バキュームパッド

Page 1:真空機器INDEXVACUUM PADS仕様 1314注文記号 1315理論吊り上げ力・パッドゴムの材質と適性 1316質量 1317パッドゴム寸法図 1318KPHF寸法図 1320KPVF寸法図 1322KPPF寸法図 1323KPLF寸法図 1324KPHS寸法図 1325KPVS寸法図 1327KPPS寸法図 1328KPLS寸法図 1329パッドゴムはめ合い寸法図 1330取扱い要領と注意事項 1332ご使用になる前に前付127ページの「安全上のご注意」を必ずお読みください。注意2010.03.31RoHS指令対応製品13132014_10

Page 2:横配管・固定形注3KPHF KPHS横配管・スプリング内蔵形注3形式項目使用チューブサイズおよび注2配管ねじサイズmm2.5・3.52×43.5×74×2.5─── 3 5 6 7 10 206×4 Rc1/8 4×2.5 6×4 Rc1/86・8101520253035405060・80951001201502002.5・3.52×43.5×76・810152025・303540・5060・8095100120150200バキュームパッド仕様注1：パッド径の項目に表わされる、枠内のパッドサイズは、金具が共通です。（パッドゴム取付ねじは一部違います。）注2：使用チューブはウレタンチューブをお選びください。注3：φ60〜φ200の縦配管は、配管プラグR1/8を入れ換えることにより可能です。パッド径注1 mmスプリングで可変するストローク mm────── ────────────合成ゴム：NBR（黒）・ウレタン（緑）・シリコン（白）・フッ素（黒 白のマーク付）──────黄銅（ニッケルめっき）ステンレス1.8黄銅（ニッケルめっき） 鋼（ニッケルめっき）黄銅（ニッケルめっき） 鋼（ニッケルめっき）アルミ合金（アルマイト）合成ゴム：NBR───アルミ合金（アルマイト）合成ゴム：NBR鋼（ニッケルめっき）ピアノ線（亜鉛めっき）2.6 1.0 3.5 9.8 10.8スプリング戻り力（1/2ストローク） N本体材 質主要金具部分ケース本体カバーOリングガイドスプリングパッドゴム（色）KPPF KPPS横配管・スプリング内蔵形注2横配管・固定形注21015──────黄銅（ニッケルめっき）アルミ合金（アルマイト）合成ゴム：NBR─── ステンレス鋼鋼（ニッケルめっき）黄銅（ニッケルめっき）黄銅（ニッケルめっき）鋼（ニッケルめっき）鋼（ニッケルめっき）6×4（M5） Rc 1/8 6×4（M5） Rc 1/8パッド径注1 mm20253035405060801015202530354050608051020301020305010305070形式項目注1：パッド径の項目に表わされる、枠内のパッドサイズは、金具が共通です。注2：縦配管は、横配管の継手とプラグを入れ換える（パッドサイズ60・80は、プラグのみ入れ換える。）ことにより可能です。●標準タイプ・横配管縦配管・固定形KPVF KPVS縦配管・スプリング内蔵形形式項目使用チューブサイズ注2 mm2.5・3.52×4・3.5×74×2.56・86×410・15・2025・30・3540・502.5・3.52×4・3.5×74×2.56・86×410・15・2025・30・3540・50─── 3パッド径注1 mmスプリングで可変するストローク mm───合成ゴム：NBR（黒）・ウレタン（緑）・シリコン（白）・フッ素（黒 白のマーク付）2.532.451.094.9黄銅（ニッケルめっき）スプリング戻り力（1/2ストローク） N本体材 質パッドゴム●標準タイプ・縦配管●首振りタイプ使用チューブサイズおよび配管ねじサイズmm4.0 14.1スプリング戻り力（1/2ストローク時）Nスプリングで可変するストロークmm材質本体ケース本体主軸カバーOリングスプリングパッドゴム（色）主要金具部分合成ゴム：NBR（黒）・ウレタン（緑）・シリコン（白）・フッ素（黒 白のマーク付）KPLF KPLS横配管・スプリング内蔵形注2横配管・固定形注26810 2×403.5×70 4×10 5×10 6×104×205×206×208×204×305×306×308×306810 2×403.5×70 4×10 5×10 6×104×205×206×208×204×305×306×308×3051020302.9黄銅（ニッケルめっき）黄銅（クロムめっき）───4×2.5（M3）パッド径注1 mmパッド形状 円形 長円形 円形 長円形形式項目注1：パッド径の項目に表わされる、枠内のパッドサイズは、金具が共通です。注2：縦配管は、横配管の継手とプラグを入れ換えることにより可能です。●回転レスタイプ使用チューブサイズおよび配管ねじサイズmmスプリング戻り力（1/2ストローク時）Nスプリングで可変するストロークmm材質ロッドガイド───含油鉄合金ステンレススプリングパッドゴム（色）主要金具部分合成ゴム：NBR（黒）・ウレタン（緑）・シリコン（白）・フッ素（黒 白のマーク付）13142014_10

Page 3:形式 パッド径2 φ2.53.5 φ3.52×4 2×4（長円形）3.5×7 3.5×7（長円形）6 φ68 φ810 φ1015 φ1520 φ2025 φ2530 φ3035 φ3540 φ4050 φ5060 φ6080 φ8095 φ95100 φ100120 φ120150 φ150200 φ200注文記号5 10 20 30 50 70スプリングストロークmmパッド径10・15 ◯ ◯ ◯ ◯ ─ ── ◯ ◯ ◯ ◯ ── ◯ ◯ ◯ ◯ ── ◯ ─ ◯ ◯ ◯20・25・30・3540・5060・80KPパッドゴム材質N NBRS シリコンU ウレタンF フッ素注：首振りタイプのパッドサイズ60・80は、標準タイプと共通です。ご注文は、標準タイプの形式で記入してください。注：首振りタイプのパッドサイズ60・80は、標準タイプと共通です。ご注文は、標準タイプの形式で記入してください。●バキュームパッド形式（金具付） ①スプリングストローク②パッドサイズ⑴KPPSのスプリングストローク⑵KPLSのスプリングストロークスプリングストローク●KPPS, KPLSの場合のみ記入してください。●①スプリングストロークの表をご覧ください。パッドサイズ●②パッドサイズの表をご覧ください。金具仕様HF スプリングなし、標準タイプ、横配管VF スプリングなし、標準タイプ、縦配管PF スプリングなし、首振り（ユニバーサル）タイプLF スプリングなし、回転レスタイプHS スプリング内蔵、標準タイプ、横配管VS スプリング内蔵、標準タイプ、縦配管PS スプリング内蔵、首振り（ユニバーサル）タイプLS スプリング内蔵、回転レスタイプKP●パッドゴム形式（金具なし）パッドゴム材質N NBRS シリコンU ウレタンF フッ素パッドサイズ●②パッドサイズの表をご覧ください。無記入 標準タイプP 首振り（ユニバーサル）タイプ注L 回転レスタイプパッドゴム材質注N NBRS シリコン注：ハロゲン処理はNのみハロゲン処理はφ120・φ150・φ200は除く●バキュームパッド形式（金具付）■導電性・ハロゲン処理バキュームパッド●導電性バキュームパッド（NBR・シリコン）スプリングストローク●KPPS, KPLSの場合のみ記入してください。●①スプリングストロークの表をご覧ください。パッドサイズ●②パッドサイズの表をご覧ください。金具仕様HF スプリングなし、標準タイプ、横配管VF スプリングなし、標準タイプ、縦配管PF スプリングなし、首振り（ユニバーサル）タイプLF スプリングなし、回転レスタイプHS スプリング内蔵、標準タイプ、横配管VS スプリング内蔵、標準タイプ、縦配管PS スプリング内蔵、首振り（ユニバーサル）タイプLS スプリング内蔵、回転レスタイプ仕様KPA 導電性KPB ハロゲン処理●パッドゴム形式（金具なし）パッドゴム材質注N NBRS シリコン注：ハロゲン処理はNのみハロゲン処理はφ120・φ150・φ200は除くパッドサイズ●②パッドサイズの表をご覧ください。無記入 標準タイプP 首振り（ユニバーサル）タイプ注L 回転レスタイプ仕様KPA 導電性KPB ハロゲン処理各パッドサイズとも 5mm, 10mm, 20mm, 30mm⑴ 標準タイプ ⑵ 首振りタイプ ⑶ 回転レスタイプ形式 パッド径 形式 パッド径パッドゴム材質（黒） 体積抵抗率注識別マーク導電性NBR（黒） 102〜105Ωcm導電性シリコン（黒） 1〜102Ωcmハロゲン処理NBR（黒） −青色ポツマーク黄色ポツマーク茶色ポツマーク10152025303540506080φ10φ15φ20φ25φ30φ35φ40φ50φ60φ806 φ68 φ810 φ102×4 2×4（長円形）3.5×7 3.5×7（長円形）4×10 4×10（長円形）5×10 5×10（長円形）6×10 6×10（長円形）4×20 4×20（長円形）5×20 5×20（長円形）6×20 6×20（長円形）8×20 8×20（長円形）4×30 4×30（長円形）5×30 5×30（長円形）6×30 6×30（長円形）8×30 8×30（長円形）バキュームパッドゴム材質が導電性ゴムのため、静電気を流したり、帯電を防止します。●ハロゲン処理バキュームパッド（NBR）体積抵抗率と識別マークバキュームパッドゴムにハロゲン処理をすることにより、ゴムの摩擦抵抗が約88％減少注し、ゴム特有の吸着跡が付きづらくなります。注：当社比、材質はNBR。注：材料の規格値13152014_10

Page 4:パッドゴムの材質と適性●パッドゴムの材質と特性硬度Hs使用温度範囲 ℃引張強さ（N／cm2）伸び（％）耐油性（ガソリン）耐油性（ベンゾール）耐候性 耐オゾン性 耐アルカリ性 耐酸性 耐水性 耐摩耗性電気絶縁性耐引裂性項目材質NBR （N）シリコン（S）ウレタン（U）フッ素 （F）70±5 0〜100 1970 740 ◎ △ ◯ × ◯ ◯ ◎ ◎ ◯ ◯△ △ ◎ ◎ ◎ △ ◯ × ◎ ×◎ △ ◯ ◎ × × × ◎ ◎ ◎◎ ◎ ◎ ◎ × ◎ ◎ ◯ ◎ ◯30042039083029401510−30〜2000〜700〜25050±570±570±5備考：◎最適 ◯条件によって使用可 △不適 ×使用不可注）本表は、ゴムの一般特性を示したものです。使用に際しては、各種条件を充分配慮してください。2×40.07143.5×70.21874×100.36575×100.44636×100.52274×200.76575×200.99636×201.12278×201.46274×301.16575×301.44636×301.72278×302.2627理論吊り上げ力●円形パッドパッド径mm真空度kPa パッド面積Acm2φ2.50.049φ3.50.096φ60.283φ80.502φ100.785φ151.766φ203.14φ254.906φ307.065φ359.616φ4012.56φ5019.63φ6028.26φ8050.24φ9570.85φ10078.5φ120113φ150176.6φ2003140.457−93.3−80−66.7−53.3−40−26.7−13.30.3920.3270.2610.1960.1310.7680.5120.2562.261.510.764.022.681.346.284.182.1014.139.414.7225.116.78.439.226.113.156.537.718.976.951.325.7100.566.933.5157.0104.652.4226151754022681345673781896284182109046023021413941472251216748380.0650.8960.6400.3840.1282.641.891.130.384.683.352.010.677.325.243.141.0416.4811.787.062.3529.320.912.64.245.832.719.66.565.947.128.39.489.764.138.512.8117.283.850.216.7183.1130.978.526.1264188113384693352016766147328394732524314104105475445215016481178706235293020941256418●長円形パッドパッド径mm真空度kPa パッド面積Acm2−93.3−80−66.7−53.3−40−26.7−13.30.666 2.040 3.412 4.16 4.88 7.14 9.30 10.47 13.65 10.88 13.49 16.07 21.110.571 1.750 2.926 3.57 4.18 6.13 7.97 8.98 11.70 9.33 11.57 13.78 18.100.476 1.459 2.439 2.98 3.49 5.11 6.65 7.49 9.76 7.78 9.65 11.49 15.090.381 1.166 1.949 2.38 2.79 4.08 5.31 5.98 7.80 6.21 7.71 9.18 12.060.286 0.875 1.463 1.79 2.09 3.06 3.99 4.49 5.85 4.66 5.79 6.89 9.050.191 0.584 0.976 1.19 1.40 2.04 2.66 3.00 3.91 3.11 3.86 4.60 6.040.095 0.291 0.486 0.59 0.70 1.02 1.33 1.49 1.95 1.55 1.92 2.29 3.01NN注：上表は計算値です。注：上表は計算値です。13162014_10

Page 5:質量●標準タイプ2.5パッド径mm形式KPHFKPVFKPHSKPVS固定タイプスプリングタイプ38593.538692×438693.5×7386961192110811921101014133524151514362520161536262531337350303134735035363477514037367553504736866360216─368─80224─374─95234─384─100235─386─120573─800─150619─843─2001085─1311─g●首振りタイプ g形 式KPPF-10質量 38 KPPS-50-10 132KPPS-50-20 142KPPS-50-30 152KPPS-50-50 172KPPS-60-10 702KPPS-60-30 779KPPS-60-50 840KPPS-60-70 902KPPS-80-10 710KPPS-80-30 787KPPS-80-50 848KPPS-80-70 910KPPF-15 38KPPF-20 52KPPF-25 52KPPF-30 55KPPF-35 55KPPF-40 101KPPF-50 104KPPF-60 436KPPF-80 445KPPS-10-5 61KPPS-10-10 66KPPS-10-20 76KPPS-10-30 86KPPS-15-5 61KPPS-15-10 66KPPS-15-20 76KPPS-15-30 86KPPS-20-10 80KPPS-20-20 90KPPS-20-30 100KPPS-20-50 122KPPS-25-10 80KPPS-25-20 90KPPS-25-30 100KPPS-25-50 122KPPS-30-10 80KPPS-30-20 90KPPS-30-30 100KPPS-30-50 122KPPS-35-10 80KPPS-35-20 90KPPS-35-30 100KPPS-35-50 122KPPS-40-10 128KPPS-40-20 138KPPS-40-30 148KPPS-40-50 168形 式 質量固 定 タ イ プス プ リ ン グ タ イ プス プ リ ン グ タ イ プ●回転レスタイプ g形 式KPLF-6質量 13 KPLS-5×10-5 39KPLS-5×10-10 43KPLS-5×10-20 52KPLS-5×10-30 60KPLS-6×10-5 39KPLS-6×10-10 43KPLS-6×10-20 52KPLS-6×10-30 60KPLS-4×20-5 42KPLS-4×20-10 46KPLS-4×20-20 55KPLS-4×20-30 63KPLS-5×20-5 42KPLS-5×20-10 46KPLS-5×20-20 55KPLS-5×20-30 63KPLS-6×20-5 42KPLS-6×20-10 46KPLS-6×20-20 55KPLS-6×20-30 63KPLS-8×20-5 42KPLS-8×20-10 46KPLS-8×20-20 55KPLS-8×20-30 63KPLS-4×30-5 42KPLS-4×30-10 46KPLS-4×30-20 55KPLS-4×30-30 63KPLS-5×30-5 42KPLS-5×30-10 46KPLS-5×30-20 55KPLS-5×30-30 63KPLS-6×30-5 42KPLS-6×30-10 46KPLS-6×30-20 55KPLS-6×30-30 63KPLS-8×30-5 42KPLS-8×30-10 46KPLS-8×30-20 55KPLS-8×30-30 63KPLF-8 13KPLF-10 13KPLF-2×4 13KPLF-3.5×7 13KPLF-4×10 13KPLF-5×10 13KPLF-6×10 13KPLF-4×20 15KPLF-5×20 15KPLF-6×20 15KPLF-8×20 15KPLF-4×30 16KPLF-5×30 16KPLF-6×30 16KPLF-8×30 16KPLS-6-5 39KPLS-6-10 43KPLS-6-20 52KPLS-6-30 60KPLS-8-5 39KPLS-8-10 43KPLS-8-20 52KPLS-8-30 60KPLS-10-5 39KPLS-10-10 43KPLS-10-20 52KPLS-10-30 60KPLS-2×4-5 39KPLS-2×4-10 43KPLS-2×4-20 52KPLS-2×4-30 60KPLS-3.5×7-5 39KPLS-3.5×7-10 43KPLS-3.5×7-20 52KPLS-3.5×7-30 60KPLS-4×10-5 39KPLS-4×10-10 43KPLS-4×10-20 52KPLS-4×10-30 60形 式 質量固 定 タ イ プス プ リ ン グ タ イ プス プ リ ン グ タ イ プ注：上記質量表は金具にパッドゴム（NBR）を付けた質量です。13172014_10

Page 6:φ50φEφ17.4φ30φABC13.28.8M16×1.5調P407-9φEφFCBYφAφGφEφFHYKJDCBA調P407-2φGφEφFφAφGYDCB調P407-3φ6φ2.8361.1φ6.4調P407-4φ2φ6φ2.835.5φ8.3調P407-5φ21.3調P407-6φEφFφAφGYDCBG0.81.6 KP-2A B C E F Y2.5 3.3 2 3.5 2.5 0.8 KP-3.5 3.9 3.5 2 3.5 2.5 1形式 記号パッドゴム寸法図（mm）●KP-2●KP-3.5●KP-6●KP-8●KP-2×4●KP-3.5×7●KP-10●KP-15●KP-20●KP-25●KPP-10●KPP-40●KPP-50●KP-60●KP-80●KP-95●KP-100●KPP-20●KPP-25●KPP-30●KPP-35●KP-120●KP-150●KP-200●KPP-15●KP-30●KP-35●KP-40●KP-50F2.42.4 KP-2×4A B C D E5.5 4 2 2 3.5 KP-3.5×7 8 4.5 2 2.5 3.5形式 記号 KP-2×4G H J K Y1.8 4 3.5 2 1.0 KP-3.5×7 2 7 4.5 3.5 1.5形式 記号KP-10KP-15KP-20KP-25A10 8 4 1.5 10 4.8 6 1.515 8 3 2 11 4.8 8 1.220 10 4 2.6 14 4.8 10.5 1.625 14 4 5 15 5.8 10.5 2.2B C D E F G Y形式 記号KP-30KP-35KP-40KP-50A31 12 5 5 15 5.8 10.2 2.635 14 6 5 15 5.8 10.2 1.640.5 14 6 6 16 5.8 10.2 3.250.5 15 6.5 7 24 8 20 2.9B C D E F G Y形式 記号KPP-20KPP-25KPP-30A B20 925 9KPP-35 35 10.530 10.5形式 記号φ10.4φ9φ7.4φ6φ103.41.81.40.5調P407-7φ10.4φ9φ7.4φ6φ154.41.51.40.5φLφEφFφGφACNMBKPP-400KPP-500KP-600KP-800A B C E F G L M N40 10.5 5.7 32.5 24.3 16 28 2 3.532.5 24.3 16 28 2 3.560.5 48.3 26 54 3 460.5 48.3 26 54 3 460.5 48.3 26 54 3 460.5 48.3 26 54 3 450 12 5.960 15 780 18 10KP-950KP-10095 21 8.4100 22 8形式 記号KP-120KP-150KP-200A B C E形式 記号120 24 13.3 100150 27 10.4 100200 32 11.9 146φ17φ20.5φ14.3φ12φA5.533B調P407-813182014_10

Page 7:パッドゴム寸法図（mm）●KPL-6●KPL-3.5×7●KPL-4×10●KPL-5×10●KPL-6×10●KPL-4×30●KPL-5×30●KPL-6×30●KPL-8×30●KPL-8 ●KPL-10●KPL-4×20●KPL-5×20●KPL-6×20●KPL-8×20●KPL-2×4φ5φ3.5φ2φ1092247.574φ7φ5φ3.5φ1.51042257.5724φ71.5φ5φ3.5φ2φ692247.574調P408-1φ7φ5φ3.5φ2φ892247.574φ71.51.51.5KJ5調P408-2φ3.520φ2202257.5φ15φ1010H7K4φ5φ3.5G2257.5φ71.51.5KJ5φ3.530φ22022237.5φ15φ10301.5KPL-3.5×7KPL-4×10KPL-5×10G H K1.5 7 3.54562 102 102 10KPL-6×10形式 記号KPL-4×20KPL-5×20KPL-6×20K J4 75 76 78 7KPL-8×20形式 記号KPL-4×30KPL-5×30KPL-6×30K J4 75 76 78 7KPL-8×30形式 記号13192014_10

Page 8:E20φA3114φ520FBDφC調P409-21018φA22.510.5φ51511.5B深さ6M4×0.7φ8.5KPHF寸法図（mm）●2・3.5 2×4・3.5×7●10・15・20●6・8●25・30・35・40・50 KPHF-2 KPHF-3.5 KPHF-2×4 KPHF-3.5×7パッド径A全長B 適 応 チューブ サ イ ズφ2.5 20φ3.5 20.22×4 20.73.5×7 21.2ウレタンチューブ4×2.5円 形パッド長円形パッド項目パッド形式 KPHF-6 KPHF-8パッド径A全長B 適 応 チューブ サ イ ズ6 288 27.5ウレタンチューブ6×4円 形パッド項目パッド形式 KPHF-10 KPHF-15 KPHF-20パッド径A全長B 適 応 チューブ サ イ ズ10 30.5152030.532.5ウレタンチューブ6×4円 形パッド項目パッド形式 KPHF-25 KPHF-30 KPHF-35 KPHF-40 KPHF-50パッド径A全長BC D E F適 応チューブサ イ ズ25 4511 M5×0.8深さ1030 4335 4512121413.916.2M8×1深さ1240 4550 47ウレタンチューブ6×4円 形パッド項目パッド形式1018φA228.5φ512.511.5B深さ6M4×0.7φ8.5511φA16.7φ310.25.8B深さ5M3×0.5調P409-113202014_10

Page 9:Rc1/8（プラグ付）Rc1/8二面幅21二面幅22M16×1.5φA DBC20306調P410-1Rc1/8（プラグ付）Rc1/8二面幅21二面幅22M16×1.5φADBC2030調P410-26●60・80・95・100●120・150・200KPHF寸法図（mm） KPHF-60 KPHF-80 KPHF-95 KPHF-100パッド径A全長Bパッド部長さC配管口位置D60 70 20 3080 73 23 3395 76 26 36100 77 27 37円 形パッド項目パッド形式 KPHF-120 KPHF-150 KPHF-200パッド径A全長Bパッド部長さC配管口位置D120 74 24 34150 77 27 37200 82 32 42円 形パッド項目パッド形式備考：プラグを付け換える事により縦配管で使用できます。備考：プラグを付け換える事により縦配管で使用できます。13212014_10

Page 10:M8×1.2510（二面幅）11.5（対角）φ5φA3102517BM10×1.514（二面幅）16.2（対角）φ5φA4103522B調P411-2509.9φA12.74.812.7 4.9M5×0.57（二面幅）8.1（対角）B15325.2108.5509.9φA12.74.812.7 4.9M5×0.57（二面幅）8.1（対角）B15325.21010調P411-1φ5φ3KPVF寸法図（mm）●2・3.5 2×4・3.5×7●10・15・20●6・8●25・30・35・40・50 KPVF-2 KPVF-3.5 KPVF-2×4 KPVF-3.5×7パッド径A全長B 適 応 チューブ サ イ ズφ2.5 26.8φ3.5 272×4 27.53.5×7 28ウレタンチューブ4×2.5円 形パッド長円形パッド項目パッド形式 KPVF-6 KPVF-8パッド径A全長B 適 応 チューブ サ イ ズ6 318 30.5ウレタンチューブ6×4円 形パッド項目パッド形式 KPVF-10 KPVF-15 KPVF-20パッド径A全長B 適 応 チューブ サ イ ズ10 4315204345ウレタンチューブ6×4円 形パッド項目パッド形式 KPVF-25 KPVF-30 KPVF-35パッド径A全長B 適 応 チューブ サ イ ズ25 5930355860 KPVF-40 40 60 KPVF-50 50 62ウレタンチューブ6×4円 形パッド項目パッド形式13222014_10

Page 11:項目パッド形式M10×1.5二面幅14 二面幅14バーブ継手プラグBDφ4.7C24.514.5173φA1730°M10×1.5二面幅14 二面幅14バーブ継手プラグBDφ4.7C24.513173φA1730°調P412-144M16×1.5二面幅21二面幅22Rc1/8Rc1/8（プラグ付）BDC233532φA30°M10×1.5二面幅14 二面幅14バーブ継手プラグBDC24.5φ4.724.5173φA1730°調P412-264●10・15 ●20・25・30・35●40・50 ●60・80KPPF寸法図（mm） KPPF-10 KPPF-15パッド径A全長BC配管口位置D適 応チューブサ イ ズ101546.547.513.514.52223ウレタンチューブ6×4円 形パッド項目パッド形式 KPPF-20 KPPF-25パッド径A全長BC配管口位置D適 応チューブサ イ ズ202555 KPPF-30 3056.520.52230.532 KPPF-35 35ウレタンチューブ6×4円 形パッド項目パッド形式備考：プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます。 KPPF-40 KPPF-50パッド径A全長BC配管口位置D適 応チューブサ イ ズ40507172.526.52846.548ウレタンチューブ6×4円 形パッド備考：プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます。備考：プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます。 KPPF-60 KPPF-80パッド径A全長BC608096993841配管口位置D6467円 形パッド項目パッド形式備考：プラグを入れ換える事により縦配管で使用できます。13232014_10

Page 12:KPLF寸法図（mm）KPLF-6KPLF-8KPLF-10KPLF-2×4KPLF-3.5×7KPLF-4×10KPLF-5×10KPLF-6×10φ6φ8φ102×43.5×74×105×106×10ウレタンチューブ4×2.5項 目パッド形式円形パッド長円形パッド適応チューブサイズパッド径X ×Y●6・8・102×43.5×74×105×106×10●4×205×206×208×204×305×306×308×30KPLF-4×20KPLF-5×20KPLF-6×20KPLF-8×20KPLF-4×30KPLF-5×30KPLF-6×30KPLF-8×304×205×206×208×204×305×306×308×30ウレタンチューブ4×2.5項 目パッド形式長円形パッド適応チューブサイズパッド径X ×Y備考：プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます。 備考：プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます。M7×1二面幅10バーブ継手プラグφ2.922.517.540133.512YX□7M7×1二面幅10バーブ継手プラグφ2.922.517.540133.512YX□7調P413 -13313242014_10

Page 13:KPHS-2 φ2.5 36ウレタンチューブ4×2.53KPHS-3.5 φ3.5 36.2KPHS-2×4 2×4 36.7KPHS-3.5×7 3.5×7 37.2円 形パッド長円形パッドKPHS寸法図（mm）項 目パッド形式スプリングストローク適 応チューブサ イ ズ全長Bパッド径A●2・3.52×4・3.5×7●6・8KPHS-6 6 50 ウレタンチューブ6×45KPHS-8 8 49.5円 形パッド項 目パッド形式スプリングストローク適 応チューブサ イ ズ全長Bパッド径AKPHS-10 10 60.5 ウレタンチューブ6×46KPHS-15 15 60.5KPHS-20 20 62.5円 形パッド項 目パッド形式スプリングストローク適 応チューブサ イ ズ全長Bパッド径A●10・15・20 ●25・30・35・40・50KPHS-25 25 85ウレタンチューブ6×47KPHS-30 30 83円 形パッド項 目パッド形式スプリングストローク適 応チューブサ イ ズ全長Bパッド径AKPHS-35 35 85KPHS-40 40 85KPHS-50 50 8724φ3321933B3（ストローク）1812（二面幅）13.9（対角）M9×1φAφ510（二面幅）3132.522.543.5B5（ストローク）調Ｐ414-17（二面幅）8.1（対角）5（二面幅）M5×0.511φA18M11×114（二面幅）16.2（対角）10（二面幅）φA41φ53.529.552.5B6（ストローク）319M14×1.517（二面幅）19.6（対角）φA12（二面幅）58φ54372B7（ストローク）44調P414-213252014_10

Page 14:608095100パッド径AKPHS-60KPHS-80KPHS-95KPHS-10010項 目パッド形式円形パッド30333637スプリングストローク配管口位置D20232627パッド部高さC92959899全長B●60・80・95・100備考：プラグを付け換える事により縦配管で使用できます。KPHS寸法図（mm）120150200パッド径AKPHS-120KPHS-150KPHS-20020項 目パッド形式円形パッド343742スプリングストローク配管口位置D242732パッド部高さC121124129全長B●120・150・200備考：プラグを付け換える事により縦配管で使用できます。Rc 1/8（プラグ付）二面幅32二面幅22Rc 1/8M27×1.5φA10（ストローク）20C357DB調P415-18Rc 1/8 M27×1.5750B20CDRc 1/8二面幅32二面幅22φA20（ストローク）調Ｐ415-2（プラグ付）813262014_10

Page 15:KPVS-2 φ2.5 33.3ウレタンチューブ4×2.53KPVS-3.5 φ3.5 33.5KPVS-2×4 2×4 34KPVS-3.5×7 3.5×7 34.5円 形パッド長円形パッドKPVS寸法図（mm）項 目パッド形式スプリングストローク適 応チューブサ イ ズ全長Bパッド径A●2・3.52×4・3.5×7●6・8KPVS-6 6 35 ウレタンチューブ6×43KPVS-8 8 34.5円 形パッド項 目パッド形式スプリングストローク適 応チューブサ イ ズ全長Bパッド径AKPVS-10 10 53 ウレタンチューブ6×45KPVS-15 15 53KPVS-20 20 55円 形パッド項 目パッド形式スプリングストローク適 応チューブサ イ ズ全長Bパッド径A●10・15・20 ●25・30・35・40・50KPVS-25 25 70ウレタンチューブ6×49KPVS-30 30 68円 形パッド項 目パッド形式スプリングストローク適 応チューブサ イ ズ全長Bパッド径AKPVS-35 35 70KPVS-40 40 70KPVS-50 50 72509.9φ38（二面幅）9.2（対角）M6×0.75φA12.7 4.8 12.7 4.9B3013133（ストローク）4325.210509.9φ58（二面幅）9.2（対角）M6×0.75φA12.7 4.8 12.7 4.9B2913133（ストローク）325.210調P416-1φ514（二面幅）16.2（対角）Ｍ11×1φAB2145105（ストローク）53φ517（二面幅）19.6（対角）Ｍ14×1.5φAB3356109（ストローク）4調P416-213272014_10

Page 16:1030507010305070138 74174 110204 140234 170141 74177 110207 140237 170 87107127167 88.5108.5128.5168.52247.5169.5151015KPPS-10KPPS-15ウレタンチューブ6×4円 形パッド56.5178.51076.5196.52096.5118.5302347.5170.51556.5179.51076.5199.52096.5119.530備考：プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます。KPPS寸法図（mm）項 目パッド形式適 応チューブサ イ ズ配管口位置DC全長BスプリングストロークSパッド径A●10・15 ●20・25・30・3530.5 56.5 76.5 96.5136.5 56.5 76.5 96.5136.51020253035KPPS-20KPPS-25KPPS-30KPPS-35ウレタンチューブ6×4円 形パッド20305032.510203050備考：プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます。項 目パッド形式適 応チューブサ イ ズ配管口位置DC全長BスプリングストロークSパッド径A46.5 56.5 76.5 96.5136.5 56.5 76.5 96.5136.5103123143183104.5124.5144.5184.5104050KPPS-40KPPS-50ウレタンチューブ6×4円 形パッド20305048.510203050備考：プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます。項 目パッド形式適 応チューブサ イ ズ配管口位置DC全長BスプリングストロークSパッド径A●40・50 ●60・8064676080KPPS-60KPPS-80円 形パッド備考：プラグを付け換える事により縦配管で使用できます。項 目パッド形式配管口位置Dパッド径AスプリングストロークS全長B Cプラグ M14×1.5二面幅17バーブ継手二面幅1417BC（スプリングストローク）D31.620Sφ4.7φA30°プラグ M14×1.5調P417-1二面幅17バーブ継手二面幅1417BC（スプリングストローク）D31.620Sφ4.7φA30°55プラグ M14×1.5二面幅17バーブ継手二面幅1417BC（スプリングストローク）D31.620Sφ4.7φA30°プラグ M14×1.5調P417-1二面幅17バーブ継手二面幅1417BC（スプリングストローク）D31.620Sφ4.7φA30°55プラグRc 1/8（プラグ付）調P417-2M14×1.5M30×1.5二面幅17二面幅36バーブ継手二面幅14Rc 1/8二面幅2217BBCC（スプリングストローク）（スプリングストローク）DD31.64620SSφ4.7φA30°φA30°51013282014_10

Page 17:4×205×206×208×204×305×306×308×3015915Cウレタンチューブ4×2.541.516910 51.518920 71.510930 91.5φ6φ8φ102 ×43.5 ×74×105×106×10パッド径X ×Y15951020305102030169189109159169189109C全長BスプリングストロークSウレタンチューブ4×2.5適 応チ ュ ー ブサ イ ズ41.551.571.591.541.551.571.591.5KPLS-6KPLS-8KPLS-10KPLS-2×4KPLS-3.5×7KPLS-4×10KPLS-5×10KPLS-6×10項 目パッド形式円形パッド長円形パッド●6・8・102×43.5×74×105×106×10●4×205×206×208×204×305×306×308×30備考：プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます。備考：プラグとバーブ継手を入れ換える事により縦配管で使用できます。KPLS寸法図（mm）パッド径X ×Y全長BスプリングストロークS適 応チ ュ ー ブサ イ ズKPLS-4×20KPLS-5×20KPLS-6×20KPLS-8×20KPLS-4×30KPLS-5×30KPLS-6×30KPLS-8×30項 目パッド形式長円形パッドプラグ二面幅17Ｍ14×1.5ＣＳ26.42017.5φ2.9（スプリングストローク）Ｂバーブ継手12□7ＸＹ5ＸＹプラグ二面幅17Ｍ14×1.5ＣＳ26.42017.5φ2.9（スプリングストローク）Ｂバーブ継手12□7513292014_10

Page 18:パッドゴムはめ合い寸法図（mm）●KP-25●KP-30●KP-35●KP-402φ1.5φ2.7 ＋0.10＋0.103φ2.3φ3.5Ｍ5×0.8Ｍ5×0.8Ｍ5×0.8Ｍ5×0.8φ2φ10面取り不可φ49.83.61.21.5φ5.2 0.05φ6 0.1＋0.30±±φ10φ22.59.5φ82φ1.5φ2.7 ＋0.10＋0.103φ2.3φ3.5Ｍ5×0.8Ｍ5×0.8Ｍ5×0.8Ｍ5×0.8φ2φ10面取り不可φ49.83.61.21.5φ5.2 0.05φ6 0.1＋0.30±±φ10φ22.59.5φ82φ1.5φ2.7 ＋0.10＋0.103φ2.3φ3.5Ｍ5×0.8Ｍ5×0.8Ｍ5×0.8Ｍ5×0.8φ2φ10面取り不可φ49.83.61.21.5φ5.2 0.05φ6 0.1＋0.30±±φ10φ22.59.5φ82φ1.5φ2.7 ＋0.10＋0.103φ2.3φ3.5Ｍ5×0.8Ｍ5×0.8Ｍ5×0.8Ｍ5×0.8φ2φ10面取り不可φ49.83.61.21.5φ5.2 0.05φ6 0.1＋0.30±±φ10φ22.59.5φ8Ｍ6×1Ｍ6×1φ11φ2314φ10φ11φ18φ8.1φ6.1φ12φ2090°2.567Ｍ6×190°Ｍ6×1φ2314φ15φ3.5＋0.0502221.5φ10φ25＋0.10φ4φ2φ3.5φ7 Ｃ0.2221.54＋0.0500−0.1φ15φ3.5＋0.0502221.5φ10φ25＋0.10φ4φ2φ3.5φ7 Ｃ0.2221.54＋0.0500−0.1φ60.9±0.1φ48.4＋0.1045°61.543Ｃ1.5φ26φ54φ60.4±0.1Ｍ16×1.5軸用Ｃ形止め輪ＪＩＳ2804 呼び14φ13.5＋0.10φ6φ13.40−0.1φ14ＯリングＪＩＳＢ2401Ｐ12.53.2121.153＋0.25＋0.14000＋0.1φ60.9±0.1φ48.4＋0.1045°61.543Ｃ1.5φ26φ54φ60.4±0.1Ｍ16×1.5軸用Ｃ形止め輪ＪＩＳ2804 呼び14φ13.5＋0.10φ6φ13.40−0.1φ14ＯリングＪＩＳＢ2401Ｐ12.53.2121.153＋0.25＋0.14000＋0.1●KP-50●KP-15●KP-20●KP-6●KP-8●KP-10●KP-2●KP-3.5●KP-2×4●KP-3.5×7●KP-120〜200●KP-60・80●KPP-95・100●KPL-6〜10●KPL-2×4〜6×10●KPL-4×20〜8×3013302014_10

Page 19:●KPP-10・15 ●KPP-20〜35 ●KPP-40・50パッドゴムはめ合い寸法図（mm）φ20.7±0.1φ14.4Ｃ1.2φ12φ17φ20.3±0.135.533.5Ｒ1φ32.7±0.1φ24.4Ｃ1.5φ16φ28φ32.3±0.16.514.545°1.523.5＋0.1ー0＋0.1ー045°φ7.40.31.40.5Ｒ0.5φ6φ9φ10.5±0.05＋0.1ー01.513312014_10

Page 20:ねじサイズ締付トルクN・cm1.バキュームパッドはマイクロエジェクタ１台につき１個使用してください。２個以上の使用は吸着ミスを生じ易く、設定真空度までの到達時間も長くなります。2.バキュームパッド金具付スプリングタイプは、配管時、本体に無理な力をかけるとスプリングの作動不良および摺動部の片摩耗の原因になります。取扱い要領と注意事項mark-pバキュームパッド配管パッドゴムを交換するときは、パッドゴムはめ合い寸法図を参考に、パッドゴム、ねじ、金具等をはずし、パッドゴムの交換をしてください。パッドゴムKP-15〜KP-40を金具に組み付ける時は、取付ねじを除々にねじ込み、金具、パッドゴム、取付ねじが密着した後、取付ねじを半回転（180°）増し締めしてください。パッドゴムKP-10〜KP-50のパッドゴム取付ねじは各サイズ毎に違っていますので「パッドゴムはめ合い寸法図」を参考にしてください。（詳細につきましては最寄りの弊社営業所へお問い合せください。）パッドゴムの交換一般注意事項バキュームパッドを取付ける際のナットの締付トルクは、右表の範囲にて管理してください。締付トルク配管抵抗を少なくする為、配管長さはできるだけ短く、まっすぐにし、ら旋状の配管は避けてください。取付姿勢水平吊りを基本とし、斜め吊りや垂直吊りは、できるだけ行なわないでください。止むを得ない場合は、十分な安全率をみてください。（詳細は前付104ページをご覧ください。）保管1.バキュームパッド（パッドゴム含む）は、各種ゴムを使用しています。ゴムは、直射日光、油、水、オゾン等で劣化します。使用前までは、ポリエチレン袋に密閉したまま屋内に保管してください。2.保管温度は、常温としてください。3.保管期間は、製造年月日より2年を目安としてください。KPHF-2〜3.5×7 M3×0.5 29KPHF-6・8 M4×0.7 69KPHF-10・20 M4×0.7 69KPHF-25・30 M5×0.8 147KPHF-35〜50 M8×1 686KPHF-60〜200 M16×1.5 5884KPVF-2〜3.5×7 M5×0.5 343KPVF-6・8 M5×0.5 343KPVF-10〜20 M8×1.25 686KPVF-25〜50 M10×1.5 2157KPPF-10〜50 M10×1.5 883KPPF-60・80 M16×1.5 5884KPPF-全タイプ M7×1 588KPHS-2〜3.5×7 M5×0.5 59KPHS-6・8 M9×1 686KPHS-10〜20 M11×1 883KPHS-25〜50 M14×1.5 1275KPHS-60〜200 M27×1.5 19613KPVS-2〜3.5×7 M6×0.75 196KPVS-6・8 M6×0.75 196KPVS-10〜20 M11×1 883KPVS-25〜50 M14×1.5 1275KPPS-10〜50 M14×1.5 2942KPPS-60・80 M30×1.5 29420KPLS-全タイプ M14×1.5 1275形 式製品ゴム型により、パッドゴム外周部に若干の凹凸が出る場合がありますが、性能には影響しません。13322014_10