、直感的でマ 分圧状態と成分傾向を知らせます。取得データは、真空チャンバー ルチレベルなソフトウェアが搭載されており、初心者ユーザーには の定期点検、漏出検出、真空プロセス分析、および学術研究に使 シンプルなフェイルセーフ操作を提供する一方で、専門家向けの便 用されています。 利で高度な機能を幅広く取り入れています。 お客様からの評価:　 よくある真空残余物の参照例: 「Hiden Analyticalが提供する製品は、品質と耐久性、設計 から実装まで十分に信頼できると感じています。また、購入 水素: 質量数2で測定され、脱ガスの際、完全な真空を達成する制 した製品を扱うにあたり、充実したサポート体制を体験する 限要因となりうる為、UHVで特に重要となります。 ことができました」 ヘリウム： 質量数4で測定され、漏出検出の検索ガスとして使用され ます。 HIDEN ANALYTICAL社製残留ガス質量計にはリーク検出 モードを搭載し、ヘリウムの高速応答分析が可能です。 水： 質量数18で測定される水は、UHVレベルにするのが最も難しい 残留物で、真空チャンバーを長時間ベーキングまたは排気する必 要があります。 窒素と酸素： 質量数28と32の窒素と酸素は、フラグメントピークの 質量数14および16のピークが検出されます。重要な信号「エアピー ク」は、多くの場合、チャンバーリークの最初の兆候として分析され ます。 炭化水素： 質量スキャン全体で複数の質量数で表示され、通常、 アルカンとアルケンの質量数69と71、55と57、41と43、15で識別され ます。高感度残留ガス質量分析計の広範質量スキャンにより、 ユーザーはチャンバーの汚染レベルを分析することができます。 *オンボード安全機能には、内部測定によるフィラメントと検出器の過圧保護、お よび外部過圧保護デバイスの接続が含まれます。 B | Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA)

コンテンツ RGA シリーズ -イントロダクション モデルHALO - 残留ガス四重極質量分析計 モデルHAL/3F - 研究開発用トリプルフィルター四重極質量分析計 モデルHAL/3F PIC - 高速反応分析向けパルスイオン検知器付きトリプルフィルター 　 四重極質量分析計 イオンソースオプション モデルHMT - 高圧残留ガス四重極質量分析計 モデルHAL - 厳格なUHV・XHV アプリケーション用の質量分析計 モデルHAL 101X - 放射線環境下でのシンクロトロン/加速器、及びトカマク/トーラスアプ リケーション向け装置 モデルHALO 201 MBE -分子線エピタキシー四重極質量分析計 モデルXBS - 分子線分析、及び堆積制御用のスパッタレートモニター モデル3F PIC シリーズ - UHV TPD向け装置 モデルDLS シリーズ - 水素同位体研究と核融合アプリケーション向けの超高分解能質量分析計 モデル1000 シリーズ RGA - 科学研究アプリケーション向けの9mm四重極質量計 EPIC & IDP シリーズ - 中性粒子、ラジカル、イオンのUHV分析 RGA 制御ソフトウェア - MASsoftpro, iRGAソフトウェア モデルHAL 3F 1000 標準ゴールドソースとUHV真空燃焼ソース Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA) | 1

RGA シリーズ Hiden残留ガス分析装置は、厳格な性能テストと微調整を経て、最高のパフォーマンス を提供します。 真空診断 分子線研究 反応性スパッタリングクローズループ制御 半導体製造 リーク検知 UHV / XHV表面科学 真空炉モニタリング 真空プロセス分析 コンタミネーション分析 UHV TPD モデルHALO 100 RC HIDEN ANALYTICAL社のRGAシリーズには3つのラインアップをご用意しています: モデルHALO - 残留ガス分析向け モデルHAL/3F - 研究開発向けトリプルフィルター四重極質量分析計 モデルHAL/3F PIC - 高速反応分析向けパルスイオンカウント検知器付きトリプルフィル ター 四重極質量分析計 モデルHAL/3F 主な特徴とオプション: 質量範囲オプション: 50, 100, 200, 300, 510 m/z モデルHAL/3F PIC 高速データ測定 - 最大650 point/sec トリアコートイリジウムフィラメント リアルタイムでのバックグラウンド減算 イオンソースとシュラウドの追加オプション 質量分析ライブラリー搭載 複雑なガス成分用の高度な分析機能 高感度ヘリウムリーク検知機能：検索ガスに選択可能 2 | Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA)

モデルHALO for Residual Gas Analysis 残留ガス質量分析計 真空ガスフィンガープリント： ヒストグラムとピークプロファイルスキャン トレンド分析：複数ガス種をリアルタイムで 分析。 　　80種類までを同時にモニタリング リーク検出 ゼロブラストとベースラインドリフトの排除：真空チャンバーの残 留ガス/蒸気種を比較分析 検出器オプション: - ファラデーのみ、又は ファラデー/エレクトロンマルチプライヤー 感度: - ファラデー - 1x10-9 Paまで検出 モデルHALO 201 RC - エレクトロンマルチプライヤー - 2x10-11 Paまで検出 最大動作圧力: - 1x10-2 Pa 空気中のヘリウム5 ppm -高感度で安定したバックグラウンド-高圧時 10 8 6 モデルHALO と RF ヘッド 4 2 0 1 2 3 4 5 6 ヘリウムに対するHIDEN ANALYTICAL社製RGA感度は、一般的なアナライザーの約 5倍*です。 特徴: 質量範囲オプション: 100, 200, 300 m/z 検出器オプション: ファラデー、又は ファラデーとマルチプライ ヤー Windows PCでの管理操作 自動電子ビームシャッターEBS™によるノイズ抑制と最適化 飽和信号検出時でも使用可能な高速スキャン用の自動 DeSat™モード *Based on reference to published relative sensitivity data. Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA) | 3

モデルHAL/3F Triple Filter Mass Spectrometer for Analytical Applications 研究開発向けトリプルフィルター四重極質量分析計 Pre-filter Mass Selective Post Filter Primary Filter トリプルフィルター構造 モデル3Fは高質量種向けの高感度と高分解能が特筆されます。 トリプルマスフィルターテクノロジーによる高い汚染耐性と、 高アバンダンス感度を提供します。 ガス分析や分子ビーム測定、加えてUHV / XHV研究など用途 別にイオンソースを用意しています。 質量範囲オプション: - 50、200、300、510 m/z モデルHAL/3F と RF ヘッド - シリーズ1000での最大質量範囲5000 m/z 検出限界： - ファラデー検出器 – 1x10-9 Pa 特徴: - シングルチャンネルエレクトロンマルチプライヤー – 2x10-12 Pa 質量範囲オプション: 50, 200, 300, 510 m/z 最大動作圧力: 検出器: ファラデーとシングルチャンネルマルチプライヤー - 2x10-2 Pa フィールド電位軸制御：イオンソースエミッション、エレクトロン エナジー、イオンエネルギーの管理 自動電子ビームシャッターEBS™によるノイズ抑制と最適化 自動DeSat™モード：飽和信号検出時でも使用可能な高速ス キャン 4 | Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA)

モデルHAL/3F PIC Triple Filter Mass Spectrometer with Pulse Ion Counting Detection for Fast Event Studies 高速反応分析向けパルスイオンカウント検出器付きトリプルフィルター四重極質量分析計 UHV TPDでの高速反応研究および過渡ガス分析用のパ ルスイオンカウント検出器 1 c/sから10⁷ c/sまで７桁連続測定 マルチチャンネルスケーラー検出器オプションでの50 ナノセカンド時間分解能 質量範囲オプション: - 50, 300, 510 m/z - 1000シリーズでの最大質量範囲5000 m/z - パルスイオン検出器での検出限界 < 5x10⁻¹³ Pa 最大動作圧力: - 5x10-⁴ Pa モデルHAL/3F PIC - 1x10-２ Pa (ファラデーオプション) UHV TPD.に適したPPM/PPBレベルでの高性能過渡データ取得 モデルHAL/3F PIC と RFヘッド 特徴: 7 桁ダイナミックレンジ > 毎秒650 ポイント測定 5x10-¹³Paシグナルまで検出 パルス研究向けの信号ゲーティング マルチチャンネルスケーラー検出器オプションでの50ナノ セカンド時間分解能 PCAモード-予測カウント累積モード。 マルチプライヤー の劣化を防ぎます。 Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA) | 5

ION SOURCE OPTIONS イオンソースオプション HIDEN ANALYTICAL社は、ラインナップのRGAに適合する様々な種類のイオンソースを 製造しています。RGAにオプションでイオンソースをカスタマイズすることで、RGAを特定 分析向けに最適化することができます。 イオンソースオプション スタンダード RGA - シンメトリー構造の一般用途向けフィラメント UHV ロープロファイル - UHV・TPD研究に特化し、イオンソースをエボリューション表面に 近接する設計となっています。 標準およびUHVロープロファイルソース クローズドソース- ガス直入の差動排気ステージ付き高圧研究アプリケーション用イオン ソース。 ベーシッククロスビーム：ベーシッククロスビームはイオナイザー表面で凝縮しがちな分子 ビームの分析に使用します。イオンソースはイオナ化領域に非干渉の通路を持つのが特 徴です。外部シュラウドのオプションで、四重極質量フィルターを凝縮ガス種から保護する ことができます。 XBSクロスビーム- XBSクロスビームは、MBE堆積速度のモニタリングとXBS制御用に構 成されています。 スタンダードゴールドソースとUHV真空燃焼ソース レーザークロスビームソース：レーザークロスビームソースは、ソースケージ領域内のレー ザーフォトンイオナイゼーションに、2つの非干渉イオン直交経路を用い、電子衝撃と電子 付着イオン化の代替手段を提供します。 イオナイザー内蔵4レンズイオン質量計- 分析器の外部から発生した低エネルギー正・負 イオンの解析が可能です。エレクトロン、フォトン、レーザー脱着研究用に開発されていま す。 プラチナイオンソース- このイオンソースは、反応ガス分析用に開発されています。シンメト リー設計のイオンソースでUHVに対応します。 ゴールドプレートイオンソース- このイオンソースは、アウトガスの影響を最小限に抑える レーザークロスビームソース ように設計されています。シンメトリー設計で、UHVに対応します。標準またはロープロ ファイルオプションとして利用可能です。 真空燃焼ソース - アウトガスが非常に低いUHV 用ソースです。 特徴 トリアコートイリジウムのフィラメント成分 他の金属材料フィラメントもご相談可能 イオンソースのオプションは付け替え可能 オープン・クローズソースの両オプションをご用意 様々なクロスビームソースを提供 標準・ロープロファイルオプションをラインアップ 6 | Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA)

モデルHMT High Pressure Residual Gas Analyser 高圧残留ガス質量分析計 HIDEN ANALYTICAL社製のモデルHMT四重極質量分析計は、差 動排気なしで最大5x10⁻¹ Pa圧力で動作するデュアルモードRGAシ ステムです。 この動作環境は、独自のイオンソース/四重極フィル 1e-09 ターの組み合わせと、アバンダンスを補正するソフトウェアを使用 8e-10 して実施されています。当機の高圧仕様により、モデルHMTはプ ロセス監視での使用に適しています。 6e-10 4e-10 同様に、モデルHMTは従来の四重極残留ガス質量計としてRGA モードでも動作することができます。デュアルファラデーおよびマル 2e-10 チプライヤー検出器は、10⁻¹¹ Pa範囲の分圧感度を持っています。 0 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 mass : amu 1e-07 1e-08 1e-09 1e-10 1e-11 0 :00 0:15 0:30 0:45 1:00 1:15 1:30 1:45 2:00 Time mm : ss 19 17 20 18 モデルHMT 1x10-3 8x10-4 6x10-4 4x10-4 2x10-4 特徴: 0 0 10 20 30 40 50 60 HMTモード：5x10⁻¹Paまでの高圧動作 mass : amu RGA モード：10⁻¹¹ Paまでの高感度動作 質量範囲：100 m/z 安定性： 24時間で +/- 1% 高速アクセスミックスモードスキャン リアルタイムバックグラウンド減算 Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA) | 7

HAL シリーズ for Demanding UHV and XHV Applications 超高真空アプリケーション向け四重極質量分析計 HIDEN ANALYTICAL社のRGAは、厳格な超高真空測定が必要とな るUHV用途での残留ガス分析用に設計されています。 モデルHALアナライザーには、すべてのイオンソースタイプの金メッ キプレートが標準搭載されています。金メッキされたイオンソース は、アウトガスを最小限に抑える為、全圧が5x10⁻⁸ Pa未満の用途 に適しています。 EPICSは、世界中の多くの軽量ソースで使用されている標準の機器 制御ソフトウェアであり、HIDEN ANALYTICAL社製モデルHALシス テムはEPICSソフトウェアドライバーと互換性があります。 金メッキイオンソース 真空燃焼イオンソース 放射線耐性仕様。 高放射線耐性オプションもラインアップ ビームライン トカマク/トーラス施設 粒子加速器 シンクロトロン UHV チャンバー 8e-10 7e-10 6e-10 5e-10 モデルHAL 201と金メッキイオンソース 4e-10 3e-10 2e-10 特徴/オプション: 1e-10 0 質量範囲: 100, 200, 300 m/z 5 10 15 20 25 30 35 40 45 50 mass : amu 真空燃焼イオンソースによる低水素アウトガス 電子刺激脱離（ESD）でのイオンソースピーク低減用金メッキ 一般的なHALプロファイルスペクトラム イオンソース 電子衝突イオナイザーとトリアコートイリジウムフィラメント デュアルファラデー/チャンネルトロンマルチプライヤー検出器 最小検出可能分圧：5x10⁻¹² Pa 最大動作圧力：1x10⁻² Pa 遠隔RF仕様での耐放射線性 8 | Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA)

モデルHAL 101X for Synchrotron/Accelerator and Tokamak/Torus Applications in Harsh Radiation Environments シンクロトロン/加速器/トカマク/トーラス施設などの放射線アプリケーション向け質量分析計 過酷な放射線環境下では、使用中の非放射線対応の電子部品 の劣化が常に問題となります。通常、そういった電子機器の保護 には複雑で、大がかりな放射線シールドが必要となりがちです。 最新のモデルHAL 101X RGAは、独自の設計で、RGA真空ゲージ 付近から電子部品を排除することで、放射線遮蔽の必要性をなく しています。制御用電子機器は、四重極質量フィルターの周波数 を低下させることなく、RGAゲージから最大80メートルの位置まで 配置可能で、一般的なクローズカップルシステムと遜色な い、100m/zの質量範囲と、その性能を備えています。 ニューヨーク州アップトンのブルックヘブン国立研究所（BNL）の国立シンクロトロンラ イトソース（NSLS-II) トカマク プラズマフュージョンリアクター モデルHAL 101X RGA 特徴: 水素およびヘリウム同位体のリアルタイム定量向けに、しきい 値イオン化質量分析（TIMS）モードを搭載 複数の質量スキャンモード リアルタイムバックグラウンド減算 自動マススケールアライメント イオンソースと検出器パラメータのオンライン調整 それぞれのマスチャネルを監視して、事前に設定した圧力セン サーレベルからの離脱を特定します。 Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA) | 9

モデルHALO 201 MBE for Molecular Beam Epitaxy Applications 分子線エピタキシー向け四重極質量分析計 HIDEN ANALYTICAL社製モデルHALOシステムはRGA、ガス分 析、プロセス監視用に設計されており、リーク検出、トレンド分析、 真空調査などの用途で使用して頂けます。 MBEアナライザーは、MBE環境での長期使用向けに設計されて おり、銅の代わりにモリブデン配線と汚染耐性イオンソースシュ ラウドが標準搭載されています。 半導体 酸化物 窒化物 モデルHALO 201 MBE 質量分析計 太陽電池 モデルHALO 201 MBE 熱源拡張オプション モデルHALO 201 MBE 質量計と RF ヘッド 特徴/オプション: MBE環境でのRGAシステム劣化防止の為、銅線の代わりにモ リブデン配線を使用 耐汚染性イオンソースシュラウド デュアルファラデー/チャンネルトロンマルチプライヤー 最小検出可能分圧：1x10⁻⁹ Pa（ファラデー） 2x10⁻¹¹ Pa (チャンネルプレート) RGA用,ベイクアウト中の熱源拡張オプション 10 | Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA)

モデルXBS Deposition Rate Monitor for Molecular Beam Analysis & Deposition Control 分子線分析および堆積制御用のスパッター速度モニター HIDEN ANALYTICAL社製モデルXBSシステムは、複数のビーム ソースを同時にモニターするために設計された四重極質量分析計 です。70°コーンを介したビーム採集を特徴としています。 種固有 のアナログ信号がビーム強度の出力としてユーザーの光源制御モ ジュールに伝達されています。 ビーム採集開口部は、特定のプロセスチヤンバーソースに個別に 設計されており、チヤンバー変更時に遡及的な交換を可能にする プラグイン要素として作られています。また、MBEプロセスでの蒸発 成分やフラグメントに対する高い耐汚染性能を備えています。トリプ ルステージマスフィルターと水冷式シュラウドプローブを搭載して、 プローブを放射熱源と汚染から保護します。 モデルXBS プローブ MBEプロセスの監視と制御 分子線研究 マルチビームソース分析 フォトイオナイゼーション研究 脱着/脱ガス研究 プロセスチャンバー内の汚染物質の監視と診断 モデル３Fシリーズのトリプル質量フィルターを備えた高 性能RGA 真空品質検証用の高感度ヘリウム漏出チェックモード モデルXBS プローブと水冷式シュラウドとZドライブ 特徴: 高感度-最小検出可能分圧2.5x10⁻¹² Pa 質量範囲：320、又は510 m/z クロスビームイオンソース：横軸に対して+/- 35°のビーム採 集角 ビームソース位置調整用のビーム採集開口部 グローレートは通常<0.01Ås-1（種に依存） オプションの水冷式シュラウド Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA) | 11

モデル3F PIC SERIES for UHV TPD 超高真空昇温脱離向け質量分析計 モデル3F PIC四重極質量分析計は、UHV TPDでの高速イベント研 究において、高感度と高時間分解能を提供するデジタル検出器を 備えた高精度トリプルフィルターアナライザーです。 モデル3F PIC シリーズアナライザーは、UHV互換の質量フィルターシュラウドと、 ロープロファイルイオンソースを脱着表面に近接するよう設計され ています。 用途別ソフトウェア分析処理により、ユーザーは温度傾斜プロファイ ルを管理し、TPDsoftプログラムでデータを収集するか、または EGAsoftでMSデータと測定温度を分析するか選択することができま す。 モデル3F PIC とクオーツシュラウド ここでは、同期したデータ取得と質量チャネルデータのサンプル温 度データがアナログ入力とデジタル入力で表示されます。 TPDsoftでの3Dバーデータビュー MS応答VS温度表示 特徴: ロープロファイルイオンソース シュラウドを多数用意 高速データ取得 毎秒650データポイント取得 ワイドダイナミックレンジ 50 nsまでの時間分解能のMCSモードオプション ７桁連続ログスケール パルスガス研究用の100 nsゲーティング入力制御 12 | Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA)

DLS シリーズ Ultra-high Resolution Mass Spectrometers for the Study of Hydrogen Isotopes and Applications in Nuclear Fusion Research 水素同位体の研究向け超高分解能質量分析計と、核融合研究への応用 10000 9000 HD+ 8000 7000 6000 5000 4000 3He+ 3000 2000 1000 0 3.010 3.015 3.020 3.025 3.030 3.035 mass : amu モデルDLS-20 モデルDLS-10 水素とヘリウム同位体、及び軽ガス分析用の独自のデュ 軽ガスと水素同位体の研究と定量化のために特別に開発された アルゾーンスイッチング式　超高分解能質量分析計。 質量分析計。 質量範囲 1-10 m/z 業界初のロッド径20mm四重極マスフィルターで超高質量分 ゾーンH超高分解能での、水素とヘリウム同位体の分離と定量化 解能を提供します ソフトウェア制御可能なデュアルゾーンRF電源供給で、ゾー D2のHeとHeのD2両方の感度：10ppm ンH超高解像度(1〜20m/z)での動作に加え、ゾーンI超高安 定性(1〜200m/z)でのオペレーションも可能です リアルタイムで0.006amuの質量分離 D2のHeとHeのD2両方の感度：1ppm 3Heの HD定量化 モデルDLS-1 核融合アプリケーションにおける複合ガス と蒸気混合物のリアルタイム定量分析を目 的とした質量分析計。 質量範囲1-100 m/z ソフトウェア管理レシピによる、しきい値 イオン化質量分析（TIMS）で、水素とヘ リウム同位体、及び重水素化炭化水素 のリアルタイム定量を可能にします He中のD2の感度: 100ppm Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA) | 13 Region2 : c/s

2e-08 1.8e-08 1000 シリーズ RGA 1.6e-08 1.4e-08 9mmquadrupoleforscie1.n2e-08 tificresearch 1e-08 applications 8e-09 9mm四重極質量分6e-09析計での科学研究アプリケーション 4e-09 2e-09 0 3.6 3.7 3.8 3.9 4 4.1 4.2 4.3 4.4 mass : amu 2e-08 N and CO Separation CO and N モデルHAL 3F 1000シリーズは、高度科学研究 2 2 1.8e-08 Mass Separation N2 CO 0.011 amu 27.995 28.006 やプロセスアプリケーションでのガス分析を目 1.6e-08 的とした装置です。トリプルフィルター四重極 1.4e-08 は、プレフィルターとポストフィルターがRFのみ 1.2e-08 1e-08 で動作する為、イオンによる汚染を最小限に抑 8e-09 えます。通常より長い一次質量フィルターと広 6e-09 ロッド径(9mm)の組み合わせにより、質量分解 4e-09 能、イオン感度、精度/比率測定の安定性、お .000 .000 000 00 00 00 00 00 00 70 75 80 85 90 95 0 2e-059 0 0 0 0 0 0 9 9 9 9 9 9 000 005 010 015 020 025 030 10. 15. 20. 25. 30. 35. 40. 27. 27. 27. 27. 27. 27. 28. 28. 28. 28. 28. 28. 28. m/z よび高質量透過率が向上しています。 0 3.6 3.7 3.8 3.9 4 4.1 4.2 4.3 4.4 mass : amu ハイデンアナリティカル製 9 mm径 3F1000シリーズ質量分析計での 質量数28m/zのN2とCOの高分解能質量分離 モデルHAL 3F 1000 500 540 580 620 660 700 740 718 719 720 721 722 723 724 725 726 727 mass (m/z) mass (m/z) 1.E+07 1.E+06 1.E+05 1.E+04 1.E+03 550000 554400 558800 662200 666600 770000 774400 771188 771199 772200 772211 772222 772233 772244 772255 772266 772277 1.E+02 masas s(ms /mz) /z masass (sm /mz) /z 1.E+01 高質量透過率：フラーレン（C60）蒸気同位体フラグメント分析 1.E+00 35 36 37 38 39 40 41 m/z 正確な同位体比測定のための高い安定性：40Ar / 39Ar地質年代学研究[1]。 "!#$%& HAL 1000 series 9 mm: Researchers[1] concluded that the Hiden system outperformed their expectations, and is comparable to the magnetic sector 特徴: instrumenttheyroutinelyuseinthisfieldofresearch. They measured the precision ratio of the 40Ar/39Ar isotopes over a two year 9mmモリブデンロッドデザイン period and concluded: “Overtwoyearsthepositionoftheflatpeakcentredidnotmovesignificantlyeven 質量範囲オプション：50、300、510、1000、5000 m/z after maintenance events. For a40 Arbeam size of 1 x 106cps,peakwidthis0.9amu 質量分解能の向上、高質量透過率、及びイオン安定性 at 10 cps and 0.84 amu at 5 x 105 cps,clearly separating it from neighbouring masses. The stability of the Hiden QMS compares favourably to the MAP215-50. Air 電子エネルギー制御: 0-150eV standard 40Ar/36AroftheHidenQMS257.9±1.3(n=34sinceJuly2006) しきい値イオン化質量分析TIMS分析モード comparesto293.1±3.3(n=739)measuredwiththemagneticsectormass spectrometer instrument since the beginning of 2007.”[1] 高感度PIC検出器とオプションのファラデー検出器 [1] BjörnSchneideretal.2009QuaternaryGeochronology4 Pages 508-516 14 | Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA) nunmumbbeerr oof fc lcuslutesrsters SEM : torr numnumbbeerr ooff i siostooptoespes number of clusters SEM : torr Intensity [cps] number of isotopes

EPIC & IDP シリーズ for UHV Analysis of Neutrals, Radicals & Ions 中性粒子、ラジカル、イオン用, 超高真空分析用途向け四重極質量分析計 モデルEPICおよびモデルIDPは、通常のRGA機能に加えて、ポー ルバイアス電位可変機能と負イオン分析機能が追加されていま す。 モデルEPICシステムは、ベゼルボックスまたは45°セクターフィー ルドタイプのエネルギーフィルターを追加搭載するよことが可能で す。また、モデルEQP、モデルEQS、モデルPSM、モデルSIMプロー ブを含むプラズマ/SIMSシリーズとの互換性を持っています。 モデルIDPは、UHV表面科学用途での低エネルギーイオンおよび 中性粒子の直接分析を可能にします。 具体的には、電子刺激脱 着、光子刺激脱着、熱脱着研究での使用例が含まれます。 解離性電子付着により形成されたO-イオン e + N2O→N2 + O-.. UHV表面科学 電子刺激脱着 光子刺激脱着 熱脱着研究 ラジカル分析 エネルギーとバイオ燃料 時間分解研究 低エネルギー電子付着により形成された負イオンの質量スペクトル モデルEPIC 特徴: ポールバイアス電位可変 モデルEPIC 1000 シュラウドとアライナー搭載 正・負イオン検出 電子付着質量分析（EAMS） IDP FEATURES: ポールバイアス電位可変 正・負イオン検出 電子付着質量分析（EAMS） ４レンズイオンオプティカル IDP4レンズイオン光学系の集束特性を示すシミュ レーション Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA) | 15

RGA 制御ソフトウェア MASsoft & iRGA Software MASsoft & iRGAソフトウェア すべての残留ガス質量分析計にはPC用ソフトウェアの MASsoftでは、新機能の3Dグラフを作成することができます。 MASsoftが付属しています。 MASsoft Professionalソフトウェアは、初心者ユーザー向けの 3Dグラフィカルビューにより、データ収集中、又は測定完了後に シンプルで直感的な操作性を提供すると同時に、専門家向け 3Dデータを表示することができます。 3Dプロットビューは回転さ の分析機能を搭載しています。 せて、アングル調整することができます。 1.0e-6 0.5e-6 70 60 0.0 15 50 20 25 40 30 アルゴンを含むガス混合物(15〜45 m/z)のプロ mas ファイルスキャンを3Dグラフィカルビュー表示。Z s : amu 35 30 軸に電子エネルギーを配置。 40 20 45 ソフトウェアの特徴: テンプレートでのクイックスタート機能 イーサネットリンクを介した複数のRGA操作 ズーム機能付きのリアルタイムデータ表示 ブロードマススキャンの指定種のトレンド分析ビューを含む混 合スキャンモード 統計分析とピーク積分 コピー/貼り付け機能と自動データエクスポートによるアクセ ス可能なデータ 自動マスアライメント 質量スペクトルライブラリ RC RGA インターフェース 16 | Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA) electron-energy : V Faraday : torr

iRGA –真空チャン MASsoft Professional PCソフトウェアは、扱いやすいインター バー内の残留ガスと フェイスで制御データを取得し、質量分析を実施します。ポイン 蒸気の分圧を監視す トアンドクリックをはじめとする自動スキャンギャラリーの機能 る直感的なRGAプロ は、分析用途に適した形式で質量分析計データを取得、保存、 グラム 表示できる利便性を持っています。 iRGA シンプルスキャン バックグラウンド減算-真空品質のリアルタイム比較 スキャン内の指定質量ピークのトレンド分析を実施 4、6、または8桁の高ダイナミックレンジ連続スキャンモード 派生データの％またはPPMでのデータ表示 Events provides control of: - Alarm set points トレンド分析 - Data I/O - Multiple data functions including: real-time display of derived values, ratio, end point and calibration for example MASsoftコントロール-編集可能なスキャンシーケンス：スキャンモード、検出器、質量分 析計のパラメーターは、シーケンス内の各スキャンに対して個別に設定されます。 質量スキャン - ヒストグラム RGA質量分析計インターフェース イーサネットTCP/IP、USBおよびRS232通信リンク I/ Oサブシステム：外部デバイス用のマルチプロトコルRS485リ ンク、マスフローコントローラー、COアナライザー、全圧ゲー ジ、温度取り込み等 プロセス制御/自動起動・停止トリガー用の5チャンネルTTL アナログデータ入力と出力オプション 質量スキャン-�プロファイル Mass Spectrometers for Residual Gas Analysis (RGA) | 17

HIDEN ANALYTICAL社の四重極質量分析計システムは、 様々な用途で利用されています。 ガス分析 反応ガス流量の経過測定 触媒分析と熱解析 分子ビーム研究 溶存ガス測定 発酵、環境、生態学的研究 表面分析 UHV TPD SIMS イオンビームエッチングの終点検出元 Hiden Analytical Ltd. 素イメージング – 3D マッピング 420 Europa Boulevard Warrington WA5 7UN England プラズマ分析 T +44 [0] 1925 445 225 F +44 [0] 1925 416 518 プラズマ因子の特性 E info@hiden.co.uk エッチングと堆積プロセスの運動力学研究 W www.HidenAnalytical.com 中性種とラジカル種分析 真空分析 プロセスガスの分圧測定と制御 スパッタリング反応制御 真空分析 真空コーティングプロセス観察 イノベーションサイエンス株式会社 〒213-0012 神奈川県川崎市高津区坂戸3-2-1 KSP東棟 210 TEL: (044)982-3152 FAX: (044)982-3153 Email: info@innovation-science.co.jp Web: http://www.innovation-science.co.jp/ TECHNICAL DATA SHEET 188/5