分離形１チャンネル流量センサコントローラＦＳ１Ｕ

Page 1:圧力スイッチと同等の使いやすさを実現RS232CFS1U1 2 3 ESW.OUTパソコンとの接続が可能●流量設定、流量値取込み、基準流量設定がパソコンで行なえます。●多彩な出力モードと機能により圧力センサと同じ感覚で使えます。● 2 色表示によりワーク吸着が一目で分かります。SW出力L（R/min）L1L2 応差ONt大気開放 真空弁ON ワーク吸着 真空破壊SW出力L（R/min）L1L2 応差ONt応差 応差大気開放 真空弁ON ワーク吸着 真空破壊SW出力L（R/min）L2L1応差ΔL基準流量取込みONt応差大気開放 真空弁ON ワーク吸着 真空破壊■ウィンドコンパレータモード 2、3・Δ L 設定と基準流量の取込みによりL1を自動設定するモード。（L1 ＝基準流量−ΔL）■ウィンドコンパレータモード 1・L1、L2を任意に設定するモード。 ただし、流量増加時にはスイッチ出力が ON になりません。4 桁 LED 表示表示色は緑または赤に変更できます。エラー出力表示注注：表示色は赤のみです。モードキースイッチ出力表示注注：表示色は赤のみです。UP キーDOWN キーFS1U-S例：写真はスイッチ出力ON 時の場合。FS1U16542015_05

Page 2:配管抵抗の影響を受けません分離形多チャンネル流量センサコントローラFSUと共通化 RS232C通信タイプとアナログ出力タイプを用意●使用センサヘッド、操作方法、設定コマンドを共通化しました。●センサヘッドは−500〜500mR/min（ANR）、−3〜3R/min（ANR）、0〜10R/min（ANR）タイプの3種類を用意しました。●RS232Cまたはアナログ出力により常時流量監視が可能。 RS232Cタイプ：ASCⅡコードにより流量の取込みが可能。 アナログ出力タイプ：アナログ電圧により流量の取込みが可能。●配管抵抗の影響を受けないため、流量センサヘッド取付位置の制限がありません。センサヘッド 分離形多チャンネル流量センサコントローラ RS232CタイプFS1U-S-Dアナログ出力タイプFS1U-S流量センサ圧力センサφ1.8 チューブを用いた測定結果※弊社試験規格による。測定点 20.12R/min− 95kPa測定点 10.11R/min− 78kPa100mm 2000mm 100mm測定点1ノズル穴径0.1mm測定点2真空源−98kPaSW出力L（R/min）L1L2応差応差ONt大気開放 真空弁ON ワーク吸着 真空破壊SW出力L（R/min）L1L2応差応差ONt大気開放 真空弁ON ワーク吸着 真空破壊 ●ウィンドコンパレータモード 2・一度設定されたL1は再度基準流量の取込みが行なわれるまで変更されないモード。 ●ウィンドコンパレータモード 3・設定されたL1は、スイッチ出力OFFと同時に消去されるため毎回基準流量の取込みを行ないL1を設定するモード。 流量変動の激しい場合に有効です。 ウィンドコンパレータモード3を使用する際には、RS232C等により、外部から基準流量の取込みを行なってください。■ウィンドコンパレータモード 4・L1、L2を任意に設定するモード。SW出力L（R/min）L1L2ONt■ヒステリシスモード・L1 以上の場合にスイッチ出力が ON、L2 以下の場合にスイッチ出力が OFFするモード。電源・スイッチ出力RS232Cセンサヘッド電源・スイッチ出力アナログ出力センサヘッドワーク吸着でお困りではないですか？圧力で検出できないワークは流量で検出！16552015_05

Page 3:注 意●当該製品には、必ず指定のセンサヘッドを使用してください。 指定以外のものを使用されますと誤作動の原因となります。●分離形流量センサコントローラおよびセンサヘッドは取り扱いの際に叩いたり、落としたり、ぶつけたりして、過大な衝撃（294m/s2以上）を加えないようにしてください。破損していなくても、内部が破損し誤作動する可能性があります。●負荷を短絡させないでください。 負荷短絡の状態で、センサ出力をオンさせますと、過電流により分離形流量センサコントローラが破損する可能性があります。 負荷短絡の例：センサ出力の出力リード線を直接電源に接続する。●センサヘッドへ継手を取り付ける際の締付トルクは 2.5N・mとしてください。また、センサヘッドを固定する場合は M3 のねじを使用し、取付トルクは 0.6N・mとしてください。 締付トルクを超えて締め付けた場合、センサヘッド等が破損する可能性があります。 センサヘッドとコントローラは、必ず電源を切った状態で接続してください。電源が入った状態でセンサヘッドを接続しますとサージ電圧等により、コントローラが誤作動する可能性があります。一般注意事項1.電源に市販のスイッチングレギュレータを使用する場合には、必ずフレームグランド（F.G.）端子を接地してください。2.センサ取付部周辺にノイズ発生源となる機器（スイッチングレギュレータ、インバータモータなど）を使用する場合は、機器のフレームグランド（F.G.）端子を必ず接地してください。3.配線終了後、結線に誤りがないか確認してください。配線1.センサヘッドは、非腐食性気体用です。液体や腐食性気体には使用しないでください。2.電源入力は、定格を超えないよう電源変動を確認してください。3.電源投入時の過渡的状態（1s）を避けて使用してください。4.針先などの鋭利なものでキー操作はしないでください。5.ウィンドコンパレータモード 2 にて基準流量取込みを繰り返し行なうようなことをしますと短期間で保証回数を超える可能性があります。その時は、ウィンドコンパレータモード 3を使用してください。その他取扱い要領と注意事項危 険安全上のご注意（分離形流量センサコントローラ）●製品の作動中は付帯する機構（配線用コネクタの着脱、センサヘッドの取付けまたは位置決め等）の調整作業を行なわないでください。異常作動によって、ケガをする可能性があります。警 告●分離形流量センサコントローラ作動中、コントローラおよびセンサヘッドに外部より磁界を加えないでください。意図しない作動により装置の破損やケガの原因となります。●配線の極性を間違えないように注意して配線してください。 間違えますと分離形流量センサコントローラを破損させる原因になります。下記は分離形流量センサコントローラ固有の「安全上のご注意」です。下記以外の「安全上のご注意」につきましては総合パーソナルカタログ前付を必ずお読みください。16562015_05

Page 4:センサヘッド・コネクタ接続要領取扱い要領と注意事項取付 ･ 配線7.センサヘッド本体には、センサヘッド側コネクタを接続します。 センサヘッドのフタを開いてコネクタを接続後、フタを閉めてください。流量センサヘッドFS-□は納入時、センサヘッド本体とミニクランプコネクタ（オス）が未接続になっていますので、下記に従って接続してください。1.コネクタのカバー（リード線挿入部）がコネクタ本体より浮き上がっていることを確認してください。本体と水平になっているものは使用できません。 2.センサヘッドのケーブルを必要な長さに合わせて切ります。 端面より50mm ケーブルの外被を取り外し、リード線を出します。この時、リード線の絶縁体は取らないでください。3.リード線をコネクタカバー部の穴へ表に従って挿入してください。リード線は奧まで確実に挿入されているか半透明のカバー上部より確認してください（挿入は約 9mm）。 接続を間違えると電源投入時センサヘッドおよびコントローラを破損しますのでご注意ください。4.リード線がコネクタより外れないように注意しながらプライヤー等のハンドツールでカバーとコネクタ本体を挟んでカバーをコネクタ本体に押し込んでください。 圧接力は 980.7N 以下にしてください。 コネクタ本体とカバーが水平になれば接続終了です。5.センサヘッド中継ケーブルFS1UK-□のミニクランプコネクタ（オス、メス）も同様に処理してください。6.再度配線が正しいか確認してください。50mm50mm基準流量取込み センサヘッド青青黒黒茶茶コネクタ側 No.1234リード線色センサヘッド茶線センサヘッド黒線センサヘッド青線お客様にて準備AWG 24-26（0.14-0.3sq）絶縁体外径：φ 0.8-1.0mm信号名センサヘッド電源（＋）センサヘッド電圧出力センサヘッド電源（0V）基準流量取込みセンサヘッド1234PLC等通信・アナログ出力用ケーブルは納入時、ケーブルとミニクランプコネクタ（オス）が未接続になっていますので、下記に従って接続してください。1.コネクタのカバー（リード線挿入部）がコネクタ本体より浮き上がっていることを確認してください。本体と水平になっているものは使用できません。2.ケーブルを必要な長さに合わせて切ります。 端面より50mm ケーブルの外被を取り外し、リード線を出します。この時、リード線の絶縁体は取らないでください。3.リード線をコネクタカバー部の穴へ表に従って挿入してください。リード線は奧まで確実に挿入されているか半透明のカバー上部より確認してください（挿入は約 9mm）。 接続を間違えると電源投入時お客様ご使用の制御機器およびコントローラを破損しますのでご注意ください。4.リード線がコネクタより外れないように注意しながらプライヤー等のハンドツールでカバーとコネクタ本体を挟んでカバーをコネクタ本体に押し込んでください。 圧接力は 980.7N 以下にしてください。 コネクタ本体とカバーが水平になれば接続終了です。5.再度配線が正しいか確認してください。通信・アナログ出力用ケーブルコネクタ接続要領青青黒茶茶黒コネクタ側 No.123信号名（FS1U-S-D）TXDRXD0V信号名（FS1U-S）アナログ出力ゼロリセット入力0V接続線色黒茶青12350mmフタセンサヘッド側コネクタ16572015_05

Page 5:センサヘッド、電源・スイッチ出力および通信・アナログ出力用ケーブルの取付けはロックレバーの位置を図のように合わせ、コントローラ側コネクタにロックが掛かるまで挿入してください。取外しはロックレバーを十分に押し下げて、コネクタを持って引き抜いてください。この時、リード線には無理な力を掛けないよう注意してください。FS1U-S（RS232C無しタイプ）使用時に通信・アナログ用コネクタとお客様ご使用の制御機器のRS232Cポートに接続しないでください。お客様ご使用の制御機器が破損するおそれがあります。 注：通信・アナログ出力用ケーブルは、未接続でもFS1U-S-□を使用することはできます。ロックレバー4321センサヘッドFS-□FS1UEW-□電源・スイッチ出力用ケーブル電源・スイッチ出力用コネクタ通信・アナログ出力用コネクタセンサヘッド用コネクタロックレバーセンサヘッド、電源・スイッチ出力および通信・アナログ出力用ケーブルの取付け、取外しパネルマウント用パーツ・前面保護カバーの取付け取付け具本体前面保護カバー（別売）流量センサコントローラ流量センサコントローラパネル取付け具本体の溝部パネル取付け具本体（FS1U-PM）ツメ溝部 A溝部 Bパネル板取付ホルダー（FS1U-PM）前面保護カバー（FS1U-BK）①流量センサコントローラの前面にパネル取付け具本体を取り付ける。この時パネル取付け具本体内側のツメが、流量センサコントローラの溝部Ⓐに入るように取り付けてください。②パネル穴の前面から流量センサコントローラを挿入する。③②の状態の後方から取付ホルダーを流量センサコントローラの溝部Ⓑにかけながら挿入する。④前面保護カバーをセットする。※取り外す場合は取付けの逆の手順でドライバー等を使用し、取付ホルダーを外してください。取付ブラケットは付属の六角穴付ボルト（M3×0.5長さ5mm）で流量センサコントローラ背面の取付穴に取り付けてください。締付トルクは、0.5N･mとしてください。前面保護カバーは、内側のツメが流量センサコントローラの溝部に入るように取り付けてください。カバーを取り外す場合は、カバーの出張りのある部分を持って外してください。2-M2.6×0.45深さ6（取付用ねじ穴）取付ブラケットPSU-BP六角穴付ボルト（取付ブラケット付属）ブラ取付（M2ロー締付くださ2-M3×0.5深さ6（取付用ねじ穴）取付ブラケット（FS1U-BR）溝部前面保護カバー（ZLBK100）六角穴付ボルト（取付ブラケット付属）ツメブラケット・前面保護カバーの取付け取扱い要領と注意事項16582015_05

Page 6:仕様●分離形流量センサコントローラ注 １：コントローラの電源電圧に対し、センサヘッドへの供給電圧は0.5V MAX.下がります。 2：FS-10選択時の応差は0.05R/min（ANR）刻みとなります。それ以外の値を設定した場合、0.05R/min（ANR）刻みに切り上げられます。 3：FS-10選択時5R/min（ANR）以上では、しきい値（L1、L2）設定が0.05R/min（ANR）刻みとなります。それ以外の値を設定した場合、 0.05R/min（ANR）刻みに切り下げられます。 4：FS1U-S-D（RS232C仕様）のみとなります。 5：特に記載なき場合の測定温度は室温（25°±5℃）とする形式 FS1U電源表示センサ入力SW 出力アナログ出力（FS1U-S のみ）設定注3耐環境一般項目電源電圧センサヘッド供給電圧消費電流数値表示表示周期表示精度分解能作動表示灯対応センサヘッド入力電圧最大入力電圧センサ供給電圧出力点数負荷電圧負荷電流繰り返し精度内部降下電圧応答時間出力モード応差出力電圧本体キー設定外部通信設定（RS232C）注4使用温度範囲保存温度範囲耐ノイズ耐電圧絶縁抵抗耐震動耐衝撃材質質量 DC24V±10% DC24V±10%注１ 50mA MAX.（センサへの供給電流を含まず） ・表示消灯時：15mA MAX.（液晶のバックライト消灯） ・通常検出時：25mA MAX. ・Ｅ-２表示時：50mA MAX.（センサ入力過電圧エラー発生時）7セグメントLED、4桁表示（表示色：緑 、赤）250ms、500ms、1000msより選択可±1%F.S.±1digit（10Lタイプ：5L以上は±5％F.S.±1digit）FS-R3選択時：0.01R/min（ANR）FS-R05選択時：1mR/min（ANR）FS-10選択時：0.01R/min（ANR） 【ただし5R/min（ANR）以上では0.05R/min（ANR）】ON時赤色表示灯点灯FS-R3、FS-R05、FS-10DC1.0～5.0Ｖ5.3V MAX.センサコントローラより供給 4点（NPNオープンコレクタ） ・比較出力：3点（OUT1～OUT3） ・エラー出力：1点DC30V MAX.50mA MAX.±0.1%F.S（センサ入力電圧に対して）0.3V MAX./負荷電流=5mA時 2ms MAX. ・遅延選択可 ・出荷時は2ms ウィンドコンパレータモード1 、ウィンドコンパレータモード2 ウィンドコンパレータモード3 、ウィンドコンパレータモード4 ヒステリシスモード 可変（2digit以上で任意に設定可能） 【ただしFS-10選択時は0.05R/min（ANR）MIN.となります】注2DC1〜5V（ノンリニア特性）、出力インピーダンス 約1kΩ（流量センサの出力信号がそのまま出力されます） 1668～1669ページを参照ください 1669～1671ページを参照ください−10～50℃（結露、氷結なきこと）−20～80℃（結露、氷結なきこと）EN61000-4-4EFT/Bレベル 電源：±1KV（レベル2） DATA：±1KV（レベル3）AC500V １分間DC500Vメガにて100MΩ以上10～55Hz XYZ各方向2時間490m/s2（非繰り返し）ケース：PBT30ｇ（ケーブル除く）16592015_05

Page 7:仕様流量センサヘッド 流量 - 出力特性表項目計測対象気体計測流量レンジ応答性出力信号使用温度範囲保存温度範囲使用・保存湿度範囲使用圧力範囲耐圧出力電圧精度標準流量特性再現性圧力特性温度特性電源電圧許容電圧変動範囲出力安定時間消費電流耐電圧絶縁抵抗接続形式材質取付姿勢取付条件直管長耐振動性質量電気接続（専用コネクタ接続）FS-R05空気 / 窒素、ただし検出流体が塩素、硫黄、酸等の腐食成分を含まないこと。および乾燥気体であること。ダスト、およびミスト（オイルミスト）を含まない清浄気体であること。−500〜＋500mR/min（ANR）5ms以下（ステップ状の流量変化に対する95％応答）DC1〜5V（ノンリニア特性）、許容負荷抵抗 10kΩ以上0〜50℃（周囲温度、計測流体温度ともに）−10〜60℃10〜80％RH（ただし結露無きこと）−100〜＋200kPa（ただし圧力特性保証範囲は−70〜＋200kPa）300kPa±5％FS MAX.0.0R/min：3.00±0.20V0.1R/min：3.77±0.20V0.3R/min：4.53±0.20V0.5R/min：5.00±0.20V±2％FS MAX.計測時の温度、圧力は同条件とする±0.01％FS/kPa −70〜＋200kPaの圧力範囲において0.0R/min：±0.1％FS/℃0.3R/min：±0.15％FS/℃DC24V（センサコントローラから供給）DC21.6〜26.4Vの範囲にてDC24Vの時の出力値に対して±2％FS以下注2最終到達電圧（流量）の±5％FS以内に収まるまでに要する時間：瞬時 最終到達電圧（流量）の±1％FS以内に収まるまでに要する時間：10s以内12mA MAX.外部コネクタ全端子—ボディ間：AC500V—1分間、またはAC600V—1秒間外部コネクタ全端子—ボディ間：50MΩ（DC500Vメガ）M5めねじ（黄銅製インサーション）、締付トルクは2.5N・m以下とすること接ガス部：PPS樹脂（流路本体）、セラミック（基板）、黄銅（接続部）カバー部：PC樹脂（ポリカーボネート）カバー部が下向きになる方向を除く本器の取付穴使用時は、M3のビスを使用し、締付トルクは0.6N・m以下とすること。また本器の上流側には10μm以上の粒径のダスト・ミストを捕捉できるフィルタを設置すること。上流・下流側ともに不要10〜55Hz、複振幅1.5mm、XYZ各方向2時間9g専用コネクタ付ケーブル流量センサヘッド側：日本圧着端子製造（株）製 SM03B-SRSS-G-TB相手側：同 SHR-03V-S-B（ハウジング）、SSH-003GA-P0.2（コンタクト）FS-100〜＋10R/min（ANR）±5％FS MAX.0.0R/min：1.00±0.20V3.0R/min：3.89±0.15V5.0R/min：4.46±0.15V10.0R/min：5.00±0.20V±6％FS MAX.±0.01％FS/kPa（0〜＋200kPa）±0.03％FS/kPa（−70〜0kPa）0.0R/min：±0.1％FS/℃5.0R/min：±0.2％FS/℃形式●流量センサヘッド注 1：表記の％FSは、出力電圧の4V（1-5V）をフルスケールとします。 2：計測レンジ上限流量付近では流量安定後に最大で±1％FS（流量安定から500秒後のドリフト量）出力変化が生じることがあります。FS-R3−3〜＋3R/min（ANR）±5％FS MAX.0.0R/min：3.00±0.15V0.5R/min：3.88±0.15V1.5R/min：4.49±0.15V3.0R/min：5.00±0.20V±3.5％FS MAX.±0.01％FS/kPa0.0R/min：±0.1％FS/℃1.5R/min：±0.15％FS/℃流量-出力特性0.00.51.01.52.02.53.03.54.04.55.0−500−400−300−200−100 0 100 200 300 400 500流量 mR/min（ANR）出力（V）流量-出力特性0.00.51.01.52.02.53.03.54.04.55.0−3.0−2.5−2.0−1.5−1.0−0.5 0.0 0.5 1.0 1.5 2.0 2.5 3.0流量 R/min（ANR）出力（V）流量-出力特性0.00.51.01.52.02.53.03.54.04.55.00.0 1.0 2.0 3.0 4.0 5.0 6.0 7.0 8.0 9.0 10.0出力（V）流量 R/min（ANR）● FS-R05 ● FS-R3 ● FS-1016602015_05

Page 8:内部回路図・配線仕様（外部接続例）Tr4Tr1Tr3Tr2外部接続例内部回路（茶）E（黒）0V（黒）1（茶）2（青）3（黄）OUT3（緑）OUT2（白）（赤）＋Vリード線の色負荷負荷ZD2ZD3ZD1DDC24V±10％＋−OUT1負荷ZD4負荷分離形流量センサコントローラ（茶）＋V（青）0V（黒）アナログ電圧出力基準流量取込みセンサヘッド主 回 路センサ主 回 路1234電源・スイッチ出力用ケーブル通信・アナログ出力用ケーブル注注：通信・アナログ出力用ケーブルは、未接続 でもFS1U-S-□を使用することはできます。注：ケーブル延長時にはケーブルの抵抗により電圧が低下しますので注意してください。 記号 D ：電源逆接保護用ダイオード ZD1〜ZD4 ：サージ電圧吸収用ツェナーダイオード Tr1〜Tr4 ：NPN出力トランジスタ●通信・アナログ出力用ケーブル配線仕様コネクタ側No.123接続線色黒茶青信号名（FS1U-S）アナログ出力ゼロリセット入力0V信号名（FS1U-S-D）TXDRXD0V16612015_05

Page 9:注文記号FS1U S分離形流量センサコントローラ1ch タイプアディショナルパーツ（別売部品）取付ブラケット● FS1U-BR取付パーツ無記入：なし B：取付ブラケット付 P：パネルマウント用パーツ付前面保護カバー 注無記入：前面保護カバーなし CB：取付ブラケット用 CP：パネルマウント用パーツ用 注：取付ブラケット付-Bと-CPは組合わせることはできません。 パネルマウント用パーツ付-Pと-CBは組合わせることはできません。通信機能 (RS232C)無記入：なし（アナログ出力付） D：あり流量レンジ R05：−500〜５００mR/min（ANR） R3：−3〜3R/min（ANR） 10：0〜10R/min（ANR）流量センサヘッド電源・スイッチ出力用ケーブル 通信・アナログ出力用ケーブルセンサヘッド中継ケーブル流量センサヘッド● FS ● FS1UK ● FS1UEW ● FS1UDWケーブル長さ3L：3000mm5L：5000mmケーブル長さ3L：3000mm5L：5000mmケーブル長さ3L：3000mm5L：5000mmミニクランプワイヤーマウントプラグ（センサヘッドケーブル用）● FS1U-4Mミニクランプワイヤーマウントプラグ（通信・アナログ出力用ケーブル用）● FS1U-3M電源・スイッチ出力用ケーブル（添付）無記入：なし 3LE：長さ3000mm 5LE：長さ5000mm通信・アナログ出力用ケーブル（添付）無記入：なし 3LD：長さ3000mm 5LD：長さ5000mmパネルマウント用パーツ● FS1U-PMパネルマウント用パーツ用前面保護カバー● FS1U-BK分離形流量センサコントローラを使用するには、流量センサヘッド FS- □が必要となります。別途ご注文ください。● ZLBK100取付ブラケット用前面保護カバー16622015_05

Page 10:10.532.5175.35.25 5.255.35.711.2 10.22-M5×0.8流入ポート 2-φ3.1取付穴フタ コネクタ接続口センサヘッド側コネクタ12.415.614.95.95Pin 12000±204 3 2 1● FS- □ 流量センサヘッド● FS1U-S- □ 分離形流量センサコントローラ 1ch タイプ（L）Pin 1514.915.612.45.94321（20）φ2.6（20）123413.523.413.415.8106.4Pin 1ミニクランプワイヤーマウントプラグミニクランプワイヤーマウントソケット● FS1UK- □ センサヘッド中継ケーブル寸法図（mm）形式FS1UK-3LFS1UK-5LL300050005261.538304桁LED表示エラー出力表示モードキーDOWNキースイッチ出力表示センサヘッド用コネクタ 通信・アナログ出力用コネクタ電源・スイッチ出力用コネクタUPキーFS1U1 2 3 ESW.OUT30423M01071116632015_05

Page 11:● FS1UEW- □ 電源・スイッチ出力用ケーブル● FS1UDW- □ 通信・アナログ出力用ケーブル● FS1U-BR 取付ブラケット● FS1U-PM パネルマウント用パーツ形式FS1UDW-3LFS1UDW-5LL30005000形式FS1UEW-3LFS1UEW-5LL30005000項目＋ 24VGNDSW1SW2SW3E色赤黒白緑黄茶No.12345617.3φ3.87L（50）電源・スイッチ出力用ケーブル（6芯）9.5（L）Pin 1512.415.610.45.9321（20）φ2.6（20）ミニクランプワイヤーマウントプラグ12144.52051393.5 23302-φ3.4六角穴付ボルトM3×0.5 長さ5 2個添付1.64.511.553430.234344130.2寸法図（mm）16642015_05

Page 12:● ZLBK100 取付ブラケット用前面保護カバー● FS1U-3M ミニクランプワイヤーマウントプラグ （通信・アナログ出力用ケーブル用）●センサコントローラ取付穴加工寸法（パネルマウント用）● FS1U-BK パネルマウント用パーツ用前面保護カバー● FS1U-4M ミニクランプワイヤーマウントプラグ （センサヘッドケーブル用）1 個取付けの場合 ｎ個取付けの場合（5.7）53034.716.611.311.5177.5（37）1.51.534103412.410.4Pin 155.915.63 2 112.415.614.95.954 3 2 1Pin 1注：パネルの厚さは1∼6mmとしてください。31×n個＋3×（n個−1）310−0.450以上310−0.431 0−0.416652015_05

Page 13:設定要領■設定準備・センサヘッドにコネクタを接続してください。 （1657 ページ「センサヘッド・コネクタ接続要領」を参照してください。）・コントローラにセンサヘッドと電源・スイッチ出力用ケーブルを接続してください。 （1658 ページ「センサヘッド、電源・スイッチ出力および通信・アナログ出力用ケーブルの取付け、取外し」を参照してください。）・必要に応じて、通信・アナログ出力用ケーブルを接続してください。 （1658 ページ「センサヘッド、電源・スイッチ出力および通信・アナログ出力用ケーブルの取付け、取外し」を参照してください。）■設定手順ウィンドコンパレータモード 1（CO1）ウィンドコンパレータモード 4（CO4）ヒステリシスモード（HYS）出力モード設定各スイッチ出力チャンネルごとにO F F、CO1、CO2、CO3、CO4、HYSの設定を行ないます。応差設定各スイッチ出力チャンネルごとに応差の設定を行ないます（ヒステリシスモードをのぞく）。センサヘッド選択使用するセンサヘッドの設定を行ないます。L1, L2 の設定各スイッチ出力チャンネルごとにL1、L2 の設定を行ないます。各種機能設定各スイッチ出力チャンネルごとに機能の設定を行ないます（機能一覧参照）。検出設定を完了し検出開始します。ウィンドコンパレータモード 2（CO2）ウィンドコンパレータモード 3（CO3）ΔL, L2 の設定各スイッチ出力チャンネルごとにΔL、L2 の設定を行ないます。基準流量の取込み各スイッチ出力チャンネルごとに基準流量の取込みを行ないます。コントローラ内にて、自動的に L1 が作られます。 L1 ＝基準流量−ΔL●出荷時設定（初期化モード実行後設定） しきい値L1（ΔL） ：全ch 2.00 R/min しきい値L2 ：全ch 1.00 R/min 応差 ：全ch 0.02 R/min スイッチ出力モード：1ch 1（ウィンドコンパレータモード1） ：2ch 0（チャンネル無効） ：3ch 0（チャンネル無効） スイッチ出力反転 ：全ch 0（非反転） スイッチ応答時間：1（2ms MAX.） センサヘッドタイプ：1（−3.00～3.00：±3Rタイプ） LCDバックライト ：1（スイッチ出力OFF時緑 —スイッチ出力ON時赤） LCD更新周期 ：1（250 ms）1.センサヘッド、電源・スイッチ出力および通信・アナログ出力用ケーブルに誤配線がありますとコントローラ、センサヘッド共に破壊されますので電源投入前に必ずご確認ください。2.設定しました条件はフラッシュメモリに書き込まれ記憶保持されます。フラッシュメモリには寿命があり、書込み保証回数は 1 万回までですのでご注意ください。3.ウィンドコンパレータモード2 にて基準流量取込みを繰り返し行なうようなことをしますと短期間でフラッシュメモリの書込み保証回数を超える可能性があります。その場合には、ウィンドコンパレータモード 3を使用してください。4.説明文中ではウィンドコンパレータモード 1を記号：CO1、ウィンドコンパレータモード 2を記号：CO2、ウィンドコンパレータモード 3を記号：CO3、ウィンドコンパレータモード 4を記号：CO4、ヒステリシスモードを記号：HYSと呼びます。注 意 名称 内容① 表示部 検出流量値、設定内容、エラー表示② スイッチ出力表示 スイッチ出力 ON 時点灯（1ch 〜 3ch）③ エラー出力表示 エラー出力 ON 時点灯④ UP キー（ ） 設定値等 UP 時使用⑤ DOWN キー（ ） 設定値等 DOWN 時使用⑥ モードキー（ ） 各種設定時使用A. S. OUTSW.OUTch1 2 3 4FSU図1A. S. OUTSW.OUTch1 2 3 4FSUeet yywwqrettywqrrFS1U1 2 3 ESW.OUT■各部の名称と機能No.・コネクタの接続は、電源を切った状態で行なってください。・ 電源が入った状態でセンサヘッドを接続すると、過電圧エラー（E-2表示）となることがあります。その場合は、モードキー（ ）を1秒以上長押ししてエラーを解除してください。注 意16662015_05

Page 14:■設定スイッチ出力 1チャンネルの基準流量取込みが行なわれます。PIN（センサヘッド用コネクタ 4 ピン）を「L レベル」にする（0.5V 以下、10ms 以上）。ZERO（アナログ用コネクタ2ピン）を「Lレベル」にする（0.5V 以下、10ms 以上）。●ウィンドコンパレータモード 2、3 における基準流量取込み方法●ゼロ点補正の方法本体キー操作による方法RS232C による方法汎用 I/O 入力による方法本体キー操作による方法RS232C による方法汎用 I/O 入力による方法操作方法については 1668 ページ参照RS232Cコマンドについては 1670 ページ参照下図参照操作方法については 1668 ページ参照RS232Cコマンドについては 1671 ページ参照下図参照●汎用 I/O 入力による基準流量取込み方法●汎用 I/O 入力によるゼロ点補正の方法24V0.5V以下SW PIN10ms以上立上りエッジで取り込まれます1234：PIN流量センサヘッド分離形流量センサコントローラSW PIN主回路注：汎用I/O入力による基準流量取込みを行なわない場合は、PINには何も接続しないでください（PINは24Vでプルアップされています）。 汎用I/O入力によるゼロ点補正を行なわない場合は、PINには何も接続しないでください（PINは24Vでプルアップされています）。 注：電源をOFFにするとゼロ点補正は解除されます。注：信号入力の GND を分離形流量センサコントローラのGNDと共通にしてください。注：信号入力のGNDを分離形流量センサコントローラのGNDと共通にしてください。123アナログ出力ZERO分離形流量センサコントローラ主回路機能流量表示スイッチ出力状態表示L1(ΔL)/L2 点設定L1(ΔL)/L2 点確認応差設定応差確認基準流量取込み基準流量－ΔL/OFF 確認スイッチ出力モード選択スイッチ出力モード確認スイッチ出力応答時間設定スイッチ出力応答時間設定確認センサヘッドタイプ設定センサヘッドタイプ設定確認スイッチ出力反転設定スイッチ出力反転設定確認LCD バックライト色設定LCD バックライト色設定確認LCD 表示周期設定LCD 表示周期設定確認ピークホールドボトムホールドゼロ点補正本体ボタン操作○（検出モード時）○（検出モード時）○×○×○×○×○×○×○×○×○×○○○通信コマンド（-Dのみ）@A@SW@PRE@C@HYS@H@P@E（CO2,CO3 のみ有効）@MODE@MD@DLY@SD@TYPE@TP@INV@I@BLS@BL@LCT@LT@PHL@BHL@B●機能一覧（操作の詳細は各操作方法を参照）16672015_05

Page 15:・電源（電源電圧 DC24V）を投入しますと自動的に検出モードになります。・ 表示がでた場合はセンサヘッドが未接続か、断線です。・断線の場合は電源を切り、センサヘッドを交換してください。 検出モード以下の手順により使用するセンサヘッドの設定を行なってください。注：SE2 および SE4 は使用できません。 注：スイッチ出力全チャンネルが変更されます。各チャンネルごとの設定はできません。 センサヘッドの選択手順1234本体操作（同時押し）7セグ表示 備考1 秒以上 長押しセンサヘッドタイプ決定［センサヘッドの選択］SE1：−3.00〜3.00：±3RタイプSE2：使用不可SE3：−500〜500：±500mRタイプSE4：使用不可SE5：0.00〜10.00：10Rタイプ以下の手順により各スイッチ出力チャンネルごとに出力モードの設定を行なってください。 出力モードの選択手順12345本体操作（同時押し）7セグ表示 備考1 秒以上 長押し or でチャンネル選択 or で出力モード選択 出力モード決定［出力モードの選択］OFF：チャンネル無効CO1：ウィンドコンパレータモード 1CO2：ウィンドコンパレータモード 2CO3：ウィンドコンパレータモード 3CO4：ウィンドコンパレータモード 4HYS：ヒステリシスモード［応差の設定］HYS1：1chHYS2：2chHYS3：3ch・チャタリング防止のため応差は 2digit 以上に設定の事［スイッチ出力反転の設定］S-0：非反転（A 接点）S-1：反転（B 接点）［スイッチ出力応答時間の設定］Sd-1：2 ms MAX.Sd-2：20 ms MAX.Sd-3：100 ms MAX.Sd-4：1000 ms MAX.［LCD 表示周期の設定］dT-1：250 msdT-2：500 msdT-3：1000 ms［バックライト色の設定］bL-0：バックライトOFFbL-1： スイッチ出力OFF時緑 —スイッチ出力ON時赤bL-2： スイッチ出力OFF時赤 —スイッチ出力ON時緑bL-3：常時緑bL-4：常時赤・スイッチ出力との連動はスイッチ出力1chと連動されます。［しきい値の設定］11：1ch_L1/ΔL12：1ch_L221：2ch_L1/ΔL22：2ch_L231：3ch_L1/ΔL32：3ch_L2［基準流量の取込み］REF1：1chREF2：2chREF3：3ch以下の手順によりゼロ点補正を行なうことができます。注：電源をOFFにするとゼロ点補正は解除されます。以下の手順によりバックライト色の設定を行なってください。 ゼロ点補正（ゼロリセット）バックライト色の設定手順12345手順12345本体操作（同時押し）本体操作（同時押し）7セグ表示7セグ表示備考1 秒以上 長押し ゼロ点補正実行備考1 秒以上 長押し or で選択バックライト色設定決定以下の手順により各スイッチ出力チャンネルごとに応差の設定を行なってください。以下の手順により各スイッチ出力チャンネルごとにスイッチ出力を反転させることができます。以下の手順によりスイッチ出力応答時間を設定することができます。以下の手順によりLCDの表示周期設定を行なうことができます。 応差の設定スイッチ出力反転の設定スイッチ出力応答時間の設定LCD 表示周期の設定手順123456手順1234567手順123456手順1234567本体操作（同時押し）本体操作（同時押し）本体操作（同時押し）本体操作 （同時押し）7セグ表示7セグ表示7セグ表示7セグ表示備考1 秒以上 長押し or でチャンネル選択 or で応差設定 応差決定備考1 秒以上 長押し or でチャンネル選択 or で設定スイッチ出力反転設定決定備考1 秒以上 長押し or で選択 スイッチ出力応答時間設定決定備考1 秒以上 長押し or で選択 LCD表示周期設定決定以下の手順により各スイッチ出力チャンネルごとにしきい値の設定を行なってください。 しきい値の設定（L1（ΔL）/L2の設定）手順12345本体操作 7セグ表示 ＊＊＊備考1 秒以上 長押し or でチャンネル選択 or でしきい値設定しきい値決定各スイッチ出力チャンネルごとにウィンドコンパレータモード2または3を使用する場合には、以下の手順により基準流量の取込みを行なうことができます。基準流量の取込み（ウィンドコンパレータモード2、3の場合）手順1234本体操作（同時押し）7セグ表示 備考1 秒以上 長押し or でチャンネル選択 基準流量取込み or でセンサヘッドタイプ選択設定要領16682015_05

Page 16:通信パソコンとの通信以下の手順により流量表示をピークホールドまたはボトムホールドさせることができます。注：電源をOFF にするとピークホールドまたはボトムホールドは解除されます。 ピークホールドとボトムホールドを同時に行なうことはできません。 ピークホールド、ボトム ホールドエラー表示手順1234567ピークホールド（同時押し）（同時押し）ボトムホールド（同時押し）（同時押し）備 考1 秒以上 長押しホールドスタートホールド解除7セグ表示 7セグ表示表示（n は該当チャンネル）エラー解除断線時は電源を切り、センサヘッドを交換する。エラー内容を修正後、モードキーを 1 秒以上長押しする。エラー内容選択されたチャンネルのセンサヘッドが未接続または断線している。ウィンドコンパレータモード2および3において、しきい値が計測範囲外に設定されている。センサ入力に過電圧が印加されている。スイッチ出力に過電流が流れている。nセンサコントローラ側 パソコン側D-SUB25ピンの場合D-SUB9ピンの場合ピン番号327456820信号名称RXDTXDD.GRTSCTSDSRDCDDTR信号名称TXDRXD0Vピン番号123センサコントローラ側 パソコン側ピン番号23578614信号名称RXDTXDD.GRTSCTSDSRDCDDTR信号名称TXDRXD0Vピン番号123●通信用ケーブル仕様・接続●ハードウェアおよび動作環境 本体： PC-98シリーズ（PC-98LT は除く）および互換機 DOS/V 機 OS ：Windows95 以上●ソフトウェアおよび動作環境 ハイパーターミナル、Tera Term 等のWindows 用ターミナルエミュレータを使用●通信パラメータボーレートストップビット長パリティ指定パリティチェックデータビット長通信方法リターンキー送信処理9600［ボー］1［ビット］奇数［ODD］あり8［ビット］全 2 重CRコード・LFコード●通信コマンド（-D のみ）コマンド一覧表 注：“”はSpace (0x20)、“[c/r]”はCarriageReturn(0x0D)、“[l/f]”はLine Feed(0x0A)を示す。( )内はASCIIコード。@ A 機 能：現在の流量値を呼び出します。 送信例：@A[c/r][l/f] 応答例：1.50[c/r][l/f] 応答例：[c/r][l/f] ←センサヘッド未接続の場合 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f]@ SW 機 能：現在のスイッチ出力の出力状態を呼び出します。 送信例：@SW[c/r][l/f] 応答例：1010[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] 1 0 1 0 1 2 3 E ch ch ch 0：スイッチ出力 OFF 1：スイッチ出力 ON@ PRE 機 能：各スイッチ出力チャンネルの ON/OFF 点を設定します。 送信例：@PRE11− 2.50[c/r][l/f] 応答例：OK[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @PRE11：チャンネル1、L1/ΔLの設定 @PRE12：チャンネル1、L2の設定 @PRE21：チャンネル2、L1/ΔLの設定 @PRE22：チャンネル2、L2の設定 @PRE31：チャンネル3、L1/ΔLの設定 @PRE32：チャンネル3、L2の設定 @PRE11＊＊＊＊ 1：1ch 1：L1/ΔL 2：2ch 2：L2 3：3ch@ C 機 能：各スイッチ出力チャンネルのL1(ΔL)およびL2を表示します。 送信例：@C1[c/r][l/f] 応答例：1.00[c/r][l/f] ← L1(ΔL) — 0.50[c/r][l/f] ← L2 [c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @C1 1：1ch 2：2ch 3：3ch設定要領16692015_05

Page 17:通信@ HYS 機 能：各スイッチ出力チャンネルのヒステリシス幅を設定します。 送信例：@HYS11− 2.50[c/r][l/f] 応答例：OK[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @HYS11：チャンネル1、ヒステリシス幅設定 @HYS21：チャンネル2、ヒステリシス幅設定 @HYS31：チャンネル3、ヒステリシス幅設定 @HYS11＊＊＊＊ 1：1ch 必ず 1 を入力 2：2ch 3：3ch@ H 機 能：各スイッチ出力チャンネルのヒステリシス幅を表示します。 送信例：@H1[c/r][l/f] 応答例：0.05[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @H1 1：1ch 2：2ch 3：3ch@ P 機 能：各スイッチ出力チャンネルの出力モードでウィンドコンパレータモード2、3を選択した場合の基準流量取込みをします。 送信例：@P1[c/r][l/f] 応答例：OK[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @P1：チャンネル1、基準流量取込み @P2：チャンネル2、基準流量取込み @P3：チャンネル3、基準流量取込み@ E 機 能：各スイッチ出力チャンネルのL1=基準流量−ΔLおよびL2を表示します。 送信例：@E1[c/r][l/f] 応答例：1.00[c/r][l/f] ← L1 = 基準流量−ΔL — 0.50[c/r][l/f] ← L2 [c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @E1 1：1ch 2：2ch 3：3ch@ MODE 機 能：各スイッチ出力チャンネルの出力モードを設定します。 送信例：@MODE11[c/r][l/f] 応答例：OK[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @MODE11 1：1ch 0：チャンネル無効 2：2ch 1：ウィンドコンパレータモード1 3：3ch 2：ウィンドコンパレータモード2 3：ウィンドコンパレータモード3 4：ウィンドコンパレータモード4 5：ヒステリシスモード@ MD 機 能：各スイッチ出力チャンネルの出力モードを表示します。 送信例：@MD[c/r][l/f] 応答例：105[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] 1 2 0 1 2 3 ch ch ch 0：チャンネル無効 1：ウィンドコンパレータモード 1 2：ウィンドコンパレータモード 2 3：ウィンドコンパレータモード 3 4：ウィンドコンパレータモード 4 5：ヒステリシスモード@ DLY 機 能：スイッチ出力の応答時間を設定します。 送信例：@DLY1[c/r][l/f] 応答例：OK[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @DLY 1：2 ms MAX. @DLY 2：20 ms MAX. @DLY 3：100 ms MAX. @DLY 4：1000 ms MAX. 注：スイッチ出力全チャンネルが変更されます。各チャンネルごとの設定はできません。@ SD 機 能：スイッチ出力の応答時間を表示します。 送信例：@SD[c/r][l/f] 応答例：1[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] 1：2 ms MAX. 2：20 ms MAX. 3：100 ms MAX. 4：1000 ms MAX.@ TYPE 機 能：センサヘッドタイプ種類を設定します。 送信例：@TYPE1[c/r][l/f] 応答例：OK[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @TYPE 1： −3.00～3.00：±3ℓタイプ @TYPE 2：使用不可 @TYPE 3： −500～500：±500mℓタイプ @TYPE 4：使用不可 @TYPE 5： 0.00～10.00：10ℓタイプ@ TP 機 能：センサヘッドタイプ種類を表示します。 送信例：@TP1[c/r][l/f] 応答例：1[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] 1： −3.00～3.00：±3ℓタイプ 2：使用不可 3： −500～500：±500mℓタイプ 4：使用不可 5： 0.00～10.00：10ℓタイプ@ INV 機 能：各スイッチ出力チャンネルのスイッチ出力の反転・非反転を設定します。 送信例：@INV10[c/r][l/f] 応答例：OK[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @INV10 1：1ch 0：非反転 2：2ch 1：反転 3：3ch 4：E @ I 機 能：各スイッチ出力チャンネルのスイッチ出力の反転・非反転の設定を表示します。 送信例：@I[c/r][l/f] 応答例：0101[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] 1 0 1 0 1 2 3 ch ch ch E 0：スイッチ出力非反転 1：スイッチ出力反転16702015_05

Page 18:●通信タイムチャートファイル−プロパティで上の画面が開くので「接続方法」を設定する。「モデムの設定」をクリックする。図 2 のようにボーレート等を設定する。設定が終了したらＯＫをクリックする。●通信設定方法（ハイパーターミナル使用時）●通信エラーコード20：no start code[c/r][l/f] スタートコード‘@’がありません。 ‘@’からコマンドを入力してください。21：illegal type[c/r][l/f] 一致する通信コマンドが見つかりません。 通信コマンドを確認してください22：data over[c/r][l/f] @P にて設定しきい値が計測可能範囲から外れました。 基準流量またはΔLの設定を確認してください。23：data error[c/r][l/f] コマンドの引き数の値が正しくありません。 設定可能な値を入力してください。24：buffer over[c/r][l/f] 通信バッファがオーバーしました。 バッファがオーバーする前に改行コードを入力してください。図 1図 2： 9600： 8： 奇数： 1： Xon/Xoffビット／秒（B）データビット（D）パリティ（P）ストップビット（S）フロー制御（F）@ BLS 機 能：バックライト色の設定をします。 送信例：@BLS1[c/r][l/f] 応答例：OK[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @BLS 0：バックライトOFF @BLS 1： スイッチ出力OFF時緑 − スイッチ出力ON時赤 @BLS 2： スイッチ出力OFF時赤 − スイッチ出力ON時緑 @BLS 3：常時緑 @BLS 4：常時赤@ BL 機 能：バックライト色の設定を表示します。 送信例：@BL[c/r][l/f] 応答例：1[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] 0：バックライト OFF 1： スイッチ出力OFF時緑 − スイッチ出力ON時赤 2： スイッチ出力OFF時赤 − スイッチ出力ON時緑 3：常時緑 4：常時赤@ LCT 機 能：LCD の表示周期を設定をします。 送信例：@LCT1[c/r][l/f] 応答例：OK[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @LCT 1：250ms @LCT 2：500ms @LCT 3：1000ms@ LT 機 能：LCD の表示周期の設定を表示します。 送信例：@LT[c/r][l/f] 応答例：1[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] 1：250ms 2：500ms 3：1000ms@ PHL 機 能：ピークホールド機能の ON/OFFを設定します。 送信例：@PHL1[c/r][l/f] 応答例：OK[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @PHL 0：ピークホールド OFF @PHL 1：ピークホールド ON@ BHL 機 能：ボトムホールド機能の ON/OFFを設定します。 送信例：@BHL1[c/r][l/f] 応答例：OK[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] @BHL 0：ボトムホールド OFF @BHL 1：ボトムホールド ON@ B 機 能：ゼロ点を補正します。 送信例：@B[c/r][l/f] 応答例：OK[c/r][l/f] 応答例：NG[c/r][l/f] 21：illegal type[c/r][l/f] 注：電源をOFFにするとゼロ点補正は解除されます。15ms MAX.2ms MAX.17ms MAX.6ms MAX.6ms MAX.12ms MAX.@A 、@SW 送信時@P（出力モード2の時）、@PRE 送信時@P1 [c/r][l/f]@OK [c/r][l/f]送信受信@A [c/r][l/f]送信受信6ms MAX.2ms MAX.8ms MAX.@P（出力モード3の時）送信時@P1 [c/r][l/f]@OK [c/r][l/f]送信受信図 1 で「設定」のタグをクリックすると図 3 が表示されるので、「ASCII 設定」のボタンをクリックする。図 4 のように設定しOKをクリックする。図 3 にもどります。再度OKをクリックする。図 3図 416712015_05