ミニビットシリンダ

Page 1:駆動機器MINI BIT CYLINDERSINDEX特長 2取扱い要領と注意事項 3複動形・押出単動形 仕様一覧 4 注文記号 5 内部構造と各部名称 6 寸法図 7クリーンシステム対応シリンダ 仕様一覧 9 注文記号 10 内部構造と各部名称 11 寸法図 13センサスイッチ 14ご使用になる前に前付118ページの「安全上のご注意」を必ずお読みください。注意RoHS指令対応製品12014_10

Page 2:省スペース取付け小形シリンダの代表マルチマウントシリンダをさらに小形化させました。短ピッチ取付バリエーションクリーン仕様 クラス10注相当に対応標準でNCU仕様最適な継手とチューブを用意リニューアルZE無接点センサスイッチさらに小形を極めた省スペース取付け小形シリンダの代表マルチマウントシリンダをさらに小形化させました。短ピッチ取付バリエーションクリーン仕様 クラス10注相当に対応標準でNCU仕様最適な継手とチューブを用意リニューアルZE無接点センサスイッチ省スペース取付け小形シリンダの代表マルチマウン短ピッチ取付バリエーショクリーン仕様 クラス10注相当に対応標準でNCU仕様最適な継手とチューブを用意リニューアルZE無接点センサスイッチ省スペース取付け小形シリンダの代表マルチマウン短ピッチ取付バリエーショクリーン仕様 クラス10注相当に対応標準でNCU仕様最適な継手とチューブを用意リニューアルZE無接点センサスイッチミニビットシリンダに最適な継手（ストレート・エルボ）とチューブ（非導電性・導電性） を用意しました。詳細はTAC継手、チューブのページをご覧ください。注：弊社基準。集塵ポートより真空吸引した場合。詳細は12ページをご覧ください。（ ）内は、当社マルチマウントシリンダ（BDA）の寸法注：ミニビットシリンダは標準でNCU仕様です。●全長：最大約41％短縮 ●容積：最大約67％ 減少 弊社マルチマウントシリンダマグネットなしとの比較省スペース取付け小形シリンダの代表マルチマウントシリンダをさらに小形化させました。短ピッチ取付バリエーションクリーン仕様 クラス10注相当に対応標準でNCU仕様最適な継手とチューブを用意リニューアルZE無接点センサスイッチ省スペース取付け小形シリンダの代表マルチマウントシリンダをさらに小形化させました。短ピッチ取付バリエーションクリーン仕様 クラス10注相当に対応標準でNCU仕様最適な継手とチューブを用意リニューアルZE無接点センサスイッチA内径4.56810A681012内径4.56810外形寸法（マグネットなし）標準シリンダ使用時（mm）A（A’）6（—）8（12）10（—）12（14）B（B’）15（—）17（20）21（—）23（24）C（C’）16（—）16.5（28）16.5（—）17（30）シリンダ径4.56810●小形化 従来形全長22mmが15mmに（ZE235）●応差は従来比1/2注●最高感度位置、電気特性は従来形と変更なし注：弊社試験規格による作動形式複動形押出単動形複動形押出単動形複動形押出単動形複動形押出単動形ストローク（mm） ロッド先端ねじなし仕様●●——————センサシリンダ●●●●●●●●クリーン仕様●—●—●—●—4●●●●●●●●6●●●●●●●●8●●●●●●●●10●—●—●●●●15——●—●—●—20————●—●—A'AミニビットシリンダMBDAB'BC' ストロークC ストロークマルチマウントシリンダBDA22014_10

Page 3:一般注意事項ミ二ビットシリンダ取付け時のねじ締付けは、制限範囲のトルク値で適正に締付けてください。●ミ二ビットシリンダの取付けについて ミ二ビットシリンダは 2 方向からの取付けができます。1. ボディ通し穴による取付け センサシリンダ 標準シリンダ2. 軸方向取付けねじによる取付け取付慣性負荷を駆動させる場合には、許容値以下の運動エネルギーでシリンダを作動してください。許容運動エネルギー1.ミ二ビットシリンダに配管する前に、必ず配管内のフラッシング（圧縮空気の吹き流し）を十分に行なってください。配管作業中に発生した切り屑やシールテープ、錆などが混入すると、空気漏れなどの作動不良の原因となります。2.ミ二ビットシリンダに配管、継手類をねじ込む場合は、下記の適正締付トルクで締付けてください。配管無給油で使用できますが、給油をする場合には、タービン油1種（ISO VG32）相当品を使用してください。スピンドル油、マシン油の使用は避けてください。潤滑水滴、油滴などがかかる場所で使用する時は、カバーなどで保護してください。雰囲気1.使用流体は空気を使用し、それ以外の流体の場合は最寄りの弊社営業所へご相談ください。2. シリンダに使用される空気は、劣化したコンプレッサ油などを含まない清浄な乾燥空気を使用してください。シリンダやバルブの近くにエアフィルタ（ろ過度40μm以下）を取り付けて、ドレンやゴミを取り除いてください。またエアフィルタのドレン抜きは定期的に行なってください。ドレンやゴミなどがシリンダ内に入ると作動不良の原因となります。空気源接続ねじM3×0.5締付けトルク N・m0.59シリンダ径ピストン速度許容運動エネルギーmmm/sJ0.05〜0.50.010.010.1110（Kg）最大速度 V（m/s）0.1 1負荷質量φ8φ6φ4.5φ10形式MB□A（S）4.5MB□A（S）6MB□A（S）8MB□A（S）10M2×0.4M2×0.4M2.5×0.45M2.5×0.450.270.270.580.583.85.879使用ボルト最大締付トルクN・mA寸法2.544.55.5A’寸法形式MB□A（S）4.5MB□A（S）6MB□A（S）8MB□A（S）10M2.5×0.45M3×0.5M3×0.5M3×0.50.320.590.590.59使用ボルト最大締付トルクN・m3444B寸法A’注注A’BAA’注注注注B4.52.23×10-363.96×10-387.04×10-31010.9×10-3（注：センサシリンダの取付け部材には磁性体を使用しないでください。）取扱い要領と注意事項32014_10

Page 4:複動形、押出単動形仕様表示記号項目使用流体使用圧力範囲 MPa保証耐圧力使用温度範囲使用速度範囲クッション給油配管接続口径ストローク公差4.5 6 8 10空気 0.15 〜 0.7 0.1 〜 0.7 0.3 〜 0.7 0.2 〜 0.7 1.050 〜 6050 〜 500なし不要（給油する場合はタービン油1種〔ISO VG32〕相当品）M3＋ 0.5＋ 0.5 複動形 押出単動形MPa℃mm/smmシリンダ径mm推力Nシリンダ径mm4.56810ピストンロッド径mm2334作動形式複動形複動形複動形複動形押出単動形押出単動形押出単動形押出単動形作動方向押側引側押側引側押側引側押側引側受圧面積mm215.912.815.928.221.228.250.343.250.378.565.978.5空気圧力 MPa 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 − 3.2 4.8 6.4 8.0 9.5 11.1 − 2.6 3.8 5.1 6.4 7.7 9.0 − − 1.9 3.5 5.1 6.6 8.2 − 5.6 8.5 11.3 14.1 16.9 19.7 − 4.2 6.4 8.5 10.6 12.7 14.8 − − 5.1 7.9 10.7 13.5 16.3 − 10.1 15.1 20.1 25.2 30.2 35.2 − 8.6 13.0 17.3 21.6 25.9 30.2 − 5.0 10.0 15.0 20.1 25.1 30.1 7.9 15.7 23.6 31.4 39.3 47.1 55.0 6.6 13.2 19.8 26.4 33.0 39.5 46.1 − 8.0 15.9 23.7 31.6 39.4 47.3スプリング戻り力（単動形のみ）Nシリンダ径mm4.56810シリンダの状態ゼロストロークストロークエンドゼロストロークストロークエンドゼロストロークストロークエンドゼロストロークストロークエンドストローク 4 6 8 10 2.04 1.59 1.13 − 2.95 2.95 2.95 − 2.54 2.15 1.76 − 3.43 3.43 3.43 − 3.76 3.07 2.39 1.71 5.13 5.13 5.13 5.13 5.48 4.39 3.29 2.19 7.74 7.74 7.74 7.74作動形式・シリンダ径とストロークmm作動形式複動形押出単動形径4.568104.56810標準ストローク4、6、8、104、6、8、10、154、6、8、10、15、204、6、84、6、8、10●複動形（MBDA） ●押出単動形（MBSA）42014_10

Page 5:質量gシリンダ径mmストロークmm標準シリンダ センサシリンダ加算質量センサスイッチ（1個付）ZE□□□A ZE□□□B4.56810 4 6 810 4 6 81015 4 6 8101520 4 6 81015208.08.69.29.811.312.112.913.715.715.216.317.418.521.324.120.321.723.124.528.031.55.15.66.16.68.59.29.910.612.411.712.713.714.717.219.716.417.719.020.323.626.91515151535353535複動形 gシリンダ径mmストロークmm標準シリンダ センサシリンダ加算質量センサスイッチ（1個付）ZE□□□A ZE□□□B4.56810 4 6 8 4 6 8 4 6 810 4 6 8108.89.410.012.313.113.916.717.818.920.022.223.625.026.45.76.26.79.410.110.813.014.015.016.018.219.520.822.11515151535353535押出単動形注文記号MB - -ミニビットシリンダシリーズ配管方向（センサシリンダのみ）無記入：上面方向 R ：ロッド側から見て右側 L ：ロッド側から見て左側ピストンロッド仕様（φ4.5のみ）無記入：おねじ N ：ねじなしシリンダ仕様無記入：標準シリンダ S ：センサシリンダ作動形式DA：複動形SA：押出単動形センサスイッチ形式無記入：センサスイッチなしZE135：2線式、無接点タイプZE155：3線式、無接点タイプZE235：2線式、無接点タイプZE255：3線式、無接点タイプZE175：3線式、無接点タイプZE275：3線式、無接点タイプセンサスイッチの数1：1個付2：2個付n：n個付リード線長さA：1000mmB：3000mmG：300mm M8コネクタ付（ZE175,ZE275のみ対応）シリンダ径×ストローク-×52014_10

Page 6:内部構造図MBDA10含油樹脂ブッシュ（ポリアセタール樹脂）注アルミ合金（特殊防錆処理）主要部材質合成ゴム(NBR)ステンレス鋼ｯ10ｯ8ｯ6ｯ4.5アルミ合金（アルマイト処理）12345材 質名 称Ｎｏ．ピストンパッキンピストンロッドピストンロッドキャップ本体MBDAS10MBDAS8MBDAS4.5,6MBDA8MBDA4.5,6⑦ ② ⑥ ④④⑬ ③ ①⑤②⑦ ⑧② ⑥ ⑨ ⑭ ⑬ ③ ①⑤⑦ ⑧②④ ⑥ ⑨ ③ ①⑤A10含油樹脂ブッシュ（ポリアセタール樹脂）主要部材質ｯ10ｯ8ｯ6ｯ4.5アルミ合金（アルマイト処理）12材 質名 称Ｎｏ．ロッドキャップ本体AS10S8AS4.5,6MBDA8MBDA4.5,6④④⑬ ③ ①⑤⑨ ⑭ ⑬ ③ ①⑤⑨ ③ ①⑤MBDAS4.5・6MBDA4.5・6シリンダ径名称本体ロッドキャップピストン注ピストンロッドピストンパッキンロッドパッキンロッド先端ナットOリング 4.5 6 8 10アルミ合金（アルマイト処理）含油樹脂ブッシュ（ポリアセタール樹脂）アルミ合金（特殊防錆処理）ステンレス鋼合成ゴム（NBR）合成ゴム（NBR）ステンレス鋼 軟鋼（ニッケルメッキ）合成ゴム（NBR）各部名称と主要部材質No❶❷❸❹❺❻❼❽シリンダ径名称パッキンホルダスプリングストッパフィルタマグネットサポート 4.5 6 8 10 ー アルミ合金（特殊防錆処理）硬鋼（亜鉛メッキ）アルミ合金（特殊防錆処理）発泡金属ネオジウム磁石 ー アルミ合金（特殊防錆処理）No⑨⑪⑬●複動形MBSAS4.5・6●押出単動形MBSA10MBSAS10主要1Ｎｏ．本体MBSAS8MBSAS4.5,6M⑦ ② ⑪ ⑩ ④④③ ① ⑬⑦ ② ③⑫⑫⑬ ①⑤⑤⑦ ⑩②④ ⑪ ③ ①⑤⑫⑪ ⑩ ⑭MBSA10MBSAS10主要部材質材MBSAS8MBSAS4.5,6MBSA8MBSA4.5,6⑦ ② ⑪ ⑩ ④④③ ① ⑬⑦ ② ③⑫⑫⑬ ①⑤⑤⑦ ⑩②④ ⑪ ③ ①⑤⑫⑪ ⑩ ⑭MBSA4.5・6MBDA10含油樹脂ブッシュ（ポリアセタール樹脂）注アルミ合金（特殊防錆処理）主要部材質ｯ10ｯ8ｯ6ｯ4.5アルミ合金（アルマイト処理）123材 質名 称Ｎｏ．ピストンロッドキャップ本体MBDAS10MBDAS8MBDAS4.5,6MBDA8MBDA4.5,6⑦ ② ⑥ ④④⑬ ③ ①⑤②⑦ ⑧② ⑥ ⑨ ⑭ ⑬ ③ ①⑤⑦ ⑧②④ ⑥ ⑨ ③ ①⑤A10主要部材質ｯ10ｯ8ｯ6ｯ4.5アルミ合金（アルマイト処理）1材 質名 称Ｎｏ．本体AS10AS4.5,6MBDA8MBDA4.5,6④④⑬ ③ ①⑤⑨ ⑭ ⑬ ③ ①⑤⑨ ③ ①⑤MBDAS8・10MBDA8MBSAS8・10MBSA10MBSAS10主要部Ｎｏ．MBSAS8MBSAS4.5,6M⑦ ② ⑪ ⑩ ④④③ ① ⑬⑦ ② ③⑫⑫⑬ ①⑤⑤⑦ ⑩②④ ⑪ ③ ①⑤⑫⑪ ⑩ ⑭MBDA10含油樹脂ブッシュ（ポリアセタール樹脂）主要部材質ｯ10ｯ8ｯ6ｯ4.5アルミ合金（アルマイト処理）12材 質名 称Ｎｏ．ロッドキャップ本体MBDAS10MBDAS8MBDAS4.5,6MBDA8MBDA4.5,6⑦ ② ⑥ ④④⑬ ③ ①⑤②⑦ ⑧② ⑥ ⑨ ⑭ ⑬ ③ ①⑤⑦ ⑧②④ ⑥ ⑨ ③ ①⑤MBDA10 MBSA10MBSA10MBSAS10主MBSAS4.5,6⑦ ② ⑪ ⑩ ④④③ ① ⑬⑦ ② ③⑫⑫⑬ ①⑤⑤⑦ ⑩②④ ⑪ ③ ①⑤⑫⑪ ⑩ ⑭MBSA10MBSAS10MBSAS4.5,6MBSA8MBSA4.5,6⑦ ② ⑪ ⑩ ④④③ ① ⑬⑦ ② ③⑫⑫⑬ ①⑤⑤⑦ ⑩②④ ⑪ ③ ①⑤⑫⑪ ⑩ ⑭MBSA8注：MBDA4.5、6、8・MBSA4.5、6、8は材質がステンレス鋼でピストンロッド一体構造です。No⑨⑩⑪⑫⑬⑭No①②③④⑤⑥⑦⑧62014_10

Page 7:形式MBDAS4.5MBDAS6MBDAS8MBDAS10A272827.530B 7 8 810C202019.520D2334E10121517FM2×0.4M3×0.5M3×0.5M4×0.7G1.61.81.82.4H15172123I11121416J10121517KM2.5×0.45 深さ3M3×0.5 深さ4M3×0.5 深さ4M3×0.5 深さ4L6779M4.05.55.57.0N2.54.04.55.5O2.84.05.06.0P3456AAφ2.2 座ぐりφ4.1 深さ8.5φ2.2 座ぐりφ4.1 深さ8φ2.7 座ぐりφ4.8 深さ9.5φ2.7 座ぐりφ4.8 深さ10.5AB7.07.06.57.0（オプション：-R）OO5AB＋ストローク10AB＋ストローク10JMGE（N：座ぐり面）BLHIPφD（ロッド径）2-AAAB＋ストローク10C＋ストロークA＋ストローク2-KF2-M3×0.5（配管接続口）（オプション：-Ｌ）2-M3×0.5（配管接続口）2-M3×0.5（配管接続口）注4φ2-N：ロッド先端ねじなし（MBDASφ4.5のみ）寸法図（mm）φD（ロッド径）2-AAE2-KJMGAB＋ストローク10C＋ストロークA＋ストロークLBI5HF2-M3×0.5（配管接続口）4φ2-N：ロッド先端ねじなし（MBDAφ4.5のみ）形式MBDA4.5MBDA6MBDA8MBDA10記号 A 23 24.5 24.5 27B 7 8 810C 16 16.5 16.5 17D2334E10121517FM2×0.4M3×0.5M3×0.5M4×0.7G1.61.81.82.4H15172123I 6 81012J10121517KM2.5×0.45 深さ3M3×0.5 深さ4M3×0.5 深さ4M3×0.5 深さ4M 4 5.5 5.5 7L6779AAφ2.2 座ぐりφ4.1 深さ2.2（両側）φ2.2 座ぐりφ4.1 深さ2.2（両側）φ2.7 座ぐりφ4.8 深さ3（両側）φ2.7 座ぐりφ4.8 深さ3（両側）AB 3 3.53.5 4MBDA4.5・6・8・10MBDAS4.5・6・8・10●複動形（標準シリンダ）●複動形（センサシリンダ）記号注：オプションの配管方向-R、-Lを選択した場合、標準配管接続口はプラグ付。72014_10

Page 8:寸法図（mm）（オプション：-R） （オプション：-R）排気口（フィルタ付）注OJ（N：座ぐり面）OＭ3×0.5（配管接続口）注EAB＋ストローク10AB＋ストローク10C＋ストロークA＋ストロークBLIφD（ロッド径）MGP5HF2-KＭ3×0.5（配管接続口）（オプション：-Ｌ）4φ2-N：ロッド先端ねじなし（MBSASφ4.5のみ）2-AAAB＋ストローク10排気口（フィルタ付） M3×0.5（配管接続口）（オプション：-Ｌ）排気口（フィルタ付）φD（ロッド径）2-AAE2-KJMGAB＋ストローク10C＋ストロークA＋ストロークLBI5HF排気口（フィルタ付） M3×0.5（配管接続口）4φ2-N：ロッド先端ねじなし（MBSAφ4.5のみ）MBSA4.5・6・8・10MBSAS4.5・6・8・10●押出単動形（標準シリンダ）●押出単動形（センサシリンダ）形式MBSA4.5MBSA6MBSA8MBSA10記号 A 25 26.5 26.5 29B 7 8 810C 18 18.5 18.5 19D2334E10121517FM2×0.4M3×0.5M3×0.5M4×0.7G1.61.81.82.4H15172123I 6 81012J10121517KM2.5×0.45 深さ3M3×0.5 深さ4M3×0.5 深さ4M3×0.5 深さ4M 4 5.5 5.5 7L6779AAφ2.2 座ぐりφ4.1 深さ2.2（両側）φ2.2 座ぐりφ4.1 深さ2.2（両側）φ2.7 座ぐりφ4.8 深さ3（両側）φ2.7 座ぐりφ4.8 深さ3（両側）AB 5 5.55.5 6形式MBSAS4.5MBSAS6MBSAS8MBSAS10A293029.532B 7 8 810C222221.522D2334E10121517FM2×0.4M3×0.5M3×0.5M4×0.7G1.61.81.82.4H15172123I11121416J10121517KM2.5×0.45 深さ3M3×0.5 深さ4M3×0.5 深さ4M3×0.5 深さ4L6779M4.05.55.57.0N2.54.04.55.5O2.84.05.06.0P3456AAφ2.2 座ぐりφ4.1 深さ8.5φ2.2 座ぐりφ4.1 深さ8φ2.7 座ぐりφ4.8 深さ9.5φ2.7 座ぐりφ4.8 深さ10.5AB9.09.08.59.0記号注：オプションの配管方向-R、-Lを選択した場合、標準配管接続口と排気口はプラグ付。82014_10

Page 9:クリーンシステム対応シリンダ仕様表示記号項目使用流体使用圧力範囲 MPa保証耐圧力対応クリーン度使用温度範囲使用速度範囲クッション給油配管接続口径ストローク公差 4.5 6 8 10空気 0.15〜0.7 0.1〜0.7 1.05クラス4相当（FED-STD209E クラス10相当）（集塵口より真空吸引した場合。弊社基準による。詳細は12ページ参照）0〜6050〜500なし不可M3＋0.5 0.0 複動形MPa℃mm/smmシリンダ径mm推力Nシリンダ径mm4.56810ピストンロッド径mm2334作動形式複動形複動形複動形複動形作動方向押側引側押側引側押側引側押側引側受圧面積mm215.912.828.221.250.343.278.565.9空気圧力 MPa 0.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 − 3.2 4.8 6.4 8.0 9.5 11.1 − 2.6 3.8 5.1 6.4 7.7 9.0 − 5.6 8.5 11.3 14.1 16.9 19.7 − 4.2 6.4 8.5 10.6 12.7 14.8 − 10.1 15.1 20.1 25.2 30.2 35.2 − 8.6 13.0 17.3 21.6 25.9 30.2 7.9 15.7 23.6 31.4 39.3 47.1 55.0 6.6 13.2 19.8 26.4 33.0 39.5 46.1作動形式・シリンダ径とストローク作動形式複動形径4.56810標準ストローク4、6、8、104、6、8、10、154、6、8、10、15、20●複動形（CS-MBDA）mm92014_10

Page 10:質量注文記号MB - -ミニビットシリンダシリーズCSクリーンシステム対応シリンダ配管方向（センサシリンダのみ）無記入：上面方向 R ：ロッド側から見て右側 L ：ロッド側から見て左側ピストンロッド仕様（φ4.5のみ）無記入：おねじ N ：ねじなしシリンダ仕様無記入：標準シリンダ S ：センサシリンダ作動形式DA：複動形 センサスイッチ形式無記入：センサスイッチなしZE135：2線式、無接点タイプZE155：3線式、無接点タイプZE235：2線式、無接点タイプZE255：3線式、無接点タイプZE175：3線式、無接点タイプZE275：3線式、無接点タイプセンサスイッチの数1：1個付2：2個付n：n個付リード線長さA：1000mmB：3000mmG：300mm M8コネクタ付（ZE175,ZE275のみ）シリンダ径×ストローク-- ×Nシリンダ径mmストロークmm標準シリンダ センサシリンダ加算質量センサスイッチ（1個付）ZE□□□A ZE□□□B4.56810 4 6 810 4 6 81015 4 6 8101520 4 6 8101520 9.29.810.411.012.913.714.515.317.317.618.719.820.923.726.523.424.826.227.631.134.66.06.57.07.59.910.611.312.013.813.814.715.716.719.221.719.320.621.923.226.629.91515151535353535CS仕様（複動形）102014_10

Page 11:内部構造図CS-MBDA10CS-MBDAS10CS-MBDAS4.5,6CS-MBDA8CS-MBDA4.5,6⑦ ② ⑥ ② ④ ⑤③ ①⑩⑦ ② ⑥⑧ ⑨ ④ ⑤③ ①⑪⑦ ②④ ⑥⑧ ⑨ ③ ⑤ ①⑩CS-MBDAS4.5・6-MBDA10-MBDAS10MBDAS4.5,6CS-MBDA8CS-MBDA4.5,6⑥ ② ④ ⑤③ ①⑩⑥⑧ ⑨ ④ ⑤③ ①⑪⑥⑧ ⑨ ③ ⑤ ①⑩CS-MBDA4.5・6シリンダ径名称本体ロッドキャップピストン注ピストンロッドピストンパッキンロッドパッキンロッド先端ナットOリングパッキンホルダマグネットサポート 4.5 6 8 10アルミ合金（アルマイト処理）含油樹脂ブッシュ（ポリアセタール樹脂）アルミ合金（特殊防錆処理）ステンレス鋼合成ゴム（NBR）合成ゴム（NBR）ステンレス鋼 軟鋼（ニッケルメッキ） ー 合成ゴム（NBR） ー アルミ合金（特殊防錆処理）ネオジウム磁石 ー アルミ合金（特殊防錆処理）各部名称と主要部材質No❶❷❸❹❺❻❼❽❾●CS対応複動形CS-MBDA10CS-MBDAS10CS-MBDAS4.5,6CS-MBDA8CS-MBDA4.5,6⑦ ② ⑥ ② ④ ⑤③ ①⑩⑦ ② ⑥⑧ ⑨ ④ ⑤③ ①⑪⑦ ②④ ⑥⑧ ⑨ ③ ⑤ ①⑩MBDA10MBDAS10MBDAS4.5,6CS-MBDA8CS-MBDA4.5,6⑥ ② ④ ⑤③ ①⑩⑥⑧ ⑨ ④ ⑤③ ①⑪⑥⑧ ⑨ ③ ⑤ ①⑩CS-MBDAS8・10CS-MBDA8CS-MBDA10CS-MBDAS10CS-MBDAS4.5,6CS-MBDA8CS-MBDA4.5,6⑦ ② ⑥ ② ④ ⑤③ ①⑩⑦ ② ⑥⑧ ⑨ ④ ⑤③ ①⑪⑦ ②④ ⑥⑧ ⑨ ③ ⑤ ①⑩CS-MBDA10注：CS-MBDA4.5、6、8は材質がステンレス鋼でピストンロッド一体構造です。No①②③④⑤⑥⑦⑧⑨⑩⑪112014_10

Page 12:クリーン度の評価について現在クリーン仕様の空気圧機器のクリーン度を評価する方法は、JIS等の規格で決められたものがありません。そこで弊社では、独自に測定方法を定めて、クリーン度の評価を行なっています。ミ二ビットシリンダクリーン仕様の発塵量は下記の方法で測定しています。1. 測定試供品 φ4.5×6、φ6×6、φ8×6、φ10×6 各3本…計12本2. 測定条件 2-1 試験回路：図1（吸引なし）・図2（吸引あり）による。 2-2 供試品の作動条件 作動頻度…1Hz 平均速度…500mm/s 印加圧力…0.5MPa 吸引条件…マイクロエジェクタ：ME05、1次側：0.5MPa印加、使用チューブ：φ6 取付方向…垂直 使用チャンバ容量…8.3r3. 使用パーティクルカウンタ メーカー/形式…リオン株式会社/KM20 吸引流量…28.3r/min 可粒子径…0.1μm、0.2μm、0.3μm、0.5μm、0.7μm、1.0μm4. 測定方法 4-1 測定系の発塵量の確認 上記測定条件で供試品を作動させずに、パーティクルカウンタにて9分間測定し、計数値が1個以下であることを確認しました。 4-2 実際の測定 上記測定条件で供試品を36分間作動させ、後半の18分間の合計値を測定しました。 4-3 再確認 4-1の測定を再度行ない測定系の発塵を再確認5. 測定結果（φ10×6の場合）注：粒径別グラフは、製品を100万回作動させた後に測定を行っています。 ●集塵ポートからの吸引なし ●集塵ポートからの吸引ありクリーンルームクラス7相当（FED-STD209E クラス10000相当）測定用チャンバパーティクルカウンタクリーンエアクラス1クリーンエアクラス1INLET図1クリーンルームクラス7相当（FED-STD209E クラス10000相当）測定用チャンバパーティクルカウンタマイクロエジェクタ INLET図2P2注14（A）5（R1）1（P）3（R2）2（B）14（SA）0.0011010010000.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1.0発塵粒子径（μm）総発塵量（10回作動当たり）クラス4相当（FED-STD209E クラス10相当）初期0102030405050万回 100万回作動回数0.1μm以上総発塵量（10回作動当たり）クラス4相当（FED-STD209E クラス10相当）0.0011010010000.1 0.2 0.3 0.4 0.5 0.6 0.7 0.8 0.9 1.0発塵粒子径（μm）クラス1000上限総発塵量（10回作動当たり）クラス10上限クラス1上限クラス4相当（FED-STD209E クラス10相当）初期0102030405050万回 100万回作動回数0.1μm以上総発塵量（10回作動当たり）クラス4相当（FED-STD209E クラス10相当）122014_10

Page 13:CS-MBDAS4.5・6・8・10●CS対応複動形（センサシリンダ）OOＭ3×0.5（集塵口）（オプション：-R）3.5AB＋ストローク1493.5E（N：座ぐり面）AB＋ストローク14AB＋ストローク14C＋ストロークA＋ストロークBLIφD（ロッド径）2-Ｍ3×0.5（配管接続口）注MGP3.5HF 2-AA2-Ｍ3×0.5（配管接続口）（オプション：-Ｌ）Ｍ3×0.5（集塵口）（オプション：-Ｌ）M3×0.5（集塵口）（オプション：-R）2-M3×0.5（配管接続口）4φ2-N：ロッド先端ねじなし（CS-MBDASφ4.5のみ）寸法図（mm）3.5φD（ロッド径）2-AAEMGAB＋ストローク14C＋ストロークA＋ストロークLBI9HF2-M3×0.5（配管接続口）M3×0.5（集塵口）4φ2-N：ロッド先端ねじなし（CS-MBDAφ4.5のみ）形式CS-MBDA4.5CS-MBDA6CS-MBDA8CS-MBDA10記号 A2728.528.531B 7 8 810C2020.520.521D2334E10121517FM2×0.4M3×0.5M3×0.5M4×0.7G1.61.81.82.4H15172123I 6 81012M45.55.57L6779AAφ2.2 座ぐりφ4.1 深さ2.2（両側）φ2.2 座ぐりφ4.1 深さ2.2（両側）φ2.7 座ぐりφ4.8 深さ3（両側）φ2.7 座ぐりφ4.8 深さ3（両側）AB33.53.54形式CS-MBDAS4.5CS-MBDAS6CS-MBDAS8CS-MBDAS10A313231.534B 7 8 810C242423.524D2334E10121517FM2×0.4M3×0.5M3×0.5M4×0.7G1.61.81.82.4H15172123I11121416M45.55.57L6779N2.544.55.5O2.8456P3456AAφ2.2 座ぐりφ4.1 深さ8.5φ2.2 座ぐりφ4.1 深さ8φ2.7 座ぐりφ4.8 深さ9.5φ2.7 座ぐりφ4.8 深さ10.5AB776.57CS-MBDA4.5・6・8・10●CS対応複動形（標準シリンダ）記号注：オプションの配管方向-R、-Lを選択した場合、標準配管接続口はプラグ付。132014_10

Page 14:ABDCABDCアクチュエータを隣接して使用される場合は、下表の値以上にて使用してください。センサスイッチの作動範囲・応差・最高感度位置●作動範囲：Rピストンが移動してセンサスイッチがONしてから、さらにピストンが同方向に移動して、OFFするまでの範囲をいいます。●応差：Cピストンが移動してセンサスイッチがONした位置から、ピストンを逆方向に移動して、OFFするまでの距離をいいます。センサスイッチを接近して取り付ける場合●無接点タイプ作 動 範 囲：R応 差：C最高感度位置注 4.5 6 8 10 1.6〜2.8 1.8〜3.0 1.8〜3.0 2.0〜3.20.2以下6項目 径備考：上表は参考値です。 注：リード線の反対側端面からの数値です。mm4.56810mm最高感度位置C（応差）C（応差）RROFF ONON OFF A B C D 2 6 1 2 4 9 5 3 3 8 4 2 2 8 4 1項目径ストロークエンド検出センサスイッチ取付位置YX XYXZXセンサスイッチを下図の位置（表中の数値は参考値）に取り付けると、ストロークエンドでマグネットがセンサスイッチの最高感度位置にきます。複動形押出単動形CS仕様XYZXYZXYZmm 4.5 6 8 10 6 5.5 5 5 1.5 1 1.5 1 2 2 2 2.5 8 7.5 7 7 1.5 1 1.5 1 2 2 2 2.5 10 9.5 9 9 1.5 1 1.5 1 2 2 2 2.5●無接点タイプ項目 径無接点タイプセンサスイッチの移動要領●止めねじをゆるめますと、センサスイッチはミニビットシリンダの スイッチ取付溝にそって移動することができます。●止めねじの締付けトルクは 0.1N・m〜0.2N・m 程度にしてください。●無接点タイプ1個取付2個取付 4.5 6 8 101.53項目 径mmセンサスイッチ使用可能最小シリンダストローク注文記号MBDASミニビットシリンダシリーズリード線長さ A：1000mm B：3000mm G：300mm M8コネクタ付（ZE175,ZE275のみ対応）センサスイッチ形式 ZE135 ZE155 ZE235 ZE255 ZE175 ZE275-142014_10