R&S LCX LCRメータ

R&S®LCX LCRメータ 最高クラスのコンポーネントテスト Data Sheet Version 02.02

概要 R&S®LCX LCRメータは汎用的かつ非常に正確で、測定を短時間で実行することができます。これ は、研究、開発および製造における困難なアプリケーションに最適です。2種類のモデルとさま ざまなオプションは、最大10 MHzのテスト信号周波数を使用してアプリケーションに対応しま す。内部および外部のバイアス機能、包括的な解析オプション、および汎用的なテストフィクス チャにより、対応アプリケーションを幅広く拡張することができます。 R&S®LCX100 LCRメータは、4 Hz～300 kHzの周波数レンジ 測定は、デジタルI/Oポートを介して外部からのトリガと制御が をカバーしています。R&S®LCX200の上限周波数は500 kHzで 可能です。ビンニング機能により、測定したコンポーネントを値 すが、ソフトウェアオプションを使用すればこれを1 MHzまたは ごとに最大8個のカテゴリーに分けて保存することができます。 10 MHzまで拡張することができます。すべてのモデルが、DC測 定もサポートしています。最大10 Vまでの内部発生電圧は、ほ 最先端技術を取り入れた大型の静電容量式タッチスクリーン とんどのアプリケーションに対応可能です。オプションで、最大 を採用することで、直感的でわかりやすい測定器の操作を実現 40 Vまでのバイアス電圧を外部で印加することができます。 しており、測定結果のグラフィカル表示も可能です。 高速ロギング機能は、すべての測定値を1秒当たり最大10回記 R&S®LCXはリモート制御およびラック設置が可能なので、シス 録します。 テムアプリケーションにも適しています。 高度な解析機能を使用して、ダイナミックインピーダンス測定 を実行することができます。このような掃引測定では、一連の 周波数値などのパラメータに対してインピーダンス値が決まり ます。 主な特長 特長 R&S®LCX100 R&S®LCX200 テスト信号周波数 DC、4 Hz～300 kHz DC、4 Hz～10 MH（z オプション） ≦1 MHz：10 mV～10 V、 テスト信号電圧 10 mV～10 V ≦5 MHz：50 mV～2 V、 ＞5 MHz：100 mV～1 V DCバイアス電圧（内部） 0 V～＋10 V DCバイアス電流（内部） 0 mA～200 mA 外部DCバイアス電圧、入力 0 V～＋40 V ソースインピーダンス 100 Ω、10 Ω 測定レンジ 10 mΩ～100 MΩ インピーダンス測定のバイアス確度 0.05 % 2

主な利点と特長 ユニバーサルLCRメータ 簡単な操作 ► 高速、正確、汎用的 ► 高解像度タッチスクリーン ► 選択可能な周波数レンジ ► 測定のグラフィカル表現 ► あらゆる要件向けのテスト信号 ► 機器設定のセーブ／リコール ► DCバイアス ► 測定機能 テストフィクスチャ ► データロギング機能 ► R&S®LCX-Z1 リード部品用テストフィクスチャ ► R&S®LCX-Z2 ケルビンクリップ・リード 高度なアプリケーション用の ► R&S®LCX-Z3 SMD用テストフィクスチャ オプション ► R&S®LCX-Z4 SMD用ピンセット型テストフィク スチャ ► R&S®LCX-K106 高度解析機能 ► R&S®LCX-Z5 トランス測定用テストケーブル ► R&S®LCX-K107 デジタルI/Oポートおよびビン ニング機能 ► R&S®LCX-Z11 BNC延長ケーブル ► R&S®LCX-K108 拡張バイアス機能 ► R&S®LCX-K201/-K210 1 MHz/10 MHzへの周波 ラボやテストシステムでの使用に 数アップグレード 最適 ► ラボやシステムラックで使用するためにカ スタマイズ可能 ► フルリモート機能 ► 高度な測定器デザイン：コンパクトな形状、 静かな動作音 Rohde & Schwarz R&S®LCX LCRメータ 3

ユニバーサルLCRメータ 高速、正確、そして汎用的 あらゆる要件向けのテスト信号 R&S®LCXモデルは両方とも、優れた測定速度と確度、および汎 テスト信号は、10 mV～10 Vまでを出力可能で、電流は最大 用測定機能を兼ね備えているため、開発での標準測定、研究で 200 mAで流すことができます。測定器の出力インピーダンス の材料分析、高速な製造テストに最適な測定器です。測定レン は、100 Ωまたは10 Ωを選択可能です。実際の電流と印加電圧 ジが広いので、インピーダンスの極めて低いまたは高いアプリ は、モニター機能を使用して測定されます。 ケーションにも対応することができます。 DCバイアス 3種類の測定時間を使用することができます。 多くのアプリケーションでは、CおよびLコンポーネントを異な ► 高速≦15 ms る動作ポイントで測定するために可変DCバイアスが必要にな ► 中速≦100 ms ります。R&S®LCX100/LCX200は、最大10 VまでのDCバイア ► 低速≦500 ms ス電圧を出力します。オプションとして、DCバイアス電流（最大 200 mA）を設定することもできます。DCバイアス電圧は、 基本確度は、インピーダンス測定が±0.05 %、位相測定が R&S®NGAなどの標準DC電源を使用して、最大40 Vをリアパ ±0.03 °です。 ネルの外部接続（R&S®LCX-K108オプション）で印加すること ができます。 選択可能な周波数レンジ すべてのR&S®LCXモデルは、DC条件下で測定可能です。ACレ ンジの開始周波数は常に4 Hzです。R&S®LCX100の上限周波 数は、300 kHzです。基本構成では、R&S®LCX200は、500 kHz の最大周波数で設計されていますが、この上限周波数は 1 MHzまたは10 MHzに拡張することができます。そのため、所 定のアプリケーションや予算に応じて理想的な測定器を使用 できます。 ディスプレイには、最大4つの測定パラメータを同時に表示可能です。 テスト信号と測定機能は、必要に応じて設定することができます。 4

測定機能 データロギング機能 2台のR&S®LCX LCRメータを使用すれば、多種類のインピーダ R&S®LCX LCRメータは、すべての測定値を記録するための高 ンス測定に加えて、DC電圧による抵抗、さらにトランスも測定 速ロギング機能を備えています。データは、外部USBフラッシュ することが可能です。ディスプレイには最大4つの測定パラメー メモリに保存するか、USBまたはLANを介して外部PCに転送 タを同時に表示でき、測定機能は以下の表からペアで選択す することができます。最大10サンプル／秒のデータレートによっ ることができます。 て、測定値を100 msごとに収集できます。 測定機能のリスト Cp 並列等価回路モデルにより測定されるキャパシタンス値 Cs 直列等価回路モデルにより測定されるキャパシタンス値 Lp 並列等価回路モデルにより測定されるインダクタンス値 Ls 直列等価回路モデルにより測定されるインダクタンス値 D 損失係数 Q Q値（Dの逆数） G 並列等価回路モデルにより測定される等価並列コンダクタンス Rp 並列等価回路モデルにより測定される等価並列抵抗 Rs 直列等価回路モデルにより測定される等価直列抵抗 Rdc 直流抵抗 R レジスタンス(抵抗) X リアクタンス Z インピーダンス y アドミタンス Θd インピーダンス／アドミタンスの位相角度（°） Θr インピーダンス／アドミタンスの位相角度（ラジアン） B サセプタンス M 相互インダクタンス N 巻き数比 測定機能はペアで選択することができます。 Rohde & Schwarz R&S®LCX LCRメータ 5

高度なアプリケーション用の オプション R&S®LCX-K106 高度解析機能 一方、このオプションでは、最大200 mAの可変電流を使用し 多くの場合、LCRメータはインピーダンス値を測定するために て、内部バイアス電源を電流レギュレーションモードで動作さ 使用されます。しかし、コンポーネントの種類によっては、これら せることができます。 の値は周波数やレベルに応じて大なり小なり変化します。 これまで紹介したオプションと同様に、R&S®LCX-K108オプシ R&S®LCX-K106オプション（別売り）はキーコードでアクティブ ョンのハードウェアはすでにインストール済みです。そのため、 にすることができ、これを使用すれば、ダイナミックインピーダ キーコード（別売り）を使用してアクティブにすることができます。 ンス測定を実行できます。このような掃引測定では、一連の周 波数値に対してインピーダンス値が決まります。テスト信号ま たはバイアス信号の電圧値や電流値も、掃引パラメータとして 使用することができます。結果は、テーブルまたはグラフィカル に表示されます。 R&S®LCX-K107 デジタルI/Oポートおよびビンニング機能 R&S®LCX100/LCX200測定器のさらなるオプションに、デジタ ルI/Oポートがあります。これには、トリガ入力（BNCコネクタと して実装）と8つのビンニング用データラインが含まれています。 この機能により、測定結果を最大8つの許容範囲に分けること リアパネルの外部バイアス電圧用ポート ができ、測定コンポーネントを値によって、お客様が設置したソ ーティングコンテナにソートすることができます（デジタルライ R&S®LCX-K201/-K210 1 MHz/10 MHzへの周波数アップグ ンによって制御）。 レード R&S®LCX200 LCRメータは、R&S®LCX100よりもパワフルな R&S®LCX-K107オプションのハードウェアはすでにインストー 解析ハードウェアを備えています。R&S®LCX200ベースユニッ ル済みなので、機能はキーコードでアクティベートすることが トは、DCに加えて、4 Hz～500 kHzの周波数帯域幅を提供し できます。 ます。測定要件に応じて、いつでもR&S®LCX-K201オプション を測定器に追加して帯域幅を1 MHzに拡張することができ ます。これとは別に、帯域幅を10 MHzに拡張したい場合には R&S®LCX-K210オプションを使用することができます。 両オプションともキーコードにより、いつでもR&S®LCX200に インストール可能で、ハードウェアの改造や追加校正は不必要 です。 リアパネルのデジタルI/Oポート R&S®LCX-K108 拡張バイアス機能 標準として、R&S®LCX100/LCX200は、最大10 VまでのDCバイ アス電圧を出力します。この電圧でも、すでに幅広い測定を実 行することができますが、R&S®LCX-K108オプションによりアプ リケーションの範囲を広げることが可能です。一方、LCRメータ のリアパネルにある外部バイアスポートを使用すると、さらに 高い電圧を出力することができます。例えば、外部電源ユニット を使用して、2つの4 mm安全ソケットで最大40 Vの電圧を印 加することができます。この場合、電流は、外部から交換可能な 0.5 A線ヒューズによって保護されます。 6

簡単な操作 高解像度タッチスクリーン 測定のグラフィカル表現 R&S®LCX LCRメータの操作には、主に大型の静電容量式タッ 大型のディスプレイは、グラフィックにも使用できます。時間に チスクリーンを使用します。数値を軽くタップすると、必要な値 対して最大4つの測定機能を選択してプロットすることができ、 を入力するための仮想キーボードが表示されます。または、電 最小値と最大値も追加してマークすることができます。 圧、電流、および周波数の設定には、回転ノブも使用できます。 使用頻度の低い機能の表示や操作は、メニュー経由で行えま す。 非常に高い解像度を持つディスプレイが、LCRメータの操作性 を一変させました。大型でコントラストの高いディスプレイによ り、遠くからでもあらゆる測定値を簡単に読み取ることができ ます。設定や統計データなど、さまざまな追加情報も表示でき ます。アイコンが、設定された特殊機能のステータスをクリアに 示します。 高解像度のディスプレイは、グラフィカル表現にも使用できます。この例は、 キャパシタのインピーダンス測定のトレースを表示しています。 機器設定のセーブ／リコール セーブ／リコール機能を使用すると、頻繁に使用する設定の保 存と呼び出しが容易になります。タッチスクリーン上で、3つの 測定器設定に直接アクセスできます。その他の設定は自由に 保存できます。 測定値は、最大5桁の分解能で表示されます。最大4つの測定値を一度に表 示できます。 タッチスクリーン上で、3つの測定器設定を直接呼び出すことができます。 数値入力用の仮想キーパッド Rohde & Schwarz R&S®LCX LCRメータ 7

テストフィクスチャ ローデ・シュワルツのLCRメータは、幅広いコンポーネントで測定を実行できます。テストフィク スチャは、コンポーネントの形状に合うものを使用できます。 自動平衡ブリッジ（ケルビンブリッジ）測定手法では、対応するテストリード・ペアを測定対象コ ンポーネントまで配線する必要があります（4端子測定）。すべてのフィクスチャがこのような配 線を確保しているため、フィクスチャは正確な測定と寄生インピーダンスの最小化に不可欠で す。 フィクスチャは、ロックレバーによってベースユニットに簡単に接続できます。 R&S®LCX-Z1 リード部品用テストフィクスチャ R&S®LCX-Z2 ケルビンクリップ・リード このテストフィクスチャは2つのスプリング内蔵挿入スロットを R&S®LCX-Z2のケルビンクリップは、サイズの理由などで従来 備えており、これにアキシャル／ラジアルリード型デバイスを挿 のテストフィクスチャでは測定できないコンポーネントを接続 入することができます。ショート回路補正のために、ショートプ するために使用されます。各ケルビンクリップの2つのクリップ レートが付属しています。 部分は互いにアイソレートされているため、CURラインとPOT ラインに別々に接続されます。これにより、2本のテストリードは DUTでのみ直接接続されることになります。 R&S®LCX-Z3 SMD用テストフィクスチャ R&S®LCX-Z3 SMD用テストフィクスチャは、SMDコンポーネン トの品質保証に最適です。測定するSMDコンポーネントの端 子接点端は、付属している2つのコンタクトピン（測定接点）の 間でクランプされます。 8

R&S®LCX-Z4 SMD用ピンセット型テストフィクスチャ 先に述べたケルビンクリップと同様に、テストピンセットは、SMDテストフィクスチャに配置することができないSMDコンポーネン トにコンタクトするために使用することができます。 R&S®LCX-Z5 トランス測定用テストケーブル R&S®LCX-Z11 BNC延長ケーブル このテストフィクスチャは、R&S®LCX LCRメータのトランス測 このエクステンションは長さが1 mあるので、測定器から離れ 定機能と組み合わせてトランスおよびトランスデューサーを測 た場所でテストフィクスチャを使用することができます。ケーブ 定するために設計されています。最大100 kHzまでの周波数範 ル効果は、ベースユニットによって補正されます。 囲でトランスの相互インダクタンス(M)、巻き数比(N)、および位 相角度（θ）を測定するために有用なツールです。測定を実行す るには、テストフィクスチャに印刷されている回路図に従って、 測定するトランスの1次巻線と2次巻線をテストリードに接続し ます。 Rohde & Schwarz R&S®LCX LCRメータ 9

ラボやテストシステムでの使用 に最適 ラボやシステムラックで使用するためにカスタマイズ可能 高度な測定器デザイン：コンパクトな形状、静かな動作音 困難なアプリケーションには、R&S®LCX LCRメータを選択する ベンチやラックのスペースは、常に不足しがちです。R&S®LCX ことをお勧めします。R&S®LCXは研究開発ラボで使用されてお LCRメータは、コンパクトなデザインなので、ほとんどスペース り、製造テストシステムに統合されています。 をとりません。 測定器は、R&S®ZZA-GE23 ラック・アダプターを使用して19イ 内蔵ファンは温度制御されており、低速で動作しているため、 ンチラックに取り付けることができます。テストシステムで使用 動作時のノイズが大幅に低減します。 するには、コンパクトなデザインが不可欠です。 フルリモート機能 テストシステムで使用する場合、R&S®LCX LCRメータをリモー ト制御できます。以下のインタフェースが利用できます： ► USBおよびLAN（イーサネット）インタフェースは、標準装 備されています。これらのインタフェースを経由して、すべて の測定器パラメータをリモート制御できます。 ► IEEE-488(GPIB)インタフェース（R&S®NG-B105オプショ ン）：R&S®NG-B105 IEEE-488(GPIB)ポート付きインタフェ ースは、ユーザーが後付けすることもできます。 すべてのリモート制御インタフェースは、測定器のリアパネルで使用できます （ 例：IEEE-488オプションをインストール済みのR&S®LCX200） 10

仕様 定義 一般 製品データは、以下の条件で有効です。 ► 周囲温度に3時間置いた後、30分のウォームアップ ► 30分のウォームアップ時間後、すべてのデータが＋23 ℃（－3℃/＋7℃）で有効です。 ► 指定された環境条件を満たすこと ► 推奨校正間隔を守ること ► 可能な場合、内部自動調整を実行すること リミット付きの仕様 指定されたパラメータに関する値の範囲によって、保証される製品性能を表します。これらの仕様は、＜、≦、＞、≧、±などのリミット記号か、最大値、リミット、最小値 といった記述によって示されます。コンプライアンスは、テストによって確認されているか、デザインから導出されています。 該当する場合、測定の不確かさ、ドリフト、エージングを考慮するため、テストリミットはガードバンドによって狭められています。 仕様のリミット 測定の不確かさとガードバンドを含む実測値 仕様のリミット 測定の不確かさ X軸 ガードバンド リミットなしの仕様 指定されたパラメータの保証される製品性能を表します。これらの仕様には特別な標識はなく、与えられた値からの偏差がないか無視できる程度である値を表しま す（寸法やパラメータ設定の分解能など）。コンプライアンスは、設計保証されています。 代表値 与えられたパラメータの代表的な値によって、製品性能を記述します。＜、＞が付記されているか、範囲で記述されている場合は、製造時に約80 %の測定器が満た す性能を表します。それ以外の場合は、平均値を表します。 公称値 与えられたパラメータの代表的な値によって、製品性能を記述します（公称インピーダンスなど）。代表値と異なり、統計的評価は行われておらず、パラメータは製造 時にテストされていません。 測定値 期待される製品性能を、個々のサンプルから得られた測定結果によって表します。 不確かさ 与えられた測定量の測定の不確かさのリミットを表します。不確かさは包含係数2で定義され、GUM（Guide to the Expression of Uncertainty in Measurement） のルールに従って、環境条件、エージング、摩耗を考慮して計算されています。 デバイス設定とGUIパラメータは、「パラメータ：値」という形式で示されます。 代表値、公称値、測定値は、ローデ・シュワルツによって保証されません。 3GPP規格に従って、チップレートはMcps（100万チップ／秒）で表され、ビットレートとシンボルレートはGbps（10億ビット／秒）、Mbps（100万ビット／秒）、 kbps（1000ビット／秒）、Msps（100万シンボル／秒）、またはksps（1000シンボル／秒）で、サンプリングレートはMsa/s（100万サンプル／秒）で表されます。 Gbps、Mcps、Mbps、Msps、kbps、ksps、Msa/sはSI単位ではありません。 Rohde & Schwarz R&S®LCX LCRメータ 11 Y軸

60分のウォームアップ時間後、すべてのデータが＋23℃（－3℃/＋7℃）で有効です。特に指定されないかぎり、すべての電圧／電 流データはRMS値です。 テスト信号 テスト信号周波数 周波数レンジ R&S®LCX100 DC、4 Hz～300 kHz R&S®LCX200 DC、4 Hz～500 kHz R&S®LCX200（R&S®LCX-K201オプション搭載） DC、4 Hz～1 MHz （ R&S®LCX200（R&S®LCX-K210オプション搭載） DC、4 Hz～1 MHz 10 Ω） DC、4 Hz～10 MH（z 100 Ω） 4 Hz～＜1 kHz：0.1 Hz, 1 kHz～＜10 kHz：1 Hz, 周波数分解能 10 kHz～＜100 kHz：10 Hz, 100 kHz～＜1 MHz：100 Hz, 1 MHz～10 MHz：1 kHz 周波数精度 ±100 ppm テスト信号モード モード オープン、電圧(V)、ショート電流(C) DC抵抗(Rdc) テスト信号インピーダンス ソースインピーダンス 100 Ω、10 Ω ソースインピーダンス確度 ±（設定の%＋オフセット） ＜2 %＋200 mΩ（公称値） テスト信号レベル 仕様は、インピーダンス測定（AC測定）とRdc測定に有効です。 1) テスト信号電圧（100 Ω） 負荷なし ≦1 MHz：10 mV～10 V 2)、 電圧レンジ ≦5 MHz：50 mV～2 V、 ＞5 MHz：100 mV～1 V 電圧分解能 ≦2 V：1 mV、 ＞2 V：10 mV ≦1 MHz：＜5 %＋2.5 mV、 モードVの電圧設定確度 ±（設定の%＋オフセット） ＞1 MHz：＜10 %＋5 mV、 ＞5 MHz：＜15 %＋10 mV テスト信号電圧（10 Ω） 負荷なし 電圧レンジ ≦100 kHz：10 mV～2 V、 ＞100 kHz～≦1 MHz：10 mV～1 V 電圧分解能 1 mV モードVの電圧設定確度 ±（設定の%＋オフセット） ＜5 %＋2.5 mV（実測） テスト信号電流（100 Ω） ≦1 MHz：0.1 mA～100 mA、 電流レンジ ≦5 MHz:0.5 mA～20 mA、 ＞5 MHz：1 mA～10 mA 電流分解能 ≦20 mA：10 μA、 ＞20 mA：100 μA モードCの電流設定確度 ±（設定の%＋オフセット） ≦1 MHz：＜5 %＋25 μA（実測）、 ＞1 MHz：＜10 %＋50 μA（実測） テスト信号電流（10 Ω） 電流レンジ ≦100 kHz：1 mA～200 mA、 ＞100 kHz～≦1 MHz：1 mA～100 mA 電流分解能 100 µA モードCの電流設定確度 ±（設定の%＋オフセット） ＜5 %＋25 μA（実測） テスト信号モニター AC成分 電圧、電流 電圧モニター確度 ±(測定値の%＋オフセット) ≦1 MHz：＜2.5 %＋5 mV 電流モニター確度 ±(測定値の%＋オフセット) ≦1 MHz：＜2.5 %＋50 μA 1) 電圧が100 mV未満および電流が1 mA未満のすべてのテスト信号仕様は、ファームウェアリリース02.036を搭載したR&S®LCX100 メーターと、シリアル番号が102 000以降の R&S®LCX200 メーターでのみ有効です。 2) 長さが1 mのテストケーブルを使用すると、最大電圧は9.5 Vまで低下します。 12

DCバイアス信号 内部バイアス電圧 電圧レンジ 3) ソースインピーダンスが100 Ωの場合 0 V～10 V(DC) ソースインピーダンスが10 Ωの場合 0 V～2 V(DC) 電圧分解能 10 mV 電圧設定確度 ±（設定の%＋オフセット） テスト信号＜5 V：＜(1 %＋4 mV)×Kt、 テスト信号＜5 V：＜(1 %12 mV)×Kt K（t 温度係数） ＋23 ℃（－3 ℃／＋7 ℃） 1 上記以外の温度 1＋0.1×abs(Ta－23) 内部バイアス電流 4) R&S®LCX-K108が必要 電流レンジ 0 mA～200 mA（DC） 電流分解能 1 mA 電流設定確度 ±（設定の%＋オフセット） ＜1 %＋1 mA DUTの最大DC抵抗 ソースインピーダンスが100 Ωの場合 50 Ω ソースインピーダンスが10 Ωの場合 5 Ω 外部バイアス電圧 R&S®LCX-K108が必要 電圧レンジ 0 V～＋40 V(DC) 電圧モニター分解能 11 mV 測定確度 ±(測定値の%＋オフセット) ＜2.5 %＋44 mV 測定 測定機能 L、C、R、Z、X、Y、G、B、D、Q、θ、M、N、Rdc インピーダンス測定レンジ ソースインピーダンスが100 Ωの場合 100 mΩ～100 MΩ ソースインピーダンスが10 Ωの場合 10 mΩ～100 Ω 位相測定レンジ －180 °～＋180 ° 範囲の選択 自動、手動 ケーブル長 0 m、1 m 最大テストケーブル長 1 m 高速：≦15 ms、 測定時間 テスト周波数≧1 kHz 中速：≦100 ms、 低速：≦500 ms アベレージング 1～256回の測定 補正機能 オープン、ショート、ロード オープンのリミット値 ≦5 MHz：最小100 kΩ、 ＞5 MHz：最小10 kΩ ショートのリミット値 ≦5 MHz：最大3 Ω、 ＞5 MHz：最大10 Ω 3) 合成された出力電圧（内部電圧バイアスとテスト信号電圧）は、15 V（ピーク）に制限されます。 4) 外部電圧バイアスを使用する場合、テスト信号レベルは2 Vに制限されます。 Rohde & Schwarz R&S®LCX LCRメータ 13

有効測定レンジ Rsource＝100 Ωの場合 測定レンジ（仕様化特性） 追加で使用可能な測定レンジ 30 MΩ 1) 10 MΩ 1) 3 MΩ 1 MΩ 300 kΩ 100 kΩ 30 kΩ 10 kΩ 3 kΩ 1 kΩ 300 Ω 100 Ω 10 Ω 3 Ω 1 mΩ 10 mΩ 100 mΩ 1 Ω 10 Ω 100 Ω 1 kΩ 10 kΩ 100 kΩ 1 MΩ 10 MΩ 100 MΩ 1 GΩ インピーダンス 1) 2 Vのテスト信号 レベルでのみ使用可能。 ► 3 Ωレンジ：0.1 Ω～3 Ω ► 10 Ωレンジ：3 Ω～10 Ω ► 100 Ωレンジ：10 Ω～300 Ω ► 300 Ωレンジ：300 Ω～1 kΩ ► 1 kΩレンジ：1 kΩ～3 kΩ ► 3 kΩレンジ：3 kΩ～10 kΩ Rsource＝100 Ωの仕様測定レンジ ► 10 kΩレンジ：10 kΩ～30 kΩ ► 30 kΩレンジ：30 kΩ～100 kΩ ► 100 kΩレンジ：100 kΩ～300 kΩ ► 300 kΩレンジ：300 kΩ～1 MΩ ► 1 MΩレンジ：1 MΩ～3 MΩ ► 3 MΩレンジ：3 MΩ～100 MΩ ► 10 MΩレンジ（＞2 Vのみ）：10 MΩ～30 MΩ ► 30 MΩレンジ（＞2 Vのみ）：30 MΩ～100 MΩ Rsource＝10 Ω（低Zモード）の場合 測定レンジ（仕様化特性） 追加で使用可能な測定レンジ 30 Ω 10 Ω 1 Ω 300 mΩ 1 mΩ 10 mΩ 100 mΩ 1 Ω 10 Ω 100 Ω 1 kΩ インピーダンス ► 0.3 Ωレンジ：0.01 Ω～0.3 Ω Rsource＝10 Ωの仕様測定レンジ ► 1 Ωレンジ：0.3 Ω～1 Ω ► 10 Ωレンジ：1 Ω～30 Ω ► 30 Ωレンジ：30 Ω～100 Ω 14 範囲 範囲

有効測定レンジ Rsource＝100 Ωの場合 1 GΩ 最大10 V 100 MΩ 100 mV 100 mV～10 V 10 MΩ ～10 V 100 mV 100 mV～10 V 最大10 V 1 MΩ ～10 V 100 mV ～10 V 100 mV～10 V 最大2 V 100 kΩ 最大1 V 10 kΩ 10 mV 1 kΩ ～10 V 10 mV～10 V 100 Ω 50 mV 100 mV ～2 V ～1 V 10 Ω 50 mV 3 Ω ～2 V 50 mV～2 V 100 mV 100 mΩ ～2 V 100 mV～2 V 最大1 V 最大2 V 最大2 V 10 mΩ DC 4 Hz 100 Hz 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz 5 MHz 10 MHz 周波数 Rsource＝10 Ω（低Zモード）の場合 測定レンジ（仕様化特性） 追加で使用可能な測定レンジ 1 kΩ 最大2 V 最大1 V 100 Ω 10 Ω 10 mV ～2 V 10 mV～2 V 10 mV～1 V 1 Ω 50 mV 300 mΩ ～2 V 50 mV～2 V 50 mV～1 V 100 mV 10 mΩ ～2 V 100 mV～2 V 100 mV～1 V 最大2 V 最大1 V 1 mΩ DC 4 Hz 100 Hz 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz 周波数 1) 電圧が100 mV未満および電流が1 mA未満のすべてのテスト信号仕様は、ファームウェアリリース02.036を搭載したR&S®LCX100 LCRメーターと、シリアル番号が102 000以降の R&S®LCX200 LCRメーターでのみ有効です。 Rohde & Schwarz R&S®LCX LCRメータ 15 インピーダンス インピーダンス

測定確度 測定確度は、次の規則に従って決められています： インピーダンス（Z）測定確度： インピーダンス測定確度（%）＝基本確度×Ksl×Kms×Kcl×Kb×Kt×Kf 絶対インピーダンス確度（%）＝インピーダンス測定確度（%）＋インピーダンス校正確度（%） 位相（Φ）測定確度： 位相測定確度（°）＝(180/π)×インピーダンス（測定確度（%/100）） 最小測定確度は0.03 °です。 絶対位相確度（°）＝位相測定確度（°）＋位相校正確度（°） Rsource＝100 Ωの場合のR&S®LCX100の基本確度（BA） BA（%）＝確度（%）＋(Zm/Zo×100)＋(Zs/Zm×100) Zmは実測インピーダンスです；ZoおよびZsは以下の表に記載されています キャパ 100 pF 10 pF 10 MH 1 pF 1 MH 100 fF 100 kH 10 fF 10 kH 1 kH インダ クタン ス シタンス 1 fF 1 GΩ 100 H 1 nF 100 MΩ 10 H 10 nF 2 % 10 MΩ 1 H 100 n 0.5 % F 1 MΩ 100 mH 0.2 % 1 μF 100 kΩ 0.1 % 10 mH 10 μF 10 kΩ 1 mH 100 μF 0.05 % 1 kΩ 100 μH 1 mF 100 Ω 10 μH 10 mF 10 Ω 1 μH 100 m 1 Ω F 0.5 % 100 nH 1 F 2 % 100 mΩ 10 nH 10 mΩ 1 Hz 4 Hz 10 Hz 100 Hz 1 kHz 10 kHz 100 kHz 300 kHz 1 MHz 周波数 オープン／ショートインピーダンス テスト信号周波数 Zo Zs ≦1 kHz 2 GΩ 1 mΩ 1 kHz～≦10 kHz 1 GΩ 1 mΩ 10 kHz～≦100 kHz 250 MΩ 1.5 mΩ 100 kHz～≦300 kHz 100 MΩ 2.5 mΩ 16 インピーダンス

測定確度 Rsource＝100 Ωの場合のR&S®LCX200の基本確度（BA） BA（%）＝確度（%）＋(Zm/Zo×100)＋(Zs/Zm×100) Zmは実測インピーダンスです；ZoおよびZsは以下の表に記載されています キャパシタン 10 ス 0 p 1 F 0 pF 0 MH 1 1 p 0 F 0 1 f 100 kH 1 MH 10 kH 1 kH aF インダ クタン ス 1 1 F 0 00 1 fF 1 fF 100 H 0 aF 10 H 1 GΩ 1 H 1 nF 100 MΩ 100 mH 10 nF 2 % 10 MΩ H 10 m 100 nF 0.5 % 1 MΩ H 0.2 % 1 m 1 μF 100 kΩ 0.1 % 100 μH 10 μF 10 kΩ 10 μH 100 μ 0.05 % 1% 1 kΩ F 1 μH 1 mF 100 Ω 100 nH 10 m 10 Ω F 10 nH 100 m 1 Ω F 0.5 % 1 nH 1 F 2 % 100 mΩ 100 pH 10 mΩ 1 Hz 4 Hz 10 Hz 100 Hz 1 kHz 10 kHz 100 kHz 1 MHz 10 MHz 100 MHz 周波数 オープン／ショートインピーダンス テスト信号周波数 Zo Zs ≦1 kHz 2 GΩ 1 mΩ 1 kHz～≦10 kHz 1 GΩ 1 mΩ 10 kHz～≦100 kHz 250 MΩ 1.5 mΩ 100 kHz～≦1 MHz 150 MΩ 1.5 mΩ 1 MHz～≦5 MHz 10 MΩ 10 mΩ 5 MHz～≦10 MHz 1 MΩ 30 mΩ 動作ポイントが周波数依存の境界にある場合は、該当する周波数よりも低い周波数に有効な基本確度が適用されます。 ► 例：1 kΩ（1 MHz）▷ 0.2 %の基本確度または1 kΩ（100 Hz）▷ 0.1 %の基本確度 動作ポイントがインピーダンス依存の境界にある場合は、該当インピーダンスよりも高いインピーダンスに有効な基本確度が適用されます。 ► 例：100 kΩ（1 kHz）▷ 0.1 %の基本確度または3 Ω（1 kHz）▷ 0.2 %の基本確度 Rohde & Schwarz R&S®LCX LCRメータ 17 インピーダンス

測定確度 Rsource＝10 Ω（低Zモード）の場合のR&S®LCX100/LCX200の基本確度（BA） BA（%）＝確度（%）＋(Zs/Zm×100) Zmはインピーダンスです；Zsは以下の表に記載されています（低Zモード） キャパシタン1 ス00 μ 1 F 0 μF 1 1 kΩ 10 H μ 1 H 1 F 1 H 00 nF 100 m 0 nF 10 mH 1 nF 1 mH 100 pF 100 μH インダ クタン ス 10 μH 1 mF 100 Ω 1 μH 10 mF 0.05 % 10 Ω 100 nH 100 0.1 % mF 0.2 % 1 Ω 10 nH 1 F 0.5 % 100 mΩ 1 nH 10 F 2 % 10 mΩ 100 pH 1 mΩ 1 Hz 4 Hz 10 Hz 100 Hz 1 kHz 10 kHz 100 kHz 300 kHz 1 MHz 10 MHz (R&S®LCX100) 周波数 ショートインピーダンス テスト信号周波数 Zs ≦10 kHz 0.5 mΩ 10 kHz～≦100 kHz 1 mΩ 100 kHz～≦1 MHz 1.5 mΩ 測定確度 Rsource＝100 Ωの場合のRdc測定の基本確度（BA） BA（%）＝確度（%）＋(Zm/20 GΩ×100)＋(1 mΩ/Zm×100) Zmは実測インピーダンスです インピーダンスレンジ 確度 ≦300 mΩ 2.0 % 300 mΩ～＜30 Ω 0.5 % 30 Ω～＜100 Ω 0.2 % 100 Ω～＜100 kΩ 0.1 % 100 kΩ～＜300 kΩ 0.2 % 300 kΩ～＜10 MΩ 0.5 % 10 MΩ～100 MΩ 2.0 % 測定確度 K（s レベル係数） Sv K l sl 0 mV～200 mV 1＋0.2/Sv5) ＞200 mV～500 mV 0.5＋0.5/Sv ＞500 mV～1 V 1/Sv ＞1 V～2 V 0.5＋2/Sv ＞2 V～5 V 1＋5/Sv ＞5 V～10 V 1＋10/Sv Km（s 測定速度係数） 高速 8 中速 3 低速 1 K（cl ケーブル長係数） 0 m 1 1 m 1.5 5) Sv設定値(V) 18 インピーダンス

測定確度 K（b 基本係数） バイアス設定 Kb バイアス電圧オン （内部または外部バイアス電圧） 2 バイアス電流オン 5（テスト周波数＜1 kHzの場合）、 2（テスト周波数≧1 kHzの場合） バイアスオフ 1 K（温度係数） ＋23 ℃（－3 ℃／＋7 ℃） 1 t 上記以外の温度 1＋0.1×abs(Ta－23) K（f 周波数係数） テスト信号周波数≦300 kHz 1 テスト信号周波数＞300 kHz (f＋4550)/4850（fの単位はkHz） Rsource＝100 Ωで≦2 Vの場合のR&S®LCX100/LCX200の校正確度 テスト周波数 インピーダンス校正確度 位相校正確度 3 Ωおよび10 Ωレンジ ≦1 MHz ±0.03 % ±0.025° ＞1 MHz～≦5 MHz ±0.05 % ±0.025° ＞5 MHz～10 MHz ±0.2 % ±0.05° 100 Ωおよび300 Ωレンジ ≦1 MHz ±0.03 % ±0.025° ＞1 MHz～≦5 MHz ±0.05 % ±0.025° ＞5 MHz～10 MHz ±0.2 % ±0.05° 1 kΩおよび3 kΩレンジ ≦1 MHz ±0.03 % ±0.025° ＞1 MHz～≦5 MHz ±0.05 % ±0.025° ＞5 MHz～10 MHz ±0.2 % ±0.05° 10 kΩおよび30 kΩレンジ ≦1 MHz ±0.03 % ±0.025° 100 kΩおよび300 kΩレンジ ≦1 MHz ±0.03 % ±0.025° 1 MΩおよび30 MΩレンジ ≦100 kHz ±0.05 % ±0.05° Rsource＝100 Ωで＞2 Vの場合のR&S®LCX100/LCX200の校正確度 テスト周波数 インピーダンス校正確度 位相校正確度 3 Ωおよび10 Ωレンジ ≦1 MHz ±0.03 % ±0.025° 100 Ωおよび300 Ωレンジ ≦1 MHz ±0.03 % ±0.025° 1 kΩおよび3 kΩレンジ ≦1 MHz ±0.03 % ±0.025° 10 kΩおよび30 kΩレンジ ≦1 MHz ±0.03 % ±0.025° 100 kΩおよび300 kΩレンジ ≦1 MHz ±0.03 % ±0.025° 1 MΩおよび3 MΩレンジ ≦1 MHz ±0.03 % ±0.025° 10 MΩおよび30 MΩレンジ ≦100 kHz ±0.05 % ±0.05° Rsource＝10 Ωで≦2 Vの場合のR&S®LCX100/LCX200の校正確度 テスト周波数 インピーダンス校正確度 位相校正確度 300 mΩ、1 Ω、10 Ωおよび 30 Ωレンジ ≦1 MHz ±0.03 % ±0.025° ＞1 MHz～≦5 MHz ±0.1 % ±0.05° 基本精度 インピーダンス ±0.05 % Rdc ±0.1 % 位相 ±0.03° Rohde & Schwarz R&S®LCX LCRメータ 19

特別機能 トランス測定 R&S®LCX-Z5が必要 テスト信号周波数 4 Hz～100 kHz テスト信号電圧 10 mV～2 V 測定レンジ 巻き数比(N) 0.95 N～500 N 位相角度（θ） －180 °～＋180 ° 相互インダクタンス(M) 1 μH～100 H N≦10および100 Hz≦f≦10 kHzの場合：N：±1 % 確度 （実測） θ：±0.2 （° 実測）（ 最小1次インピーダンス：100 Ω） 相互インダクタンス N≦20、f≦10 kHz、300 μH≦M≦50 mHの場合： (M) ±0.5 %±1 μH（実測） デジタルトリガ／コントロールインタフェース R&S®LCX-K107が必要 連続、 トリガモード 手動（フロントのハードキー） 外部（リモート制御） 外部（デジタルI/Oインタフェース） トリガ遅延時間 0 s～60 s（100 ms間隔） デジタルトリガ 最大デジタル電圧 BNCコネクタ 24 V DC プルダウン抵抗 BNCコネクタ 6.1 kΩ 入力レベル BNCコネクタ ＜0.8 V（公称値）、 ＞5.0 V（公称値） デジタル制御 最大デジタル電圧 D-Subポート 24 V DC プルダウン抵抗 D-Subポート 20 kΩ 入力レベル D-Subポート ＜0.8 V（公称値）、 ＞2.4 V（公称値） 最大ドレイン電流（OUT） 500 mA ビンニング R&S®LCX-K107が必要 ビンの数 最大8 ビンニングモード 公称値、絶対値 掃引 R&S®LCX-K106が必要 掃引パラメータ テスト周波数、テスト信号電圧、バイアス電圧、バイ アス電流 掃引モード ポイント（1～65 536ポイント）、インターバル データロギング R&S®LCX-K106が必要 最大収集レート 10サンプル／秒 メモリ長 内部メモリ（最大950 Mバイト）または外部メモリ 電圧分解能 モニター分解能を参照 電圧確度 モニター確度を参照 電流分解能 モニター分解能を参照 電流確度 モニター確度を参照 特殊な測定機能 R&S®LCX-K106が必要 ダイナミックインピーダンス測定、グラフィカルチャ ート表示 20