セミコンカプラ総合カタログ

C06-a 半導体製造設備用　迅速流体継手 セミコンカプラ®総合カタログ 半導体製造工程およびバイオケミカル・ 化学プラントなど、各種薬品の配管に対応 Quick Connect Couplings ® グリーン調達対応製品

シリーズ SEMICON CUPLA Series 絶え間ない技術革新を遂げる半導体業界において 「品質の向上」は最大のテーマです。 多種の薬品に対応する耐薬品性能 安全面を考慮した耐リーク性能 長時間の反復使用に耐える経済性 半導体集積回路の製造工程で使用される多種にわたる薬品の高純度化が進むにつれ、 その配管パートに使われる迅速流体継手「カプラ」にも、より高い品質と性能が求められています。 液側 窒素ガス側 日東工器はエレクトロニクス業界の ニーズに斬新な着想で対応します。 半導体製造工程で使用される各種高純度薬品に柔軟に対応。 日東工器は長年にわたって培ってきたノウハウと技術力を駆使し、セミコン 業界における高純度薬品の配管用途にお応えしています。 薬品容器にプラグを 取り付けた状態 用途 ■半導体製造設備・装置の配管 ■薬品タンクの接続配管 ■バイオ関連機器配管 ■純水配管 ■理化学/医療/食品機器配管 主な適用流体 ■純水　■薬品　■ガス　■空気 使用例 樹脂容器 ステンレス容器 1

目次／使用例 使用例 溶剤/現像液 溶剤/現像液 現像液/弱酸/強アルカリ 弱酸/強アルカリ （Oリングシール） （ふっ素樹脂バルブ） （PFA製） （PTFE製） SP型 SCS型 SCY型 SCF型 SCT型 SCAL型 CONTENTS ステンレス容器 樹脂容器 10L～20L 10L～20L ステンレス容器 樹脂容器 100L～200L 100L～200L 樹脂容器 P1 「セミコンカプラ」の概要 1000L P2 目次／使用例 薬品容器側（プラグ）取付けおよび配管側（ソケット）取付使用例 ステンレス容器 樹脂容器 ステンレス容器 樹脂容器 樹脂容器 P3 「カプラ」製品の概要 (10L～20L) (10L～20L) (100L～200L) (100L～200L) (100L～200L) P3 グリーン調達のお知らせ SP型 SCS型 SCF型 SP S 容（ 窒素ガス側 型 CT型 SCT型 プ SCAL型 SCAL型 P4 用語解説／製品型式の表し方 器ラ P17-18 シール材質選定表（参考） 側グ） 液側 SP型 SCF型 SCT SCS型 SP型 型 SCT型 SCAL型 SCAL型 P19 本体材質選定表（参考） （ SP型 P20 「カプラ」全般に関するご注意 配ソ 窒素ガス側 SCS型 SCF型 SP型 SCT型 SCT型 SCY型 SCAL型 SCAL型 管ケ SCY型 P21 「セミコンカプラ」使用上のお願い 側ット SP型 ） 液側 SCS型 SCF型 SP型 SCT型 SCT型 P22 Web版「カプラの友」のご案内 SCY型 SCY型 SCAL型 SCAL型 P5-6 P7-8 P9 P11-12 セミコンカプラ® セミコンカプラ® セミコンカプラ® 標準品シリーズ SP型 標準品シリーズ SCS型 標準品シリーズ SCY型 セミコンカプラ® 標準品シリーズ SCAL型 本体・バルブスプリングには、ステンレス鋼 本体・バルブスプリングはステンレス鋼 SCS型のシリーズ品で、挿入荷重を低減します。 ワンタッチ接続機能を備え、本体材質に四ふっ （SUS304）を採用し、さらに部品には電解研磨 （SUS304）、バルブシール材質にふっ素樹脂を 化エチレン樹脂を採用。分離時に液だれが少な 処理を施し耐食性能を高めています。サイズの 採用しています。 いタイプです。 バリエーションも豊富で、シール材質は流体や 用途に合わせて選択が自由自在です。 P13-14 P15-16 P10 P10 セミコンカプラ® セミコンカプラ® 標準品シリーズ SCT型 セミコンカプラ® 標準品シリーズ SCF型 準標準品シリーズ SP-GN型 セミコンカプラ® 準標準品シリーズ SML型 本体材質に四ふっ化エチレン樹脂を採用。取付 すべての部品にふっ素樹脂を採用。インジェク SP型のシリーズ品で、誤接続防止のためSPタ SP型のシリーズ品。SP型のプラグと互換性の 口径は1/4～1まで取り揃えています。 ションモールド加工によってパーティクルの発 イプとの互換性はありません。 あるソケットで、取付形状がおねじのL型タイプ 生を抑えています。 です。 2

シリーズ SEMICON CUPLA Series 日東工器は永年の経験とノウハウをベースに、 常に新技術へ挑戦し続けています。 多様化するニーズに新技術で応える研究・開発力 独創的なテクノロジーを証明する数々の特許技術 豊かな感性で培う独自のエンジニアリング 数多くの特許技術の結晶、世界が認めた高品質。 ISO14001 / ISO9001 認証取得 流体工学・材料工学の分野で培ってきた高度なノウハウと、トップレ ベルの精密加工技術の結晶として生産される迅速流体継手「カプ ラ」。設計・開発から資材購入、製造・組立加工、出荷にいたるまで Quick Connect Couplings の一貫した品質保証システム・品質管理体制を評価され、品質マネ ジメントシステムの国際規格「ISO9001」、地球環境保全および汚 染の予防を実現するための環境マネジメントシステムの国際規格 「ISO14001」の認証を取得しています。確かな「高品質」で高信頼 性を築き、安定供給の「生産能力」で積み重ねる確かな実績。世界に 広がる数多くのユーザーから、流体エネルギー伝達・制御のブラン ドとして支持を受けています。 ISO14001 ISO9001 JQA-EM4057 JQA-2025 本社/研究所 本社/研究所 「カプラ「」CUPLA」は 日東工器株式会社の 登録商標です。 《 環境・品質マネジメントシステム 》 グリーン調達の ●ISO14001 / ISO9001 認証取得 お知らせ グリーン調達対応製品 　日東工器株式会社（本社/研究所、中日本支社、西日本支社、西日本物流センター） 　栃木日東工器株式会社 　白河日東工器株式会社 　株式会社メドテック 当社は環境に配慮した事業活動を行うために、環境の国際規格 ISO14001 の 　NITTO KOHKI INDUSTRY (THAILAND) CO., LTD. 認証を取得するなど、全社を挙げて環境改善活動を進めております。こうした環 境改善活動の一環として、当社製品はRoHS 指令（RoHS 指令（Ⅱ））など各法規 則に基づき当社の指定した化学物質の含有廃止・削減を行い、環境対応製品（グ 《 環境面での取り組むべき項目 》 リーン調達対応製品）への変更を実施しております。なお、一部未対応製品もござ 　1）グリーン調達の推進 いますので、最新の対応状況につきましてはホームページ上でご確認ください。 　2）環境配慮製品の設計 　3）電力使用量の削減 詳しくは当社ホームページをご覧ください。 　4）OA用紙の使用量の削減 www.nitto-kohki.co.jp 　5）廃棄物の削減 3

用語解説 用語解説 下記の用語は、「カプラ」の詳細データページに使用している用語です。「カプラ」仕様欄を確認の際にご利用ください。 国際単位系（SI単位）について 本誌に記載の各種計量単位は、新しい計量法に基づきSI単位で表記しております。 なお、主な非SI単位（旧単位）は、{ 　}内に参考値として併記しています。 本体材質 シール材質 「カプラ」の流体通路となるプラグ本体およびソケット本体に使用している材 主に「カプラ」のシール部となるOリングなどの材質を示します。 質を示します。製品によっては内部部品の材質が異なりますので、詳細につい ●Oリングに用いられるゴムの特性 てはお問い合わせください。 シール材質 一般温度範囲 特 性 サイズ 一般名称 表示記号 （注1） （注2） 配管取付ねじサイズや適用チューブサイズを示します。 ふっ素ゴム FKM -20˚C～+180˚C 耐熱性・耐候性・耐油性に優れ、広範囲に 最高使用圧力 使用できます。 「カプラ」を連続使用する際に、常時加わる圧力の許容値を示します。 エチレン EPDM -40˚C～+150˚C 耐蒸気性・耐温水性・耐候性・耐オゾン性に 繰り返し最高使用圧力を超えて使用すると、漏れや破損の原因となります。 プロピレンゴム 優れています。 耐圧力 パーフロ※ P 0˚C～+50˚C 耐薬品性・耐溶剤性に優れています。 一時的に圧力が上昇しても「、カプラ」の性能に支障をきたさない圧力の限界値 を示します。 カルレッツ®※ KL 0˚C～+50˚C 耐薬品性・耐溶剤性に優れています。 使用温度範囲 （注１）同材質のゴムでも、「カプラ」の特性によって使用温度範囲は異なります。詳細は「カプラ」の各仕様を参照して ください。各表示記号は、ふっ素ゴムの場合を例にするとFKMになります。 「カプラ」に使用しているシール材質の最低使用温度と最高使用温度を示しま （注2）上記特性は一般的なものであり、流体の温度・濃度・添加物などによってゴムの耐久性は異なります。 す。ただし、最低使用温度および最高使用温度での連続使用はできませんので、 ※「パーフロ」はダイキン工業株式会社の登録商標です。 その際は別途ご相談ください。また、使用可能な温度範囲は、使用条件によって ※「カルレッツ®」はデュポン・ドゥ・ヌムール・インクの関連会社の登録商標です。 異なります。 圧力損失 推奨最大締付トルク・推奨最大締付量（目安値） 圧力損失は弊社設備による測定値です。 「カプラ」取付時の「漏れ」と「耐久性」のバランスを考慮した、 取付方法や使用環境によって異なります。 ねじの締付時の適正トルク値または最大締付量を示します。 上流圧力 下流圧力 圧力損失＝上流圧力ー下流圧力 流体の流れ方向 「カプラ」は構造上、流体を流す方向が限定されるものがあります。 流体の流れ方向をご確認し、正しく取り付けてください。 P 互換性 「カプラ」のプラグとソケットの接続の可否を示します。 バルブ構造 真空用途適合性 真空用途に求められる性能の有無を示します。 両路開閉型 プラグ・ソケットの両方にバルブを内蔵。分離時に配管 内の流体が流出しない構造です。 （接続時と単体時では異なりますのでご注意ください） 最小断面積 両路開閉型 両路開閉型で、接続時の空気混入と分離時の流体漏出 （液だれ低減型） を抑えた液だれ低減バルブ構造です。 「カプラ」接続時の流体通路で最小の断面積を示します。 製品型式の表し方 表示例（1P-304-KL／SCS-1S-NPT） SP 1 P 304 KL SCS 1 S NPT 型式 口径 ソケット・プラグ区分 本体材質 ねじ形状 シール材質 型 式 表 示 口 径 表 示 区 分 表 示 本体材質 表 示 ねじ形状 表 示 シール材質 表 示 刻印表示 SP型 なし 1/8 1 ソケット S SUS304 304 Rcねじ なし ふっ素ゴム F FKM SCS型 SCS 1/4 2 プラグ P SUS316 316 NPTねじ NPT エチレン プロピレンゴム E EPDM SCY型 SCY 3/8 3 SP型のみ表示 UNSねじ パーフロ ※ P P （19/32-18山） UNS SCF型 SCF 1/2 4 SCF型は取付形状が カルレッツ® ※ KL KL ねじではないため、 SCAL型 SCAL 3/4 6 SP型、SCAL型のみ表示 表示が異なります。 SCT型 SCT 1 8 ※「パーフロ」はダイキン工業株式会社の登録商標です。 ※「カルレッツ®」はデュポン・ドゥ・ヌムール・インクの関 　連会社の登録商標です。 4

シリーズ SEMICON CUPLA Series 標準品シリーズ 仕様 本体材質 ステンレス鋼（SUS304・電解研磨処理） セミコンカプラ® 取付ねじサイズ Rc 1/8・Rc 1/4・Rc 3/8・Rc 1/2・Rc 3/4・Rc 1 1/8-27NPT・1/4-18NPT・19/32-18UNS SP 最高使用圧力 0.2MPa {2kgf/cm2} 型 耐圧力 0.3MPa {3kgf/cm2} シール材質 表示記号 使用温度範囲 備考 ふっ素ゴム FKM 0̊C～+50̊C 標準材質 シール材質 使用温度範囲 注1 エチレンプロピレンゴム EPDM 0̊C～+50̊C 標準材質 パーフロ※ P 0̊C～+50̊C 標準材質 カルレッツ®※ KL 0̊C～+50̊C 標準材質 注1）使用可能な温度範囲は、使用条件によって異なります。 ※取付ねじ 19/32-18UNSの取付相手形状は6ページの参考図をご参照ください。 ※「パーフロ」はダイキン工業株式会社の登録商標です。 ※「カルレッツ®」はデュポン・ドゥ・ヌムール・インクの関連会社の登録商標です。 推奨最大締付トルク N•m {kgf•cm} 取付ねじサイズ 1/8-27NPT 1/4-18NPT 19/32- Rc 1/8 Rc 1/4 18UNS Rc 3/8 Rc 1/2 Rc 3/4 Rc 1 バルブ構造 トルク値 9 {92} 14 {143} 20 {204} 22 {224} 60 {612} 90 {918} 120 {1,224} 両路開閉型 互換性 製品型式の最初の数字が同じであれば、取付形状にかかわらず接続できます。 本体材質にステンレス鋼を 最小断面積 mm2 採用、シール材にゴムを 製品型式 1SP 2SP 3SP 4SP 6SP 8SP 使用した汎用型。 最小断面積 13 17 48 64 83 192 電解研磨処理を施して 流量ー圧力損失特性図 耐食性が向上。 〔測定条件〕　●流体名：水　●温度：23̊C±5̊C 1.0 {10} ●本体およびスプリングに、ステンレス鋼（SUS304）を採用。 さらに電解研磨処理を施して耐食性能を高めています。 ●シール材は流体・用途に合わせて選択自在。半導体製造工程 にフレキシブルに対応します。 0.1 {1} ●ノーグリース仕様なので、シール材にはグリースを塗布してい ません。 ●サイズのバリエーションが豊富なので、ご希望の用途・流量に Cv値 合わせて選択することができます。 0.01 {0.1} ① 1S-304×1P-304 0.52 ② 2S-304×2P-304 0.73 ●各部品はすべて洗浄し、クリーンルーム内で組立、検査およ ③ 3S-304×3P-304 1.92 び包装を行っています。 ④ 4S-304×4P-304 2.77 ●プラグにはキャップが標準装備されています。 ⑤ 6S-304×6P-304 3.62 ●SUS316製は受注生産品として承ります。 0.001 {0.01} ⑥ 8S-304×8P-304 7.74 1 10 100 1,000 流量Q [L /min] 5 圧力損失△P [MPa {kgf/cm2}]

SP型 製品型式・寸法表（下記はSUS304の寸法です。外観形状は、SUS304とSUS316で異なります。） プラグ おねじ取付用 ソケット おねじ取付用 T T C H H L L 寸法（mm） 製品型式 容器容量 質量 寸法（mm） 製品型式 容器容量 質量 （g） L C H T （g） L φD H T 1P-304 10L～20L用 Rc 1/8 1S-304 10L～20L用 82 Rc 1/8 19 29 19 六角14 48 24 二面14 1P-304-NPT 10L～20L用 1/8-27NPT 1S-304-NPT 10L～20L用 84 1/8-27NPT 1P-304-UNS 10L～20L用 34 33 19 六角21 19/32-18UNS 2S-304 10L～20L用 Rc 1/4 138 58 28 二面19 2P-304 10L～20L用 Rc 1/4 2S-304-NPT 10L～20L用 1/4-18NPT 35 36 22 六角17 2P-304-NPT 10L～20L用 1/4-18NPT 3S-304 100L～200L用 204 65 35 二面21 Rc 3/8 2P-304-UNS 10L～20L用 41 36 22 六角21 19/32-18UNS 4S-304 100L～200L用 424 72 45 二面29 Rc 1/2 3P-304 100L～200L用 60 40 25 六角21 Rc 3/8 6S-304 100L～200L用 708 88 55 二面35 Rc 3/4 4P-304 100L～200L用 115 44 28 六角29 Rc 1/2 8S-304 100L～200L用 1,081 102 65 二面41 Rc 1 6P-304 100L～200L用 216 52 36 六角35 Rc 3/4 8P-304 100L～200L用 352 62 40 六角41 Rc 1 補用品 プラグの取付ねじ部19/32-18UNSの相手側（容器側）ねじ形状 プラグ用 材質：ポリエチレン 参考図 キャップ ※詳細寸法については、 　別途お問い合わせください。 19/32-18UNS A 寸法（mm） 製品型式 A B 1P用キャップ 24.5 23 2P用キャップ 27.3 26.8 3P用キャップ 31 30.8 φ8.3 ステンレス容器 4P用キャップ 34.5 37.5 6P用キャップ 44.7 46.5 8P用キャップ 52 53.4 ご発注時のお願い 製品によっては納期がかかる場合があります ので、詳細についてはお問い合わせください。 6 B D 9±0.05 (3.1)

シリーズ SEMICON CUPLA Series 標準品シリーズ 仕様 本体材質 ステンレス鋼（SUS304・電解研磨処理） セミコンカプラ® 取付ねじサイズ Rc 1/8・Rc 1/4・Rc 3/8・Rc 1/2・Rc 3/4・Rc 1 1/8-27NPT・1/4-18NPT・19/32-18UNS SCS 最高使用圧力 0.2MPa {2kgf/cm2} 型 耐圧力 0.3MPa {3kgf/cm2} ソケット シール材質 表示記号 使用温度範囲 備考 シール材質 Oリング 使用温度範囲 注1 パーフロ※ P 0̊C～+50̊C 標準材質 バルブ ふっ素樹脂 (ソケット：PFA　プラグ：PTFE (1P・2PはPFA)) 注1）使用可能な温度範囲は、使用条件によって異なります。 ※パーフロ以外のシール材質をご使用の際は別途ご相談ください。 ※取付ねじ 19/32-18UNSの取付相手形状は8ページの参考図をご参照ください。 ※「パーフロ」はダイキン工業株式会社の登録商標です。 推奨最大締付トルク N•m {kgf•cm} 取付ねじサイズ 1/8-27NPT 1/4-18NPT 19/32- Rc 1/8 Rc 1/4 18UNS Rc 3/8 Rc 1/2 Rc 3/4 Rc 1 トルク値 9 {92} 14 {143} 20 {204} 22 {224} 60 {612} 90 {918} 120 {1,224} バルブ構造 互換性 製品型式｛SCS-□S（P）｝の□に入る数字が同じであれば取付形状に かかわらず接続できます。 両路開閉型 また、プラグは同サイズの「セミコンカプラ」SCY型ソケットと接続できます。 詳細は下表をご参照ください。 本体材質にステンレス鋼、 互換性確認表（SCS型・SCY型） ○・・・接続可能（特殊品は除く） バルブには樹脂シール材を ソケット 採用。 SCS型 SCY型 製品型式 -1S -2S -1S -2S -3S -4S -6S -8S ●本体およびスプリングは、ステンレス鋼（SUS304）製で、バ -1P ○ ○ ルブにふっ素樹脂シール材を採用。多種の薬品に対して優れ プ -2P ○ ○ た性能を発揮します。 ラ ●バルブには優れた耐薬品性能を発揮するふっ素樹脂を採用。 グ -3P ○ SCS型 ●ステンレス鋼（SUS304）の部品には電解研磨処理を施し、 -4P ○ 耐食性が一段と向上。 -6P ○ ●ノーグリース仕様なので、シール材にはグリースを塗布してい -8P ○ ません。 ●各部品はすべて洗浄し、クリーンルーム内で組立、検査およ 最小断面積 mm2 び包装を行っています。 ●プラグにはキャップが標準装備されています。 SCY-3S SCY-4S SCY-6S SCY-8S 製品型式 SCS-1SP SCS-2SP × × × × SCS-3P SCS-4P SCS-6P SCS-8P 最小断面積 15 23 28 71 110 162 流量ー圧力損失特性図 〔測定条件〕　●流体名：水　●温度：23̊C±5̊C 1.0 {10} ①SCY-1S×SCS-1P ②SCS-1S×SCS-1P ③SCY-2S×SCS-2P SCS-2S×SCS-2P ④SCY-3S×SCS-3P ⑤SCY-4S×SCS-4P ⑥SCY-6S×SCS-6P ⑦SCY-8S×SCS-8P 0.1 {1} 0.01 {0.1} 1 10 100 流量Q [L /min] Cv値 ① SCY-1S×SCS-1P 0.34 ② SCS-1S×SCS-1P 0.35 ③ SCY-2S×SCS-2P 0.71 ③ SCS-2S×SCS-2P 0.72 ④ SCY-3S×SCS-3P 1.38 ⑤ SCY-4S×SCS-4P 3.62 ⑥ SCY-6S×SCS-6P 3.98 ⑦ SCY-8S×SCS-8P 6.33 7 圧力損失△P [MPa {kgf/cm2}]

SCS型 製品型式・寸法表 プラグ おねじ取付用 ソケット おねじ取付用 T T C H H L L 寸法（mm） 寸法（mm） 製品型式 容器容量 質量 製品型式 容器容量 質量 （g） L C H T （g） L φD H T SCS-1P 10L～20L用 Rc 1/8 SCS-1S-NPT 10L～20L用 84 48 24 二面14 1/8-27NPT 17 29 19 六角14 SCS-1P-NPT 10L～20L用 1/8-27NPT SCS-2S-NPT 10L～20L用 138 58 28 二面19 1/4-18NPT SCS-1P-UNS 10L～20L用 34 33 19 六角21 19/32-18UNS SCS-2P 10L～20L用 32 Rc 1/4 34 22 六角17 SCS-2P-NPT 10L～20L用 29 1/4-18NPT SCS-2P-UNS 10L～20L用 41 36 22 六角21 19/32-18UNS SCS-3P 100L～200L用 61 40 25 六角21 Rc 3/8 SCS-4P 100L～200L用 114 44 28 六角29 Rc 1/2 SCS-6P 100L～200L用 198 52 36 六角35 Rc 3/4 SCS-8P 100L～200L用 338 62 40 六角41 Rc 1 プラグの取付ねじ部19/32-18UNSの相手側（容器側）ねじ形状 参考図 ※詳細寸法については、 　別途お問い合わせください。 19/32-18UNS φ8.3 ステンレス容器 ご発注時のお願い 製品によっては納期がかかる場合があります ので、詳細についてはお問い合わせください。 8 9±0.05 (3.1) D

シリーズ SEMICON CUPLA Series 標準品シリーズ 仕様 本体材質 ステンレス鋼（SUS304・電解研磨処理） セミコンカプラ® 取付ねじサイズ Rc 1/8・Rc 1/4・Rc 3/8・Rc 1/2・Rc 3/4・Rc 1 1/8-27NPT・1/4-18NPT SCY 最高使用圧力 0.2MPa {2kgf/cm2} 型 耐圧力 0.3MPa {3kgf/cm2} シール材質 表示記号 使用温度範囲 備考 シール材質 ソケット パーフロ※ および Pおよび 使用温度範囲 注1 パッキン ふっ素樹脂 PTFE (TF) 0̊C～+50̊C 標準材質 バルブ ふっ素樹脂 (PTFE (1S・2SはPFA)) 注1）使用可能な温度範囲は、使用条件によって異なります。 ※パーフロ以外のシール材質をご使用の際は別途ご相談ください。 ※「パーフロ」はダイキン工業株式会社の登録商標です。 推奨最大締付トルク N•m {kgf•cm} 取付ねじサイズ 1/8-27NPT 1/4-18NPT Rc 1/8 Rc 1/4 Rc 3/8 Rc 1/2 Rc 3/4 Rc 1 トルク値 9 {92} 14 {143} 22 {224} 60 {612} 90 {918} 120 {1,224} バルブ構造 互換性 同サイズの「セミコンカプラ」SCS型のプラグと接続できます。 両路開閉型 詳細は7ページの互換性確認表をご参照ください。 最小断面積 mm2 接続荷重の低減のため 製品型式 SCY-1S SCY-2S SCY-3S SCY-4S SCY-6S SCY-8S 最小断面積 15 23 28 71 110 162 シール部にふっ素樹脂を 流量ー圧力損失特性図 採用。 〔測定条件〕　●流体名：水　●温度：23̊C±5̊C 二重シール構造で 1.0 {10} Cv値 ① SCY-1S×SCS-1P 0.34 高シール性も実現。 ② SCY-2S×SCS-2P 0.71 ③ SCY-3S×SCS-3P 1.38 ④ SCY-4S×SCS-4P 3.62 ●本体およびスプリングは、ステンレス鋼（SUS304）製で、バ ⑤ SCY-6S×SCS-6P 3.98 ルブ材質にふっ素樹脂シール材を採用。多種の薬品に対して ⑥ SCY-8S×SCS-8P 6.33 優れた耐薬品性能を発揮します。 0.1 {1} ●ステンレス鋼（SUS304）の部品には電解研磨処理を施し、 耐食性が一段と向上。 ●ノーグリース仕様なので、シール材にはグリースを塗布してい ません。 ●操作しやすいスリーブ形状を採用。 ●各部品はすべて洗浄し、クリーンルーム内で組立、検査およ 0.01 {0.1} び包装を行っています。 1 10 100 流量Q [L /min] 製品型式・寸法表 ソケット おねじ取付用 T L H 製品型式 容器容量 質量 寸法（mm） （g） L φD H T SCY-1S 10L～20L用 116 (48) 29 二面 Rc 1/8 18 SCY-1S-NPT 10L～20L用 1/8-27NPT SCY-2S 10L～20L用 Rc 1/4 180 (58) 33 二面22 SCY-2S-NPT 10L～20L用 1/4-18NPT SCY-3S 100L～200L用 292 (65) 39 二面27 Rc 3/8 SCY-4S 100L～200L用 519 (72) 50 二面35 Rc 1/2 SCY-6S 100L～200L用 862 (88) 59 二面41 Rc 3/4 SCY-8S 100L～200L用 1,360 (102) 68 二面50 Rc 1 9 圧力損失△P [MPa {kgf/cm2}] D

SP-GN型/SML型 準標準品シリーズ 仕様 本体材質 ステンレス鋼（SUS304・電解研磨処理） セミコンカプラ® バルブ構造 取付ねじサイズ Rc 1/8・Rc 1/4・Rc 3/8・Rc 1/2・Rc 3/4・19/32-18UNS SP-GN 最高使用圧力 0.2MPa {2kgf/cm2} 型 両路開閉型 耐圧力 0.3MPa {3kgf/cm2} シール材質 表示記号 使用温度範囲 ふっ素ゴム FKM 0̊C～+50̊C シール材質 使用温度範囲 注1 エチレンプロピレンゴム EPDM 0̊C～+50̊C パーフロ※ P 0̊C～+50̊C カルレッツ®※ KL 0̊C～+50̊C 注1）使用可能な温度範囲は、使用条件によって異なります。 プラグ ソケット ※取付ねじ 19/32-18UNSの取付相手形状は6ページの参考図をご参照ください。 ※「パーフロ」はダイキン工業株式会社の登録商標です。 ※「カルレッツ®」はデュポン・ドゥ・ヌムール・インクの関連会社の登録商標です。 SP型のシリーズ品で、 互換性 SP型との互換性のないタイプ。 SP型のプラグにSP-GN型のソケットを挿入した時 SP型のプラグの最大外径部よりも ●SP型とは互換性のない構造なので、SP型との誤接続を防ぎます。 SP-GN型のソケット入口の内径部が小 　仮に挿入しても内蔵バルブが開かない安心設計。 さいため、プラグは左図の通り、完全に ●本体材質およびスプリングには、ステンレス鋼（SUS304）を採用。 挿入できないので接続ができず、ソケッ 　さらに電解研磨処理を施して耐食性能を高めています。 ト、プラグの内蔵バルブは開放しない。 ●シール材は、流体・用途に合わせて選択自在。半導体製造工程にフレ キシブルに対応します。 ●ノーグリース仕様なので、シール材にはグリースを塗布していません。 ●サイズのバリエーションが豊富なので、ご希望の用途・流量に合わせ SP-GN型のプラグにSP型のソケットを挿入した時 て選定することができます。 ●SP型と区別するため、プラグの六角部とソケットのスパナ面部には一 SP-GN型のプラグの最大外径部よりも 本溝を設けています。 SP型のソケット入口の内径部が小さい ため、プラグは左図の通り、完全に挿入 「セミコンカプラ」SP型との識別 プラグ ソケット できないので接続できず、ソケット、プ プラグの六角部とソケットの ラグの内蔵バルブは開放しない。 スパナ面部にある一本溝で、 ご確認ください。 ご発注時のお願い 製品によっては納期がかかる場合がありますので、 詳細についてはお問い合わせください。 準標準品シリーズ 仕様 本体材質 ステンレス鋼（SUS304・電解研磨処理） セミコンカプラ® バルブ構造 取付ねじサイズ 7/16-20UNF・1/8-27NPT・1/4-18NPT SML 最高使用圧力 0.2MPa {2kgf/cm2} 型 両路開閉型 耐圧力 0.3MPa {3kgf/cm2} シール材質 表示記号 使用温度範囲 ふっ素ゴム FKM 0̊C～+50̊C シール材質 使用温度範囲 注1 エチレンプロピレンゴム EPDM 0̊C～+50̊C パーフロ※ P 0̊C～+50̊C カルレッツ®※ KL 0̊C～+50̊C 注1）使用可能な温度範囲は、使用条件によって異なります。 ソケット（窒素ガス側） ソケット（液側） ※取付ねじ 19/32-18UNSの取付相手形状は別途お問い合わせください。 ※「パーフロ」はダイキン工業株式会社の登録商標です。 ※「カルレッツ®」はデュポン・ドゥ・ヌムール・インクの関連会社の登録商標です。 SP型のシリーズ品。SP型のプラグ 製品型式・寸法表 と互換性のあるソケットで、 ソケット めねじ取付用 取付形状がおねじのL型タイプ。 ●SP型のプラグと互換性のあるソケットで、形状をL型にして操作性を高め ると同時に、配管スペースを最小限にします。 ●本体材質およびスプリングには、ステンレス鋼（SUS304）を採用。 　さらに電解研磨処理を施して耐食性能を高めています。 窒素ガス側 L 液側 ●シール材は、流体・用途に合わせて選択自在。 ソケット L （窒素ガス側） 　半導体製造工程にフレキシブルに対応します。 ●ノーグリース仕様なので、シール材にはグリースを 製品型式 容器容量 質量 寸法（mm） 　塗布していません。 （g） L φD ●窒素ガス側と液側を区別するため、窒素ガス側の 窒素ガス側 1SML 10L～20L用 119 52 29 　ソケットのスリーブつば部には一本溝を設けています。 液側 2SML 10L～20L用 158 59.5 32 互換性 製品型式の最初の数字が同じSP型のプラグであれば、 ご発注時のお願い 製品によっては納期がかかる場合がありますので、 取付形状にかかわらず接続できます。（6ページ参照） 詳細についてはお問い合わせください。 10 D D

シリーズ SEMICON CUPLA Series 標準品シリーズ 仕様 本体材質 四ふっ化エチレン樹脂 (PTFE) セミコンカプラ® 取付ねじサイズ Rc 1/4・Rc 3/8・Rc 1/2・Rc 3/4 SCAL 最高使用圧力 0.2MPa {2kgf/cm2} 耐圧力 0.3MPa {3kgf/cm2PAT D.PAT } 型 ソケット シール材質 表示記号 使用温度範囲 備考 シール材質 使用温度範囲 注1 Oリング パーフロ※ P +5̊ C～+50̊C 標準材質 バルブ ふっ素樹脂 (PFA) 液だれ低減型 注1）使用可能な温度範囲は、使用条件によって異なります。 ※「パーフロ」はダイキン工業株式会社の登録商標です。 推奨最大締付量（目安値） シールテープを巻いたおねじに手で固く締めたのち、さらにレンチで以下のように締め込みます。 1³⁄₄～2回転 1/4・3/8・1/2・3/4 サイズ いずれの場合でも締め過ぎはねじ部を破損し、漏れの原因となりますので充分注意してください。 互換性 バルブ構造 製品型式｛SCAL-□S（P）｝の□に入る数字が同じであれば取付形状に かかわらず接続できます。 両路開閉型 （液だれ低減型） 最小断面積 mm2 製品型式 SCAL-2S SCAL-3S SCAL-4S SCAL-6S (SCAL- □) × × × × SCAL-2P SCAL-3P SCAL-4P SCAL-6P 本体材質に四ふっ化 最小断面積 24 41 59 108 エチレン樹脂（PTFE）を 分離時の液だれ量 mL ※使用条件によって異なります 採用。 製品型式 SCAL-2S SCAL-3S SCAL-4S SCAL-6S (SCAL- □) × × × × SCAL-2P SCAL-3P SCAL-4P SCAL-6P ●本体材質に耐薬品性に優れた四ふっ化エチレン樹脂 （PTFE）を採用。 液だれ量 0.07 0.09 0.13 0.20 ●独自の液だれ低減構造によって薬液の無駄を減少。 ●ソケット・プラグともに自動開閉バルブを備えており、分離し 流量ー圧力損失特性図 た際、配管内の流体は外部へ流出しません。 ●接液部に金属部品を使用していません。 〔測定条件〕　●流体名：水　●温度：23̊C±5̊C ●プラグ・ソケットの接続は、押し込むだけのワンタッチ接続。 1.0 {10} Cv値 ●タンクへの充てん作業を考慮し操作しやすいソケット形状。 ① SCAL-2S×SCAL-2P 0.69 ●各部品はすべて洗浄し、クリーンルーム内で組立、検査およ ② SCAL-3S×SCAL-3P 1.40 び包装を行っています。 ③ SCAL-4S×SCAL-4P 1.85 ④ SCAL-6S×SCAL-6P ●プラグの接続部に段を設けたことで、分離時に液が容器に垂 3.50 れるのを防ぎ、拭き取りが容易です。また、不意な落下などの 際もシール部を保護します。 0.1 {1} ●誤接続防止のため、キーリング付き（受注生産品）も承ります。 　※キーパターンは10通り、外観形状が一部異なります。 0.01 {0.1} 1 10 100 流量Q [L /min] 11 圧力損失△P [MPa {kgf/cm2}]

SCAL型 製品型式・寸法表 プラグ おねじ取付用 ソケット おねじ取付用 Rcねじ識別V溝 T T C L H L H 寸法（mm） 寸法（mm） 製品型式 質量 製品型式 質量 （g） L φD C H T （g） L φD H T SCAL-2P 37 50 27.5 24 二面24 Rc 1/4 SCAL-2S 97 (60.5) 40.5 二面27 Rc 1/4 SCAL-3P 73 63 34.5 28 二面30 Rc 3/8 SCAL-3S 135 (69.5) 47 二面32 Rc 3/8 SCAL-4P 107 72 39.5 30.5 二面36 Rc 1/2 SCAL-4S 177 (76) 52 二面36 Rc 1/2 SCAL-6P 153 77 48 36.5 二面41 Rc 3/4 SCAL-6S 339 (90) 65 二面46 Rc 3/4 補用品 受注生産品 プラグ用 材質：ポリエチレン フランジタイプ キャップ A 質量 寸法（mm） 製品型式 （g） A φB SCAL-2P用キャップ 3.1 26.5 24.5 SCAL-3P用キャップ 4.6 30.5 29 SCAL-4P用キャップ 5.0 33 30 SCAL-6P用キャップ 8.7 38.5 38 ●プラグにはキャップ（HDPE製）が標準装備されています。 ※取付形状でめねじ以外（例 フランジ・おねじなど）についてはお問い合わせください。 ※締め過ぎはねじ部を破損し、漏れの原因となりますので注意してください。 ※注意：ソケットに四ふっ化エチレン樹脂（PTFE）製のベローズを使用しているため、ガスがごく微量透過します。 12 D B D

シリーズ SEMICON CUPLA Series 標準品シリーズ 仕様 本体材質 四ふっ化エチレン樹脂 (PTFE) セミコンカプラ® 取付ねじサイズ Rc 1/4・Rc 3/8・Rc 1/2・Rc 3/4・Rc 1 1/4-18NPT・3/8-18NPT・1/2-14NPT・3/4-14NPT・1-11.5NPT SCT 最高使用圧力 0.2MPa {2kgf/cm2} 型 耐圧力 0.3MPa {3kgf/cm2} ソケット シール材質 表示記号 使用温度範囲 備考 シール材質 Oリング 使用温度範囲 注1 FEP被覆ふっ素ゴム ー +5̊ C～+50̊C 標準材質 バルブ ふっ素樹脂 (PFA) 注1）使用可能な温度範囲は、使用条件によって異なります。 推奨最大締付量（目安値） シールテープを巻いたおねじに手で固く締めたのち、さらにレンチで以下のように締め込みます。 1³⁄₄～2回転 1/4・3/8・1/2・3/4・1 サイズ いずれの場合でも締め過ぎはねじ部を破損し、漏れの原因となりますので充分注意してください。 互換性 バルブ構造 製品型式｛SCT-□S（P）｝の□に入る数字が同じであれば取付形状に かかわらず接続できます。 両路開閉型 最小断面積 mm2 製品型式 SCT-2SP SCT-3SP SCT-4SP SCT-6SP SCT-8SP 本体材質に四ふっ化 最小断面積 12 34 54 103 225 エチレン樹脂（PTFE）を 流量ー圧力損失特性図 採用。 〔測定条件〕　●流体名：水　●温度：23̊C±5̊C 1.0 {10} ①SCT-2S×SCT-2P ●本体材質に四ふっ化エチレン樹脂（PTFE）を採用しています ②SCT-3S×SCT-3P ので、優れた耐薬品性を備えています。 ③SCT-4S×SCT-4P ④SCT-6S×SCT-6P ●ソケット・プラグともに自動開閉バルブを備えており、分離し ⑤SCT-8S×SCT-8P た際、配管内の流体は外部へ流出しません。 ●接液部に金属部品を使用していません。 ●各部品はすべて洗浄し、クリーンルーム内で組立、検査およ 0.1 {1} び包装を行っています。 ●サイズのバリエーションが豊富で、ご希望の用途・流量に合わ せて選定することができます。 ●誤接続防止のため、キーリング付き（受注生産品）も承ります。 　※キーパターンは10通り、外観形状が一部異なります。 0.01 {0.1} 1 10 100 流量Q [L /min] Cv値 ① SCT-2S×SCT-2P 0.24 ② SCT-3S×SCT-3P 0.80 ③ SCT-4S×SCT-4P 1.22 ④ SCT-6S×SCT-6P 2.72 ⑤ SCT-8S×SCT-8P 5.76 13 圧力損失△P [MPa {kgf/cm2}]

SCT型 製品型式・寸法表 プラグ おねじ取付用 ソケット おねじ取付用 T T A H H L L 製品型式 質量 寸法（mm） 寸法（mm） 製品型式 質量 （g） L A φC H T （g） L φD H T SCT-2P Rc 1/4 SCT-2S Rc 1/4 43 59 30.5 27.5 四面24 101 89.5 41 二面19 SCT-2P-NPT 1/4-18NPT SCT-2S-NPT 1/4-18NPT SCT-3P Rc 3/8 SCT-3S Rc 3/8 77 68.5 33.5 34.5 四面30 156 102 49.5 二面24 SCT-3P-NPT 3/8-18NPT SCT-3S-NPT 3/8-18NPT SCT-4P Rc 1/2 SCT-4S Rc 1/2 91 69.5 37.5 39.5 四面36 192 107 54.5 二面30 SCT-4P-NPT 1/2-14NPT SCT-4S-NPT 1/2-14NPT SCT-6P Rc 3/4 SCT-6S Rc 3/4 160 78.5 45 48 四面41 340 123 68 二面36 SCT-6P-NPT 3/4-14NPT SCT-6S-NPT 3/4-14NPT SCT-8P Rc 1 SCT-8S Rc 1 300 112 60.5 59 四面50 770 172.5 82 二面46 SCT-8P-NPT 1-11.5NPT SCT-8S-NPT 1-11.5NPT ※取付形状についてはRcねじ・NPTねじのめねじ形状があります。 ※Rcねじタイプは、プラグ本体およびソケット本体にV溝を設けています。（NPTはなし） ※取付形状でめねじ以外（例 フランジ・おねじなど）についてはお問い合わせください。 別売品 プラグ用 材質：ポリエチレン ソケット用 材質：PTFE（SCT-8S用キャップのみポリエチレン） キャップ キャップ A D 寸法（mm） 寸法（mm） 製品型式 製品型式 A B φC D φE SCT-2P用キャップ 37 ー 24 SCT-2S用キャップ 50 19.5 SCT-3P用キャップ 39 34.5 26 SCT-3S用キャップ 53 24.5 SCT-4P用キャップ 43.5 38.5 29 SCT-4S用キャップ 58 29.5 SCT-6P用キャップ 55 48.6 37.2 SCT-6S用キャップ 67 39.5 SCT-8P用キャップ 71.5 ー 53 SCT-8S用キャップ 72.5 48 ※SCT-2P用と8P用キャップは形状が異なります。 ※SCT-3P、SCT-4P、SCT-6P用キャップはプラグに標準装備されています。 14 C B C D E

シリーズ SEMICON CUPLA Series 標準品シリーズ 仕様 本体材質 ふっ素樹脂 (PFA) セミコンカプラ® ねじ用 Rc 3/8・Rc 1/2、M26・M32 取付ねじサイズ SCF チューブ取付用 φ6×φ8・φ8×φ10チューブ 最高使用圧力 0.2MPa {2kgf/cm2} 型 耐圧力 0.3MPa {3kgf/cm2} ソケット シール材質 表示記号 使用温度範囲 備考 シール材質 Oリング 使用温度範囲 注1 FEP被覆ふっ素ゴム ー +5̊ C～+50̊C 標準材質 バルブ ふっ素樹脂 (PFA) 注1）使用可能な温度範囲は、使用条件によって異なります。 互換性 製品型式｛SCF-□S（P）｝の□に入る数字が同じであれば取付形状に かかわらず接続できます。 最小断面積 mm2 製品型式 SCF-2SP SCF-3SP バルブ構造 最小断面積 23.8 37.8 両路開閉型 流量ー圧力損失特性図 〔測定条件〕　●流体名：水　●温度：23̊C±5̊C 1.0 {10} 本体材質にふっ素樹脂 （PFA）を採用した オール樹脂製。 0.1 {1} ●すべての部品にふっ素樹脂を採用。特にOリングはFEP被覆 ふっ素ゴムを使用、優れた耐薬品性を備えゴム溶出の心配が ありません。 Cv値 ① SCF-2S-3×SCF-2P-3 0.45 ●プラグ・ソケットの接続は、押し込むだけのワンタッチ接続。 ② SCF-2SL-NO8×SCF-2P-3 0.48 分離も簡単なボタン操作によって片手でできます。 ③ SCF-3S-4×SCF-3P-4 0.79 ●独自の〈ダブルロック機構〉でソケットとプラグの不意の分離 0.01 {0.1} ④ SCF-3SL-N10×SCF-3P-4 0.87 を防止します。 1 10 100 ●配管取付形状をL型にして操作性を高めると同時に、配管ス 流量Q [L /min] ペースを最小にしています。 ●各部品はすべて洗浄し、クリーンルーム内で組立、検査およ び包装を行っています。 ●プラグにはキャップが標準装備されています。 15 圧力損失△P [MPa {kgf/cm2}]

SCF型 製品型式・寸法表 プラグ 容器取付用 ソケット チューブ取付用 T 適用チュ-ブ C L E L 寸法（mm） 製品型式 製品型式 容器容量 質量 寸法（mm） 容器容量 質量 （g） L D C T （g） L D E 適用チューブ SCF-2P-M26 10L～20L用 33 (53.7) 六角30×φ32.5 (31.2) M26×1.5 SCF-2SL-N08 10L～20L用 76 77 34 (45) φ6×φ8 SCF-3P-M32 10L～20L用 50 (57.7) 六角36×φ39 (35.2) M32×1.5 SCF-3SL-N10 10L～20L用 116 85 39 (51) φ8×φ10 プラグ おねじ取付用 ソケット おねじ取付用（ストレート型） T H T A C D L H L 寸法（mm） 寸法（m ） 製 製品型式 質量 m 品型式 質量 （g） L C φD H A φB T （g） L φA H D E T SCF-2P-3 53 (67.2) (31.2) 32.5 六角30 二面24 27 Rc 3/8 SCF-2S-3 83 (92) 27 二面24 33 (45) Rc 3/8 SCF-3P-4 79 (71.2) (35.2) 39 六角36 二面30 33 Rc 1/2 SCF-3S-4 124 (102.5) 33 二面30 39 (51) Rc 1/2 参考図ープラグの取り付けねじ部の相手側（容器側）ねじ形状 ※公差など含めた詳細寸法については別途お問い合わせください。 ø27.5 ø33.5 ø21 30˚ ø26 30˚ M26×1.5 ø19.7 M32×1.5 ø24.5 ø16.2 ø20.9 R1.5 R1.5 ø6 ø8 SCF-2P-M26用 ø15.9 SCF-3P-M32用 ø20.6 ø27 ø33 16 B D 18.5 14 13 D 11.5 6.5 12.5 16.3 18.5 14 13 11.5 E D 6.5 12.5 16.3 A

シリーズ SEMICON CUPLA Series シール材質 「カプラ」のシール部（外部への流体漏れを防止する重要部品）には、流体の種類・温度などに合わせて最適なシール材質を選定すること が大切です。この選定を誤まりますと、「カプラ」の機能を損なうばかりか思わぬ事故の原因ともなりますので、慎重にご検討ください。 選定表（参考） ●シール材質の選定・指定はユーザー様にてお願いいたします。　 ※「シール材質選定表（参考）」以外の流体の場合は、実使用環境下でのご確認をお願いいたします。 また、選定表に記載の流体であっても、必要に応じて適否の確認をお願いいたします。 「パーフロ」はダイキン工業株式会社の登録商標です。 シール材質 シール材質 シール材質 音 エ ふ 流 体 名 ピ ピエ ふ パ レチ っ パ 音 音 エ ふ 流 体 名 ピチ っ パ レ 順 ンレ ー レチレ っ ン 素 流 体 名 ゴ フ 順 ンン 素 ー ゴ フ 順 ンレン 素 ー ゴ フ ムプ ゴ ロ ロ ムプ ゴ ム ロ ム ロ ムプ ゴ ロ ム ロ あ 亜硝酸カリウム ◎ △ ◎ え 塩化メチレン × ○ ◎ さ 作動油（リン酸エステル系） ○ ◎ ◎ 亜硝酸ナトリウム ◎ × ◎ 鉛酸ナトリウム ◎ △ ◎ サルチル酸メチル ○ × ◎ アスファルト × ◎ ◎ 塩素（液体） × × ○ 三塩化エチレン △ ◎ ◎ アセチルアセトン ◎ × × 塩素ガス × ◎ ◎ 三塩化ひ素 × × ◎ アセチルクロライド（塩化アセチル） × ◎ ◎ 塩素水 ○ ◎ ◎ 酸素（ガス） ◎ ◎ ◎ アセチレン ◎ ◎ ◎ お オキシ塩化りん（乾） ◎ ◎ 3-メチルペンタン × ◎ ◎ アセトアルデヒド ○ × △ オキシ塩化りん（湿） ◎ ◎ し 次亜塩素酸ナトリウム（1%） ○ ○ ◎ アセトニトリル × △ ◎ オクチルアルコール △ ◎ ◎ ジアセトンアルコール ◎ × ◎ アセトフェノン ◎ × ◎ オゾン ◎ ◎ ◎ 次亜硫酸カリウム ◎ ◎ アセトン ◎ × ◎ オリーブ油 ○ ◎ ◎ 次亜硫酸ナトリウム ◎ △ ◎ アニリン ○ △ ◎ o-ジクロロベンゼン × ◎ ◎ シアン化カドミウム ◎ △ ◎ アミルアルコール（ペンタノール） ◎ ○ ◎ オレイン酸 × ○ ◎ シアン化カリウム ◎ ◎ ◎ アミン混合物 ○ × × か 過塩素酸カルシウム × × シアン化銅 ◎ ◎ ◎ 亜硫酸アンモニウム ◎ △ ◎ 過酸化水素（30%） ◎ シアン化ナトリウム ◎ ◎ ◎ 亜硫酸カルシウム ◎ ◎ ◎ 過酸化ナトリウム ◎ ◎ ◎ ジエタノールアミン ◎ △ ◎ 亜硫酸鉄（100%） × × ガソリン × ◎ ◎ 四エチル鉛 × ◎ ◎ 亜硫酸ナトリウム ◎ ◎ ◎ 過ほう酸ナトリウム ◎ ◎ ◎ ジエチレングリコール ◎ ◎ ◎ 亜りん酸トリフェニル ◎ × カルビトール ○ ○ ◎ 四塩化エチレン（テトラクロロエチレン） × ◎ ◎ アルミン酸ナトリウム ◎ △ ◎ き キシレン × ◎ ◎ 四塩化炭素 × ◎ ◎ アンモニア（液）（65℃） × ◎ 魚油 × ◎ ◎ 四塩化チタン × ◎ ◎ アンモニア（液）（Cool） ◎ × ◎ きり油 × ◎ ◎ シクロヘキサノール × ◎ ◎ アンモニア（無水） ◎ × ○ く 空気（50℃） ◎ ◎ ◎ シクロヘキサン × ◎ ◎ アンモニアガス（低温） ◎ × ◎ グリース（石油系） × ◎ ◎ ジクロロフェノール × ◎ ◎ い 硫黄 ◎ ◎ ◎ グリセリン（65℃） ◎ ◎ ◎ 四酸化硫黄 × ◎ イソアミルアルコール × × クレゾール（50℃） × ○ ◎ ジベンジルエーテル ○ × ◎ イソオクタン × ◎ ◎ クロロアセトン ◎ × ◎ 臭化アルミニウム ◎ ◎ ◎ イソプロパノール ◎ ◎ ◎ クロロフェノール × ◎ ◎ 臭化水素酸 ◎ ◎ ◎ イソプロピルアルコール ◎ ◎ ◎ クロロベンゼン × ◎ ◎ 臭化メチル × ◎ ◎ イソプロピルエーテル × × ◎ クロロホルム × ◎ ◎ 臭化メチレン × ◎ ◎ 一酸化炭素（65℃） ◎ ◎ ◎ け けい酸カリウム ◎ ◎ ◎ 重クロム酸カリウム ◎ ◎ ◎ う ウイスキー ◎ ◎ ◎ けい酸ナトリウム（水ガラス） ◎ ◎ ◎ 重クロム酸ナトリウム ◎ △ ◎ え エタノール（エチルアルコール） ◎ △ ◎ ケロシン × ◎ ◎ 臭素 × ◎ ◎ エチルアセテート（酢酸エチル） ○ × 現像液 ○ ◎ ◎ 臭素水 × ◎ ◎ エチルセルロース ○ × ◎ 原油 × ◎ ◎ 樹脂油 × × エチルベンゼン × ◎ ◎ こ 鉱物油 × ◎ ◎ 潤滑油（SAE 10, 20, 30, 40, 50） × ◎ ◎ エチレングリコール ◎ ◎ ◎ コーヒー × × 蒸気（100℃） ◎ ○ ◎ ＬＰＧ × ◎ ◎ コーン油 △ ◎ ◎ 硝酸アルミニウム ◎ ◎ ◎ 塩化亜鉛 ◎ ◎ ◎ ココナッツ油 △ ◎ ◎ 硝酸アンモニウム（65℃） ◎ 塩化アルミニウム ◎ ◎ ◎ さ 酢酸アミル（アミルアセテート） △ × ◎ 硝酸カリウム ◎ ◎ ◎ 塩化アンモニウム ◎ ◎ ◎ 酢酸イソプロピル ○ × ◎ 硝酸カルシウム（65℃） ◎ ◎ ◎ 塩化硫黄（乾燥） × ◎ ◎ 酢酸カリウム（65℃） ◎ × ◎ 硝酸鉄（65℃） ◎ ◎ 塩化エチル △ ◎ ◎ 酢酸カルシウム ◎ × ◎ 硝酸ナトリウム ◎ △ ◎ 塩化鉄 ◎ ◎ 酢酸カルシウム（65℃） ◎ × ◎ 硝酸ニッケル ◎ △ ◎ 塩化銅 ◎ ◎ ◎ 酢酸ナトリウム ◎ × ◎ 硝酸バリウム ◎ △ ◎ 塩化ナトリウム ◎ ◎ ◎ 酢酸ニッケル ◎ × ◎ 硝酸マグネシウム × × 塩化ナトリウム（塩水） ◎ ◎ ◎ 酢酸ニッケル（65℃） ◎ × ショ糖液 ◎ ◎ ◎ 塩化ニッケル ◎ ◎ ◎ 酢酸ビニル ◎ × ◎ す 酢 ○ △ ◎ 塩化バリウム ◎ ◎ ◎ 酢酸プロピル（プロピルアセテート） ○ × ◎ 水銀 ◎ ◎ ◎ 塩化ビニル × ◎ ◎ 作動油（合成ベース） × ◎ ◎ 水酸化アンモニウム ◎ × × 塩化ベンジル（ベンジルクロライド） × ◎ ◎ 作動油（石油ベース） × ◎ ◎ 水酸化カリウム（50%） ◎ × ◎ 塩化マグネシウム ◎ ◎ ◎ 作動油（水/油エマルジョン系） × ◎ ◎ 水酸化カルシウム ◎ ◎ ◎ 塩化メチル（メチルクロライド） △ ◎ ◎ 作動油（水・グリコール系） ◎ ○ ◎ 水酸化クロム ◎ 17

シール材質選定表 シール材質 ◎ … ほとんど影響がなく、使用できる（優） シール材質をご選定いただく場合、次の事項についてご検討 選定表 ○ … 若干の影響はあるが条件によって使用可能（良） のうえ、ご採用をお願いいたします。 選定表 の見方 △ … なるべく使わない方がよい（可） お願い （参考） 1.流体名欄に条件のことわりがない場合は、飽和状態で常温（20±5℃）での使用です。 × … 使用できない（不可） 2.流体の温度が高い場合、あるいは濃度が異なる場合は、お問い合わせください。 注：空欄部分のシール材質は別途ご相談ください。 3.食品関係に使用する場合は別途ご用命ください。 「パーフロ」はダイキン工業株式会社の登録商標です。 シール材質 シール材質 シール材質 音 エ ふ 流 体 名 ピ パ 音 レチレ っ 流 体 名 ピエ ふ パ ピエ ふ パ レチ 音 ー 流 体 名 レチ 順 ンン 素 ー ゴ フ 順 ンレ っ レ っ ゴン 素 フ 順 ンン 素 ー ゴ フ ムプ ゴ ロ ム ロ ムプ ゴ ロ ロ ムプ ゴ ム ロ ム ロ す 水酸化ナトリウム（苛性ソーダ） ◎ △ ◎ ひ ピリジン ○ × ◎ り 硫酸アンモニウム ◎ × ◎ 水酸化バリウム ◎ ◎ ◎ ふ フェノール × ◎ ◎ 硫酸アンモニウムニッケル ◎ △ ◎ 水酸化マグネシウム ◎ ◎ ◎ ブタジエン × ◎ ◎ 硫酸カリウム ◎ ◎ ◎ 水素 ◎ ◎ ◎ ブタノール（ブチルアルコール） ○ ◎ ◎ 硫酸カリウムアルミニウム ◎ △ ◎ スチレンモノマー × ○ ◎ ブタン × ◎ ◎ 硫酸カルシウム ◎ △ ◎ ステアリン酸ブチル × ◎ ◎ ブタン（液状） × ◎ 硫酸カルシウム（65℃） ◎ △ ◎ スピンドル油 × ◎ ◎ ブチルアセテート ○ × ◎ 硫酸第二鉄 ◎ ◎ ◎ せ Sec.ブチルアルコール ○ ◎ ◎ ブチルアルデヒド ○ × ○ 硫酸銅 ◎ ◎ ◎ 石けん液（65℃） ◎ ◎ ◎ ブチレン × ◎ ◎ 硫酸ナトリウム ◎ ◎ ◎ ゼラチン ◎ ◎ ◎ ふっ素（ガス） × × ○ 硫酸ニッケル ◎ ◎ ◎ た Tert.ブチルアルコール ○ ◎ ◎ ぶどう糖（グルコース） ◎ ◎ ◎ 硫酸バリウム（65℃） ◎ ◎ ◎ たらの肝油 ◎ ◎ ◎ フルフラール ○ × ◎ 硫酸マグネシウム ◎ ◎ ◎ 炭化カルシウム ◎ ブレーキオイル ◎ × ◎ 硫酸マグネシウムアンモニウム × × 炭酸アンモニウム ◎ ◎ ◎ プロパン × ◎ ◎ りん × × ◎ 炭酸ガス（65℃） ○ ○ プロピオンアルデヒド ◎ △ ◎ りん酸アンモニウム（65℃） ◎ × ◎ 炭酸カリウム ◎ △ ◎ プロピオンニトリル × ◎ ◎ りん酸カリウム ◎ △ ◎ 炭酸カルシウム ◎ ◎ ◎ プロピルアルコール ◎ ◎ ◎ りん酸ナトリウム ◎ ◎ ◎ 炭酸ナトリウム ◎ ◎ ◎ プロピレン × ◎ ◎ わ ワイン ◎ ◎ ◎ ち チオ硫酸アンモニウム ◎ △ ◎ フロン11 × ○ ○ チオ硫酸カリウム ◎ △ ◎ フロン12 △ △ ○ 窒素（ガス） ◎ ◎ ◎ フロン22 △ × ◎ て ディーゼル油 × ◎ ◎ へ ヘキサン（ｎ-ヘキサン） × ◎ ◎ テトラクロロエチレン × ◎ ◎ ヘキシレングリコール ◎ △ ◎ テトラリン × ◎ ◎ ヘプタン（ｎ-ヘプタン） × ◎ ◎ でんぷん ◎ ◎ ヘリウム ◎ ◎ ◎ と 動物油（ラード） ○ ◎ ◎ ベンジルアルコール ○ ◎ ◎ トリエタノールアミン ○ × ◎ ベンズアルデヒド ◎ × ◎ トルエン（トルオール） × △ ◎ ベンゼン × ◎ ◎ な ナフサ × ◎ ◎ ペンタン（ｎ-ペンタン） × ◎ ◎ ナフタリン × ◎ ◎ ほ ホルムアルデヒド ○ × ◎ ナフテン系オイル × ◎ み 水 ◎ ◎ ◎ に 二酸化硫黄 ◎ × ◎ ミルク ◎ ◎ ◎ 2,3-ジメチルブタン × ◎ ◎ む 無水酢酸 ○ × ◎ 二炭酸カリウム ◎ △ ◎ 無水マレイン酸 ○ × ◎ 二炭酸ナトリウム ◎ ◎ ◎ め メタノール ◎ × ◎ ニトロベンゼン △ ○ ◎ メタリン酸ナトリウム ◎ ◎ ◎ 2,2-ジメチルブタン × ◎ ◎ メチルイソブチルケトン（MIBK） △ × ◎ 2-メチルペンタン × ◎ ◎ メチルエチルケトン（MEK） ◎ × ◎ 2,4-ジメチルペンタン × ◎ ◎ メチルブチルケトン ◎ × ◎ 二硫化炭素 × ◎ ◎ メチルプロピルケトン ○ × 二硫酸ナトリウム ◎ ◎ ◎ 綿実油 △ ◎ ◎ ね 燃料油 × ◎ ◎ も モノエタノールアミン（MEA） ○ × ◎ の ノルマルアミルアルコール × × モノクロロベンゼン × ◎ ◎ ノルマルブチルアルコール × × モノブロモベンゼン × ◎ ◎ は パーム油 × × よ ヨウ化ナトリウム ◎ △ ◎ パイン油 × ◎ ◎ ら ラードおよびラード油 ○ ◎ ◎ バターおよびバター油 ◎ ◎ ◎ ラテックス × × パラジクロロベンゼン × ◎ ◎ り リキュール（てん菜糖） ◎ ◎ ◎ パラフィン油 × ◎ ◎ 硫化ナトリウム ◎ ◎ ◎ ひ ピーナッツ油 △ ◎ 硫化バリウム ◎ ◎ ◎ ビール ◎ ◎ ◎ 硫酸亜鉛 ◎ ◎ ◎ ひまし油 ○ ◎ ◎ 硫酸アルミニウム ◎ ◎ ◎ 18

シリーズ SEMICON CUPLA Series 本体材質 「カプラ」の本体材質は、使用用途・流量の種類・流体濃度（％）・圧力・使用環境などと深く関係しており、「カプラ」の機能を十分発揮し、効 果的にご使用いただくためにも流体に対する配慮が必要です。 選定表（参考） とくに流体によっては、金属を使用できないものもありますので、この表を参考に選定をお願いいたします。 ●本体材質の選定・指定はユーザー様にてお願いいたします。 注1.材質を選定する場合には、流体濃度（％）・使用条件なども考慮し、検討してください。／注2.空欄部分の本体材質は別途ご相談ください。 選定表の見方 ○ … 使用可能　／　△ … 使用条件によって制限されます　／　× … 使用不可 音 順 流　体　名 ふっ素樹脂 ステンレス鋼 音 順 流　体　名 ふっ素樹脂 ステンレス鋼 あ アセトン ○ ○ ふ ふっ化アルミニウム ○ × アニリン ○ ○ ふっ化水素酸 ○ × 亜硫酸 ○ △ へ ヘキサン ○ ○ アンモニア ○ ○ ベンジン ○ ○ い 飲料水 ○ ○ ベンゼン ○ ○ え エーテル ○ ○ ほ ほう酸 ○ ○ エタノール ○ ○ ホルムアルデヒド 40% ○ ○ エチレングリコール ○ ○ む 無水酢酸 ○ ○ 塩化亜鉛 ○ △ め メチルアルコール ○ ○ 塩化アルミニウム ○ × り 硫化水素 ○ △ 塩化エチレン ○ 硫化バリウム ○ ○ 塩化カリウム ○ △ 硫酸 ○ × 塩化カルシウム ○ △ 硫酸アルミニウム ○ ○ 塩化第二鉄 ○ × 硫酸アンモニウム ○ △ 塩化ナトリウム ○ ○ 硫酸第二鉄 ○ △ 塩化ニッケル ○ × 硫酸ナトリウム ○ ○ 塩化バリウム ○ × りん酸 ○ ○ 塩化マグネシウム ○ × りん酸アンモニウム ○ ○ 塩酸 ○ × りん酸ナトリウム ○ △ 塩水 ○ △ 塩素 ○ × か 過酸化水素 ○ ○ き ぎ酸 ○ ○ く 空気 ○ ○ クエン酸 ○ ○ グリセリン ○ ○ クレゾール酸 ○ ○ クロム酸 ○ × さ 酢酸 ○ ○ 酢酸エチル ○ ○ 酢酸ブチル ○ ○ 酸素 ○ ○ し 臭化水素酸 ○ × 四塩化炭素 ○ ○ 純水 ○ ○ 硝酸 ○ △ 硝酸アンモニウム ○ ○ 硝酸ナトリウム ○ ○ す 水酸化カルシウム ○ ○ 水酸化カリウム ○ ○ 水酸化ナトリウム（苛性ソーダ） ○ △ 水酸化バリウム ○ ○ 水素 ○ ○ た ダウサム ○ 炭酸ナトリウム ○ ○ タンニン酸 ○ な ナフタリン ○ ○ に 乳酸 ○ ○ 二酸化炭素 ○ ○ ニトロベンゼン ○ ○ 二硫化炭素 ○ ○ ひ ひ酸 ○ ○ ふ フェノール ○ ○ フォルマリン ○ ○ ブタン ○ ○ 19