半導体工場向けマルチガス検知器　GD-84Dシリーズ

PC2-0380 14 検知器4台分を 1台に集約し 最大1/4の コストダウンを実現 Cost reduction 大幅コストダウン Advanced pump 高機能ポンプ採用 Smart sensor スマート自己診断機能 Connection Etherne（t PoE）対応 https://www.rikenkeiki.co.jp/ 半導体工場向けマルチガス検知器 札　　　幌 ☎（011）375－1 8 2 2㈹ 四　日　市 ☎（059）333－7 2 2 6 ㈹ 岩　　　手 ☎（0197）65－1 1 1 2 ㈹ 金　　　沢 ☎（076）240－7 0 6 0 ㈹ MODEL 仙　　　台 ☎（022）722－7 8 3 5 ㈹ 大　　　阪 ☎（06）6350－5 8 7 1 ㈹ 水　　　戸 ☎（029）215－2 5 8 1㈹ 神　　　戸 ☎（078）261－3 0 3 1 ㈹ 埼　　　玉 ☎（048）598－5 0 9 0 ㈹ 水　　　島 ☎（086）446－2 7 0 2 ㈹ 千　　　葉 ☎（043）497－6 3 0 3 ㈹ 広　　　島 ☎（082）875－4 1 5 1 ㈹ 神　奈　川 ☎（045）642－5 3 1 4㈹ 福　　　岡 ☎（092）692－1 1 6 1 ㈹ 浜　　　松 ☎（053）437－9 4 2 1 ㈹ 熊　　　本 ☎（096）373－1 2 3 0 ㈹ 名　古　屋 ☎（052）822－1 0 3 1 ㈹ 大　　　分 ☎（097）523－3 8 1 1 ㈹ GD-84D Series ※本カタログの記載事項は、 性能向上のため、お断りなし に変更する事があります。 CE Marking適合品 PC2-0380-210130 T

これまでの常識をくつがえす 新発想のガス検知器！ GD-84D Seriesの特長 Cost reduction 大幅コストダウン Advanced pump 高機能ポンプ採用 Smart sensor スマート自己診断機能 Connection Etherne（t PoE）対応 「GD-84D Series」は、 自己診断機能を強化した ４台分を1台に！ 新開発の次世代高機能センサを搭載し、 4台分のガス検知器を1台に集約することで 「より高い安心・安全とコストダウン」の 両立を目指した新発想のガス検知器です。 フルドット液晶で見やすい！ 4成分同時表示 リプレイスを考慮した設計 ガス名表⽰ 警報設定値表⽰ 電源ランプ GD-70D取り付け 1st警報ランプ 2nd警報ランプ 濃度値表⽰ 故障警報ランプ MODEキー 濃度バー表⽰ ▲キー GD-70D用壁掛けユニット単位表⽰ https://www.rikenkeiki.co.jp/ GD-70D用壁掛けユニットの赤印の ▼キー 4ヶ所のねじ穴を使用して取り付け可能。 TEST/SETキー GD-84D 札　　　幌 ☎（011）375－1 8 2 2㈹ 四　日　市 ☎（059）333－7 2 2 6 ㈹ 流量表⽰ 取り付け 岩　　　手 ☎（0197）65－1 1 1 2 ㈹ 金　　　沢 ☎（076）240－7 0 6 0 ㈹ 仙　　　台 ☎（022）722－7 8 3 5 ㈹ 大　　　阪 ☎（06）6350－5 8 7 1 ㈹ 通信表⽰ 水　　　戸 ☎（029）215－2 5 8 1㈹ 神　　　戸 ☎（078）261－3 0 3 1 ㈹ 埼　　　玉 ☎（048）598－5 0 9 0 ㈹ 水　　　島 ☎（086）446－2 7 0 2 ㈹ 千　　　葉 ☎（043）497－6 3 0 3 ㈹ 広　　　島 ☎（082）875－4 1 5 1 ㈹ 神　奈　川 ☎（045）642－5 3 1 4㈹ 福　　　岡 ☎（092）692－1 1 6 1 ㈹ 浜　　　松 ☎（053）437－9 4 2 1 ㈹ 熊　　　本 ☎（096）373－1 2 3 0 ㈹ 名　古　屋 ☎（052）822－1 0 3 1 ㈹ 大　　　分 ☎（097）523－3 8 1 1 ㈹ メンテナンス表⽰ SHIFTキー GD-84D用壁掛けユニット ※本カタログの記載事項は、 性能向上のため、お断りなし に変更する事があります。 PC2-0380-210130 T

Cost reduction 従来器からの大幅なコストダウンを実現 ●配管施工コストを削減 ●配線施工コストを削減 従来器では、検知器の数だけガス吸引、排気用の配管が必要でしたが、 GD-84D（PoE仕様）とPoE Hubを組み合わせることで、電源配線、 GD-84Dでは、配管が1/4になり施工コストも1/４に。 信号配線の施工コストおよびHubポート数をそれぞれ1/４に削減。 ※センサ4点フル実装の場合。 ※センサ4点フル実装の場合。 IN,OUTで8本 8ポート 2ポート IN,OUTで2本 排気ダクト サ 排ン 気プリ ダン クグ トチューブ サンプリング PoE Hチ uュ bーブ PoE Hu E bthernet 通信を介しモニタリ Poン E グ Hシ ubステムへ ●設置スペースを削減 ●消耗部品交換コストを削減 4台分の検知器を集約することで、ラック等の設置スペースも1/２に。 消耗部品のポンプやダストフィルターの交換が1/４に。 ※センサ4点フル実装の場合。 さらに、交換コストも1/4に削減。 4セット交換が必要 ポンプ ×４ 1セットの交換でOK ダストフィルター ポンプ 1 省 /2スペース ダストフィルター Advanced pump 高機能ポンプを採用 New! Model:RP-80 振動の低減 振動音の低減 2個のダイヤフラムで振動を相殺 弁の形状見直し 従来品 脈動の対応 冗長化 Model:RP-70 チャンバ内にバッファ設置 ツインポンプ→1個故障でも吸引可能 環境負荷低減 接着剤、ねじ（ナット）の廃止による リサイクル性向上

Smart sensor スマート自己診断機能搭載 次世代高機能センサ「F Series」はセンサの自 自己診断機能 己診断機能を大幅に強化（右表参照）。また、 名称 対象原理 内容 主要毒性ガスセンサ18種類に加え、可燃性 使用期限警告 全原理 使用開始から3年後に警告を出します。 ガスセンサ67種類をラインアップ。従来セ ンサと比較して体積比1/10にサイズダウン 劣化診断警告 NCFSHF 初期のセンサ出力（Air中）からのドリフト値が閾値を超えた時に したにも関わらず、従来センサと同等以上の （ センサ出力異常） SGF 警告を出します。 干渉影響低減を実現しております。 劣化診断警告 （ 液枯れ検知） ESF 電極間の液抵抗が閾値を超えた時に警告を出します。 寿命診断警告 全原理 校正履歴からスパン余力を予測し0になった時に警告を出します。 バイタリティ （スパン余力） 全原理 既知濃度のガスを流した際にセンサの余力を0～100で表⽰します。 センサラインアップ 定電位電解式 定電位電解式 熱線型半導体式 半導体式 ニューセラミック式 （酸素用） Connection Etherne（t PoE）対応 ●Ethernet 方式 ●アナログ 4-20mA DC方式 PoE HUBを使用することにより、LANケーブルでの電源供給が可能なため施工コスト 一般計装信号（4-20mA DC）によりガス濃度データを を大幅に削減できます。また、Webブラウザで検知部の運転状況などが確認可能です。 出力、汎用性のあるシステム構築が可能です。 【ユーザーモード】 パターン1 ガス名や警報設定値などの基本的な情報や警報履 MULTI GAS DETECTOR POWER ALM1 ALM2 FAULT 歴、通信履歴を確認できます。 MODETESTS E T SHIFT GD-840 【管理者モード】 基本的な情報の確認の他、警報設定値やネット ワークなどの設定変更やガス校正、警報テスト、 故障警報テストの実施、アラームのリセット、 指⽰警報部 検知部 GD-84D INHIBITの設定をすることができます。 パターン2 GD-84D PC （Ethernet仕様） PC PLC MULTI GAS DETECTOR POWER ALM1 ALM2 FAULTスイッチングハブ（PoE） MODETESTS E T SHIFT GD-840 MULTI GAS DETECTOR POWER ALM1 ALM2 FAULT MODE TEST S E T SHIFT GD-840 監視システム 検知部 GD-84D Ethernetケーブル ラインアップ一覧 型式 通信方式 搭載可能センサ 電源入力 GD-84D-ET-EC Ethernet 専用 EC 専用 PoE 専用 GD-84D-ET Ethernet 専用 EC 以外も搭載可 PoE 専用 GD-84D-EA-EC Ethernet / 4-20mA 兼用 EC 専用 PoE / DC24V 兼用 GD-84D-EA Ethernet / 4-20mA 兼用 EC 以外も搭載可 PoE / DC24V 兼用 GD-84D-EC 4-20mA 専用 EC 専用 DC24V GD-84D 4-20mA 専用 EC 以外も搭載可 DC24V

主なガスラインアップ 【検知原理：定電位電解式（ESF）】 【検知原理：熱線型半導体式（SHF）】 NO. センサ型式 ガス名 表⽰名 測定レンジ 警報設定値 ACGIH許容濃度 NO. センサ型式 ガス名 表⽰名 測定レンジ 警報設定値 ACGIH 許容濃度 1 ESF-A24A 二酸化窒素 NO2 0 - 15 ppm 5 ppm 0.2 ppm 1 SHF-8601 フロン41（CH F） R-41 0 - 2000 ppm 500 ppm 3 1000 ppm － 2 ESF-A24E 塩化水素 HCL 0 - 6 ppm 2 ppm 2 ppm 2 SHF-8601 フロン32（CH F ） R-32 0 - 2000 ppm 500 ppm2 2 1000 ppm － 3 ESF-B242 アンモニア NH3 0 - 75 ppm 25 ppm 25 ppm 3 SHF-8601 イソプロピルアルコール IPA 0 - 2000 ppm 500 ppm 1000 ppm 200 ppm 4 ESF-B24A 塩素 CL2 0 - 0.3 ppm 0.1 ppm 0.1 ppm 4 SHF-8603 重水素 D 0 - 2000 ppm 500 ppm 2 1000 ppm － 5 ESF-X24P 酸素 O2 0 - 25 % 18 % － 5 SHF-8603 水素 H2 0 - 2000 ppm 500 ppm 1000 ppm － 6 ESF-A24D ホスフィン PH3 0 - 1 ppm 0.3 ppm 0.05 ppm 【検知原理：半導体式（SGF）】 7 ESF-A24D シラン SiH4 0 - 15 ppm 5 ppm 5 ppm NO. センサ型式 ガス名 表⽰名 測定レンジ 警報設定値 ACGIH 許容濃度 8 ESF-A24D ジシラン Si H 0 - 15 ppm 5 ppm － 1 SGF-8581 メタン CH 0 - 2000 ppm 500 ppm2 6 4 1000 ppm － 9 ESF-A24D 二酸化硫黄 SO2 0 - 6 ppm 2 ppm 0.25 ppm 2 SGF-8562 硫化カルボニル COS 0 - 2000 ppm 500 ppm 1000 ppm 5 ppm 10 ESF-A24D2 一酸化窒素 NO 0 - 100 ppm 25 ppm 25 ppm 【検知原理：ニューセラミック式（NCF）】 11 ESF-A24E 臭化水素 HBr 0 - 6 ppm 2 ppm 2 ppm NO. センサ型式 ガス名 表⽰名 測定レンジ 警報設定値 LEL 12 ESF-B241 ジエチルアミン DEA 0 - 15 ppm 5 ppm 5 ppm 1 NCF-6318 メタン CH 0 - 100 %LEL 25 %LEL4 50 %LEL 5.0 vol% 13 ESF-B241 ジメチルアミン DMA 0 - 15 ppm 5 ppm 5 ppm 2 NCF-6320 水素 H2 0 - 100 %LEL 25 %LEL 50 %LEL 4.0 vol% 14 ESF-B241 エチルメチルアミン EMA 0 - 15 ppm 5 ppm 5 ppm 3 NCF-6319 イソプロピルアルコール IPA 0 - 100 %LEL 25 %LEL50 %LEL 2.0 vol% 15 ESF-B2452 フッ素 F2 0 - 3 ppm 1 ppm 0.1 ppm 16 ESF-B248 フッ化水素 HF 0 - 1.5 ppm 0.5 ppm 0.5 ppm 17 ESF-B249 オゾン O3 0 - 0.6 ppm 0.2 ppm 0.2 ppm （<2h） ※搭載するセンサの組み合わせには制限があります。詳しくは最寄りの営業所にお問い合せください。 18 ESF-B24A 三フッ化塩素 CLF 0 - 0.3 ppm 0.1 ppm 0.1 ppm ※ACGIH（米国産業衛生専門家会議）の許容濃度は、“TLVs and Bels 2020”を参照。3 ※上記ガス以外については最寄りの営業所にお問い合せください。 【Ethernetおよび4-20mA兼用：GD-84D/GD-84D-EC/GD-84D-EA/GD-84D-EA-EC】 140 M4用取付穴 146 150 表示部 操作スイッチ M4用取付穴 GAS IN GAS OUT 64.4 （ODφ-t1） （ODφ-t1） 【Ethernet専用：GD-84D-ET/GD-84D-ET-EC】 138 140 150 110 M4用取付穴 表示部 操作スイッチ GAS IN （ODφ6-t1） GAS OUT（ODφ6-t1） 9 74 40149 183 190

Model:GD-84D 仕様 型式 ＧＤ－８４Ｄ ＧＤ－８４Ｄ－ＥＣ ＧＤ－８４Ｄ－ＥＡ ＧＤ－８４Ｄ－ＥＡ－ＥＣ ＧＤ－８４Ｄ－ＥＴ ＧＤ－８４Ｄ－ＥＴ－ＥＣ 定電位電解式、 定電位電解式、 定電位電解式、 検知原理 半導体式、 半導体式、 半導体式、 ニューセラミック式、 定電位電解式 ニューセラミック式、 定電位電解式 ニューセラミック式、 定電位電解式 熱線型半導体式 熱線型半導体式 熱線型半導体式 検知対象ガス 毒性ガス、可燃性ガス 毒性ガス 毒性ガス、可燃性ガス 毒性ガス 毒性ガス、可燃性ガス 毒性ガス 表⽰ フルドット表⽰（ガス名表⽰/流量表⽰/モード表⽰/通信状態表⽰/ガス濃度/バーメータ表⽰） 検知方式 ポンプ吸引式 吸引流量 総流量　約0.6 L/min 電源表⽰ POWERランプ点灯（緑） 警報精度（同一条件下） 警報設定値に対して±30%以内 警報遅れ時間（同一条件下） 警報設定値の1.6倍のガスを与えて60秒以内（配管遅れ,通信遅れは含まず） ガス警報タイプ 2段警報（H-HHまたは、L-Hまたは、L-LL） ガス警報表⽰ 1st：ALM1ランプ点灯（赤）/2nd：ALM2ランプ点灯（赤） ガス警報動作 自動復帰または自己保持 ガス警報接点 無電圧接点1aまたは1b,常時非励磁（警報時励磁）または常時励磁（警報時非励磁） ― 故障警報・自己診断 システム異常/センサ異常/流量異常/通信異常/FAN断線異常/温度上昇異常/センサ寿命診断 故障警報表⽰ FAULTランプ点灯（黄）/内容表⽰ 故障警報動作 自動復帰または自己保持 故障警報接点 総合故障接点　無電圧接点1aまたは1b,常時非励磁（警報時励磁）または常時励磁（警報時非励磁） ― 接点容量 DC24 V・0.5 A（抵抗負荷） ― 接点ケーブル CVV等のケーブル（1.25 mm2・最大18芯） ― 外部出力 アナログ伝送： 2線式アナログ伝送（DC4～20 mA、非絶縁・ デジタル伝送：Etherne（t 10BASE-T/100BASE-TX） 抵抗負荷300 Ω以下、ケーブル抵抗含む） アナログ伝送： 2線式アナログ伝送（DC4～20 mA、非絶縁・ デジタル伝送：Etherne（t 10BASE-T/100BASE-TX） 抵抗負荷300 Ω以下、ケーブル抵抗含む） アナログ伝送： CVVS等のシールドケーブル デジタル伝送：CAT5e以上のEthernetケーブル外部出力ケーブル （1.25 mm2・最大8芯） アナログ伝送： CVVS等のシールドケーブル デジタル伝送：CAT5e以上のEthernetケーブル （1.25 mm2・最大8芯） 各種機能 白色バックライト/警報遅延/サプレス/ゼロ追尾/感度補正/流量制御/校正履歴/警報トレンド履歴/イベント履歴 電源ケーブル CVV等のケーブル（1.25 mm2）・2芯 CVV等のケーブル（1.25 mm2）・2芯（PoE接続時はデジタル伝送ケーブルと共通） 　デジタル伝送ケーブルと共通 電源 DC24 V±10 % DC24 V±10 %またはPoE+接続 PoE+接続 消費電力 DC24 V接続：約8 W DC24 V接続：約2.5 W DC24V接続：約9 W（最大約15 W） DC24V接続：約3 W（最大約8 W） PoE+接続時：約9 W PoE+接続時：約3.5 W（最大約14 W） （最大約7 W） PoE+接続：約11 W（最大約16 W） PoE+接続：約4.5 W（最大約9.5 W） （最大約11 W） （最大約4.5 W） 配管接続口 Rc1/4（O.Dφ6-1t・テフロン管用ハーフユニオン〈PP〉付） イニシャルクリア 約25秒 使用温度範囲 －10～＋40 ℃（急変なきこと） 使用湿度範囲 20～90 %RH（結露なきこと。搭載センサにより異なる場合があります） 構造 壁掛型 外形寸法 約150（W）×190（H）×146（D） mm（突起部は除く） 約150（W）×183（H）×140（D） mm（突起部は除く） 質量 約1.9 kg 約1.4 kg 外観色 本体：ブラック/前面扉：ホワイト https://www.rikenkeiki.co.jp/ 札　　　幌 ☎（011）375－1 8 2 2㈹ 四　日　市 ☎（059）333－7 2 2 6 ㈹ 岩　　　手 ☎（0197）65－1 1 1 2 ㈹ 金　　　沢 ☎（076）240－7 0 6 0 ㈹ 仙　　　台 ☎（022）722－7 8 3 5 ㈹ 大　　　阪 ☎（06）6350－5 8 7 1 ㈹ 水　　　戸 ☎（029）215－2 5 8 1㈹ 神　　　戸 ☎（078）261－3 0 3 1 ㈹ 埼　　　玉 ☎（048）598－5 0 9 0 ㈹ 水　　　島 ☎（086）446－2 7 0 2 ㈹ 千　　　葉 ☎（043）497－6 3 0 3 ㈹ 広　　　島 ☎（082）875－4 1 5 1 ㈹ 神　奈　川 ☎（045）642－5 3 1 4㈹ 福　　　岡 ☎（092）692－1 1 6 1 ㈹ 浜　　　松 ☎（053）437－9 4 2 1 ㈹ 熊　　　本 ☎（096）373－1 2 3 0 ㈹ 名　古　屋 ☎（052）822－1 0 3 1 ㈹ 大　　　分 ☎（097）523－3 8 1 1 ㈹ ※本カタログの記載事項は、 性能向上のため、お断りなし に変更する事があります。 PC2-0380-210130 T