結晶育成荷重計

結晶育成荷重計 TT-XNII（常圧型） TT-XNII(G)（常圧ガスパージ型） TT-XNS（常圧型） TT-XNS(G)（常圧ガスパージ型） 単結晶育成時の 用 途荷重測定用 結晶育成荷重計 TT-XNII (G) TT-XNS (G) 二段式出力 耐ノイズ強化 保護機能 高分解能 大口径インゴッド引き上げ時の微小 差動出力によりノイズを強化 オーバーロード保護機能内蔵 直線性が0.02％ R .O.と高性能、 荷重の計測（シードタッチ）が可能な ※TT-XNII 高分解能のロードセルを使用 二段式タイプ。 ※裏面に詳細説明掲載 仕様 タイプ 結晶育成荷重計 TT-XNII（ 常圧型） TT-XNS（ 常圧型） 型式 TT-XNII(G)（ 常圧ガスパージ型） TT-XNS(G)（ 常圧ガスパージ型） 荷重検出部（ ロードセル） 低容量部※ 高容量部※ 容量部 備考 定格容量 100N 500N 20N 〜 500N ※記載以外の容量は、別途協議 許容過負荷 600N 600N 120 % R.C. ※一段式出力も製作可能です（TT-XNII） オーバーロード保護 あり あり あり 直線性 0.02％ R.O. 0.05％ R.O. 0.02％ R.O. ヒステリシス 0.02％ R.O. 0.05％ R.O. 0.02％ R.O. 繰り返し性 0.02％ R.O. 0.05％ R.O. 0.02％ R.O. 温度特性 0.03％ R.O. / 10℃ 0.03％ R.O. / 10℃ 0.03％ R.O. / 10℃ ゼロ点調整範囲 約±25% R.O. 約±25% R.O. 約±10 % R.O. 内部のアンプ基板上で調整 最小分解能 0.001％ R.O. 0.001％ R.O. 0.001％ R.O. 検出可能な変化量であり、安定性は含まず アンプ部 フィルター特性 約1Hz /–3dB 約2Hz/–3dB 出力 DC 0 〜 約10V DC 0 〜 約10V DC 0 〜 約10 V 出力インピーダンス500Ω以下（TT-XNS/G) （ 0 〜 100N） （ 0 〜 500N） スリップリング部 回転ノイズ 50μVp-p 以下（ 100rpm以下にて） 50μVp-p 以下（ 100rpm以下にて） 寿命 2×107 回転 2×107 回転 容器 構造 常圧型、常圧ガスパージ型（ G） 常圧型、常圧ガスパージ型（ G） 材質 SUS304 SUS304 先端部振れ角度 2° 2° 一般 電源 DC15V ±10% DC ±15V ±10% 電源ケーブル Ø6、10m（ ロードセル直結） － 使用温度範囲 0℃ 〜 50℃ 0℃ 〜 50℃ 出力ケーブル Φ6、6芯シールドケーブル、1m Φ10、6芯シールドケーブル、0.5m、先端NDISプラグ 先端NDISプラグ 本体質量 8kg 4kg 付属品 Ø6、6芯シールドケーブル、先端NDISジャック-バラ Ø10、6芯シールドケーブル、先端NDISジャック-バラ （長さは要相談） （長さは要相談） 仕様および外観は製品改良のため予告なく変更することがあります。 取り扱い方法の詳細につきましては、 取り扱い方法の詳細につきましては、 https://loadcell.jp/products/only-type/tt-xns.html、または https://loadcell.jp/products/only-type/tt-xn2.htmlを参照ください。 https://loadcell.jp/products/only-type/tt-xnsg.htmlを参照ください。

概要 寸法図（単位：mm） ティアックの結晶育成荷重計（単結晶引上げ機装置用ロードセル） 半導体ウエハーに必要なシリコンや、サファイアなどの単結晶を引き上げるためのロードセルです。 様々なガス雰囲気の中でも引き上げ時の微量な荷重変化を独自のロードセルで高精度かつ安定した 荷重検出を可能にしました。 単結晶引き上げ機 TT-XNII/(G), TT-XNS/(G) 種結晶の先端に結晶育成荷重計（ロード セル）を設置し、荷重制御をしています。 CZ炉 種結晶 シリコン単結晶 （インゴット） 石英ルツボ 水冷チャンバー ヒーター 保温筒 グラファイトルツボ ルツボサポート 電極 スピルトレー オーバーロード保護 ● TT-XNII： 重力方向に約120%の荷重にてロードセル部を保護（過負荷保護機構付） 重力方向と逆方向（突上げ方向）はロードセルから荷重伝達部品を切り離して ロードセルを保護 ● TT-XNS： 重力方向は110% 〜120%の荷重にてロードセルを保護 逆方向（突上げ方向）は約120%の荷重にてロードセルを保護 シードタッチ検出 ロードセルを低容量と高容量の2 段式にすることによってインゴット径の大型化に伴う容量の 増加に対応し、シードタッチ時の微小荷重検出による自動化も可能にしました。 （TT-XNII） 安全に関するご注意 ■ 正しく安全にお使いいただくため、ご使用の前に必ず「取扱説明書」をよくお読みください。■ 水、湿気、湯気、ほこり、油煙などの多い場所に設置しないでください。火災、感電、故障などの原因となることがあります。 仕様および外観は製品改良のため予告なく変更することがありますのでご了承ください｡ 記載されている会社名、製品名、ロゴマークは各社の商標または登録商標です。 https://datarecorder.jp/ （データレコーダー製品専用サイト） https://loadcell.jp/ （ロードセル製品専用サイト） 情報機器事業部 メジャメントプロダクト部 営業課 〒206-8530 東京都多摩市落合1-47 TEL 042-356-9161 FAX 042-356-9185 名古屋営業所 〒465-0093 名古屋市名東区一社1-79 TEL 052-856-7355 FAX 052-856-7366 第6名昭ビル6F 大阪営業所 〒564-0062 大阪府吹田市垂水町3-17-25 TEL 06-7670-4505 FAX 06-7670-4506 第一福徳ビル5階 ● 技術的なお問い合わせ　 TEL 042-356-9161 FAX 042-356-9185 受付時間 9:30 ～12:00 /13:00 ～17:00（ 土･日･祝日を除く） このカタログの記載内容は 2021年 3月現在のものです。 PRINTED IN JAPAN 0321 TCJ・ISD-158