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搬送ロボットはジェーイーエル
・4軸円筒座標型ツインアームクリーンロボット
STCR4000SN/STCR2000S/MTCR4000/STHR4000
・3軸円筒座標型シングルアームクリーンロボット
SCR3000CSN/SCR3000CS/MCR3000C/SHR3000
・3軸円筒座標型シングルアームクリーンロボット（小径ウェーハ用）
SCR3100S-PM/SSCR3090S/SSCR3115N
・2軸円筒座標型シングルアームクリーンロボット（小径ウェーハ用）
SSCR2090S
・3軸円筒座標型防水対応シングルアームクリーンロボット
SWCR3000
・4軸円筒座標型防水対応ツインアームクリーンロボット
STWHR4000
・4軸水平多関節型クリーンロボット
GCR4000-PM/GCR4000-AM/GCR4280-AM
・5軸水平多関節型クリーンロボット
GTCR5000-AM
・450MMウェーハ対応5軸水平多関節型クリーンロボット
GTCR5365-420-AM
・3軸円筒座標型真空対応シングルアームクリーンロボット
SVCR3000/SVCR3330S
・4軸円筒座標型真空対応ツインアームクリーンロボット
STVCR4000
・4軸円筒座標型リンク式真空対応ツインアームクリーンロボット
DTVHR4000
・5軸水平多関節型真空対応クリーンロボット
GTVCR5000
・各種アライナ
・ソーターシステム
・ローダーシステム
・ピンセット
このカタログについて
| ドキュメント名 | 半導体ウェーハ搬送用ロボット・液晶ガラス基板搬送用ロボット 総合カタログ |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 5.7Mb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社ジェーイーエル (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
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