マイクロエジェクタME(一体形)

Page 1:空気使用流体0.1〜0.6使用圧力範囲 MPa０〜50（凍結なきこと）使用温度範囲 ℃ー92到達真空度注 kPa0.7 1.0 1.5ノズル径 mm12.5 25 58真空側流量注 R/min（ANR）23 46 107圧縮空気消費量注R/min（ANR）不可給油30フィルタろ過度 μmRc1/8 Rc1/4配管接続口径ME12 ME25 ME60項目 形式ME12・ME25・ME60仕様注：空気圧力0.5MPa時の数値です。●マイクロエジェクタ設定真空度 kPaNO時ー26.7〜ー80応差 kPa ー5.3〜ー13.3接続するリード線の色 黒・白 黒・赤電気定格 5A/AC250V, 5A/DC24V（抵抗負荷）NC時項目 作動備考：内部スイッチは、JIS-S2H1PO1相当品を使用。●真空スイッチ作動方式ME12用直接作動 直接作動ポート数 ２ポート（NC, NO） ２ポート（NC）配管接続口径 Rc1/8 Rc1/4保証耐圧力 MPa 1.03 1.03有効断面積 mm21.5 3最高作動頻度 Hz 5 5取付方向 自 由 自 由電圧の種類 AC100V（リード線 黄色） AC200V（リード線 白色） DC24V0（リード線 赤、黒色） AC100V（リード線 黄、黒色） AC200V（リード線 白、黒色） DC24V0（リード線 赤、黒色）使用電圧範囲 AC100V AC200V DC24V90〜110V（100V±10％） 90〜110V（100V±10％）180〜220V（200V±10％） 180 〜220V（200V±10％）21.6〜26.4V（24V±10％） 21.6〜26.4V（24V±10％）電流値 mA 周波数 AC100V AC200V DC24V50Hz 60Hz 50Hz 60Hz50Hz 60Hz96 95 96 9540 3248 46 48 4623 17412 412125絶縁抵抗 MΩ 100以上100以上結線方式 グロメット形（リード線長さ300mm）グロメット形（リード線長さ300mm）サージ対策 フライホイルダイオード（DCのみ）手動機構 ロック形ロック、ノンロック共用ME25・ME60用シングル電磁弁 シングル電磁弁 ツイン電磁弁注ME12E1 125EE1 125EE2項目基本形式●シングル・ツイン電磁弁注：ツイン電磁弁の場合、ソレノイドは、真空発生用と真空破壊用の２個付きますが、機能上同時通電されることはありません。質量ME12 40本体質量25 —— 80 ——加算質量フィルタ付 真空スイッチ付 シングル電磁弁付 ツイン電磁弁付項目作動計算例：ME25に真空スイッチ、ツイン電磁弁付の質量は、335＋160＋230＝725gME25・60 335 —— 160 90 230g18492014_10

Page 2:MEフィルタの有無（ME12のみ）無記入───フィルタなしF─────フィルタ付●ME25・60には標準装備。真空スイッチの有無（ME25・60のみ）無記入────真空スイッチなしM────── 真空スイッチ付電磁弁の有無無記入───電磁弁なしS──── 供給エア制御用シングル電磁弁付T─ ─── 供給エア・真空破壊エア制御用ツイン電磁弁付（ME25・60のみ）電圧の種類（電磁弁付の場合）1────────AC100V2────────AC200V3────────DC24V電磁弁の機能（ME12のみ）無記入───常時閉（NC）11──────常時開（NO）本体形式12───────真空側最大流量12.5R/min（ANR）25───────真空側最大流量25R/min（ANR）60───────真空側最大流量58R/min（ANR）マイクロエジェクタ注文記号●オプション部品形式MEF12────── ME12専用フィルタ（取付ねじ２本・Oリング１個付）MEM25───── ME25・60用真空スイッチME12E1─────ME12専用シングル電磁弁（NC）ME12E1-11─── ME12専用シングル電磁弁（NO）125EE1──── ME25・60用シングル電磁弁125EE2──── ME25・60用ツイン電磁弁電圧（電磁弁のみ）AC100VAC200VDC24V作動原理と各部の名称●非作動時 ●真空発生弁作動時 ●真空破壊弁作動時マフラフィルタチェック弁ディフューザノズル 真空破壊流量調節弁圧縮空気供給ポート真空発生弁真空発生ポート真空スイッチ真空破壊弁コントロール ナットマイクロ スイッチ黒色(COM)白色(NO)赤色(NC)黒色白色赤色黒色白色赤色図は真空スイッチ、ツイン電磁弁付の場合調P398-1圧縮空気がノズルからディフューザに吹き込まれ、ノズルとディフューザのすきまから空気をディフューザ側に吸い込んで真空が発生します。真空度が上がり、設定真空度以上になると真空スイッチが作動します。18502014_10

Page 3:kPaー93.3ー80ー66.7ー53.3ー40ー26.7ー13.30 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6MPa供給圧力R/min（ANR）3530252015105真空側流量到達真空度圧縮空気消費量到達真空度圧縮空気消費量真空側流量kPaー93.3ー80ー66.7ー53.3ー40ー26.7ー13.30 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6MPa供給圧力R/min（ANR）70605040302010真空側流量到達真空度圧縮空気消費量到達真空度圧縮空気消費量真空側流量kPaー93.3ー80ー66.7ー53.3ー40ー26.7ー13.30 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6MPa供給圧力R/min（ANR）14012010080604020真空側流量到達真空度圧縮空気消費量到達真空度圧縮空気消費量真空側流量調P399-1空気消費量と到達真空度・真空側流量表示記号●ME12単体●ME25 ●ME60●ME12フィルタ付●ME12F ●ME25 ●ME60真空スイッチ・フィルタ付●ME25-M ●ME60-Mシングル電磁弁付●ME12-S□シングル電磁弁・フィルタ付●ME12F-S□ ●ME25-S□ ●ME60-S□真空スイッチ・シングル電磁弁・フィルタ付●ME25-M-S□ ●ME60-M-S□ツイン電磁弁・フィルタ付●ME25-T□ ●ME60-T□真空スイッチ・ツイン電磁弁・フィルタ付●ME25-M-T□ ●ME60-M-T□調P399-2調P399-3調P399-418512014_10

Page 4:●ME12 ●ME12-S□ME12寸法図（mm）2-φ3.2取付穴 504010 7.52211Rc1/8Rc1/8圧縮空気供給ポート真空発生ポート810112239182-φ3.2取付穴 654010 7.52211338約300mmRc1/8手動機構Rc1/8圧縮空気供給ポート真空発生ポート251122333747.710調Ｐ400-12-φ3.2取付穴 504010 7.52211Rc1/8Rc1/8圧縮空気供給ポート真空発生ポート810112239182-φ3.2取付穴 654010 7.52211338約300mmRc1/8手動機構Rc1/8圧縮空気供給ポート真空発生ポート251122333747.710調Ｐ400-1●ME12F ●ME12F-S□2-φ3.2取付穴504010 7.52211Rc1/8Rc1/8圧縮空気供給ポート真空発生ポート1081144222239182-φ3.2取付穴654010 7.53322118Rc1/8約300mm手動機構Rc1/8圧縮空気供給ポート真空発生ポート2511222244337347.710調Ｐ400-22-φ3.2取付穴504010 7.52211Rc1/8Rc1/8圧縮空気供給ポート真空発生ポート1081144222239182-φ3.2取付穴654010 7.53322118Rc1/8約300mm手動機構Rc1/8圧縮空気供給ポート真空発生ポート2511222244337347.710調Ｐ400-218522014_10

Page 5:●ME25●ME60●ME25-M●ME60-MME25・ME60寸法図（mm）調P401-190752-φ4.2取付穴25 17153510 2513Rc1/4圧縮空気供給ポートφ4411Rc1/4真空発生ポート50124.5112590752-φ4.2取付穴25 17153510 2513Rc1/4約300mm圧縮空気供給ポートφ4411Rc1/4真空発生ポート502575124.51125調P401-190752-φ4.2取付穴25 17153510 2513Rc1/4圧縮空気供給ポートφ4411Rc1/4真空発生ポート50124.5112590752-φ4.2取付穴25 17153510 2513Rc1/4約300mm圧縮空気供給ポートφ4411Rc1/4真空発生ポート502575124.51125●ME25-S□●ME60-S□●ME25-M-S□●ME60-M-S□調P401-2101752-φ4.2取付穴25 17263510 2510Rc1/4約300mm手動機構圧縮空気供給ポートφ4411Rc1/4真空発生ポート50124.51058101752-φ4.2取付穴25 17 10263510 25 Rc1/4約300mm手動機構圧縮空気供給ポートφ4411Rc1/4真空発生ポート502575124.51058調P401-2101752-φ4.2取付穴25 17263510 2510Rc1/4約300mm手動機構圧縮空気供給ポートφ4411Rc1/4真空発生ポート50124.51058101752-φ4.2取付穴25 17 10263510 25 Rc1/4約300mm手動機構圧縮空気供給ポートφ4411Rc1/4真空発生ポート502575124.51058●ME25-T□●ME60-T□●ME25-M-T□●ME60-M-T□調P401-3126752-φ4.2取付穴25 17 18.51510513510 25Rc1/4約300mm手動機構圧縮空気供給ポートφ4411Rc1/4真空発生ポート5010.5124.51058126752-φ4.2取付穴25 17 18.51510513510 25Rc1/4約300mm手動機構圧縮空気供給ポートφ4411Rc1/4真空発生ポート75502510.54.5105812調P401-3126752-φ4.2取付穴25 17 18.51510513510 25Rc1/4約300mm手動機構圧縮空気供給ポートφ4411Rc1/4真空発生ポート5010.5124.51058126752-φ4.2取付穴25 17 18.51510513510 25Rc1/4約300mm手動機構圧縮空気供給ポートφ4411Rc1/4真空発生ポート75502510.54.510581218532014_10

Page 6:減 増OリングOリングノズルパッキンパッキンマフラ裏蓋チェック弁エジェクタ本体マフラキャップフィルタキャップフィルタエレメント真空スイッチMEM25シングル電磁弁ツイン電磁弁電磁弁OリングOリングME12E1MEF12（取付ねじ2本・Oリング1個付）エジェクタ本体フィルタ本体調P402-1取扱い要領と注意事項mark-oマイクロエジェクタ機器の構成1. 圧縮空気供給ポートに空気源、真空発生ポートにバキュームパッドなどを配管してください。2. マイクロエジェクタへの配管は、内径φ4〜φ6のナイロンまたはウレタンチューブを使用してください。また真空発生ポートには下記のサイズのチューブの使用を推奨します。 ME12……φ4×2.5〜φ6×4 ME25……φ6×4〜φ8×6 ME60……φ8×6〜φ10×8注 1. リード線間は、メガテストを行なわないでください。2. DC24V ソレノイドの場合、極性をまちがえてもショートの心配はありませんが、エア制御バルブは作動しません。3. 回路内に漏れ電流があると、電磁弁が復帰しないなどの誤作動をすることがあります。必ず許容回路漏れ電流値以下でお使いください。回路条件などにより漏れ電流値が許容回路漏れ電流値を超える場合は最寄りの弊社営業所へご相談ください。配管マイクロエジェクタには、真空発生用のシングル電磁弁付と真空発生及び真空破壊用のツイン電磁弁付がオプションとして設定されています。（ツイン電磁弁付はME25・60のみ）。ツイン電磁弁付では、真空側に圧縮空気を供給することにより、容易に真空破壊、強制離脱ができ、破壊流量調節弁により破壊時間・離脱時間の設定も任意にできます。また、内蔵されたチェック弁により真空発生用電磁弁への通電をOFFしたあとも設定真空度を保持することができますから省エネルギー効果をあげることができます。電磁弁●長時間真空を保持するための省エネルギー回路●ソレノイド内部回路c調P402-3スタートストップ真空スイッチ真空発生用電磁弁リレーリレー接点リレー接点● ME12 ● ME25・60注 1：継手は内径の絞られないものを使用してください。内径が小さいと流量、圧力が不足し、到達真空度が低くなったり到達時間が長くなるなど、性能低下の原因となります。2：コイルチューブなどによるら旋配管はさけてください。マイクロエジェクタとバキュームパッド等の間はエルボなどの使用もさけ、できるだけまっすぐに配管してください。コントロールナットによって設定された真空度になるとマイクロスイッチが働き、電気信号を取り出すことができます。カバーを矢印の方向へずらして取り外し、コントロールナットを回して設定真空度を調節します。コントロールナットを↓方向に回すと設定真空度は高くなり、↑方向に回すと低くなります。真空スイッチコントロールナットME12DC24V（サージ対策済）AC100V、AC200V（シェーディング方式）ショート防止用ダイオードソレノイドフライホイルダイオードリード線赤色（＋）リード線黒色（ー）調P402-5ソレノイドリード線AC100V 黄色 AC200V 白色ME25・ME60DC・AC 共用（DC サージ対策済）ショート防止用ダイオードソレノイドフライホイルダイオード調P402-7リード線 DC24V （＋）赤色（ー）黒色 AC100V 黄色・黒色 AC200V 白色・黒色●破壊流量の調節破壊流量調節弁を時計方向に回すと破壊流量は減少し、破壊時間が長くなります。反時計方向に回すと破壊流量は増加し、破壊時間が短くなります。18542014_10

Page 7:10 50 200 1000 3000 5000t1 t11.51.0真空到達時間・真空破壊時間●測定回路・条件 ●測定方法チャンバ容量 cm3ME12形式 時間ME250.5t2─0.10.1t2 t2 t2 t2 t2t12.01.31.0─0.10.1t14.02.01.5─0.20.2t17.53.83.0─0.40.4t126.013.010.0─1.51.5t150.023.015.0─3.03.0sME60●応答時間注：配管サイズやチャンバの形状等で、若干の誤差があります。数値は一応の目安としてください。空気圧力：0.5MPat1：S1に通電した後、チャンバ内が ー 73.3kPaになるまでの時間s 。t2：S2に通電した後、チャンバ内がー 18.7kPaになるまでの時間s 。●手動操作ME12E1ドライバーで手動機構をつきあたるまで押したまま45度以上回すとロックされます。このときの回転方向は、どちらでもさしつかえありません。ロックされた状態から更に回転させると、手動機構がスプリングによって元の位置に復帰し、ロックが解除されます。125EE1・125EE2ドライバーで手動機構を45度回してドライバー溝を45度傾けるとバルブは開き、手動機構はこの状態のまま保持されます。このときの回転方向は、どちらでも支障ありません。保持された状態から45度回し、ドライバー溝を水平にすると解除されます。手動機構は、平常運転開始前に必ず解除してください。注オシロスコープチャンバマイクロエジェクタS1（真空発生電磁弁）S2（真空破壊電磁弁）調P403-1 kPaー101.3最高到達真空度ー73.3ー18.7真空度時間0st1 t2S1解除S1通電調P403-2調P403-3開閉18552014_10