足踏式 真空手動弁

Page 1:真空弁真空ポンプ型プラスチックシートヒーター出力信号真空弁真空ポンプ検知器真空スイッチ品物表向 裏向真空弁真空ポンプラベルダンボール袋吸盤真空弁真空ポンプ真空弁真空ポンプビン液 体吸盤紙真空ポンプ真空弁使用例■袋の開封 ■液体の急速充填 ■印刷機への紙送り■真空成形機 ■品物の向き判別 ■ダンボールのラベル貼りコガネイ真空弁の7つの特長コガネイ独自のソレノイド構造①ソレノイドの焼損はありません。ソレノイドの予備を持つ必要はありません。②起動･励磁電流値は極めて小さくなっています。周辺電気機器の小形化が図れます。ポペットとダイヤフラム構造③摺動部分がありません。弁の固着がなく作業が確実です。④真空漏れが極めて少なくなっています。真空の応答性がよく、バキュームパッドの吸引力が強く、真空ポンプも小形ですみます。⑤ゴミに強くなっています。粉塵の多い所でも普通のエアフィルタを取り付けるだけで使用できます。⑥無給油で使用できます。油をきらう装置に最適です。⑦取付方向は自由、小形軽量です。制御盤へのレイアウトが簡単でコンパクト化が図れます。13362014_10

Page 2:電磁力パイロットエアカメラ真空弁真空ポンプ被写体真空ポンプ分析器真空弁真空弁気体Ａ気体Ｂ気体Ｃマノメータスケール被検査体真空弁真空ポンプ真空弁真空ポンプガラス板真空弁作動時真空弁非作動時吸 着 強制離脱真空ポンプエア圧力真空ポンプエア圧力シート 吸盤マグネットヘッドテープワークブレーキ真空弁真空ポンプテープリール■バキュームリフト ■シートの移動時間短縮（負圧と正圧を併用）■被写体（シート）の固定 ■分析器への気体誘導 ■気密検査■テープの速度制御電流起動電流時間異常時の電流波形焼損が起る異常時： 可動子が吸着されない場合可動子ソレノイド励磁電流電流時間起動電流可動子ソレノイド励磁電流異常時でも同じ波形で、焼損事故が起きない。外力小さなゴミ本体ゴミを包み込んだ状態ダイヤフラム主軸交流ソレノイド（一般） 半波整流ソレノイド（コガネイ）コガネイ独自のソレノイドソレノイドの一端にシリコン整流子を取り付けて交流を半波整流しています。したがって、ソレノイドは、交流ソレノイドと直流ソレノイドの中間的特性を持っています。また、可動子の移動距離は最小に設計されているため、起動電流（インラッシュカレント）と励磁電流はほとんど同じで、小さくなっています。このため可動子が作動しないような異常状態でも、ソレノイドが焼損することはなく、また電気機器の容量を小さくすることができます。ポペットとダイヤフラム構造合成ゴムでできているポペットとダイヤフラムが、主軸に組み込まれて、一体で作動します。作動時にポペットとダイヤフラムは、摺動面を持たないため、無給油でも固着現象を起こしません。また、合成ゴムの弾性で、小さなゴミなら包み込んでしまうため、真空漏れは極めて少なくなります。ダイヤフラムポペット13372014_10

Page 3:ワ ン ウ エ イスチールローラス チ ー ルロ ー ラ間 接 作 動外 部エ アパイロット{ }間 接 作 動外 部エ アパイロット{ }間 接 作 動外 部バキュームパイロット{ }品名 形 状 作 動 方 式シ ン グ ルソレノイドダブルソレノイド（連続通電形）押ボタン保 持 機 能 付レ バ ー足 踏 ペ ダ ル 形保 持 形直 動1/43/81/21/43/81/2V062E1V126E1VA250AE1VA2503AE1VA500AE1VV250AE1VV2503AE1VV500AE1VA250AE2VA2503AE2VA500AE2V125PV250PV2503PV125HOV125VV250VV2503VV250-4HV2503-4HV250FV125BV250BV2503BV250CV2503CV125MCV125MOCVA125AVA250AVA2503AVA500AVV250AVV2503AVV500A 250A2 2503A2 500A2 750A2 1000A22.55.51555155515555.5155.5155.5155.55.51555155515551402802,332●NC●NO●NC/NO●NC/NO●NC●NC/NO●NC●NC●NC●NC32,33352,32,32,33333134013431346134313461343134613491352135513581/43/81/21/81/43/81/81/43/81/43/81/41/81/43/81/43/81/81/81/43/81/21/43/81/21/43/81/23/41ボ ー ル カ ムエ ア パ イ ロ ッ ト（ シ ン グ ル ）バキュームパイロット（ シ ン グ ル ）ダブルエアパイロットローラカムナ イ ロ ンロ ー ラス プ リ ン グリ タ ー ン配管接続口径Rcポート 構造 形 式ページ電磁真空弁手動真空弁 足踏真空弁機械作動真空弁パイロット真空弁 SV062E1（真空･空気圧混用形）〈INFORMATION〉—有効断面積mm213382014_10

Page 4:警 告注 意お願い水のかかる場所や、ゴミの多い場所では、カバーなどで保護してください。また、Rポートに、マフラなどをつけてゴミの浸入を防いでください。水、ゴミにより、短期間の機能停止、急激な性能低下もしくは寿命の低下を招きます。1. 空気は、劣化したコンプレッサ油などを含まない清浄なものを使い、電磁弁の近くにフィルタをつけてドレンやゴミを除いてください。2. 供給側の配管口径は、電磁弁の有効断面積と同等以上としてください。3. 間接作動弁を使うときは、圧力源との間にストップ弁を設けてください。圧力源が、最低使用圧力以上になってからストップ弁をあけるようにしないと、間接作動弁がニュートラル状態になることがあります。 （250シリーズ以上の電磁弁はすべて間接作動弁です）。4. 2個以上の交流用電磁弁を同一電源に結線する場合は、リード線の色を揃えてください。5. AC用は整流子が接続されているため、ゼロクロス機能のついた無接点リレー（SSR）では、ONしない場合があります。このため、無接点リレーの定格と使用上の注意を確認のうえ、使用してください。1. バルブを制御盤内に取り付けたり、通電時間が長い場合には、バルブの周囲温度が常に仕様の温度範囲になるよう放熱対策を行なってください。また長時間の連続通電を行なう場合は、最寄りの弊社営業所へご確認ください。2. 製品の配線、配管は「カタログ」等で確認しながら正しく行なってください。誤った配線、配管をしますとアクチュエータ等の異常作動の原因になります。3. 大容量の誘導負荷と同一電源で使用すると、電磁弁のシリコン整流子がサージ電圧で破損する場合があります。別電源とするか、サージアブソーバなどを取り付けて保護してください。また、サージ対策済のソレノイドもありますので最寄りの弊社営業所へお問い合わせください。安全上のご注意（電磁真空弁シリーズ）ご使用になる前に総合パーソナルカタログ前付の「安全上のご注意」と併せて必ずお読みください。電圧の種類と電流値定格電圧V 電 流 値 mA注 50Hz 60Hz 230※1 63 55 220※1 58 72 200 70 65AC 115※1 130 110 110※1 120 160 100 140 130 48※1 410 370 24※1 930 830注：起動電流と励磁電流はほとんど同じでこの値以内です。※1の電圧については、周波数をご指定のうえ最寄りの弊社営業所へ納期をお問い合わせください。※2の電圧については、最寄りの弊社営業所へ納期をお問い合わせください。 定格電圧V 電 流 値 mA 200※2 48 110※2 80 100※2 90 DC 48※2 190 24※ 400 12※2 750 6※2 1500このバルブには、上下に2個のソレノイドが内蔵してあり、リード線がビニールテープで色分けしてあります。赤色テープ側（上側・ソレノイドS2）に通電すると、バルブは開き、灰色テープ側（下側・ソレノイドS1）に通電すると、バルブは閉じます。なお、このソレノイドは連続通電保持形です。ソレノイドS2赤色テープ灰色テープソレノイドS1ポペット3（R）2（A）1（P）パイロットエア可動子ソレノイドS1に通電時ダブルソレノイド（E2）形の結線要領13392014_10

Page 5:押ボタンスプリングリターン使用流体作動方式ポート数弁機能音速コンダクタンスC dm3/（s・bar）注有効断面積〔Cv値〕 mm2配管接続口径 Rc給油使用圧力範囲 kPa使用温度範囲 ℃取付方向質量 kg 0.1 0.2 0.25 0.1 0.1 0.25 0.3 0.6 0.6 1.01/8 1/4 3/8 1/8 1/4 3/8 1/4 3/8 1/4 V125P V250P V2503P V125HO V125V V250V V2503V V250-4H V2503-4H V250F真空不要0〜−1005 〜60自由足 踏常時閉（NC） 常時閉（NC）, 常時開（NO） 常時閉（NC）3ポート5.5〔0.27〕 15〔0.76〕 5.5〔0.27〕 15〔0.76〕1.1 3.0 1.1 3.03ポート 3ポート2・3ポート 2・3ポート5ポートエキゾーストセンタスプリングリターン保持形保持形3ポジションスプリングリターン（保持機能付）レバー基本形式項目仕様注文記号手動真空弁・足踏真空弁押ボタンレバー足踏3ポート2ポート2・3ポート2・3ポート3ポート3ポート3ポート3ポート5ポート5ポート2・3ポートV125PV250PV2503P V125HOV125VV250V V2503V V250-4H V2503-4H V250F-2-2-22-22基本形式●無記入：ベース取付方式●無記入：3ポートＶ250-4ＨとＶ2503-4Ｈは5ポートオプション弁機能 取付方法パネル取付用ロックナット付流量特性注：音速コンダクタンスの値は計算値であり、実測値ではありません。13492014_10

Page 6:φ30M26×1.5φ23 4-φ5.5取付穴30.57.52.616463-Rc1/8EX3245324514.51.81.8（2）M26×1.5φ303（R）3（R）3（R）2（A）2（A）1（P）1（P）φ30M26×1.5φ23 4-φ5.5取付穴30.57.52.61648.73-Rc1/83245324514.51.81.8（2）M26×1.5φ30開閉指示刻線 開閉指示刻線2（A）2（A）1（P）1（P）3（R）3（R）3（R）φ42（φ46）φ234-φ5.5取付穴48（57.5）1.225.5（30.3）63（72.5）3-Rc1/4V2503P：Rc3/840574057（ ）内寸法はV2503Pを表わします。2（A）2（A）1（P）1（P）3（R）3（R）V125PV125HOV250PV2503Pボタンを押して約45度回すとバルブは切り換わったままロックされます。反対方向に回すとロックが外れスプリングで復帰します。パネル取付用ロックナット付(注文記号:−22)パネル取付用ロックナット付(注文記号:−22)作動原理と表示記号ダイヤフラム主 軸バキュームパッド接続ポートダイヤフラム2（A） 2（A）真空ポンプ接続ポート平常状態 作動状態大気圧ポート大気圧3（R）（大気圧） 3（R）（大気圧）1（P）（真空） 1（P）（真空）V125P4（A）2（B）5（R1）1（P）3（R2）2（A） 1（P）2（A） 1（P）3（R）2（A） 1（P）3（R）2（A） 1（P）3（R）4（A）2（B）5（R1）1（P）3（R2）2（A） 1（P）2（A） 1（P）3（R）2（A） 1（P）3（R）2（A） 1（P）3（R）平常状態 作動状態2（A） 1（P）3（R）2（A） 1（P）V250F-2 V250F2ポ−ト NC 2ポ−ト NC 3ポ−ト NC3ポ−ト NＣ 3ポ−ト NＣ 3ポ−ト NC/NO5ポ−ト3ポジション・エキゾ−ストセンタV250P-2V2503-2V125PV250PV2503PV125HO V125VV250VV2503VV250-4HV2503-4H寸法図（mm）13502014_10

Page 7:ITOH Drawing Workshop phone 0425-72-297230M26×1.54-φ5.5取付穴30.57.52.61672.33-Rc1/83245324514.51.81.8（2）M26×1.5φ30赤丸位置上側開90°閉 開φ30φ20球2（A）1（P）2（A）1（P）3（R）3（R）3（R）5.5444-φ5.5取付穴48（57.5）1.225.5（30.3）109.5（119）3-Rc1/4V2503V：Rc3/840574057（ ）内寸法はV2503Vを表わします。赤丸位置上側開80°開閉45°35°50.5φ42（φ46）φ34球2（A） 1（P）2（A） 1（P）3（R）3（R）304522.5121345-Rc1/4V2503-4H：Rc3/8ON82100赤丸位置上側開60°71.52121φ28φ2871.5中立位置OFFON60°4364227φ34球5（R1）1（P）3（R2）5（R1）1（P）4（A） 2（B）3（R2）3（R2）39.53-Rc1/444.5174.544.5 MAX.1630.55111.370541042（A）1（P）3（R）V125VV250VV2503VV250-4HV2503-4HV250Fパネル取付用ロックナット付(注文記号:−22)V125Vのレバー位置は平常状態でPに設置してあります。V250Vのレバー位置は平常状態でPに設置してあります。寸法図（mm）13512014_10

Page 8:■真空弁選定のめやす（排気と給気の応答時間）■吸着力の計算とグラフ（理論値）■真空漏れ検査規格（コガネイ規格）50ccチャンバ 200ccチャンバ 1Rチャンバ 3Rチャンバ 5.5Rチャンバ 10.5Rチャンバ0.2 0.08 0.18 0.1 0.7 0.35 0.5 0.38 3.0 1.5 2.5 1.8 9.0 3.2 6.0 4.0 20.0 8.0 14.0 10.00.12 0.05 0.4 0.2 1.8 0.9 5.0 1.7 11.0 3.50.1 0.06 0.13 0.12 0.35 0.15 0.3 0.2 1.6 0.7 1.3 0.8 3.8 1.4 2.6 1.8 9.0 3.4 6.0 4.00.05 0.03 0.09 0.04 0.1 0.05 0.08 0.07 0.5 0.23 0.16 0.18 1.1 0.4 0.7 1.0 2.4 1.0 1.7 1.00.04 0.03 0.14 0.14 0.07 0.05 0.14 0.14 0.25 0.1 0.15 0.18 0.5 0.2 0.4 0.3 1.1 0.4 0.6 0.5 2.0 0.8 1.0 0.8 0 0 −81.3−42.6 0 0 −81.3−42.6 0 0 −81.3−42.6 0 0 −81.3−42.6 0 0 −81.3 −42.6 0 0 −81.3 −42.6−81.3−42.6 0 0 −81.3−42.6 0 0 −81.3−42.6 0 0 −81.3 −42.6 0 0 −81.3−42.6 0 0 −81.3 −42.6 0 0 0.26 0.14 0.26 0.2 0.4 0.2 0.4 0.3排 気 給 気単位：ｓ注：チャンバの排気真空度は、一次側タンク内真空度の80％の値です。V062E1V126E1VA125AVA250AE1VA500AE11000A2真空度形式排 気 給 気 排 気 給 気 排 気 給 気 排 気 給 気 排 気 給 気↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓ ↓上記の表は、真空弁をON作動させてからの、チャンバ内の真空到達時間と、真空弁をOFF作動させてからの、チャンバ内へ大気が入り込む給気時間を示したものです。●グラフの見方 使用真空圧力−66.7kPa・バキュームパッド面積176.6cm2の場合吸着力は1178Nになります。●検査方法 バルブAを開き、タンク内の真空度を−100kPaにします。その後バルブAを閉じ、10分間放置し、タンク内の真空度の降下をOFF時・ON時の両方について調べます。●検査規格 10分間放置して、タンク内の真空度の降下が1.3kPa以下のものを合格にしています。 詳細については最寄りの弊社営業所へお問い合わせください。 備考 実際には、コガネイ真空弁のほとんどは10分間放置しても、最初に設定した真空度を保持しています。被吸着物をバキュームパッドで真空保持する場合、吸着力は次の式で表わされます。W＝P×A×0.1 W：吸着力（N）P：真空圧力（kPa）A：パッドの面積（cm2）真空ポンプMコック一次側タンク(120R)真空ゲージ真空弁3（R）1（P）2（A）オシロスコープチャンバFP 真空ポンプ被吸着物バキュ−ムパッド真空ゲージ2ポート電磁弁マフラM モーター真空ポンプ真空貯蔵タンク3ポート電磁弁フィルタバキュームパッドストレーナ真空スイッチフィルタ真空ポンプA0真空ゲージ最大OFF時被検査真空弁RPAタンク85cm3真空ポンプA0真空ゲージON時被検査真空弁RPAプラグタンク85cm3 –98.7kPa –100kPa最大 –98.7kPa –100kPaバキュームパッド面積（cm2）吸着力（N）3000250020001500100050000.0490.0960.2380.5020.7851.7663.144.9067.0659.61612.5616.9328.2650.2478.5113176.6314(1178)−93.3−80−66.7−53.3−40−26.7−13.3使用真空圧力kPa■標準的な真空回路検 査 回 路真空弁OFF時の検査回路 真空弁ON時の検査回路参考資料コックで一次側タンク内真空度を−101.3kPaまたは−53.3kPaに設定する。kPa注13612014_10

Page 9:■真空・空気混用形の使い方(ＳＶ062E1)0∼0.7MPa強制離脱0∼0.7MPa真空ポンプ吸着（非通電）0∼−100kPa2（A） 2（A）1（P） 1（P）3（R） 3（R）バキュームパッドシートエア吸着真空ポンプ（通電）エア強制離脱エア0∼−100kPaバキュームパッド真空ポンプシート吸着吸着（通電）P1パイロットエアエアP2真空ポンプ強制離脱（非通電）P1パイロットエアエアP2強制離脱2（A） 1（P） 2（A） 1（P）3（R） 3（R）強制離脱真空ポンプ吸着P1パイロットエアONエアP2パイロットエアOFFシート吸着真空ポンプP1 パイロットエアONエアP2パイロットエアOFF強制離脱バキュームパッド2（A） 2（A）1（P）1（P）3（R）3（R）■外部エアパイロット形の応用使用(VA250AE1/ VA2503AE1/ VA500AE1)■ダブルエアパイロット形の応用使用(250A2 / 500A2など)■圧力単位比較表−101.3 −88.7 −76.0 −63.3 −50.7 −38 −25.3 −12.7 0−760 −665 −575 −475 −380 −285 −190 −95 00 95 190 285 380 475 570 665 760100 90 80 70 60 50 40 30 20 10 00 100 200 300 400 500 600 700 800 900 1013 1100 1200 1300 14000 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1.0 1.1 1.2 1.3 1.40 0.1 0.2 0.3 0.4 絶対真空kPa真空ゲージ圧力（mmHg）（マイナス水銀柱）[例]−76kPa＝190Torr＝190mmHgトール水銀柱（Torr=mmHg）パーセント真空（％VAC）ミリバール（mbar）絶対圧力（kgf/cm2abs）ゲージ圧力（1bar＝1kgf/cm2G）（負圧力） 大気圧 （正圧力）注：P1〉2P2で使用してください。注：P1〉2P2で使用してください。参考資料13622014_10