異物検出システム　ContamiAnalyzer

異物、傷、穴。 お持ちの顕微鏡を使って “ラクラク”自動検査！ 電動ステージ連動 自動スクリーニング検出システム ContamiAnalyzer ご紹介カタログ

異物検出システム Contamination Inspection System 自動スクリーニング 検査システム 専用機を構築。 Contami Analyzer 高品質な“モノづくり”をめざして 画像処理を利用した自動外観検査システムを構築いたします。例えば、メンブレ ンフィルタにおける異物検出・粒度分布測定などを目的とした、自動スクリーニン グによるクラス分類・検査結果レビューが行える専用システムになります。シリコン ウェハにおけるパターン幅測定・表面形状解析・合否判定などにも応用できます。 ユーザ様の導入背景 • フィルタやウェハ表面の異物や欠陥、パターン検査で検査精度を重視している • 人為的要因による誤差を軽減し、一定基準による客観的なデータを保管したい • 目視検査中に観察箇所を見失うなど、業務効率が問題となっている • 長時間、顕微鏡を覗くなど固定された姿勢が強いられ、作業負担が大きい • 検出結果から特定の粒子の位置にステージ移動して、目視で再確認したい • 現在使っている顕微鏡を有効活用して自動システム化したい • 1000万円以下の格安検査システムを探している （※. レーザ顕微鏡仕様は含まれません）

運用フロー Ⅰ．検査対象物セット Ⅱ．スクリーニング・解析 Ⅲ．検査結果の確認・出力 メンブレンフィルタ の異物検査 メンブレンフィルタ シリコンウェハ の異物検査 シリコンウェハ 特注ソフト カメラ 顕微鏡ベースの 顕微鏡 PC システム構成図 ContamiAnalyzer PCモニタ 電動XYｽﾃｰｼﾞ ｽﾃｰｼﾞｺﾝﾄﾛｰﾗ ｷｰﾎﾞｰﾄﾞ ﾏｳｽ 主な特長  利用される主な業界  高精度な自動検査 自動車部品洗浄後のメンブレンフィルタ検査、 半導体分野のウェハ・チップ上の異物検査、 化学薬品濾過フィルタ上の残渣検査など、幅 広い業界でのご利用をサポートしています。  任意の撮影方法・構成をご提案 ベストセラー画像解析ソフトWinROOFの画像処 光学顕微鏡、デジタルマイクロスコープ、実体 理モジュールを活用して、検出粒子の基準を 顕微鏡、マクロレンズ等に対応し、粒子の観察 任意に設定することで高精度な検査を実現し 処理に適した撮影方法を選択可能です。 ます。粒子の色合いや形状などの条件から判 また、海外OSに変更することで、海外の現地 断して、金属／非金属／繊維を判定できます。 設備としてご利用になれます。  既存設備にジョイント可能 既にお持ちである顕微鏡やマイク ロスコープなどを活用させていただ き、それを組み込むシステムを構 また、偏光フィルター等を利用して撮影した 築することもできますので、より投 画像の重ね合わせ処理機能を使用するこ 資を抑えたご提案ができます。 とで、金属判定の精度向上が期待できます。 Contamination Inspection System

機能と性能  検査の時間短縮  最適化されたレビュー機能 スクリーニングした検査結果をマッピングし、 撮影処理と画像処理をマルチスレッド（並列） マップ表示、撮影画像表示、粒子計測データ、 で実行することで、検査の更なる高速化を実現 粒子サムネイルなどをレビューできます。注目 します。倍率100x程度で、Φ 47 mmの円形 した粒子の検出位置へステージ移動して、改 フィルタを約１分でスキャンすることが可能です。 めてライブで目視確認できることも特徴です。  照明ムラの自動補正  測定後の検出粒子確認 照明ムラ補正前 照明ムラ補正後 撮影環境によって照明やレンズ収差などを原因 として発生する明るさのムラを除去し、正確な検 査を実現します。また、外光などにより視野ごと レビュー時に、一部粒子に誤判定があった場 の明るさに少々の変化が生じても、輝度の自動 合、データ修正・削除・追加、分類判定の変更 補正機能により安定した検査が可能です。 など、容易に手動の編集が行えます。  ワンボタンExcel®レポート出力  各種規格対応 検査結果はExcel®に出力することができます。 ISO16232及びVDA19の清浄度検査規格に 粒子データ、統計情報、サンプル全体像など 準拠したレポート出力が可能です。また、粒子 をアウトプットし、簡単にデータ管理を行えます。 サイズのヒストグラムを自動作成できます。 Contami Analyzer, by MITANI CORPORATION

システム構成と仕様の図例  システム仕様例マイクロスコープ観察を利用 デジタルマイクロスコープ 撮像素子 1/1.8型CCD 有効画素 1628×1236 光源 メタルハライドランプ 同軸落射 / リング照明 照明 （オプション：透過照明） シャッタ，ホワイトバランス， 調整機能 ゲイン 電動XYステージ 最小検出能力 移動量 X・Y軸: ±50 mm ① 低倍率ズームレンズ使用時 20 ~ 160 倍 65 ~ 8.5 μm 移動分解能 X･Y軸: ±2 μm ② 中倍率ズームレンズ使用時 50 ~ 400 倍 26 ~ 3.3 μm 繰返し位置決め精度 X･Y軸: ±1 μm ③ 高倍率ズームレンズ使用時 140 ~ 1400 倍 10.3 ~ 1.0 μm 専用コンピュータ 〔注〕 撮影倍率によりオプションのオートフォーカスユニット（下記）が必要と OS: Windows7~10，メモリ： 4 GB，HDD： 1 TB以上， なる場合があります。 19インチモニタ  顕微鏡＋オートフォーカスを利用 システム仕様例 オートフォーカス（下記数値は使用状況により異なります） 方式 カメラ映像信号の画像処理 合焦速度 0.3 秒 程度 合焦精度 焦点深度の約1/3が可能 電動XYステージ 移動量 X・Y軸: ±50 mm 移動分解能 X･Y軸: 2 μm 繰返し位置決め精度 X･Y軸: ±1 μm 専用コンピュータ デジタルCCDカメラ OS: Windows7~10，メモリ： 4 GB，HDD： 1 TB以上，23インチモニタ 210万画素，3CCDカラー，AF対応  お客様仕様へのカスタマイズを承っております 上記はあくまで参考仕様になります。独立系のソフトウェアベンダーとして様々なメーカーの製品に対応 できます。多様なご用途やご要望へお応えするため、お客様専用のカスタマイズをご提案いたします。 カスタマイズ例 オプション追加例 システム外形寸法の調整， 検査項目の拡張， オートフォーカス（ラインセンサ方式，レーザー方式，画像方式等）， 画像センサ組込みによるタクト短縮・高解像度処理， 簡易クリーンブース（HEPAフィルタ付）， 電動ステージの特注（特大ステージ，専用治具付き等） 等々 非常停止装置付き安全ブース， ID機能対応 等々 MITANI CORPORATION お問い合わせ 三谷商事株式会社 ビジュアルシステム部 東京 〒171-0033 東京都豊島区高田3-28-2(FORECAST高田馬場1F) TEL：03-5949-6220 大阪 〒532-0003 大阪市淀川区宮原3-5-24(新大阪第一生命ﾋﾞﾙ12F) TEL：06-6399-3755 名古屋 〒460-0002 名古屋市中区丸の内2-12-13(丸の内ﾌﾟﾗｻﾞﾋﾞﾙ6F) TEL：052-220-0525 福岡 〒812-0011 福岡県福岡市博多区博多駅前2-6-10(FKﾋﾞﾙ8F) TEL：092-473-8611 開発 〒910-8510 福井県福井市豊島1-3-1(第3三谷ﾋﾞﾙ2F) TEL:0776-20-3570 http://mitani-visual.jp Contami Analyzer, by MITANI CORPORATION