マイクロエジェクタMED(多段式)

Page 1:エジェクタ マニホールドRc1/4 Rc1/4MEDM□A配管接続位置マニホールドMED07-E1, MED07-E2MED10-E1, MED10-E2-02 ポート排気（オプション）引き出し線材質（本体カバー）ビニルキャブタイヤ：0.14SQ×３芯×500mm（全長）樹脂機械的特性耐衝撃 m/s2耐振動1000 XYZ各方向3回(非通電)10〜55Hz（複振幅1.5mm）または98.1m/s2（XYZ軸各２時間MAX.）繰返し精度 ± ３％ FS以下（0〜50℃）12〜24 ±10％（リップルVp-p10％以下）使用温度範囲 ℃使用圧力範囲 kPa圧力設定範囲 kPaー 10〜60（凍結なきこと）0〜ー 98ー 9.8〜ー 98使用流体使用湿度範囲 ％RH保証耐圧力 MPa応差注 ％電気的仕様動作方式使用電圧範囲 DCV開閉容量消費電流 mA MAX.絶縁抵抗 MΩサージ対策動作表示灯取付方向空気または非腐食性気体35〜950.22〜9NPNオープンコレクタ出力、NOタイプ（設定圧力以下にて出力ON）DC30V・100mA以下（内部電圧降下：負荷電流100mAにて1Ｖ以下、16mAにて0.4V以下）20100以上（DC500Vメガ、充電部一括とケースの間）ツェナーダイオード（標準装備）ON時LEDインジケータ点灯自由フライホイルダイオードサージ対策（標準装備）LEDインジケータの色 赤色緑色（＋）黒色（−）リード線の色青色（＋）黒色（−）茶色（＋）黒色（−）赤色（＋）黒色（−）100以上絶縁抵抗 MΩグロメット式：300mmプラグコネクタ式：300mm結線方式とリード線長さ標準オプション許容回路漏れ電流値 mA 30 25 15 521.6〜26.4（24±10％）10.8〜13.2（12±10％）5.4〜6.6（6±10％）4.5〜5.5（5±10％）使用電圧範囲 DCV70（1.6W）LEDインジケータ付は80（1.7W）130（1.6W）LEDインジケータ付は140（1.7W）270（1.6W）LEDインジケータ付は280（1.7W）325（1.6W）LEDインジケータ付は335（1.7W）〔 〕〔 〕〔 〕〔 〕電流値（定格電圧印加時） mA方式 サージ対策用フライホイルダイオード内蔵46500.2〜0.6５〜50ー842330自由主弁仕様配管接続口径使用圧力範囲 MPa使用温度範囲（雰囲気および流体） ℃到達真空度注1 kPa圧縮空気消費量注1 R/min（ANR）フィルタろ過度 μm空気注21.030.7 1.025不可Rc1/4Rc1/8（Rc1/4）注3間接作動２ポジション・２ポート常時閉（NC標準）および常時開（NOオプション）4.51372.9（軸方向588.4）ノンロック形使用流体保証耐圧力 MPaノズル径 mm真空側流量注1 R/min（ANR）給油真空発生ポート圧縮空気供給ポート取付方向作動方式ポジション数・ポート数弁機能有効断面積 mm2耐衝撃 m/s2手動ボタンMED10-E□MED07-E□DC 24VDC 12VDC 6VDC 5V基本形式項目MED07-E・MED10-E仕様電気仕様配管接続口径電子式真空スイッチ仕様定格電圧項目マイクロエジェクタRc1/4Rc1/4Rc1/8（マニホールド時：Rc1/4）基 本 形 式配 管 接 続 口 径真空発生ポート 圧縮空気供給ポート注1：空気圧力0.5MPa時の値（目安）です。注2：オイルミスト、ゴミ等を取り除いた清浄な空気の使用を前提とします。注3：（ ）はマニホールドの場合です。PS310項目 形式注：設定圧力ー86.7kPa時の値です。18582014_10

Page 2:電磁弁付エジェクタ注文記号 マニホールド注文記号電子式真空スイッチ注文記号 増設ユニット注文記号（マニホールド使用時の1連増設用）交換用フィルタ注文記号（エレメントのみ）MEDM AAMED電圧DC5VDC6VDC12VDC24Vソレノイド無記入── グロメットPSL─── ストレートコネクタ注2PLL─── エルコネクタ注2連数2──── 2連マニホールド3──── 3連マニホールド 10────10連マニホールドステーション（真空発生ポートを手前にして左からのエジェクタ取付位置）Stn.1─── 1番目Stn.2─── 2番目  Stn.10─ ─ 10番目マニホールド基本形式Ａ形マニホールド取付エジェクタ形式電子式真空スイッチの有無無記入─── 真空スイッチなし E─── 真空スイッチ付（PS310）注3排気方法無記入─── マフラ排気 02─── ポート排気（Rc1/4）電磁弁機能注１無記入─── 常時閉（NC）…【参考】A010E1 11─── 常時開（NO）…【参考】A010E1-11電磁弁仕様E1──── 供給エア制御用シングル電磁弁付E2────供給エア・真空破壊制御用ツイン電磁弁付本体形式（ノズル径mm）07────φ0.710────φ1.0マイクロエジェクタMED──── 単体使用CMED 増設ユニット用DC12〜24V用スイッチマイクロエジェクタ多段式用電子式真空スイッチ電圧DC5VDC6VDC12VDC24Vソレノイド無記入── グロメットPSL─── ストレートコネクタ注2PLL─── エルコネクタ注2電子式真空スイッチの有無無記入── 真空スイッチなし E── 真空スイッチ付（PS310）注3排気方法無記入─── マフラ排気 02─── ポート排気（Rc1/4）電磁弁機能注１無記入─── 常時閉（NC）…【参考】A010E1 11─── 常時開（NO）…【参考】A010E1-11電磁弁仕様E1─── 供給エア制御用シングル電磁弁付E2─── 供給エア・真空破壊制御用ツイン電磁弁付本体形式（ノズル径mm）07─ ── φ0.710─ ── φ1.0リード線の長さ無記入──500mm L──── 2000mmマニホールド取付用注１：-11（常時開）供給エア制御用電磁弁のみ。電磁弁仕様E2タイプの場合の真空破壊エア制御用電磁弁は、常時閉のみとなっています。 ２：プラグコネクタ式にはオーダーメイドとして、リード線長さ1L：1000mm,3L：3000mmのものが用意されています。 ３：電子式真空スイッチにはオーダーメイドとして、リード線長さ2000mmのものが用意されています。PS310 DC24V形式電磁弁付エジェクタ注文記号例参照（本体形式から電圧まで記入してください）増設ユニット形式増設ユニットには、マニホールド用エジェクタ（AMED…）1個のほか、増設棒2本とガスケット1個が添付されています。CMED 07-E2-MMED-F18592014_10

Page 3:マニホールドアルミ合金（塗装）エンドプレートマイクロエジェクタアルミ合金（塗装）および樹脂黄銅ノズル樹脂ディフューザ合成ゴム（NBR）Ｏリングガスケット主要部材質材 質本体名 称作動原理と各部の名称●非通電時●供給エア制御用電磁弁通電時（真空発生）●真空破壊エア制御用電磁弁通電時手動ボタン 真空破壊エア制御用電磁弁真空破壊エア供給バルブ1段目ノズルチェック弁供給エア制御用電磁弁エア供給バルブP（圧縮空気供給ポート）真空破壊流量調節ニードルロックナットマフラ真空スイッチフィルタV（真空発生ポート）2段目ノズル調P387-1PV調P387-2調P387-3PV18602014_10

Page 4:115140形式項目MED07/MED10AMED□□-E1 AMED□□-E21連連数別マニホールド本体の質量加算質量1,250 1,2802連 1,500 1,5603連 1,750 1,8404連 1000 11205連マニホールド・エンドプレート電子式真空スイッチ付 -E1250 1400●マニホールド●マイクロエジェクタ多段式 ●電子式真空スイッチツイン電磁弁付 MED□□-E2 325表示記号シングル電磁弁付●MED07-E1 ●MED10-E1真空スイッチ付シングル電磁弁付●MED07-E1-E ●MED10-E1-Eツイン電磁弁付●MED07-E2 ●MED10-E2真空スイッチ付ツイン電磁弁付●MED07-E2-E ●MED10-E2-E質量シングル電磁弁付 MED□□-E1加算質量 ポート排気 -0229514項目 基本形式 MED07/MED10計算例：MED07-E2-02 質量は 325 ＋ 14＝339gMED07-E2の質量ポート排気の質量PS310（本体のみ）……15gg計算例：MEDM5A Stn.1 AMED07-E1 Stn.2 AMED10-E1 Stn.3〜5 AMED10-E2-E Stn.5の質量は、250 ＋ 250＋ 3×（280＋15）＋ 140 ＝ 1525gAMED07-E1およびAMED10-E1の質量AMED10-E2-Eの質量 マニホールドエンドプレート質量g18612014_10

Page 5:MED07-E2MED10-E2MEDM□AL P連数2 7282連数別寸法3 931034 1141245 1351456 1561667 1771878 1982089 21922910 240250供給エア制御用電磁弁真空破壊エア制御用電磁弁手動ボタン排気口9045135V20.4 Rc1/4（V：真空発生ポート）102123.2Rc1/8（P：圧縮空気供給ポート）10P（500）2-φ6.2（取付穴）51 2010623193（300）7真空破壊流量調節ニードル真空スイッチ（-E）フィルタ-11調P389-1PPV V V V VRc1/4(一連に付)(300)84.577.562.531.55(真空発生ポート)10.587.593.5真空破壊エア制御用電磁弁供給エア制御用電磁弁Rc1/4(-02)4-R2.65(取付穴)(圧縮空気供給ポート)(ピッチ)(500)(5)2-Rc1/4排気口7.5485.377105LP2130.51371359045排気口フィルタ真空スイッチ真空破壊流量調節ニードル手動ボタン調P389-2寸法図（mm）18622014_10

Page 6:0.15t10.20.2t20.10.1t30.10.110t10.30.2t20.10.1t30.10.120t10.30.2t20.1t30.10.150t10.50.3t20.20.1t30.10.1100t10.80.5t20.30.2t30.10.1200t11.50.9t20.50.3t30.10.1500t13.42.1t20.90.5t30.20.21000t16.84.1t21.70.9t30.3s0.3電子式真空スイッチ寸法図（mm）空気消費量と到達真空度・真空側流量真空到達時間・真空破壊時間PS310●測定方法 ●MED□-E1●MED10●MED07●MED□-E2オシロスコープチャンバS2：真空破壊エア制御用電磁弁S1：供給エア制御用電磁弁調P390-3 kPaー101.3最高到達真空度ー73.3ー18.7真空度時間0t1 t2S1解除S1通電 kPaー101.3最高到達真空度ー73.3ー18.7真空度時間0t1 t3ssS1解除S1通電 S2通電 kPaー101.3最高到達真空度ー73.3ー18.7真空度時間0t1 t2S1解除S1通電 kPaー101.3最高到達真空度ー73.3ー18.7真空度時間0t1 t3ssS1解除S1通電 S2通電チャンバ容量cm3MED07形式 時間MED10●応答時間圧力調節ねじ 応差調節ねじLEDインジケータ152051.5 約50042.59φ7調P390-10ー13.3ー26.7ー40ー53.3ー66.7ー80ー93.3kPa102030405060700.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6到達真空度真空側流量圧縮空気消費量供給圧力 MPaR/min（ANR）到達真空度真空側流量圧縮空気消費量 0ー13.3ー26.7ー40ー53.3ー66.7ー80ー93.3kPa102030405060700.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6到達真空度真空側流量圧縮空気消費量供給圧力 MPaR/min（ANR）到達真空度真空側流量圧縮空気消費量 調P390-2注：配管サイズやチャンバの形状等で、若干の誤差があります。数値は一応の目安としてください。空気圧力：0.5MPa破壊流量調節ニードル：全開t1：S1に通電した後、チャンバ内がー73.3kPaになるまでの時間s。t2：MED□-E1でS1の通電を解除し た 後 、チ ャン バ 内 が ー18.7kPaになるまでの時間s。t3：MED□-E2でチャンバ内の真空度が最高到達真空度の状態からS2に通電した後、ー18.7kPaになるまでの時間s。18632014_10

Page 7:取扱い要領と注意事項mark-nマイクロエジェクタ多段式取付機器の構成注 1. 取付の際、Oリングの紛失に注意してください。また、ゴミなどのない場所で取り付け取り外しを行なってください。ゴミが入り込んだまま取り付けますと、エア漏れなど不具合の原因となります。2. 圧力調整、結線要領についてはホームページ・CD-ROMのマイクロエジェクタの該当ページをご覧ください。注 このMEDシリーズでは、エジェクタ本体をマニホールドしていますので、ブロックプレートはありません。増設時には上記の要領で増設ユニット（CMED）を組み付けてください。なお、減連はできません。最寄りの弊社営業所へご相談ください。（専用連結棒が必要になります。）プラグコネクタパイロット電磁弁ガスケットガスケット(小)ガスケット(小) ガスケット(大)真空スイッチマフラマフラカバーエンドプレートAボルトエジェクタ本体OリングねじBベースねじAOリングフィルタガスケットフィルタキャップ密閉ふた連結棒エンドプレートB調P391-1真空スイッチを後から取り付ける場合は、現在取り付けてある密閉ふたを取り外す必要があります。●まず、ねじA2本を取り外します。この時ベースがエジェクタ本体から分かれます。●ねじB2本を取り外すと、密閉ふたが取り外せます。●真空スイッチ本体をベースに差し込んだ後、ねじB2本で取り付けます。●ねじA2本でベースをエジェクタ本体に取り付けてください。マニホールド組立てエンドプレートBに連結棒２本を最後までねじ込みます。次に連結棒にエジェクタ本体を任意の順に差し込みます。最後にエンドプレートAを差し込み六角穴付ボルトでねじ込み、固定してください。なお、ねじ締めは両エンドプレートを平らな場所におき、行なってください。また、ガスケットはエジェクタ本体間にはガスケット（大）を、両エンドプレート側にはガスケット（小）を使用してください。増設方法（CMED）六角穴付ボルト2本を緩めてエンドプレートAを外してください。添付されている増設棒2本を連結棒にねじ込みます。このときエンドプレートBより連結棒が緩んでいないか確かめてください。ガスケットを上記要領で所定位置に入れ、エジェクタ本体、エンドプレートを組み付けます。mark-m電子式真空スイッチ増設棒エンドプレートAガスケット(小)ボルト調P391-118642014_10

Page 8:注 1. 継手は内径の絞られないものを使用してください。内径が小さいと流量、圧力が不足し、到達真空度が低くなったり到達時間が長くなるなど、性能低下の原因となります。2. コイルチューブなどによる、ら旋配管は避けてください。マイクロエジェクタとバキュームパッドなどの間はエルボなどの使用も避け、できるだけまっすぐに配管してください。3. マニホールドで同時に使用する場合は次の連数までとしてください。3. MED07→10連3. MED10→５連3. これを超えると、真空度・吸込流量ともに著しく低下する恐れがあります。注 1. リード線間は、メガテストを行なわないでください。2. DC12V, DC24Vソレノイドの場合、極性をまちがえてもショートの心配はありませんが、エア制御バルブは作動しません。3. 回路内に漏れ電流があると、電磁弁が復帰しないなどの誤作動をすることがあります。必ず許容回路漏れ電流値以下でお使いください。回路条件などにより、漏れ電流値が許容回路漏れ電流値を超える場合は最寄りの弊社営業所へご相談ください。注 手動ボタンは針などのように極端に先端の細いもので操作しないでください。ボタンを破損する場合があります。●長時間真空を保持する時、空気消費量を節約するための制御回路備考：上図は供給エア制御用電磁弁が常時開（NO, 注文記号：-11）の場合です。●DC12V, DC24（サージ対策済）標準ソレノイドLEDインジケータ付ソレノイド注文記号：-PSL, -PLL調383-1ショート防止用ダイオードソレノイドリード線:DC12V茶色 DC24V赤色リード線黒色＋ーフライホイルダイオード調383-2リード線:DC12V茶色 DC24V赤色リード線黒色＋ーLEDインジケータ（発光ダイオード）LEDインジケータ赤色機能マイクロエジェクタMED07/10シリーズには、供給エア制御用のシングル電磁弁と、供給エアおよび真空破壊エア制御のツイン電磁弁が用意されています。ツイン電磁弁付では、真空側に圧縮空気を供給することにより、容易に真空破壊、強制離脱ができ、また、真空破壊流量調節ニードルによる、機械流量の設定も任意にできます。また、内蔵されたチェック弁により、供給エア制御用電磁弁への通電をOFFしたあとも設定真空度を保持することができますから、省エネルギー効果をあげることができます。1. 圧縮空気供給ポートに空気源を、真空発生ポートにバキュームパッドなどを配管してください。2. マニホールドの両極面にあり、取り付け場所により配管方向が選べます。出荷時には、片側のポートはプラグが仮止めされていますので、一度取外し、シールテープなどのシール材を使用して締め付けてください。3. 真空発生ポートには、下記のサイズのチューブの使用を推奨します。3. MED07/10とも…φ８×６3. MED07/10とも…N83. MED07/および上記相当サイズのウレタンチューブコネクタを指でつまみピンに挿入し、レバーの爪がコネクタハウジングの凸部に引掛かるまで押し込むと装着されます。コネクタを着脱するには、レバーをコネクタ本体と一緒につまみ、レバーの爪をコネクタハウジングの凸部から外して引き抜きます。内部回路MARK-Amark-fソレノイドプラグコネクタの着脱MARK-Bプラグコネクタ配管ノンロック形先端の細いもので手動ボタンをつきあたるまで押して操作します。ボタンを押している間、マイクロエジェクタは通電時と同じ状態になり、離すと復帰します。MARK-C手動ボタン破壊流量の調節破壊流量調節ニードル（ツイン電磁弁付のみ）を時計方向に回すと破壊流量は減少し、反時計方向に回すと破壊流量は増加します。mark-l真空破壊スタート（＋） （ー）ストップリレーリレー接点リレー接点供給エア制御用電磁弁黒色茶色青色PS310E調P392-1備考:上図は供給エア制御用電磁弁が常時開（N/O, 注文記号:-11）の場合です。凸部ピンコネクタハウジングコネクタレバーコンタクトコネクタ アッセンブリ調392-2PUSH調P392-3調P392-418652014_10