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先進のNiS Gunで成膜グレードを飛躍的に向上!
1.優れた耐久性
NiS Gunは陰極部にTa-LaB6複合陰極方式を採用、発熱による問題を
排除、長寿命化を実現しました。さらに陰極部にキャリアガスを導入
することで、チャンバー内の成膜領域と圧力差をもたせる（圧力勾配）
ことにより反応ガスの影響を1/10以下に抑え、陰極寿命を延ばしました。
2.高出力・高密度プラズマ
NiS Gunは大電流による高出力仕様で、プラズマ密度が高いため
反応性が良く、緻密な成膜を可能としました。
3.容易なプラズマ制御
NiS Gunは磁場のコントロールによりプラズマの曲げ、延ばし、潰しが
容易となり、用途ごとに最適な方案の選択が可能です。
4.メンテナンス性の向上
Nis Gunを従来プラズマガンの1/2に小型軽量化、既存成膜装置への
取付けを容易とし、NWクランプ方式（PAT.P）により手動での陰極部の
脱着が可能となりました。
このカタログについて
| ドキュメント名 | 高密度成膜を可能とする NiS Gun |
|---|---|
| ドキュメント種別 | 製品カタログ |
| ファイルサイズ | 810.5Kb |
| 登録カテゴリ | |
| 取り扱い企業 | 株式会社ニクニ白鷹 (この企業の取り扱いカタログ一覧) |
